JPH0413048U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0413048U JPH0413048U JP5153990U JP5153990U JPH0413048U JP H0413048 U JPH0413048 U JP H0413048U JP 5153990 U JP5153990 U JP 5153990U JP 5153990 U JP5153990 U JP 5153990U JP H0413048 U JPH0413048 U JP H0413048U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- magnet
- substrate support
- magnetic field
- facing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す一部省略要部平
面図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ線断面図、
第３図ａ，ｂは各々本考案の他の実施例を示す要
部平面図および要部縦断面図、第４図は磁石間の
位置と空隙磁束密度との関係を示す図、第５図は
従来のマグネトロンスパツタ装置の例を示す要部
縦断面図、第６図は繰り返し使用後のターゲツト
を示す要部縦断面図である。 ７ａ……中心磁石、７ｂ……環状磁石、７ｃ…
…中間磁石。
面図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ線断面図、
第３図ａ，ｂは各々本考案の他の実施例を示す要
部平面図および要部縦断面図、第４図は磁石間の
位置と空隙磁束密度との関係を示す図、第５図は
従来のマグネトロンスパツタ装置の例を示す要部
縦断面図、第６図は繰り返し使用後のターゲツト
を示す要部縦断面図である。 ７ａ……中心磁石、７ｂ……環状磁石、７ｃ…
…中間磁石。
Claims (1)
- 真空容器内に基板支持体およびターゲツトを相
互に対向して配設すると共に、これらの間に電源
を接続して電極を構成し、前記ターゲツトの背面
側に、中心磁石とこの中心磁石を間隔を介して包
囲する環状磁石とを異なる磁極をターゲツトに向
けて設けてなる磁界発生装置を設け、ターゲツト
の基板支持体との対向面の近傍に前記電源による
基板支持体とターゲツト間の電界に対して直交す
る磁界を発生するように構成したマグネトロンス
パツタ装置において、磁界発生装置を形成する中
心磁石および環状磁石のターゲツトと反対側の端
部近傍に平面方向に着磁してなる中間磁石を中心
磁石および環状磁石と異極を接して固着したこと
を特徴とするマグネトロンスパツタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5153990U JPH0413048U (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5153990U JPH0413048U (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0413048U true JPH0413048U (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=31571067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5153990U Pending JPH0413048U (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0413048U (ja) |
-
1990
- 1990-05-17 JP JP5153990U patent/JPH0413048U/ja active Pending