JPH0398329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0398329U JPH0398329U JP724990U JP724990U JPH0398329U JP H0398329 U JPH0398329 U JP H0398329U JP 724990 U JP724990 U JP 724990U JP 724990 U JP724990 U JP 724990U JP H0398329 U JPH0398329 U JP H0398329U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sleeve
- housing
- rotating shaft
- magnetic fluid
- supports
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
第1図は、この考案の一実施例に係る磁性流体
シールユニツトを本体装置の一例であるダイレク
トドライブモータに取り付けた例を示す図である
。第2図は、第1図中の4点接触軸受の拡大図で
ある。第3図は、イオン注入装置の一例を部分的
に示す図である。第4図は、従来の磁性流体シー
ルユニツトの一例を示す図である。 50……ダイレクトドライブモータ(本体装置
)、54……出力軸(回転軸)、56……軸受、
60……実施例に係る磁性流体シールユニツト、
62……ハウジング、64……スリーブ、66…
…シール部、68……4点接触軸受。
シールユニツトを本体装置の一例であるダイレク
トドライブモータに取り付けた例を示す図である
。第2図は、第1図中の4点接触軸受の拡大図で
ある。第3図は、イオン注入装置の一例を部分的
に示す図である。第4図は、従来の磁性流体シー
ルユニツトの一例を示す図である。 50……ダイレクトドライブモータ(本体装置
)、54……出力軸(回転軸)、56……軸受、
60……実施例に係る磁性流体シールユニツト、
62……ハウジング、64……スリーブ、66…
…シール部、68……4点接触軸受。
Claims (1)
- 回転軸およびそれを支える軸受を有する本体装
置に取り付けて使用されるものであつて、ハウジ
ングと、前記回転軸に嵌め合わされるシリーブと
、このハウジングとスリーブとの間に設けられて
いて磁性流体を用いて両者間を真空シールするシ
ール部と、前記スリーブを前記ハウジングから支
えるものであつて、そのボールと内輪および外輪
とが合計4点で接触している4点接触軸受とを備
えることを特徴とする磁性流体シールユニツト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP724990U JPH0398329U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP724990U JPH0398329U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0398329U true JPH0398329U (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=31510911
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP724990U Pending JPH0398329U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0398329U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5927448A (ja) * | 1982-05-12 | 1984-02-13 | ユニオン・カ−バイド・コ−ポレ−シヨン | 電池カバ− |
JPS6442577A (en) * | 1987-08-08 | 1989-02-14 | Nissin Electric Co Ltd | Ion treating device |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP724990U patent/JPH0398329U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5927448A (ja) * | 1982-05-12 | 1984-02-13 | ユニオン・カ−バイド・コ−ポレ−シヨン | 電池カバ− |
JPS6442577A (en) * | 1987-08-08 | 1989-02-14 | Nissin Electric Co Ltd | Ion treating device |