JPH04131530A - Control method for air spring vibration eliminating table or mass damper and controller therefor - Google Patents
Control method for air spring vibration eliminating table or mass damper and controller thereforInfo
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- JPH04131530A JPH04131530A JP24973690A JP24973690A JPH04131530A JP H04131530 A JPH04131530 A JP H04131530A JP 24973690 A JP24973690 A JP 24973690A JP 24973690 A JP24973690 A JP 24973690A JP H04131530 A JPH04131530 A JP H04131530A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、小容量の空気圧制御で大容量の空気圧を必要
とする空気ばね支持脚の制御が出来る空気ばｂ除振台又
はマスダンパの制御方法とその装置に関するものである
。Detailed Description of the Invention (Industrial Field of Application) The present invention is directed to the control of an air vibration isolator or mass damper that can control air spring support legs that require a large volume of air pressure by controlling a small volume of air pressure. The present invention relates to a method and an apparatus therefor.
（従来技術とその問題点）
従来の空気ばね除振台の制御方法は、空気ばね支持脚の
圧力容器に接続されたサーボ弁のような制御弁を電気的
に制御して圧力容器内の空気圧を直接制御しようとして
いた。この場合、除振台が大型化すればする程制御しな
ければならない空気量が増大し、これに伴って制御弁も
大型化していくという欠点があった。又、マスダンパの
制御に付いても同様で、質量の大きい振動抑制対象、例
えば、ビルや大型機械などの制振を行う場合には過大な
マスダンパを制御しなければならないが、マスダンパを
直接制御しようとすると制御弁が大型化せざるを得す現
実には制御不可能という問題がある。(Prior art and its problems) The conventional method of controlling an air spring vibration isolation table is to electrically control a control valve such as a servo valve connected to the pressure vessel of the air spring support leg to adjust the air pressure inside the pressure vessel. I was trying to control it directly. In this case, there is a drawback that the larger the vibration isolation table becomes, the more the amount of air that must be controlled increases, and the control valve also becomes larger accordingly. The same goes for mass damper control; when damping vibrations of objects with a large mass, such as buildings or large machinery, it is necessary to control an excessively large mass damper, but it is better to directly control the mass damper. In this case, the control valve has to be enlarged, and in reality, there is a problem that control is impossible.
゛（本発明の目的）
本発明は係る従来例に；みて為されたもので、その目的
とするところは、空気ばｂ支持脚内の空気圧とバランス
している小容量のパイロット室を利用し、パイロット室
の空気圧を制御する事により大容量の空気ばね支持爬を
正確に制御する事の出来る空気ばね除振台又はマスダン
パの制御方法とその装置を提供するにある。(Objective of the present invention) The present invention has been made in view of the related art, and its purpose is to utilize a small-capacity pilot chamber that is balanced with the air pressure in the air bubble support leg. An object of the present invention is to provide a method and device for controlling an air spring vibration isolation table or mass damper, which can accurately control a large capacity air spring support by controlling the air pressure in a pilot room.
（問題点を解決するための手段）
本発明方法は、上記問題点を解決するために、請求項（
１）に示すように、
■除振基台（２）を空気ばね支持脚（＾）で支持し、除
振基台（２）の振動を電気的信号として取り出し、この
電気的信号に基づいて除振基台（２）の変動量をキャン
セルするように空気ばね支持脚（＾）の空気圧力を制御
する制御方法において、
■空気ばね支持脚（＾）内の空気圧とバランスしている
パイロット室（Ｐ）の空気圧を前言己電気的信号に基づ
いて制御し、
■パイロット室（Ｐ）の空気圧変動に合わせて空気ばね
支持脚（＾）内の空気圧を制御する。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the method of the present invention has the following features:
As shown in 1), ■ The vibration isolation base (2) is supported by the air spring support legs (^), the vibration of the vibration isolation base (2) is extracted as an electrical signal, and based on this electrical signal, In the control method of controlling the air pressure in the air spring support leg (^) so as to cancel the amount of fluctuation of the vibration isolation base (2), ■ A pilot chamber that is balanced with the air pressure in the air spring support leg (^). The air pressure in (P) is controlled based on the aforementioned electric signal, and the air pressure in the air spring support leg (^) is controlled in accordance with the air pressure fluctuation in the pilot room (P).
と言う技術的手段を採用しており、
請求項（２）は前記方法を具体的に達成するなめに、
■除振基台り２）と５除振基台（２）を支持するための
空気ばね支持脚（Δ）と、除振基台（２）の振動を電気
的信号として取り出すセンサ（３）（４）と、前記信号
に基ついて空気ばれ支持脚（＾）内の空気圧を制御する
電 全変換器（１）とで構成された空気ばね除振台の制
Ｗ装置において、
■電・全変換器（１）を、空気ばね支持脚（＾）の空気
圧とバランスしているパイロット室（ｐ）、除振基台（
２）が基準位置から変位した時に前記信号に従ってパイ
ロット室（Ｐ）内の空気圧を制御するパイロット室制御
弁（８）、空気ばね支持脚（八）に圧縮空気を供給する
空圧源（５）、空圧源（５）に接続された１次側配管（
６）、ダイアフラム（９）を介してパイロット室（Ｐ）
に隣接し且つ空気ばね支持脚＜Ａ）に接続された２次側
配管（７）、１次側配管（６）と２次側配管（７）との
間に配設され、除振基台（２）が基準位置から変位した
場合に開口して除振基台（２）を基準位置に１莫帰させ
るように１次側配管（６）と２次側配管（７）とをつな
ぎ、除振基台（２）が基準位置に復帰した時点で戸じて
１次側配管（６）と２次側配管（７）とを遮断する開閉
弁（１０）、開閉弁（１０）に当接しており且つパイロ
ット室制御弁（８）によるパイロット室（Ｐ）の空気圧
制御に起因するダイアフラム（９）の変位と共に移動し
て開閉弁（１０）を作動して１次側配管（６）から圧縮
空気を空気ばね支持脚（＾）に供給したり、逆に開閉弁
（６）から離間して空気ばね支持脚（＾）内の空気を必
要量だけ大気放出する昇降弁（１１）、開閉弁（１０）
を昇降弁（１１）ｆｕｌｌに押圧付勢するバネ（１２）
とで構成する。Claim (2) adopts the technical means to specifically achieve the above-mentioned method. Air spring support legs (Δ), sensors (3) and (4) that extract the vibration of the vibration isolation base (2) as electrical signals, and control the air pressure in the air leakage support legs (^) based on the signals. In the W control device for the air spring vibration isolator, which is composed of the electric power converter (1) and the electric power converter (1), the pilot balances the electric power converter (1) with the air pressure of the air spring support leg (^). chamber (p), vibration isolation base (
a pilot room control valve (8) that controls the air pressure in the pilot room (P) according to the signal when the pilot room (P) is displaced from the reference position; and an air pressure source (5) that supplies compressed air to the air spring support legs (8). , the primary side piping (
6), pilot chamber (P) via diaphragm (9)
The secondary piping (7) is adjacent to the air spring support leg <A) and is arranged between the primary piping (6) and the secondary piping (7), and is attached to the vibration isolation base. (2) connects the primary side piping (6) and the secondary side piping (7) so as to open when the vibration isolation base (2) is displaced from the reference position and return the vibration isolation base (2) to the standard position; When the vibration isolating base (2) returns to the standard position, the on-off valve (10) closes and shuts off the primary side piping (6) and the secondary side piping (7). The diaphragm (9) moves with the displacement of the diaphragm (9) caused by the air pressure control of the pilot chamber (P) by the pilot chamber control valve (8), and operates the on-off valve (10) to remove the air from the primary side piping (6). Lifting valve (11) that supplies compressed air to the air spring support leg (^) or, conversely, releases the required amount of air in the air spring support leg (^) to the atmosphere by separating it from the on-off valve (6). Valve (10)
A spring (12) that presses the lift valve (11) to full.
It consists of
と言う技術的手段を採用している。It employs technical means.
又、基準位置近くにおける電・全変換器（１）の開閉弁
（１０）の弁開度を絞って圧縮空気の供給又は減圧を直
線化するために、請求項（３）では。Further, in claim (3), the valve opening degree of the on-off valve (10) of the electric/total converter (1) near the reference position is narrowed to linearize the supply or pressure reduction of compressed air.
■１次側配管（６）の底部開口＜１３ａ）に挿入された
開閉弁（１０）の挿入部分（１０ａ）の直径を、開閉弁
〈１０）が前記底部開口（１３ａ）から離１するにつれ
て挿入部５＋（１０ａ＞の直径が細くなって１次側配管
（６）と開口（１３，１）との開の開口幅が拡大するよ
うにし、同様に請求項（４）では、
■昇降弁（１１）の大気開放孔（１４）内に挿入された
開閉弁（１０）の挿入部分（１０ｂ）の直径を、開閉弁
（１０）が大気開放孔から離間するにつれて挿入部分の
直径が細くなって大気開放孔（１４）との間の開口幅が
拡大するようにしたものである。■The diameter of the inserted part (10a) of the on-off valve (10) inserted into the bottom opening (13a) of the primary side piping (6) as the on-off valve (10) moves away from the bottom opening (13a). The diameter of the insertion part 5+ (10a> is made thinner so that the opening width between the primary side pipe (6) and the opening (13, 1) is expanded, and similarly in claim (4), ■ Lifting valve The diameter of the insertion part (10b) of the on-off valve (10) inserted into the atmosphere opening hole (14) of (11) becomes smaller as the on-off valve (10) moves away from the atmosphere opening hole. The opening width between the opening and the atmosphere opening hole (14) is expanded.
又、マスダンパ（Ｍ）の制御にあっては請求項（５）に
示すように、
■振動抑制対象（２ａ）に設置された空気ばね支持脚（
八）でマスダンパ（Ｍ）支持し、振動抑制対象（２ａ）
の振動を電気的信号として取り出し、この電気的信号に
基づいて振動抑制対象（２ａ）の変動量をキャンセルす
るように空気ばね支持脚（＾）の空気圧力を制御してマ
スダンパ（Ｎ）を振動させる制御方法において、
■空気ばね支持脚（＾）内の空気圧とバランスしている
パイロット室（Ｐ）の空気圧を前記電気的信号に基づい
て制濁し、パイロット室（Ｐ）の空気圧変動に合わせて
空気ばね支持ＩＩＩ（＾）内の空気圧を制御する。In addition, in controlling the mass damper (M), as shown in claim (5), ■ an air spring support leg (
8) supports the mass damper (M) to suppress vibration (2a)
The vibration of is extracted as an electrical signal, and based on this electrical signal, the air pressure of the air spring support leg (^) is controlled to cancel the fluctuation amount of the vibration suppression target (2a), and the mass damper (N) is vibrated. In the control method, the air pressure in the pilot room (P), which is balanced with the air pressure in the air spring support leg (^), is turbid based on the electrical signal, and the air pressure in the pilot room (P) is adjusted according to the fluctuations in the air pressure in the pilot room (P). Controls the air pressure in the air spring support III (^).
と言う技術的手段を採用しており、
請求項（６）では前記マスダンパ（Ｍ）の制御方法を実
現するために、
■マスダンパ（Ｍ）と、振動抑制対象（２ａ）に設置さ
れ、マスダンパ（Ｍ）を支持するための空気ばね支持脚
（Ａ）と、振動抑制対象（２ａ）の振動を電気的信号と
して取り出すセンナ（３）（４）と、前記信号に基づい
て空気ばね支持脚（＾）内の空気圧を制御する；・空変
換器（１）とで構成されたマスダ〉′バの制御装置にお
いて、
■電・空変換器（１）を、空気ばね支持ｍ（＾）の空気
圧とバランスしているパイロット室（Ｐ）、振動抑制対
象（２ａ）が基準位置から変位した時に前記信号に従っ
てパイロット室（Ｐ）内の空気圧を制御するパイロット
室制脚弁（８）、空気ばね支持脚（八）に圧縮空気を供
給する空圧源（５）、空圧源（５）に接続された１次側
配管（６）、ダイアフラム（９）を介してパイロ・ソト
室（Ｐ）に隣接し且つ空気ばね支持脚（八）に接続され
た２次側配管（７）、１次側配管（６）と２次側配管（
７）との間に配設され、振動抑制対Ｓ （２ａ）が基準
位置から変位した場合に開口してマスダンパ（Ｍ）を制
御し、振動抑制対象（２ａ）を基準位置に復帰させるよ
うに１次側配管（６）と２次側配管（７）とをつなぎ、
振動抑制対象（２ａ）が基準位置に復帰した時点で蘭じ
て１次側配管（６）と２次側配管（７）とを遮断する開
閉弁（１０）、開閉弁（１０）に当接しており且つパイ
ロット室制御弁（８）によるパイロット室（Ｐ）の空気
圧制御に起因するダイアフラム（９）の変位と共に移動
して開閉弁（１０）を作動して１次側配管（６）から圧
縮空気を空気ばね支持脚（八）に供給したり、逆に開閉
弁（ｉｏ）から１１１ｍして空気ばね支持脚（＾）内の
空気を必要量だけ大気放出する昇降弁（１１）、開閉弁
（１０）を昇降弁（１１）側に押圧付勢するバネ（１２
）とで構成しているものである。In claim (6), in order to realize the method for controlling the mass damper (M), the following technical means are adopted: An air spring support leg (A) for supporting the vibration suppression target (2a), a sensor (3) (4) that extracts the vibration of the vibration suppression target (2a) as an electrical signal, and an air spring support leg (A) for supporting the vibration suppression target (2a) based on the signal. ); ・In the control device for the mass adapter consisting of a pneumatic converter (1), A balanced pilot room (P), a pilot room leg valve (8) that controls the air pressure in the pilot room (P) according to the signal when the vibration suppression target (2a) is displaced from the reference position, and an air spring support leg. (8) Adjacent to the pyro-soto chamber (P) via the air pressure source (5) that supplies compressed air, the primary side piping (6) connected to the air pressure source (5), and the diaphragm (9) and the secondary side piping (7), the primary side piping (6) and the secondary side piping (
7), and opens when the vibration suppression pair S (2a) is displaced from the reference position to control the mass damper (M) and return the vibration suppression target (2a) to the reference position. Connect the primary side piping (6) and the secondary side piping (7),
When the vibration suppression target (2a) returns to the reference position, it comes into contact with the on-off valve (10) and the on-off valve (10) that shut off the primary side piping (6) and the secondary side piping (7). and moves with the displacement of the diaphragm (9) caused by the air pressure control of the pilot chamber (P) by the pilot chamber control valve (8), operating the on-off valve (10) and compressing from the primary side piping (6). Elevating valve (11), on-off valve that supplies air to the air spring support leg (8), or conversely discharges the required amount of air in the air spring support leg (^) into the atmosphere by 111m from the on-off valve (io). A spring (12) that presses (10) toward the lift valve (11)
).
更に、基準位置近くにおける電・空変換器（１）の開閉
弁（１０）の弁開度を絞って圧縮空気の供給又は減圧を
直線化するために請求項〈７）では、■１次側配管（６
）の底部開口（１３ａ）に挿入された開田弁（１０）の
挿入部分（１０ａ）の直径を、開田弁（１０）が前記底
部開口（１３ａ）から離マするにつれて挿入部分（１０
ａ）の直径が細くなって１次側配管（６）と底部開口（
１３ａ）との間の開口幅が拡大するようにし、同様に請
求項（８）では、
■昇降弁（１１）の大気開放孔（１４）内に挿入された
開閉弁（１０）の挿入部分（１０ｂ）の直径を、＃ｉミ
グ（１０）が大気開放孔（１４）から離間するにつれて
挿入部分（１０ｂ）の直径が細くなって大気開放孔（１
４）との開の開口幅が拡大するようにし、ｒ、−ｔので
ある。Furthermore, in order to linearize the supply or pressure reduction of compressed air by narrowing the valve opening degree of the on-off valve (10) of the electro-pneumatic converter (1) near the reference position, ■ the primary side Piping (6
), the diameter of the insertion portion (10a) of the open field valve (10) inserted into the bottom opening (13a) of the open field valve (10) is increased as the open field valve (10) moves away from the bottom opening (13a)
The diameter of a) becomes narrower and the primary side pipe (6) and the bottom opening (
13a), and similarly, in claim (8), ■ the insertion portion ( As the #i MIG (10) moves away from the atmosphere opening hole (14), the diameter of the insertion portion (10b) becomes thinner and the diameter of the insertion portion (10b) becomes smaller.
4) The aperture width of the aperture is enlarged, and is r, -t.
（作 用）
以上のような構成であるので、小容量のパイロット室（
Ｐ）の空気圧をパイロット室制御（８）にて制御するだ
けで大容量の空気ばね支持脚（Δ）内の空気圧を制御す
る事が出来るものである。それ故、小型の制御系で大型
の除振台やマスダンパの制御が可能となる６更に、底＃
開口（１３ａ）や大気開放孔（１４）内に挿入される挿
入部分（１０ａ） （１０ｂ）により、基準位置に近付
くにつれて空気の移動量が絞られ、基準位置近くにおけ
る圧縮空気の供給又は減圧を直線化し、これにより基準
位置近くでの流量制御を簡便且つ正確に行わせるように
している。(Function) With the above configuration, a small-capacity pilot room (
By simply controlling the air pressure of P) using the pilot room control (8), the air pressure inside the large capacity air spring support legs (Δ) can be controlled. Therefore, it is possible to control large vibration isolation tables and mass dampers with a small control system.
The insertion portions (10a) (10b) inserted into the opening (13a) or the atmosphere opening hole (14) reduce the amount of air movement as it approaches the reference position, and the supply or depressurization of compressed air near the reference position is reduced. This makes it possible to easily and accurately control the flow rate near the reference position.
（以下余白）
（実 施 例）
以下本発明を、第１〜２図に示す除振台の振動制御を中
心に詳述する。第１図は、本発明にかかる空気ばね除振
台の平面図で、４隅に空気ばね支持脚（＾）が配置され
ている。空気ばね支持脚（＾）はゴム膜で形成されたゴ
ムベローズ（１５）と圧力容器（１６）とで構成されて
おり、圧力容器（１６）に電・全変換器（１）が接続さ
れている。(The following is a blank space) (Example) The present invention will be described in detail below, focusing on vibration control of the vibration isolation table shown in FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a plan view of an air spring vibration isolation table according to the present invention, in which air spring support legs (^) are arranged at the four corners. The air spring support leg (^) is composed of a rubber bellows (15) formed of a rubber membrane and a pressure vessel (16), and an electric/all converter (1) is connected to the pressure vessel (16). There is.
次に電・全変換器（１）の構造に付いて説明する。Next, the structure of the electric/total converter (1) will be explained.
電・全変換器（１）の中央には弁室（１７）が設けられ
ており、弁室（１７）内に開閉弁（１０）が昇降自在に
配設されている。弁室（１７）は天井面並びに底面が開
口しており、開閉弁（１０）の上鍔部（１８）が天井開
口（１３ｂ）に摺動自在に嵌め込まれており、開閉弁（
１０）の下鍔部＜１９）が弁室（１７）の底面開口（１
３ａ）に下側から当接している。前記弁室（１７）には
１次側空圧源（５）に接続している１次側配管（６）が
接続しており、空気ばね支持脚（＾）の圧力容器（１６
）に接続している２次側配管（７）が開閉弁（１０）の
下鍔部（１９）を介して弁室（１７）に接続せる１次側
配管（６）につながっている、ＷＩ開閉弁１０）の上方
にはダイヤフラム（９）が配設されており、２次側配管
（７）とパイロット室（Ｐ）とがダイヤフラム（９）に
て隔てられている。A valve chamber (17) is provided in the center of the electric/total converter (1), and an on-off valve (10) is disposed within the valve chamber (17) so as to be movable up and down. The valve chamber (17) is open at the ceiling and bottom, and the upper flange (18) of the on-off valve (10) is slidably fitted into the ceiling opening (13b), and the on-off valve (10) is slidably fitted into the ceiling opening (13b).
10) lower flange <19) is located at the bottom opening (1) of the valve chamber (17).
3a) from below. The valve chamber (17) is connected to the primary side piping (6) which is connected to the primary air pressure source (5), and the pressure vessel (16) of the air spring support leg (^) is
) is connected to the primary side pipe (6) connected to the valve chamber (17) via the lower flange (19) of the on-off valve (10), WI A diaphragm (9) is disposed above the on-off valve 10), and the secondary pipe (7) and the pilot chamber (P) are separated by the diaphragm (9).
ダイヤフラム（９）の中央には円筒状の昇降弁（１１）
が配設されており、この昇降弁（１１）の外鍔（２１）
に前記ダイヤフラム（９）が固着されている。昇降弁（
１１）の下端は前記開閉弁（１０）の上面に当接してい
る。In the center of the diaphragm (9) is a cylindrical lift valve (11).
is arranged, and the outer flange (21) of this lift valve (11)
The diaphragm (9) is fixed to the diaphragm (9). Lifting valve (
The lower end of 11) is in contact with the upper surface of the on-off valve (10).
この昇降弁（１１）の大気開放孔（１４）は、パイロッ
ト室（Ｐ）の天井面の中央に形成されたイブジースト筒
孔（２３）に摺動自在に嵌め込まれている。パイロット
室（Ｐ）はダイヤフラム（９）を介して２次側配管（７
）に隣接（国では上側）して配！されている。このパイ
ロット室（Ｐ）内の空気圧はパイロット室制御弁（８）
にて制御されている。パイロット室制御弁（８）は例え
ば図のようなサーボ弁の他ムービングコイルを利用した
弁やピエゾ素子を利用した弁など各種の比例制御弁がそ
の用途に合わせて用いられる。The atmosphere opening hole (14) of the lift valve (11) is slidably fitted into an Ibujeist cylindrical hole (23) formed in the center of the ceiling surface of the pilot chamber (P). The pilot chamber (P) is connected to the secondary piping (7) via the diaphragm (9).
) adjacent to (upper side in country)! has been done. The air pressure in this pilot room (P) is controlled by the pilot room control valve (8).
It is controlled by. As the pilot room control valve (8), various proportional control valves such as a servo valve as shown in the figure, a valve using a moving coil, a valve using a piezo element, etc. are used depending on the purpose.
パイロット室制御弁（８）は１次側空圧源（５）に接続
されたインポート（２４）と、パイロット室（Ｐ）に接
続されたＩ１０ボー１−（２５）と、外部に連通せるＥ
Ｘボー） （２６）とがあり、中央に配置された振動弁
（２７）の働きでパイロット室（Ｐ）内の空気圧が制御
される。振動弁（２７）の制御は電磁コイル（２８）の
働きによる。この電磁コイル（２８）の制御はドライバ
（２９）を始めとする制御系による。The pilot room control valve (8) has an import (24) connected to the primary air pressure source (5), an I10 bow 1-(25) connected to the pilot room (P), and an E valve that communicates with the outside.
(26), and the air pressure in the pilot chamber (P) is controlled by the action of a centrally located vibration valve (27). The vibration valve (27) is controlled by the action of the electromagnetic coil (28). This electromagnetic coil (28) is controlled by a control system including a driver (29).
次に制御系に付いて説明する。図の実施例はレベル制御
と上下振動制御の場合であるが、勿論これに限られず、
水平方向の位置制御や水平方向の振動制御も行う事が出
来るものである。ここでは上下方向の制御を代表例とし
て説明する。除振基台（２〉には上下方向の位置の変動
を検出するレベルセンサ（３）と上下方向の振動を検出
する上下方向加速度センサ（４）とが設置されている。Next, the control system will be explained. The example shown in the figure is a case of level control and vertical vibration control, but it is of course not limited to this.
It is also possible to perform horizontal position control and horizontal vibration control. Here, control in the vertical direction will be explained as a representative example. A level sensor (3) for detecting vertical position fluctuations and a vertical acceleration sensor (4) for detecting vertical vibrations are installed on the vibration isolation base (2>).
レベルセンサ（３）は非接触出力型のアナログセンサで
、例えば渦電型センサ、静電容量型センサやレーザー変
位計などがあり、基準レベルからの距離を検出し、これ
を電気的アナログ信号に置き換えて出力し、比較器（３
０）に入力し、基準レベルの電圧値と比較して除振基台
（２）の基準レベルからの変位量を検出する。一方、上
下方向加速度センサ（４）は、外部から除振基台（２）
に入力する外乱や除振基台（２）上に設置された装置か
ら生じる上下方向の振動を検出し、これを加速度信号と
して出力し、ドライバ（２９）に入力する。ドライバ（
２９）では例えば前記信号を積分（Ｐ）、微分（Ｄ）及
び比例処理（Ｉ）（必要があれば第５図に示すように２
回微分処理（Ｄ、Ｄ）を付加）して出力し、前記電磁コ
イル（２８）を制御する。The level sensor (3) is a non-contact output analog sensor, such as an eddy-electric sensor, a capacitance sensor, or a laser displacement meter, which detects the distance from a reference level and converts it into an electrical analog signal. Replace and output, comparator (3
0) and compares it with the reference level voltage value to detect the amount of displacement of the vibration isolation base (2) from the reference level. On the other hand, the vertical acceleration sensor (4) is connected to the vibration isolation base (2) from the outside.
It detects disturbances input to the vibration isolation base (2) and vertical vibrations generated from a device installed on the vibration isolation base (2), outputs this as an acceleration signal, and inputs it to the driver (29). driver(
29), for example, the signal is subjected to integral (P), differential (D) and proportional processing (I) (if necessary, 2 as shown in FIG.
differential processing (D, D) is added) and output to control the electromagnetic coil (28).
しかして、除振基台（２）に荷重が加わり除振基台（２
）が基準レベルより沈んだ場合、レベルセンサ（３）が
直ちにその沈み量を検出し、ドライバ（２９）を通じて
パイロット室制御弁（８）の電磁コイル（２９）に制御
電流が流れる。パイロット室制御弁（８）の振動弁（２
７）は前述信号に従って１次側空圧源（５）の空気のを
パイロット室（Ｐ）に送り込み、パイロット室（Ｐ）の
空気圧を高める。すると昇降弁（１１）が沈み、開閉弁
（１０）を押し下げる。すると開閉弁（１０）の下鍔部
（１９）が弁室（１７）の底部開口（１３ａ）から離間
して１次側配管（６）と２次側配管（７）とを連通させ
、１次側空圧源（５）の空気が２次側配管（７）を通っ
て圧力容器（１６）に流れ込み、ゴムベローズ（１５）
を膨らませ、除振基台（２）を押し上げる。その結果、
除振基台（２）が基準位置に達すると、レベルセンサ（
３）がそのことを検出してパイロット室制御弁（８）の
インボート（２４）を閉じ、パイロット室（Ｐ）への１
次側空圧源（５）の空気の流入をストップさせる。これ
により、除振基台（２）は基準レベルに復帰する事にな
る。逆に、除振基台（２〉上の荷重が除荷されて除振基
台（２）が基準レベル以上に上昇するとレベルセンサ（
３）がこれを検出し、ドライバ（２９）を通じて励磁コ
イル（２７）を制御し、パイロット室制御弁（８）のＩ
１０ボート（２５）とＥＸボー ） （２６）とを接続
し、パイロット室（Ｐ）内の空気圧を低下させる。（尚
、前記サーボ弁（８）は、空圧源（５）から供給される
圧縮空気のＩ１０ボート（２５）又はＥＸボート（２６
）への振り分けを振動弁（２７）の振動によって行い、
パイロット室（Ｐ）の空気圧を電気信号に従って制御す
るものである。）すると圧力容器（１６）に連通してい
る２次側配管（１７）内の圧力に押されて昇降弁（１１
）だけが上昇し、昇降弁（１１）の下端と開閉弁（１０
）の上端との間に間隙が発生し、イブジースト筒孔（２
３）を通って圧力容器（１６）内の空気が外部に放出さ
れ、圧力容器（１６）内の空気圧が下がり、除振基台（
２）が次第に沈み、最終的には基準レベルに復帰する。Therefore, a load is applied to the vibration isolation base (2) and the vibration isolation base (2) is loaded.
) sinks below the reference level, the level sensor (3) immediately detects the amount of sinking, and a control current flows through the driver (29) to the electromagnetic coil (29) of the pilot room control valve (8). Vibration valve (2) of pilot room control valve (8)
7) sends air from the primary air pressure source (5) into the pilot room (P) in accordance with the aforementioned signal to increase the air pressure in the pilot room (P). Then, the lift valve (11) sinks and pushes down the on-off valve (10). Then, the lower flange (19) of the on-off valve (10) separates from the bottom opening (13a) of the valve chamber (17), causing the primary side pipe (6) and the secondary side pipe (7) to communicate with each other. Air from the downstream air pressure source (5) flows into the pressure vessel (16) through the secondary piping (7), and the rubber bellows (15)
Inflate it and push up the vibration isolation base (2). the result,
When the vibration isolation base (2) reaches the reference position, the level sensor (
3) detects this and closes the inboard (24) of the pilot room control valve (8),
Stop the inflow of air from the next air pressure source (5). As a result, the vibration isolation base (2) returns to the reference level. Conversely, when the load on the vibration isolation base (2) is removed and the vibration isolation base (2) rises above the reference level, the level sensor (
3) detects this, controls the excitation coil (27) through the driver (29), and controls the I of the pilot room control valve (8).
Connect the 10 boat (25) and the EX boat (26) to reduce the air pressure in the pilot room (P). (The servo valve (8) is connected to the I10 boat (25) or EX boat (26) of compressed air supplied from the pneumatic source (5).
) by the vibration of the vibration valve (27),
The air pressure in the pilot room (P) is controlled according to electrical signals. ), the lift valve (11) is pushed by the pressure in the secondary piping (17) communicating with the pressure vessel (16).
) rises, and the lower end of the lift valve (11) and the on-off valve (10
), a gap is generated between the upper end of the Ibujeist cylinder hole (2
3), the air inside the pressure vessel (16) is released to the outside, the air pressure inside the pressure vessel (16) decreases, and the vibration isolation base (
2) gradually decreases and eventually returns to the standard level.
するとレベルセンサ（３）が基準レベルへの復帰を検出
してサーボ弁（８）の振動弁（２７）を制御し、パイロ
ット室（Ｐ）がらＥＸボート（２６）への空気の流出を
停止させる。このように小容量のパイロット室（Ｐ）の
空気圧を制御する事により大容量の圧力容器（１６）内
の空気圧を制御するものである１以上はレベル制御の場
合を中心に説明したが、上下振動に対するアクティブ制
御も同様であり、除振基台（２）の振動を加速度センサ
（４）が捕らえ、これを加速度信号として圧力し、圧力
容器（工６）内の空気圧を前記同様ＰＩＤ制御又はＰｒ
Ｄ、ＤＤ制御により制御して上下方向の振動をキャンセ
ルするようにする。Then, the level sensor (3) detects the return to the reference level and controls the vibration valve (27) of the servo valve (8) to stop the flow of air from the pilot room (P) to the EX boat (26). . In this way, the air pressure in the large-capacity pressure vessel (16) is controlled by controlling the air pressure in the small-capacity pilot chamber (P). 1 and above have been explained mainly in the case of level control. The active control for vibration is also similar, and the vibration of the vibration isolation base (2) is captured by the acceleration sensor (4), which is applied as an acceleration signal to pressure, and the air pressure in the pressure vessel (work 6) is controlled by PID control or Pr
D, DD control is used to cancel vibrations in the vertical direction.
又、この考えかたは水平方向の位置制御並びに水平方向
の振動制御にも利用する事が出来、これらを組み合わせ
る事により、３次元方向の制御が可能となる。This idea can also be used for horizontal position control and horizontal vibration control, and by combining these, three-dimensional control becomes possible.
尚、第４図のようにＰＩＤ制御に付加して２回微分によ
るＤＤ制御を行うのは、パイロット室（Ｐ）による空気
ばね支持脚（＾）の間接制御であるための対応の遅れを
防止するためのものである。Additionally, performing DD control using double differentiation in addition to PID control as shown in Figure 4 prevents delays in response since it is indirect control of the air spring support leg (^) by the pilot room (P). It is for the purpose of
第３図は電・全文換器（１）の第２実施例である。FIG. 3 shows a second embodiment of the electric/full converter (1).
第２図のように開閉弁（１０）の下鍔部（１９）が底部
開口（１３ａ）に面接触しているだけの場合、及び開閉
弁（１０）の上面に昇降弁（１１）の下端面が当接して
いるだけの場合、両者の接触面が開閉した場合に空気の
流量が非線形的に急激に増加したり逆に減少したりして
流量制御が非常に１難になるが、第３図に示すように開
閉弁（１０）の挿入部分（１０ａ）が下部になる程太く
なるような段状（第４図のようにテーバ状でもよい）に
形成されており、閉塞時並びに少し開閉弁（１０）が開
いた状態の時は前記挿入部分（１０ａ）の下段部（！０
１ａ）が底部開口（Ｌ３ａ）内に嵌り込んでいて底部開
口（１３ａ）との間隙を狭くしておき、開閉弁（１０）
が大きく押し込まれた場合には下段部（１０１ａ）が底
部開口（Ｌ３ａ）より下に押し込まれて上段部＜１０２
ａ）が底部開口に嵌り込むようになって底部開口（１３
ａ）との間隙を大きくとるようにしている。昇降弁（１
１）との関係も全く同様で開肩弁（１０）の中央に段状
突部様の挿入部部分（１０ｂ）を突設し、この段状挿入
部分（１０ｂ）を昇降弁（１１）の大気開放孔（１４）
に挿入しておき、閉塞時並びに昇降弁（１１）と開フ弁
（１０）との間の離間量がわずがな場合には太い下段部
（１０１ｂ）が大気開放孔（１４）に嵌り込んでいて大
気開放孔（１４）と下段部（１０１ｂ）との隙間を規制
し、両者が大きく離間した場合には上部の細い上段部（
１０２ｂ）が大気開放孔（１４）に嵌り込んで両者の間
隙を大きくとるようにしているものである。これにより
、いずれの場合でも細い上段部（１０２ｂ）が、大気開
放孔（１４）又は底部開口（１３ａ）に嵌り込んでいる
場合には空気の流通量が大きくて圧力容器（１６）内の
空気圧が急速に高められなり減少させられ、続いて太い
下段部（ｌｏｌａ） （１０ｔｂ）に移ると間隙が規制
されて空気の流通量が減少し、前述のｒＭｒ！！時の流
量の急激な変化を防止する事が出来て基準位置での流量
変化を直線化することが出来る。その結果基準位置近傍
での円滑な流量制御が可能となるものである。When the lower flange (19) of the on-off valve (10) is in surface contact with the bottom opening (13a) as shown in Figure 2, and when the lower flange (19) of the on-off valve (10) is in surface contact with the bottom opening (13a), If the end surfaces are only in contact with each other, when the contact surfaces between the two open and close, the air flow rate will rapidly increase or decrease in a non-linear manner, making flow control extremely difficult. As shown in Fig. 3, the insertion part (10a) of the on-off valve (10) is formed in a step shape (it may be tapered as shown in Fig. 4) that becomes thicker towards the bottom. When the on-off valve (10) is open, the lower part (!0) of the insertion part (10a)
1a) fits into the bottom opening (L3a) to narrow the gap with the bottom opening (13a), and the on-off valve (10)
If it is pushed in a lot, the lower part (101a) is pushed below the bottom opening (L3a) and the upper part <102
a) fits into the bottom opening (13).
I try to keep a large gap between a) and Lifting valve (1
The relationship with 1) is exactly the same; a stepped projection-like insertion portion (10b) is provided in the center of the open shoulder valve (10), and this stepped insertion portion (10b) is inserted into the lift valve (11). Atmospheric release hole (14)
The thick lower part (101b) fits into the atmosphere opening hole (14) when the lift valve (11) and the opening valve (10) are closed or there is a slight gap between the lift valve (11) and the opening valve (10). If the gap between the air vent hole (14) and the lower part (101b) is large, the narrow upper part (101b) is closed.
102b) fits into the atmosphere opening hole (14) to create a large gap between the two. As a result, in any case, if the thin upper part (102b) fits into the atmosphere opening hole (14) or the bottom opening (13a), the air flow rate is large and the air pressure inside the pressure vessel (16) is increased. is rapidly increased and decreased, and then moves to the thick lower section (lola) (10 tb), which restricts the gap and reduces the air flow, causing the aforementioned rMr! ! It is possible to prevent a sudden change in the flow rate at the time, and it is possible to linearize the change in the flow rate at the reference position. As a result, smooth flow control near the reference position becomes possible.
第６図はマスダンパ（Ｍ）による振動抑制の１例で５例
えばビルとか大型定盤などの振動抑制対象（２ａ）上に
マスダンパ（Ｎ）を配設し、空気ばね支持体（Ａａ）を
介してマスダンパ（Ｍ）が取付られている。Figure 6 shows an example of vibration suppression using a mass damper (M). 5 For example, a mass damper (N) is placed on a vibration suppression target (2a) such as a building or a large surface plate, and the mass damper (N) is A mass damper (M) is installed.
マスダンパ（Ｎ）による振動抑制の原理は、振動をセン
サ（４）にて検出してこれをアナログ電気信号に変え、
これをキャンセルするようにマスダンパ（＋４＞の質量
を利用して制御対象（２ａ）の振動を抑制するものであ
る。一方、センサ（３）は、マスダンパ（Ｍ）の位置を
監視して基準位置に収束するように働くものである。た
だし、マスダンパ（Ｍ）を支持する空気ばね支持体（Ａ
ａ）に対して基準圧力が設定されている場合には、空気
ばね支持体（Ａａ）が基準圧力になった時マスダンパ（
Ｈ）は基準位置に収束するから必ずしもセンサ（３）を
必要としない。The principle of vibration suppression using a mass damper (N) is to detect vibration with a sensor (4) and convert it into an analog electrical signal.
To cancel this, the mass of the mass damper (+4>) is used to suppress the vibration of the controlled object (2a). On the other hand, the sensor (3) monitors the position of the mass damper (M) and determines the reference position. However, the air spring support (A) that supports the mass damper (M)
If a reference pressure is set for a), when the air spring support (Aa) reaches the reference pressure, the mass damper (
H) does not necessarily require the sensor (3) since it converges on the reference position.
（効 果）
本発明方法は、叙上のように除振基台を空気ばね支持脚
で支持し、除振基台の振動を電気的信号として取り出し
、この電気的信号に基づいて除振基台の変動量をキャン
セルするように空気ばね支持脚の空気圧力を制御する制
御方法において、空気ばね支持脚内の空気圧とバランス
しているパイロット室の空気圧を前記電気的信号に基づ
いて制御し、パイロット室の空気圧変動に合わせて空気
ばね支持脚内の空気圧を制御するので、小容量のパイロ
ット室の空気圧制御で、大容量の空気ばね支持脚の空気
圧制御が可能となり、制御機構を小容量で済ます事がで
きるという利点がある。そしてこれにより、製作コスト
や装置スペースを小さく出来るという利点も発生する。(Effects) As described above, the method of the present invention supports the vibration isolation base with air spring support legs, extracts the vibration of the vibration isolation base as an electrical signal, and uses the electrical signal to support the vibration isolation base. In the control method for controlling the air pressure in the air spring support leg so as to cancel the amount of variation in the platform, the air pressure in the pilot chamber that is balanced with the air pressure in the air spring support leg is controlled based on the electrical signal, Since the air pressure in the air spring support leg is controlled according to the air pressure fluctuations in the pilot room, it is possible to control the air pressure in a large capacity air spring support leg by controlling the air pressure in a small pilot room. The advantage is that it can be done. This also provides the advantage of reducing manufacturing costs and equipment space.
又、電 全変換器のみを除振基台に合わせて大きくして
やれば、制御系は小さくとも十分であり、小容量の制御
系で大型の除振基台に対応する事も出来るものである。Furthermore, if only the electric power converter is made large enough to match the vibration isolation base, a small control system is sufficient, and a small capacity control system can also be used for a large vibration isolation base.
又、本装置は請求項（２）のような構造であるから、小
容量のパイロット室の制御だけでだけで大容量の空気ば
ね支持脚の空気圧制御が可能となる。Furthermore, since this device has the structure as claimed in claim (2), it is possible to control the air pressure of a large capacity air spring support leg by controlling only a small capacity pilot chamber.
更に、請求項（３）で、１次側配管の開口に挿入された
開閉弁の挿入部分の直径を、開閉弁が前記開口から離間
するにつれて挿入部分の直径が細くなって１次側配管と
の開口との間の開口幅が拡大するようにしたこと、並び
に請求項（４）において昇降弁の大気開放孔内に挿入さ
れた開閉弁の挿入部分の直径を、開閉弁が大気開放孔か
ら離間するにつれて挿入部分の直径が細くなって大気開
放孔との間の開口幅が拡大した事により、基準位置から
離れている場合は急速復帰を、急速に基準位置に近付い
た場合には流量を絞る事により、弁開閉時の空気流量の
急激な変化をなくし、基準位置近傍での流量変化の直線
化を図り、基準位置近傍での流量制御の容易化を実現し
たものである。Furthermore, in claim (3), the diameter of the inserted part of the on-off valve inserted into the opening of the primary side piping is such that the diameter of the inserted part becomes thinner as the on-off valve moves away from the opening, and the diameter of the inserted part becomes smaller as the on-off valve is spaced apart from the opening. In addition, in claim (4), the diameter of the inserted part of the on-off valve inserted into the atmosphere opening hole of the elevator valve is increased so that the opening width between the opening and the opening of the on-off valve is increased. As the distance increases, the diameter of the inserted part becomes thinner and the opening width between it and the atmosphere opening hole increases, allowing for rapid return when far from the reference position and reduced flow rate when rapidly approaching the reference position. By throttling, sudden changes in air flow rate when the valve is opened and closed are eliminated, the flow rate change near the reference position is made linear, and flow control near the reference position is facilitated.
又、マスダンパの制御も同様の構成によるものであるか
ら、大型のマスダンパを小型の制御系で制御できるもの
であり、同様に基準位置近傍での流量制御の容易化も可
能となるものである。Furthermore, since the mass damper is controlled using the same configuration, a large mass damper can be controlled by a small control system, and it is also possible to easily control the flow rate near the reference position.
第１図・・・本発明の空気ばね支持脚の配置平面図第２
図・・・本発明を除振台に適用した場合の一実施例の系
統図
第３図・・・本発明に使用する電・全変換器の第２実施
例の断面図
第４図・・・本発明に使用する電・全変換器の第３実施
例の断面図
第５図・・・本発明のブロック回路区。
第６図・・・本発明をマスダンパに適用した場合の一実
施例の系統図
（＾）・・・空気ばね支持＃ （Ａｌｌ）・・・空気ば
ね支持体（Ｐ）・・・パイロット室 （Ｍ・・・マスダ
ンパ（１）・・電・全変換器 （２・・・除振基台（２
ａ）・・・振動抑制対象 （３・・・レベルセンサ（４
）・・・加速度センサ （５・・・空圧源６）・・・１
次側配管 （７・・・２次側配管８）・・・パイロッ
ト室制御弁 （９）・・・ダイアフラム１０）・・・開
閉弁（１０ａ） （１０ｂ）・・・開閉弁の挿入部分１
１）・・・昇降弁 （１２）・・・バネ１３ａ）
・・・底部開口 （１３ｂ）・・天井開口１４）・・
・大気開放孔
第Ｚ
２５ハ
／θａ
第１図
（＾）・空気ばね支持脚（Ｐ）・・・パイロット室（１
）・・・電・突変換器 （２）・除振基台（３）・・レ
ベルセンサ （４）加速度センサ（５）・・・空圧源
〈６）・・１次側配管（７）・２次側配管 （
８）・パイロ・計主看Ｉｅ弁（９）・・ダイアフラム
（１０）・開閉弁（１０ａ） （１，Ｏｂ） 開閉弁
の挿入部分（１１）・・昇降弁 （１２）・ハネ
（］、３ａ） 底部開口 （１３ｂ）−天井開口（
１４）・・・大気開放孔
ｚｇｉｄ ／ｌ）２＾
第５図
第６図Fig. 1...Second plan view of arrangement of air spring support legs of the present invention
Figure: System diagram of one embodiment when the present invention is applied to a vibration isolating table. Figure 3: Cross-sectional diagram of a second embodiment of the electric/total converter used in the present invention. Figure 4:・Cross-sectional view of the third embodiment of the electric/total converter used in the present invention. FIG. 5: Block circuit section of the present invention. Fig. 6...System diagram of an embodiment when the present invention is applied to a mass damper (^)...Air spring support # (All)...Air spring support (P)...Pilot chamber ( M...Mass damper (1)...Electrical/all converter (2...Vibration isolation base (2)
a)...Vibration suppression target (3...Level sensor (4)
)...Acceleration sensor (5...Pneumatic source 6)...1
Next side piping (7...Secondary side piping 8)...Pilot chamber control valve (9)...Diaphragm 10)...On-off valve (10a) (10b)...Insertion part 1 of on-off valve
1)... Lifting valve (12)... Spring 13a)
...Bottom opening (13b)...Ceiling opening 14)...
・Air release hole No. Z 25c/θa Figure 1 (^) ・Air spring support leg (P)...Pilot chamber (1
)・・・Electrical/inrush converter (2)・Vibration isolation base (3)・Level sensor (4) Acceleration sensor (5)・Pneumatic pressure source
<6)...Primary side piping (7)/Secondary side piping (
8)・Pyro・Controller Ie valve (9)・・Diaphragm
(10)・On-off valve (10a) (1, Ob) On-off valve insertion part (11)・Elevating valve (12)・Spring (], 3a) Bottom opening (13b) – Ceiling opening (
14)...Atmospheric release hole zgid /l)2^ Figure 5 Figure 6
Claims (8)
振動を電気的信号として取り出し、この電気的信号に基
づいて除振基台の変動量をキャンセルするように空気ば
ね支持脚の空気圧力を制御する制御方法において、空気
ばね支持脚内の空気圧とバランスしているパイロット室
の空気圧を前記電気的信号に基づいて制御し、パイロッ
ト室の空気圧変動に合わせて空気ばね支持脚内の空気圧
を制御する事を特徴とする空気ばね除振台制御方法。(1) The vibration isolation base is supported by air spring support legs, the vibration of the vibration isolation base is extracted as an electrical signal, and the air spring is used to cancel the fluctuation amount of the vibration isolation base based on this electrical signal. In the control method for controlling the air pressure in the support leg, the air pressure in the pilot chamber, which is balanced with the air pressure in the air spring support leg, is controlled based on the electrical signal, and the air pressure in the air spring support is controlled based on the electrical signal. A method for controlling an air spring vibration isolation table characterized by controlling air pressure in the legs.
支持脚と、除振基台の振動を電気的信号として取り出す
センサと、前記信号に基づいて空気ばね支持脚内の空気
圧を制御する電・空変換器とで構成された空気ばね除振
台の制御装置において、電・空変換器を、空気ばね支持
脚の空気圧とバランスしているパイロット室、除振基台
が基準位置から変位した時に前記信号に従ってパイロッ
ト室内の空気圧を制御するパイロット室制御弁、空気ば
ね支持脚に圧縮空気を供給する空圧源、空圧源に接続さ
れた１次側配管、ダイアフラムを介してパイロット室に
隣接し且つ空気ばね支持脚に接続された２次側配管、１
次側配管と２次側配管との間に配設され、除振基台が基
準位置から変位した場合に開口して除振基台を基準位置
に復帰させるように１次側配管と２次側配管とをつなぎ
、除振基台が基準位置に復帰した時点で閉じて１次側配
管と２次側配管とを遮断する開閉弁、開閉弁に当接して
おり且つパイロット室制御弁によるパイロット室の空気
圧制御に起因するダイアフラムの変位と共に移動して開
閉弁を作動して１次側配管から圧縮空気を空気ばね支持
脚に供給したり、逆に開閉弁から離間して空気ばね支持
脚内の空気を必要量だけ大気放出する昇降弁、開閉弁を
昇降弁側に押圧付勢するバネとで構成した事を特徴とす
る空気ばね除振台の制御装置。(2) a vibration isolation base, an air spring support leg for supporting the vibration isolation base, a sensor that extracts the vibration of the vibration isolation base as an electrical signal, and a sensor that extracts the vibration of the vibration isolation base as an electrical signal; In a control device for an air spring vibration isolator that is composed of an electric/pneumatic converter that controls air pressure, the electric/pneumatic converter is controlled by a pilot room that balances the air pressure of the air spring support legs, and a vibration isolator base that balances the air pressure of the air spring support legs. A pilot chamber control valve that controls the air pressure in the pilot chamber according to the signal when displaced from the reference position, an air pressure source that supplies compressed air to the air spring support legs, primary piping connected to the air pressure source, and a diaphragm. secondary side piping adjacent to the pilot room and connected to the air spring support leg, 1
It is arranged between the next side piping and the secondary side piping, and when the vibration isolation base is displaced from the reference position, it opens and returns the vibration isolation base to the reference position. An on-off valve that connects the side piping and closes when the vibration isolating base returns to its reference position to cut off the primary and secondary piping, and a pilot chamber control valve that is in contact with the on-off valve. It moves with the displacement of the diaphragm caused by the air pressure control in the room and operates the on-off valve to supply compressed air from the primary side piping to the air spring support leg, or conversely, it moves away from the on-off valve and flows into the air spring support leg. 1. A control device for an air spring vibration isolator, comprising a lift valve that releases a required amount of air into the atmosphere, and a spring that presses and biases an on-off valve toward the lift valve.
部分の直径を、開閉弁が前記底部開口から離間するにつ
れて挿入部分の直径が細くなって１次側配管と底部開口
との間の開口幅が拡大する事を特徴とする特許請求の範
囲第２項に記載の空気ばね除振台の制御装置。(3) The diameter of the inserted part of the on-off valve inserted into the bottom opening of the primary side piping is such that as the on-off valve moves away from the bottom opening, the diameter of the inserted part becomes thinner, and the diameter of the inserted part becomes smaller as the on-off valve moves away from the bottom opening. The control device for an air spring vibration isolation table according to claim 2, wherein the opening width between the two is increased.
部分の直径を、開閉弁が大気開放孔から離間するにつれ
て挿入部分の直径が細くなって大気開放孔との間の開口
幅が拡大する事を特徴とする特許請求の範囲第２項に記
載の空気ばね除振台の制御装置。(4) The diameter of the insertion part of the on-off valve inserted into the atmosphere opening hole of the lift valve is determined by the diameter of the insertion part becoming thinner as the on-off valve moves away from the atmosphere opening hole, and the opening width between it and the atmosphere opening hole. The control device for an air spring vibration isolation table according to claim 2, wherein the air spring vibration isolating table is expanded.
ダンパ支持し、振動抑制対象の振動を電気的信号として
取り出し、この電気的信号に基づいて振動抑制対象の変
動量をキャンセルするように空気ばね支持脚の空気圧力
を制御してマスダンパを振動させる制御方法において、
空気ばね支持脚内の空気圧とバランスしているパイロッ
ト室の空気圧を前記電気的信号に基づいて制御し、パイ
ロット室の空気圧変動に合わせて空気ばね支持脚内の空
気圧を制御する事を特徴とするマスダンパの制御方法。(5) Support the mass damper with air spring support legs installed on the vibration suppression target, extract the vibration of the vibration suppression target as an electrical signal, and use the air to cancel the fluctuation amount of the vibration suppression target based on this electrical signal. In a control method for vibrating a mass damper by controlling the air pressure of a spring support leg,
The air pressure in the pilot chamber, which is balanced with the air pressure in the air spring support legs, is controlled based on the electrical signal, and the air pressure in the air spring support legs is controlled in accordance with the fluctuations in the air pressure in the pilot chamber. Mass damper control method.
ンパを支持するための空気ばね支持脚と、振動抑制対象
の振動を電気的信号として取り出すセンサと、前記信号
に基づいて空気ばね支持脚内の空気圧を制御する電・空
変換器とで構成されたマスダンパの制御装置において、
電・空変換器を、空気ばね支持脚の空気圧とバランスし
ているパイロット室、振動抑制対象が基準位置から変位
した時に前記信号に従ってパイロット室内の空気圧を制
御するパイロット室制御弁、空気ばね支持脚に圧縮空気
を供給する空圧源、空圧源に接続された１次側配管、ダ
イアフラムを介してパイロット室に隣接し且つ空気ばね
支持脚に接続された２次側配管、１次側配管と２次側配
管との間に配設され、振動抑制対象が基準位置から変位
した場合に開口してマスダンパを制御し、振動抑制対象
を基準位置に復帰させるように１次側配管と２次側配管
とをつなぎ、振動抑制対象が基準位置に復帰した時点で
閉じて１次側配管と２次側配管とを遮断する開閉弁、開
閉弁に当接しており且つパイロット室制御弁によるパイ
ロット室の空気圧制御に起因するダイアフラムの変位と
共に移動して開閉弁を作動して１次側配管から圧縮空気
を空気ばね支持脚に供給したり、逆に開閉弁から離間し
て空気ばね支持脚内の空気を必要量だけ大気放出する昇
降弁、開閉弁を昇降弁側に押圧付勢するバネとで構成し
た事を特徴とするマスダンパの制御装置。(6) A mass damper, an air spring support leg that is installed on the vibration suppression target to support the mass damper, a sensor that extracts the vibration of the vibration suppression target as an electrical signal, and a sensor that extracts the vibration of the vibration suppression target as an electrical signal, and a In a mass damper control device consisting of an electric/pneumatic converter that controls air pressure,
A pilot chamber that balances the electric/pneumatic converter with the air pressure of the air spring support legs, a pilot room control valve that controls the air pressure in the pilot chamber according to the signal when the vibration suppression target is displaced from the reference position, and the air spring support legs. a pneumatic source that supplies compressed air to the air pressure source, a primary piping connected to the pneumatic source, a secondary piping adjacent to the pilot chamber via a diaphragm and connected to the air spring support leg, and a primary piping. It is arranged between the primary side piping and the secondary side piping, and opens when the vibration suppression target is displaced from the reference position to control the mass damper and return the vibration suppression target to the reference position. An on-off valve that connects to the piping and closes when the vibration suppression target returns to its reference position to shut off the primary and secondary piping; It moves with the displacement of the diaphragm caused by air pressure control and operates the on-off valve to supply compressed air from the primary piping to the air spring support leg, or conversely, it moves away from the on-off valve and supplies the air inside the air spring support leg. A control device for a mass damper characterized by comprising a lift valve that releases a required amount of water into the atmosphere, and a spring that presses and biases an on-off valve toward the lift valve.
部分の直径を、開閉弁が前記底部開口から離間するにつ
れて挿入部分の直径が細くなって１次側配管と底部開口
との間の開口幅が拡大する事を特徴とする特許請求の範
囲第６項に記載のマスダンパの制御装置。(7) The diameter of the inserted part of the on-off valve inserted into the bottom opening of the primary side piping is such that as the on-off valve moves away from the bottom opening, the diameter of the inserted part becomes thinner and the diameter of the inserted part becomes smaller as the on-off valve moves away from the bottom opening. 7. The mass damper control device according to claim 6, wherein the opening width between the spaces is increased.
部分の直径を、開閉弁が大気開放孔から離間するにつれ
て挿入部分の直径が細くなって大気開放孔との間の開口
幅が拡大する事を特徴とする特許請求の範囲第６項に記
載のマスダンパの制御装置。(8) The diameter of the insertion part of the on-off valve inserted into the atmosphere opening hole of the lift valve is determined by the diameter of the insertion part becoming thinner as the on-off valve moves away from the atmosphere opening hole, and the opening width between it and the atmosphere opening hole. 7. The mass damper control device according to claim 6, wherein the mass damper is expanded.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24973690A JP3219198B2 (en) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | Method and apparatus for controlling air spring vibration isolation table or mass damper |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24973690A JP3219198B2 (en) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | Method and apparatus for controlling air spring vibration isolation table or mass damper |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04131530A true JPH04131530A (en) | 1992-05-06 |
| JP3219198B2 JP3219198B2 (en) | 2001-10-15 |
Family
ID=17197444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24973690A Expired - Fee Related JP3219198B2 (en) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | Method and apparatus for controlling air spring vibration isolation table or mass damper |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3219198B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5496621A (en) * | 1993-04-16 | 1996-03-05 | Central Glass Company, Limited | Glass pane with reflectance reducing coating and combiner of head-up display system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61112024U (en) * | 1984-12-26 | 1986-07-15 | ||
| JPH0221310A (en) * | 1988-07-11 | 1990-01-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | Support device for suppression of vibration |
-
1990
- 1990-09-18 JP JP24973690A patent/JP3219198B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61112024U (en) * | 1984-12-26 | 1986-07-15 | ||
| JPH0221310A (en) * | 1988-07-11 | 1990-01-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | Support device for suppression of vibration |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5496621A (en) * | 1993-04-16 | 1996-03-05 | Central Glass Company, Limited | Glass pane with reflectance reducing coating and combiner of head-up display system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3219198B2 (en) | 2001-10-15 |
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