JPH04117605A - Manufacture of magnetic head - Google Patents

Manufacture of magnetic head

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JPH04117605A
JPH04117605A JP23763690A JP23763690A JPH04117605A JP H04117605 A JPH04117605 A JP H04117605A JP 23763690 A JP23763690 A JP 23763690A JP 23763690 A JP23763690 A JP 23763690A JP H04117605 A JPH04117605 A JP H04117605A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
ferrite
wafer
semicircular
wafers
Prior art date
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Pending
Application number
JP23763690A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Azuma
努 東
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

PURPOSE:To reduce the number of operations, and to improve an ingot utilizing efficiency by dividing a discoid ferrite wafer directly segmented from the ingot into almost two, and working a wounding groove, glass filling groove, and track groove on the semicicular ferrite wafer. CONSTITUTION:A discoid ferrite wafer 100 is divided into almost two, almost semicircular ferrite wafers 1A and 1B are combined with a base 101 and adhered to it, and a wounding groove and glass groove 200 are worked at the one semicircular ferrite wafer 1A. And also, a track groove 300 is worked at the both semicircular ferrite wafers 1A and 1B. Then, a film is fixed to the one semicircular ferrite wafer 1A, the other semicircular ferrite wafer 1B and the track groove 300 are made coincident, adhered, and integrated, plural blocks 400 are segmented by cutting it in the direction of the wounding groove 200, and the plural blocks 400 are sliced in the direction crossing the winding groove 200 in order to prepare a head chip 500. Thus, the number of operations can be reduced, and the ingot utilizing efficiency can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、ビデオテープレコーダ(以下VTRと記す
)等に使用される磁気ヘッドの製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head used in a video tape recorder (hereinafter referred to as VTR) and the like.

(従来の技術) VTRの磁気ヘッドを製造する場合は、第4図に示すよ
うな工程がとられている。
(Prior Art) When manufacturing a magnetic head for a VTR, the steps shown in FIG. 4 are used.

インゴットから切出された円板状のフェライトウェハ1
0(同図(a))は、所定の大きさの四角形に切り分け
られる。この分けられたウェハのうち、2枚のフェライ
トウェハ10aと10bは、1つのベース2oに貼り付
けられ(同図(b))、四辺が切落とされ形状が整えら
れる(同図(C))。
Disc-shaped ferrite wafer 1 cut out from an ingot
0 (FIG. 2(a)) is cut into rectangles of a predetermined size. Among these divided wafers, two ferrite wafers 10a and 10b are pasted on one base 2o ((b) in the same figure), and the four sides are cut off to adjust the shape ((c) in the same figure). .

片側のフェライトコアには、巻線溝、ガラス溝30が形
成され、その後、両方のフェライトウェハにトラック溝
40が加工される(同図(d))。
A winding groove and a glass groove 30 are formed in one ferrite core, and then track grooves 40 are formed in both ferrite wafers (FIG. 4(d)).

トラック溝40の加工が終わったところで、ベースから
取外され、洗浄され、巻線溝、ガラス溝30の形成され
ているウェハにギャップを得るための膜付けが行われる
(同図(e))。
Once the track grooves 40 have been processed, the wafer is removed from the base, cleaned, and coated with a film to form gaps on the wafer on which the winding grooves and glass grooves 30 have been formed ((e) in the same figure). .

膜付けの後、2枚が貼り合わされ、トラック溝を合せて
ガラスにより接着が行われる(同図f)。
After the film is attached, the two sheets are pasted together, and the track grooves are aligned and bonded with glass (f in the same figure).

ガラス接着の後、ブロックに分割され(同図(g))、
各ブロックのチップの摺動面側が曲面に研磨される(同
図(h)。曲面の仕上げが終了すると、ブロックのトラ
ック溝に沿ってスライスが行われ、チップが切出される
(同図i))。
After bonding the glass, it is divided into blocks ((g) in the same figure).
The sliding surface side of the chip of each block is polished into a curved surface ((h) in the same figure. Once the curved surface is finished, slicing is performed along the track groove of the block to cut out the chip ((i) in the same figure). ).

(発明が解決しようとする課題) 上記従来の磁気ヘッドの製造方法によると、その工程に
おいて、インゴットから円板状のフェライトウェーを作
り、さらに四角形のフェライトウェハーを再度切断して
製造している。このために工程数が多く、インゴットを
切り捨てるために無駄にする部分が多い。
(Problems to be Solved by the Invention) According to the conventional magnetic head manufacturing method described above, in the process, a disk-shaped ferrite wafer is made from an ingot, and then the square ferrite wafer is cut again. For this reason, the number of steps is large, and a lot of parts are wasted due to cutting the ingot.

そこでこの発明は、工程数を削減できるとともに、イン
ゴットの利用効率を向上できる磁気ヘッドの製造方法を
提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a magnetic head that can reduce the number of steps and improve the efficiency of ingot use.

[発明の構成] (課題を解決するだめの手段) この発明は、インゴットから直接切出した円板状のフェ
ライトウェハをほぼ1/2分割する工程と、このように
得られた第1と第2のほぼ半円状フェライトウェハーを
、ベースに組み合わせ貼り付ける工程と、一方の半円状
フェライトウェー八−に巻線溝、ガラス充填用溝を加工
し、また両方の半円状フェライトウニ/\−にトラック
溝を加工する工程と、上記ように加工された前記一方の
半円状フェライトウェハーに膜付けし、他方の半円状フ
ェライトウェハーと前記トラック溝を合致させて接着突
き合わせする工程と、この工程で一体化されたウエノ)
体を巻線溝の方向へ力・ソトし複数のブロックを切り出
す工程と、この工程で切り出されたブロックに対して、
テープ摺接面側を曲面仕上げする工程と、この工程で得
られたプロ・ツクを、巻線溝に交差する方向へスライス
してヘッドチップを得る工程とを備えるものである。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention includes a step of dividing a disk-shaped ferrite wafer directly cut out from an ingot into approximately 1/2, and a process of dividing the thus obtained first and second wafers into two parts. The process of assembling and pasting the approximately semicircular ferrite wafers on the base, processing winding grooves and glass filling grooves on one semicircular ferrite wafer, and forming both semicircular ferrite wafers/\- a step of forming track grooves on the ferrite wafer, a step of applying a film to one of the semicircular ferrite wafers processed as described above, aligning the track grooves with the other semicircular ferrite wafer, and abutting the track grooves with adhesive; Ueno integrated in the process)
The process of cutting out multiple blocks by force and twisting the body in the direction of the winding groove, and the blocks cut out in this process,
This process includes the step of finishing the tape sliding surface side with a curved surface, and the step of slicing the block obtained in this step in a direction intersecting the winding groove to obtain a head chip.

(作用) 上記の手段によりフェライトウェハーを四角形にする工
程が削減される。また、四角形のフェライトウェハーは
小さいために作業が不便であったが、大きな面積の半円
板状のウェハーのままその後の処理を行うために大量処
理を容易に行い、インゴットの利用効率を向上できる。
(Function) By the above means, the process of making the ferrite wafer into a square shape is eliminated. In addition, rectangular ferrite wafers were inconvenient to work with due to their small size, but since the large-area semi-disc-shaped wafers can be used for subsequent processing, large-volume processing can be easily performed and ingot usage efficiency can be improved. .

(実施例) 以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。(Example) Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図はこの発明の一実施例を示している。円板状のフ
ェライトウェハー100を、所定の厚さにラップし、ベ
ース101に貼り付ける。次に、フェライトウェハー1
00の直径方向の中心線に対して若干ずれた位置でカッ
トし、はぼ1/2に分割する(同図(a)、(b))。
FIG. 1 shows an embodiment of the invention. A disk-shaped ferrite wafer 100 is wrapped to a predetermined thickness and attached to a base 101. Next, ferrite wafer 1
It is cut at a position slightly shifted from the center line in the diametrical direction of 00, and divided into halves ((a) and (b) in the same figure).

次に、分割されたフェライトウェハーIA。Next, the divided ferrite wafer IA.

IBのうち一方、面積の大きい方の面に、直径方向に巻
線溝、ガラス溝200を加工する(同図(C))。この
溝加工の後、両方のフェライトウェハーIA、IBに渡
って、トラック溝300を加工する(同図(d)。また
、巻線溝、ガラス溝200を形成したほうのフェライト
ウェハーIAに。ギャップ部を得るために膜付けを行う
A winding groove and a glass groove 200 are machined in the diametrical direction on one of the IB surfaces having a larger area (FIG. 2(C)). After this groove processing, track grooves 300 are processed across both ferrite wafers IA and IB (FIG. 2(d)). Also, on the ferrite wafer IA on which the winding grooves and glass grooves 200 have been formed. Gap A film is applied to obtain the desired part.

この後、フェライトウェハーIA、1Bをベース101
から取り離しく同図(e)) 、互いのフェライトウェ
ハーのトラック溝300を合致させて、突き合わせ巻線
溝、ガラス溝200にガラスを充填して接着し、両者を
一体化する(同図(f))。
After this, ferrite wafer IA, 1B is attached to base 101.
The track grooves 300 of the ferrite wafers are aligned, and the butted winding grooves and glass grooves 200 are filled with glass and bonded to integrate the two (see figure (e)). f)).

このとき、はぼ1/2分割時のときにセンターをずらし
ているので、貼り合わせた2枚のフェライトウェハーの
外周には径方向への段差しが生じる。
At this time, since the center of the wafer is shifted when it is divided into 1/2, a step is created in the radial direction on the outer periphery of the two bonded ferrite wafers.

貼り付けの終わったウェハ一体は、巻線溝方向にそって
カットされる。これにより、多数のブロック400を得
ることができる(同図(g))。
The wafer after pasting is cut along the direction of the winding groove. As a result, a large number of blocks 400 can be obtained ((g) in the same figure).

この場合、ブロックの巻線溝方向長さはそれぞれ異なる
ことになる。
In this case, the lengths of the blocks in the winding groove direction are different from each other.

これらの各ブロック400に対して、それぞれテープ摺
接面となる部分を研削により曲面仕上げする(同図(h
))。この場合、ブロックには段差りが生じているため
に、ブロックの側面からデプスを読み取ることができ、
段差の分読み取りが容品である。従来であると、ブロッ
クの端面から面積の狭いガラス溝断面の範囲でしか読み
取ることができなかったが、この方式であると、ガラス
溝の露出面積が段差のために広くなっている。よって、
曲面仕上げするときの作業も容易である。
Each of these blocks 400 is finished with a curved surface by grinding the portion that will become the tape sliding surface (see figure (h)
)). In this case, since the block has a step, the depth can be read from the side of the block.
The reading for the difference in level is acceptable. Conventionally, it was possible to read only the narrow cross-sectional area of the glass groove from the end face of the block, but with this method, the exposed area of the glass groove is wide due to the step. Therefore,
Work when finishing curved surfaces is also easy.

曲面仕上げされたブロックは、ベース(図示せず)に貼
り付けて、トラック溝に沿ってスライスする(同図(i
))。これにより同図N)に示すようなヘッドチップ5
00を得ることができる。
The curved block is pasted on a base (not shown) and sliced along the track grooves (see figure (i)
)). As a result, the head chip 5 as shown in FIG.
00 can be obtained.

なお、巻線溝とガラス溝については、詳細に区別示しさ
なかったが、同図(j)に示すように、ヘッドチップ5
00の後部に切り欠きのように形成される部分501が
ガラス溝であり、ここにガラスが充填されて2つのコア
半休が接合されている。
Although the winding groove and the glass groove are not distinguished in detail, as shown in FIG.
A portion 501 formed like a notch at the rear of 00 is a glass groove, which is filled with glass to join the two core halves.

この発明は、上記の実施例に限定されるものではない。The invention is not limited to the above embodiments.

上記の実施例では、結晶方位の同じフェライトウェハー
IA、IBを用いたが、方位の異なるもので、コア半休
を得る場合は、第2図に示すように、方位の異なる方向
に1/2分割したフェライトウェハー2A、3A同志を
組み合わせ、ベース101に貼り付けてもよい(同図(
a)、(b)。そして、中心線をずらすようにフェライ
トウェハー2A、2Bを加工(同図(c))して準備す
る。この後の処理は、先の説明した処理と同じである。
In the above example, ferrite wafers IA and IB with the same crystal orientation were used, but when using ferrite wafers with different orientations and obtaining core half-break, as shown in Fig. The ferrite wafers 2A and 3A may be combined and attached to the base 101 (as shown in the figure).
a), (b). Then, the ferrite wafers 2A and 2B are prepared by processing them so that their center lines are shifted (FIG. 2(c)). The subsequent processing is the same as the processing described above.

なお、ブロック長の小さなものは使用しないことを前提
として、第3図に示すように、巻線溝、ガラス溝、トラ
ック溝を形成した後、予め、フェライトウェハIA、I
Bの端部4A、4Bを切り離しておき(同図(a)) 
、その後の加工(同図(b))を進めてもよい。
Note that, assuming that blocks with small block lengths are not used, as shown in FIG. 3, after forming the winding groove, glass groove, and track groove, the ferrite wafers IA, I
Cut off the ends 4A and 4B of B ((a) in the same figure).
, the subsequent processing (FIG. 6(b)) may proceed.

[発明の効果] 以上説明したようにこの発明によれば、工程数を削減で
きるとともに、インゴットの利用効率を向上でき、曲面
仕上げ時の作業も容易になる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the number of steps can be reduced, the efficiency of ingot use can be improved, and the work at the time of finishing a curved surface can be facilitated.

また、大きな面積のウェハを扱うので大量生産上の作業
性がよい。
In addition, since large-area wafers are handled, workability for mass production is good.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例を示す工程説明図、第2図
及び第3図はそれぞれこの発明の他の実施例を説明する
ために示した図、第4図は従来の製造工程を説明するた
めに示した図である。 100・・・円板状フェライトウェハー 101・・・
ベース、IA、IB・・・フェライトウニI\−200
・・・巻線溝、ガラス溝、300・・・トラック溝、4
00・・・ブロック。
Fig. 1 is a process explanatory diagram showing one embodiment of the present invention, Figs. 2 and 3 are diagrams shown to explain other embodiments of the invention, respectively, and Fig. 4 is a diagram showing a conventional manufacturing process. It is a figure shown for explanation. 100...Disc-shaped ferrite wafer 101...
Base, IA, IB... Ferrite Urchin I\-200
...Winding groove, glass groove, 300...Track groove, 4
00...Block.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 インゴットから直接切出した円板状のフェライトウェハ
をほぼ1/2分割する工程と、 このように得られた第1と第2のほぼ半円状フェライト
ウェハーを、ベースに組み合わせ貼り付ける工程と、 一方の半円状フェライトウェハーに巻線溝、ガラス充填
用溝を加工し、また両方の半円状フェライトウェハーに
トラック溝を加工する工程と、上記ように加工された前
記一方の半円状フェライトウェハーに膜付けし、他方の
半円状フェライトウェハーと前記トラック溝を合致させ
て接着突き合わせする工程と、 この工程で一体化されたウェハ体を巻線溝の方向へカッ
トし複数のブロックを切り出す工程と、この工程で切り
出されたブロックに対して、テープ摺接面側を曲面仕上
げする工程と、 この工程で得られたブロックを、巻線溝に交差する方向
へスライスしてヘッドチップを得る工程とを具備したこ
とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
[Claims] A step of dividing a disk-shaped ferrite wafer directly cut out from an ingot into approximately 1/2, and combining the first and second approximately semicircular ferrite wafers obtained in this way into a base. a step of pasting, a step of machining a winding groove and a glass filling groove on one semicircular ferrite wafer, a step of machining a track groove on both semicircular ferrite wafers, and a step of machining one of the semicircular ferrite wafers as described above. The process includes applying a film to one semicircular ferrite wafer, aligning the track grooves with the other semicircular ferrite wafer, and bonding them together, and cutting the integrated wafer body in this process in the direction of the winding groove. A process of cutting out multiple blocks, a process of finishing the blocks cut out in this process with a curved surface on the tape sliding contact side, and slicing the blocks obtained in this process in a direction intersecting the winding groove. 1. A method for manufacturing a magnetic head, comprising the step of: obtaining a head chip.
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