JPH0385523U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0385523U JPH0385523U JP14686789U JP14686789U JPH0385523U JP H0385523 U JPH0385523 U JP H0385523U JP 14686789 U JP14686789 U JP 14686789U JP 14686789 U JP14686789 U JP 14686789U JP H0385523 U JPH0385523 U JP H0385523U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photodiode array
- substrate
- fixing
- stage
- light source
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
第1図は本考案に係るフオトダイオードアレイ
の取付装置の一実施例を示す構成ブロツク図、第
2図は第1図装置のPDA3の詳細を示す部分説
明図、第3図は第1図装置の位置決めの様子を示
す動作説明図、第4図は従来のフオトダイオード
アレイの位置決めの様子を示す説明図である。 1……基板、3……フオトダイオードアレイ、
6……XYステージ、7……固定手段、8……光
源、10……制御回路、11……XYステージコ
ントローラ。
の取付装置の一実施例を示す構成ブロツク図、第
2図は第1図装置のPDA3の詳細を示す部分説
明図、第3図は第1図装置の位置決めの様子を示
す動作説明図、第4図は従来のフオトダイオード
アレイの位置決めの様子を示す説明図である。 1……基板、3……フオトダイオードアレイ、
6……XYステージ、7……固定手段、8……光
源、10……制御回路、11……XYステージコ
ントローラ。
Claims (1)
- 光学式ロータリーエンコーダのスリツトを通過
した光を検出するフオトダイオードアレイを基板
に位置決めして取付ける装置において、フオトダ
イオードアレイを固定するXYステージと、前記
フオトダイオードアレイに光を照射する光源と、
この光源に対して光学式ロータリーエンコーダの
基板と同一の位置に基板を固定する固定手段と、
前記フオトダイオードアレイの出力に対応して前
記XYステージの位置を制御する制御手段とを備
えたことを特徴とするフオトダイオードアレイの
取付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14686789U JPH0385523U (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14686789U JPH0385523U (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0385523U true JPH0385523U (ja) | 1991-08-29 |
Family
ID=31693409
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14686789U Pending JPH0385523U (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0385523U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007298187A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Kaneko:Kk | クラッカー |
EP3052895A1 (en) * | 2013-10-01 | 2016-08-10 | Renishaw PLC | Method of manufacturing an electronic component |
-
1989
- 1989-12-20 JP JP14686789U patent/JPH0385523U/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007298187A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Kaneko:Kk | クラッカー |
EP3052895A1 (en) * | 2013-10-01 | 2016-08-10 | Renishaw PLC | Method of manufacturing an electronic component |
JP2016536577A (ja) * | 2013-10-01 | 2016-11-24 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 電子コンポーネントを製造する方法 |
EP3052895B1 (en) * | 2013-10-01 | 2021-06-16 | Renishaw PLC | Method of manufacturing an electronic component |