JPH0371402A - Production of magnetic head - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明はコンピュータ等の外部記ｆ、装置であるハード
ディスクドライブに用いられるコンボジフト型ヘッドの
製造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a method for manufacturing a combo head used in a hard disk drive, which is an external storage device for a computer or the like.
（ロ） 従来の技術
近午、ハードディスクドライブ装置においても、小型化
の要求が著しく記録媒体への高密度記録が重要な問題に
なっている。このため、従来の酸化物の塗布型の磁気デ
ィスクに代って抗磁力（Ｈｅ）の高い金属薄膜型の磁気
ディスクが記録媒体として開発されている。この様な金
属薄膜型の磁気ディスクに対応する磁気ヘッドとしては
、例えば特開昭６２−２９５２０７号公報（６１１Ｂ
Ｓ ／ ２３ ）等に開示されているようにｆｉｔｓ来
のモノリシック型やコンポジット型の浮動型磁気へノド
のギャップ衝き合わせ面にセンダストヤアモルファス磁
性合金等の高飽和磁束密度材料をスパッタリングによっ
て底膜したＭＩＧ型（メタル・イン・ギャップ型）の浮
動型磁気へラドが提案されている。(b) Prior Art Recently, there has been a significant demand for miniaturization in hard disk drive devices, and high-density recording on recording media has become an important issue. For this reason, metal thin film magnetic disks with high coercive force (He) have been developed as recording media in place of conventional oxide coated magnetic disks. As a magnetic head compatible with such a metal thin film type magnetic disk, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 62-295207 (611B
As disclosed in S/23), etc., a high saturation magnetic flux density material such as Sendustya amorphous magnetic alloy is formed as a bottom film by sputtering on the gap abutting surface of the monolithic type or composite type floating type magnetic heel. A MIG type (metal-in-gap type) floating magnetic helad has been proposed.
第１２図は完成したコンポジット型磁気・＼ラドの斜視
図を示す図で、第１１図（ａ）に示す磁気コア（２１）
を第１１図（ｂ）に示すスライダー（２２）のスノット
（２３）に挿入した後に接合用ガラス（２４＞（２４）
を用いて磁気コア（２１）をスライダー（２２）に固定
し、チャンファ一部（２５）等の外形成形加工を行ない
完成させるのである。Figure 12 is a diagram showing a perspective view of the completed composite type magnetic/rad, with the magnetic core (21) shown in Figure 11(a).
is inserted into the snot (23) of the slider (22) shown in FIG. 11(b), and then the bonding glass (24>(24)
The magnetic core (21) is fixed to the slider (22) using a screwdriver, and the outer shape of a portion of the chamfer (25) etc. is completed.
また、最近は上記した第１１図（ａ）の如き片側のコア
半体（２１ａ）に巻線溝（２６）を設けたＣ−１型コア
に代えて、第１３図に示す様な再生特性面で有利な両方
のコア半体（２７）（２７）に巻線溝（２８）（２８）
を設けたｃ−ｃｙｒコアが用いられ始めている。Recently, in place of the C-1 type core in which a winding groove (26) is provided in the core half (21a) on one side as shown in FIG. 11(a), a regeneration characteristic as shown in FIG. Winding grooves (28) (28) in both core halves (27) (27) which are advantageous in terms of surface
C-cyr cores equipped with these are beginning to be used.
以下にＣ−Ｃ型のメタルインギャップ型の磁気ヘッドの
製造方法について説明する。A method of manufacturing a C-C type metal-in-gap magnetic head will be described below.
先ず、Ｍ ｎ −Ｚ ｎフェライトよりなる＠１、第２
の基板（２９ａ ） ・（２９ｂ ）を用意し、該基板
（２９ａ）（２９ｂ）の上面と下面を鏡面研磨した後、
第１・１図に示すように第１の基板（２９ａ）の上面（
ギャップ形成面）にセンダスト等の強磁性金属薄膜（３
ｏ）とＳｉＯ２等のギャップスペーサ（３１）をスパッ
タリングにより所望の膜厚分ｔごけ被着形成する。また
、第２の基板（２９ｂ）の」二面（ギャップ形成面）に
は所望のトラック幅よりも少許幅広の予備トラック幅（
１）が得られるように一定のピッチで予備加工溝（３２
）を形成する。First, @1 made of M n -Z n ferrite, and the second
After preparing the substrates (29a) and (29b) and mirror-polishing the upper and lower surfaces of the substrates (29a) and (29b),
As shown in Figure 1.1, the top surface (
A ferromagnetic metal thin film such as sendust (3
o) and a gap spacer (31) made of SiO2 or the like are deposited to a desired thickness t by sputtering. Further, on the second surface (gap forming surface) of the second substrate (29b), a preliminary track width (
Pre-machined grooves (32
) to form.
次に第１５図の如く第２の基板（２９ｂ）の上面にデプ
スエンド溝（３３）を設け、前記予備加工溝（３２）と
デプスエンド溝（３３）に第１のガラス（３４）を充填
し、第１の基板（２９ａ）の、上面の戊膜部（３５）
［強磁性金属薄膜（３０）とギャップスペーサ（３１）
］を、反りの緩和、ガラス接合力の向上のため所望のト
ラック幅より幅広の予備トラック幅（ｔｏ）が得られる
ように一定のピッチで加工する。Next, as shown in FIG. 15, a depth end groove (33) is provided on the upper surface of the second substrate (29b), and the pre-processed groove (32) and depth end groove (33) are filled with a first glass (34). The top layer (35) of the first substrate (29a)
[Ferromagnetic metal thin film (30) and gap spacer (31)
] are processed at a constant pitch so as to obtain a preliminary track width (to) wider than the desired track width in order to alleviate warpage and improve glass bonding strength.
その後、第１６図（ａ）（ｂ）に示す様に第１の基板・
第２の基板（２９ａ）（２９ｂ）の上面には各々巻線溝
（３６）（３７）を設け、その上面側同士を第１７図の
如く突き合せて、加熱してガラス溶着して第１９図に示
す溶着ウェーハー（３８）を得る。その溶着ウェーハー
（３８）を破線Ａ−Ａ’に沿って切断してコアブロック
を形威し、コアブロックの媒体対向面に所望のトラック
幅Ｔが得られるように、一定のピッチでトラック幅規制
講和１Ｈｒ（ｒ＜ｔ、ｔ’）を施して媒体対向突部を形
成する。そして最後にコアブロックをスライスすること
により第１３図の如きＣ−Ｃ型の磁気コアを形成Ｔる（
第１Ｏ図参照）。After that, as shown in FIGS. 16(a) and (b), the first substrate
Winding grooves (36) and (37) are provided on the upper surfaces of the second substrates (29a) and (29b), respectively, and the upper surfaces are butted against each other as shown in FIG. 17, and the glass is welded by heating. The welded wafer (38) shown in the figure is obtained. The welded wafer (38) is cut along the broken line AA' to form a core block, and the track width is regulated at a constant pitch so that the desired track width T is obtained on the medium facing surface of the core block. The medium facing protrusion is formed by applying 1 hour of peace (r<t, t'). Finally, by slicing the core block, a C-C type magnetic core as shown in Fig. 13 is formed (
(See Figure 1O).
（ハ）発明が解決しようとする課題
上記方法を用いて磁気へラドコアを’ｌ遺した場合、第
１７図に示すように第２基板＜２６ｂ）のデプスエンド
溝（３３）にしかガラスが入っていないために、第１基
板（２９ａ）のデプスエンド溝（３９）にも流し込ませ
るためにはそのガラスの軟化点よりもがなり高い温度で
溶着する必要があり、そのような場合はガラスがかなり
流動性をもつために第１８図（ａ）に示す様に両方のデ
プスエンド溝（３３）（３９）に略対称にガラスを入れ
ることは極めて困難であって、溶着時の温度や保持時間
等によって第１８図（ｂ）及び第１８図（ｃ）の様にど
ちらかにガラスが引き寄せられ、巻線を施すスペースが
減少したり、接合強度が弱くなるという欠点があった。(c) Problems to be Solved by the Invention When the magnetic helad core is left behind using the above method, the glass only enters the depth end groove (33) of the second substrate <26b) as shown in Fig. 17. Therefore, in order to flow into the depth end groove (39) of the first substrate (29a), it is necessary to weld at a temperature higher than the softening point of the glass. Because the glass has considerable fluidity, it is extremely difficult to fill both depth end grooves (33) and (39) symmetrically as shown in Figure 18(a), and the temperature and holding time during welding are extremely difficult. As shown in FIGS. 18(b) and 18(c), the glass is drawn to one side or the other, resulting in a reduction in the space for winding and a weakening of the bonding strength.
また、第１６図（ａ）の底膜・パターニングした第１基
板（２９ａ）にデプスエンド溝（３つ）、巻線溝（３６
）を加工する際に成膜部（３５）を直桜ダイヤモンド砥
石等で除去すると、第１８図（ｄ）の如く、成膜部（３
５）の端部が浮上がったり或いは膜全体がはく離する等
の問題が発生し、特に膜が完全にはく離せずに部分的に
浮上がった状態になっている場合、その部分が疑似ギャ
ップとして作用し、性能劣化の大きな要因となっていた
。In addition, depth end grooves (3) and winding grooves (36
), if the film-formed part (35) is removed with a straight Sakura diamond grindstone etc., the film-formed part (35) will be removed as shown in Fig. 18(d).
5) If a problem occurs such as the edge part floating or the entire film peeling off, especially if the film cannot be completely peeled off and is partially lifted, that part may act as a pseudo gap. This was a major cause of performance deterioration.
（ニ）課題を解決するための手段
本発明はギャップ近傍部に強磁性金属薄膜を配置し、且
つ両方のコア半体に巻線溝を設けた磁気コアをスライダ
ーに固定してなる磁気へ・・ｌドの製造方法に於いて、
強磁性酸化物材料からなる第１の基板の」二面に第１デ
プスエンド溝を設け、強磁性酸化物材料からなる第２の
基板の上面に第２デプスエンド溝と予備トラックとを設
け、前記第１の基板の第１デプスエンド溝と予備トラッ
ク溝そして前記第２基板の第２デプスエンド溝にガラス
を充填する第１の工程と、
前記第１基板に所望のトラック幅より幅広の強磁性金属
薄膜及びギャップスペーサを被着形成する第２の工程と
、
前記第１の基板及び第２の基板に巻線溝を設ける第３の
工程と、
前記第１の基板と第２の基板とをガラスにより接合して
コアブロックを形成する第４の工程と、前記コアブロッ
クの媒体対向面に所望のトラック幅の媒体対向突部を形
成する第５の工程と、前記コアブロックを所定の間隔で
スライシングする第６の工程により磁気コアを形成した
後、該磁気コアをガラスによりスライダーに固定するこ
とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法を提案する。(d) Means for Solving the Problems The present invention provides a magnetic core in which a ferromagnetic metal thin film is arranged in the vicinity of the gap and a magnetic core with winding grooves provided in both core halves is fixed to a slider.・In the method for manufacturing an LD, a first depth end groove is provided on two sides of a first substrate made of a ferromagnetic oxide material, and a second depth end groove is provided on the top surface of a second substrate made of a ferromagnetic oxide material. a first step of providing a depth end groove and a preliminary track, and filling the first depth end groove and preliminary track groove of the first substrate and the second depth end groove of the second substrate with glass; a second step of depositing and forming a ferromagnetic metal thin film and a gap spacer wider than a desired track width on the substrate; a third step of providing a winding groove on the first substrate and the second substrate; a fourth step of bonding the first substrate and the second substrate with glass to form a core block; and a fifth step of forming a medium facing protrusion with a desired track width on the medium facing surface of the core block. and a sixth step of slicing the core block at predetermined intervals to form a magnetic core, and then fixing the magnetic core to a slider with glass.
また、前記第２の工程において、第１の基板の上面全域
に強磁性金属薄膜及びギャップスペーサを被着した後、
ドライエツチングにより不要部分を除去する際、その強
磁性金属薄膜とギャップスペーサとの除去幅をｌ゛、巻
線溝の溝幅をｌとするとｌ＞ｌ’となる様に除去し、
また、所望のトラック幅より幅広の強磁性金属ｉ］！膜
及びギャップスペーサを形成することを特徴とした磁気
ヘッドの製造方法を提案する。Further, in the second step, after depositing a ferromagnetic metal thin film and a gap spacer on the entire upper surface of the first substrate,
When removing unnecessary parts by dry etching, if the removal width of the ferromagnetic metal thin film and gap spacer is l', and the groove width of the winding groove is l, it is removed so that l>l'. A ferromagnetic metal whose width is wider than the track width of i]! A method for manufacturing a magnetic head characterized by forming a film and a gap spacer is proposed.
（ホ）作 用
」二足手段によると、第１及び第２の基板のデプスエン
ド溝に溶着前にあらかじめガラスを充填しておくことに
よって接合用ガラスの軟化前よりも５０゛〜１００°程
度高い温度、すなわち接合用ガラスがあまり流動性をも
っていない温度で溶着が可能となる。(E) According to the "two-legged means", by filling the depth end grooves of the first and second substrates with glass in advance before welding, the bonding glass is softened by about 50° to 100°. Welding can be performed at high temperatures, that is, temperatures at which the bonding glass does not have much fluidity.
また、強磁性金属薄膜とギャップスペーサをエツチング
する際、巻線溝幅よりも広くすることによって巻線溝加
工時に砥石と強磁性金属薄膜及びギヤノブスペーサに接
触することがなくなる。Furthermore, when etching the ferromagnetic metal thin film and the gap spacer, by making the width wider than the winding groove, the grinding wheel does not come into contact with the ferromagnetic metal thin film and the gear knob spacer during etching the winding groove.
（へ）実施例
以下、第１図乃至第１０図に従・）て本発明の磁気へ７
ドコアの製造方法について説明する。まず、第２図に示
す様に２枚１組のＭ ｎ −Ｚ ｎフェライトよりなる
第１、第２基板（１ａ）（ｌｂ）を用意し、前記第２基
板（１ｂ）に予備トラック幅ｔが得られるように、一定
のピンチＰで予備トランク溝（２）を形成し、第３図に
示す様に第１、第２基板（ｌａ）（ｌｂ）に第１、第２
デプスエンド溝（３ａ）（３ｂ）を設け、第４図に示す
様に予備トラｌり溝（２）、第１、第２デプスエンド溝
（３ａ）（３ｂ）に溶着ガラス（４）を充填し、第１、
第２基板（ｌａ）（ｌｂ）のギャップ突合せ面（ｌａ’
）（ｌｂ’）を鏡面研磨する。(To) Examples and following, according to Figures 1 to 10.) To the magnetism of the present invention 7
The method for manufacturing docoa will be explained. First, as shown in FIG. 2, a pair of first and second substrates (1a) (lb) made of Mn-Zn ferrite are prepared, and a preliminary track width t is set on the second substrate (1b). A preliminary trunk groove (2) is formed with a certain pinch P so that a
Depth end grooves (3a) (3b) are provided, and welded glass (4) is filled in the preliminary fall groove (2), first and second depth end grooves (3a) (3b) as shown in Figure 4. First,
Gap butt surface (la') of second substrate (la) (lb)
) (lb') is mirror polished.
次に第５図の破線Ａ−Ａ’に示す様に第２基板（１ｂ）
に巻線溝（５〉を設け、第１基板（１ａ）には第６図に
示す様に金属磁性体例えばセンダスト膜（６）とギャッ
プスペーサであるＳｉＯ，模（７）を所望の膜厚分だけ
形成する。本実施例ではセンダスト膜（６）は対向ター
ゲット型スパッタ装置を用いて２．５ ｕｍ、Ｓ ｉ
Ｏ，膜（７）はイオンブレーティング装置を用いて０
、６７１ｍ形成した。Next, as shown in the broken line A-A' in Fig. 5, the second substrate (1b)
A winding groove (5) is provided on the first substrate (1a), and a metal magnetic material such as a sendust film (6) and a SiO pattern (7) as a gap spacer are coated to the desired thickness on the first substrate (1a) as shown in FIG. In this example, the sendust film (6) is formed to a thickness of 2.5 um using a facing target type sputtering device.
O, the membrane (7) is 0 using an ion blating device.
, 671m long.
次に、前記第１基板（１ａ）はイオンビームエツチング
装置等のドライエツチング装置を用いて第７図に示す様
に前記予備トラック幅【とばば同じ幅のパターン幅ｔ゛
が得られるようにパターニングを行なう。また第８図に
示す様に予備トラ；・りに垂直方向の抜き幅（２′）は
前記巻線溝（５）の輻（ｇ）よりも大きくなるようにし
ている。本実施例ではｇ＝＝４０６μｍに対してｌ ’
＝ ６２ （ｌ μｍ、：した。この後に第８図の波線
Ｂ−Ｂ’の如く巻線溝（８）を設け、予備トラック幅ｔ
とパターン幅ｔ’ ２つの巻線溝（５）（８）が一致
する様に位置決めして、加圧・加熱してガラス溶着を行
なう。Next, the first substrate (1a) is patterned using a dry etching device such as an ion beam etching device so as to obtain a pattern width t having the same width as the preliminary track width, as shown in FIG. Do this. Further, as shown in FIG. 8, the vertical width (2') of the preparatory tube is set to be larger than the radius (g) of the winding groove (5). In this example, l' for g==406 μm
= 62 (l μm, :) After this, a winding groove (8) is provided as shown by the wavy line B-B' in Fig. 8, and the preliminary track width t is
and pattern width t' The two winding grooves (5) and (8) are positioned so that they match, and glass welding is performed by applying pressure and heating.
本実施例では軟化点５９０°のガラスを用いて６７０”
で溶着を行なった。即ち、従来方法に比べて５０〜８０
’溶着温度を低くした。In this example, glass with a softening point of 590° is used.
Welding was done with. That is, compared to the conventional method, the
'The welding temperature was lowered.
次に第９図の溶着ブロックを破線Ｃ−Ｃ’で切断し、所
望の外形寸法に底形したのちに磁気媒体（例えばディス
ク〉との対向面に第１０図に示す所望のトラック幅Ｔ
（Ｔｉｔ、ｔ’）が得られる様にトラック溝加工（９）
を行なう。本実施例では予備トラック輻ｔとパターン幅
ｔ′を４０μｍ、トラック幅Ｔは１２．７μｍで行なっ
た。そして最後に第１０図の一点鎖線Ｉ）−Ｄ’でスラ
イシングを行ない第１図のＣ−Ｃ型ＭＵＧコアを完成さ
せる。Next, the welded block shown in FIG. 9 is cut along the broken line C-C', the bottom is shaped to the desired external dimensions, and the desired track width T shown in FIG.
Track groove machining to obtain (Tit, t') (9)
Do this. In this embodiment, the preliminary track width t and pattern width t' were 40 μm, and the track width T was 12.7 μm. Finally, slicing is performed along the dashed line I)-D' in FIG. 10 to complete the CC type MUG core shown in FIG.
（ト）発明の効果
本発明の製造方法によると、磁気コアの巻線溝付近の接
合用ガラスの溶着形状が等しいので巻線工程が容易にな
って大量生産が可能となり、また、巻線溝の溝幅よりも
大きく強磁性金属ｒＩｉ膜及びギャップスペーサを除去
したので、巻線溝加工時の膜ハガレが減少し、歩留りが
向上すると共に、膜の浮上がりによる疑似ギャップが激
減し性能の向上が達成されるので極めて有益である。(G) Effects of the Invention According to the manufacturing method of the present invention, the welded shape of the bonding glass near the winding groove of the magnetic core is the same, making the winding process easier and mass production possible. Since the ferromagnetic metal rIi film and gap spacer are removed to a width larger than the groove width, film peeling during winding groove processing is reduced, yield is improved, and false gaps due to film lifting are drastically reduced, improving performance. This is extremely beneficial as it achieves this.
第１図乃至第ｉｏ図は本発明の磁気ヘッドの製造方法を
示す図、第１１図（ａ）（ｂ）及び第１２図、第１３図
は一般的なコンボジヴト型磁気ヘッドを説明するための
図、第１４図乃至第１９図は従来の磁気ヘッドの製造方
法を示す図である。
（ｌａ）・＝＊１基板、（ｌｂ）−・・第２基板、（５
）、（８）・・・巻線溝、（３ａ）（３ｂ）・・・第１
、第２デプスエンド溝、（６）・・・強磁性金属薄膜、
（７）・・・ギャップスペーサ。FIGS. 1 to io are diagrams showing a method of manufacturing a magnetic head of the present invention, and FIGS. 11(a) and 13(b), FIGS. 14 to 19 are diagrams showing a conventional method of manufacturing a magnetic head. (la)・=*1 substrate, (lb)−・second substrate, (5
), (8)... winding groove, (3a) (3b)... first
, second depth end groove, (6)...ferromagnetic metal thin film,
(7)...Gap spacer.
Claims (2)
両方のコア半体に巻線溝を設けた磁気コアをスライダー
に固定してなる磁気ヘッドの製造方法に於いて、 強磁性酸化物材料からなる第１の基板の上面に第１デプ
スエンド溝を設け、強磁性酸化物材料からなる第２の基
板の上面に第２デプスエンド溝と予備トラック溝を設け
、前記第１の基板の第１デプスエンド溝及び前記第２の
基板の第２デプスエンド溝と予備トラック溝とにガラス
を充填する第１の工程と、 前記第１基板に所望のトラック幅より幅広の強磁性金属
薄膜及びギャップスペーサを被着形成する第２の工程と
、 前記第１の基板及び第２の基板に巻線溝を設ける第３の
工程と、 前記第１の基板と第２の基板とをガラスにより接合して
コアブロックを形成する第４の工程と、前記コアブロッ
クの媒体対向面に所望のトラック幅の媒体対向突部を形
成する第５の工程と、前記コアブロックを所定の間隔で
スライシングする第６の工程とにより磁気コアを形成し
た後、該磁気コアをガラスによりスライダーに固定する
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。(1) In a method of manufacturing a magnetic head in which a magnetic core having a ferromagnetic all-metal thin film disposed near the gap and a magnetic core with winding grooves provided in both core halves is fixed to a slider, ferromagnetic oxidation is performed. A first depth end groove is provided on the top surface of a first substrate made of a ferromagnetic oxide material, a second depth end groove and a preliminary track groove are provided on the top surface of a second substrate made of a ferromagnetic oxide material, and the first substrate a first step of filling a first depth end groove of the substrate, a second depth end groove of the second substrate, and a preliminary track groove with glass; and a ferromagnetic metal thin film having a width wider than a desired track width on the first substrate. and a second step of depositing and forming gap spacers; a third step of providing winding grooves in the first substrate and the second substrate; and forming the first substrate and the second substrate with glass. a fourth step of joining to form a core block; a fifth step of forming a medium facing protrusion with a desired track width on the medium facing surface of the core block; and slicing the core block at predetermined intervals. A method of manufacturing a magnetic head, comprising: forming a magnetic core in the sixth step, and then fixing the magnetic core to a slider with glass.
に強磁性金属薄膜及びギャップスペーサを被着した後、
ドライエッチングにより不要部分を除去する際、その強
磁性金属薄膜とギャップスペーサとの除去幅をｌ’、巻
線溝の溝幅をｌとするとｌ’＞ｌとなる様に除去し、 また、所望のトラック幅より幅広の強磁性金属薄膜及び
ギャップスペーサを形成することを特徴とした特許請求
の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方法。(2) In the second step, after depositing a ferromagnetic metal thin film and a gap spacer on the entire upper surface of the first substrate,
When removing unnecessary parts by dry etching, if the removal width of the ferromagnetic metal thin film and gap spacer is l', and the groove width of the winding groove is l, it is removed so that l'>l. 2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the ferromagnetic metal thin film and the gap spacer are formed wider than the track width of the magnetic head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1206160A JPH0827894B2 (en) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | Method of manufacturing magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1206160A JPH0827894B2 (en) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | Method of manufacturing magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0371402A true JPH0371402A (en) | 1991-03-27 |
| JPH0827894B2 JPH0827894B2 (en) | 1996-03-21 |
Family
ID=16518795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1206160A Expired - Fee Related JPH0827894B2 (en) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | Method of manufacturing magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0827894B2 (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143007A (en) * | 1987-11-27 | 1989-06-05 | Nec Kansai Ltd | Production of magnetic head |
-
1989
- 1989-08-09 JP JP1206160A patent/JPH0827894B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143007A (en) * | 1987-11-27 | 1989-06-05 | Nec Kansai Ltd | Production of magnetic head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0827894B2 (en) | 1996-03-21 |
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