JPH0381508U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0381508U JPH0381508U JP14425189U JP14425189U JPH0381508U JP H0381508 U JPH0381508 U JP H0381508U JP 14425189 U JP14425189 U JP 14425189U JP 14425189 U JP14425189 U JP 14425189U JP H0381508 U JPH0381508 U JP H0381508U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- accelerometer
- measures
- displacement sensor
- measured
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す変位センサー
の回路図、第２図は振動検出素子（加速度計）の
拡大断面図である。第３図は変位センサーの作用
を示す波形図、第４図は同使用状態の一例を示す
側断面図の概略図である。第５図と第６図は従来
の変位センサー使用状態を示す側断面図の各概略
図である。 １……変位センサー、２……変位計、３……加
速度計（振動検出素子）、４……レーザー光源（
半導体レーザー）、５……リニアイメージセンサ
ー、２０……被測定物。
の回路図、第２図は振動検出素子（加速度計）の
拡大断面図である。第３図は変位センサーの作用
を示す波形図、第４図は同使用状態の一例を示す
側断面図の概略図である。第５図と第６図は従来
の変位センサー使用状態を示す側断面図の各概略
図である。 １……変位センサー、２……変位計、３……加
速度計（振動検出素子）、４……レーザー光源（
半導体レーザー）、５……リニアイメージセンサ
ー、２０……被測定物。
Claims (1)
- 被測定物の変位を測定する変位計と、該変位計
の加速度を測定する加速度計とを組み込んで構成
したことを特徴とする変位センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14425189U JPH0381508U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14425189U JPH0381508U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0381508U true JPH0381508U (ja) | 1991-08-20 |
Family
ID=31690975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14425189U Pending JPH0381508U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0381508U (ja) |
-
1989
- 1989-12-13 JP JP14425189U patent/JPH0381508U/ja active Pending