JPH0365811A - Thin profile crystal vibrator - Google Patents

Thin profile crystal vibrator

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JPH0365811A
JPH0365811A JP20116489A JP20116489A JPH0365811A JP H0365811 A JPH0365811 A JP H0365811A JP 20116489 A JP20116489 A JP 20116489A JP 20116489 A JP20116489 A JP 20116489A JP H0365811 A JPH0365811 A JP H0365811A
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JP
Japan
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case
ceramic
crystal
crystal resonator
glass
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Pending
Application number
JP20116489A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukio Yokoyama
幸夫 横山
Takeshi Murata
武 村田
Shigehiro Kawaura
茂裕 河浦
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Nippon Carbide Industries Co Inc
Original Assignee
Nippon Carbide Industries Co Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Carbide Industries Co Inc filed Critical Nippon Carbide Industries Co Inc
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Publication of JPH0365811A publication Critical patent/JPH0365811A/en
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the air-tightness and the productivity by using a ceramic material for a case and forming a leadless electrode. CONSTITUTION:An upper glass case 10 has a glass upper plate 12 and a swollen part 14 and made of non-gas transmitting glass, and a lower ceramic case 30 has a ceramic lower plate 32, a swollen part 34 and a projection 38 and made of non-gas transmitting ceramic. The lower ceramic case 30 has a conductor layer 42 formed to traverse the border between the lower plate and the swollen part of the case 30, and a leadless electrode 40 not having a lead wire is placed on the outer surface of the lower ceramic case 30. Then the crystal vibrator 20 and the leadless electrode 40 are connected electrically with a conductive material 44 packed in a hole 36 provided to the conductor layer 42 and the lower ceramic case. Thus, porosity is improved and the surface mount is facilitated.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光線透過性に優れた上板を有するセラミック
ケースを用いた極薄型リードレス電極付きの水晶振動子
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a crystal resonator with ultra-thin leadless electrodes using a ceramic case having a top plate with excellent light transmittance.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年電子部品の小型化、薄手化、高信頼性の要求が一段
と高まっている。その中でも特1こ電子腕時計やICカ
ード及びメモリーカード用の水晶振動子fこおいて小型
化、薄手化への要求が強い。例えばICカードの厚さは
I80規格で0、76 flIと規定されており、IC
カード内部に組み込まれる水晶振動子の厚さは0.5 
*yx以下であることが必要である。又、近年の電子部
品実装分野での表面実装技術の進歩lこ伴い電子部品の
リードレス化が急速に行なわれてお0、表面実装技術を
用いた高密度実装による電子機器の小型化、薄手化が進
められている。
In recent years, demands for electronic components to be smaller, thinner, and more reliable have been increasing. Among these, there is a particularly strong demand for smaller and thinner crystal units for electronic wristwatches, IC cards, and memory cards. For example, the thickness of an IC card is specified as 0.76 flI in the I80 standard,
The thickness of the crystal oscillator built into the card is 0.5
*It is necessary to be less than or equal to yx. In addition, with recent advances in surface mount technology in the field of electronic component mounting, electronic components are rapidly becoming leadless, and electronic devices are becoming smaller and thinner due to high density mounting using surface mount technology. is being developed.

従来、水晶振動子は、湿度等により特性変動を起こすた
め、水晶の単結晶から加工された水晶振動体をケース(
ハ)に収納し、水晶振動体をケース外側の電極と電気的
に接続し、ケース内部は例えば真空に保持される構造と
なっている。
Traditionally, quartz crystal resonators have characteristics that fluctuate due to factors such as humidity, so a crystal oscillator processed from a single crystal is used in a case (
c), the crystal vibrating body is electrically connected to an electrode on the outside of the case, and the inside of the case is kept in a vacuum, for example.

従来の水晶振動子は、水晶振動子が円筒状の金属ケース
に収納され、外部の電気回路と水晶振動体とを接続する
リード線を有するため、小型、薄手化が困難であり、表
面実装化に適していないという欠点があった。更に、リ
ード線と金属ケースとの間を封止するためシール用のガ
ラスが用いられるが、シール用のガラスとリード線又は
金属ケースとの間の気密性の劣化lこよって、水晶振動
子の発振周波数特性の変化という問題が生ずる場合があ
った。
Conventional crystal resonators are housed in a cylindrical metal case and have lead wires that connect the external electrical circuit to the crystal resonator, making it difficult to make them smaller and thinner, and surface mounting is required. The disadvantage was that it was not suitable for Furthermore, sealing glass is used to seal between the lead wire and the metal case, but the airtightness between the sealing glass and the lead wire or metal case deteriorates. In some cases, a problem of changes in oscillation frequency characteristics may occur.

また、上板及び下板、2つのガラス製ケースによって形
成される内部空間に収納された水晶振動体は、外部電気
回路と電気的に接続するために、リード線を必要として
いた。
Further, the crystal vibrating body housed in the internal space formed by the upper plate, the lower plate, and the two glass cases required a lead wire in order to be electrically connected to an external electric circuit.

例えば特開昭56−69917号公報に開示された薄型
水晶振動子は、水晶振動体と一体でかつそれを囲むよう
な保持枠を有する、水晶振動体を容器ではさみ込む構造
のものである。この構造の水晶振動子は、容器の内部に
位置する水晶振動体上に電極が付設されており、この電
極と外部の電気回路と接続するための配線を必要とし、
表面実装には適していなかった。
For example, a thin crystal resonator disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 56-69917 has a structure in which the crystal vibrator is sandwiched between containers, and has a holding frame that is integral with the crystal vibrator and surrounds it. A crystal resonator with this structure has electrodes attached to the crystal resonator located inside the container, and requires wiring to connect these electrodes to an external electric circuit.
It was not suitable for surface mounting.

また、凹部な有する2つのセラミック製ケースの接合に
よって形成された内部空間に水晶振動体を収納する水晶
振動子も提案されている。
Furthermore, a crystal resonator has been proposed in which a crystal resonator is housed in an internal space formed by joining two ceramic cases having recessed portions.

この形状の水晶振動子においては、水晶振動体と外部の
電気回路をリード線を用いて接続するか、あるいはケー
ス外部表面に電極を設け、この電極と水晶振動体とを電
気的に接続する。前者の場合、表面実装に適さないとい
う問題がある。又、後者の場合、セラミック製ケースに
貫通穴を設け、この貫通穴に例えば導電性接着剤を充填
して電気的接続を行うが、貫通穴の内壁面と導電性接着
剤との間で気密性の低下が生ずるといった問題点があっ
た。
In a crystal resonator having this shape, the crystal resonator and an external electric circuit are connected using lead wires, or electrodes are provided on the outer surface of the case, and the electrodes and the crystal resonator are electrically connected. In the former case, there is a problem that it is not suitable for surface mounting. In the latter case, a through hole is provided in the ceramic case and electrical connection is made by filling the through hole with, for example, a conductive adhesive. There were problems such as a decrease in sexual performance.

さらに水晶振動子の生産工程において、水晶振動体をケ
ース同番こ設置した後、周波数の調整等性能の検査及び
微調整を行っており、その際、周波数微調整用コンデン
サーを特別に設置するという極めて煩雑な作業を強いら
れており、水晶振動子の生産性が良くない理由の一つC
どもなっている。また、この工程で水晶振動子は、さら
に大型、厚手化してしまうという問題点があった。
Furthermore, in the crystal resonator production process, after the crystal resonator is installed in the same number as the case, performance inspection and fine adjustment such as frequency adjustment are performed, and at that time, a capacitor for frequency fine adjustment is specially installed. This is one of the reasons why the productivity of crystal resonators is not good as they are forced to do extremely complicated work.
I'm getting stumped. In addition, there is a problem in that the crystal resonator becomes even larger and thicker in this process.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

水晶振動体を収納するために、ケースの内部空間iこお
いて、ケース内部に水平に設置された水晶振動体の上面
及び下面とケースの間には最低各々0.05 m程度の
空隙が必要とされる。空隙がこれより狭いと水晶振動子
の発振周波数特性低下を招く。それ故、一定の内部空間
を有し且つ水晶振動子総厚を薄くするためには、水晶振
動体の上面及び下面に対向する部分のケニス自体の厚さ
を薄くする必要があるが、この場合であっても気密性を
十分に保持しうろことが重要である。
In order to accommodate the crystal oscillator, there must be a minimum gap of approximately 0.05 m between the top and bottom surfaces of the quartz crystal oscillator installed horizontally inside the case and the case in the internal space i of the case. It is said that If the gap is narrower than this, the oscillation frequency characteristics of the crystal resonator will deteriorate. Therefore, in order to have a certain internal space and reduce the total thickness of the crystal resonator, it is necessary to reduce the thickness of the kennis itself in the portions facing the top and bottom surfaces of the crystal resonator. However, it is important to maintain sufficient airtightness.

薄型水晶振動子のケース材料として樹脂を用いる場合、
ケースの水晶振動体の上面及び下面に対向する部分のケ
ースの樹脂厚さを薄くすると、水晶振動子の機械的強度
の低下や気密性不良といった問題が生じる。ケース材料
に金属を用いる場合、このような問題が生じないかわり
に、ケース内部の水晶振動体とケース外側の電極を接続
するための電気接続部分を金属ケースから絶縁するため
に絶縁層を設ける必要があり、水晶振動子全体の厚さを
薄くできないという問題がある。
When using resin as the case material for a thin crystal resonator,
If the resin thickness of the case is made thinner in the portions of the case that face the upper and lower surfaces of the crystal resonator, problems such as a decrease in the mechanical strength of the crystal resonator and poor airtightness arise. When using metal for the case material, this problem does not occur, but instead it is necessary to provide an insulating layer to insulate the electrical connection part that connects the crystal resonator inside the case and the electrodes outside the case from the metal case. However, there is a problem in that the overall thickness of the crystal resonator cannot be reduced.

リード線を有する水晶振動子は、表面実装技術を適用す
ることが困難であり、電子部品の小型化、薄手化に対応
できないという問題がある。
Crystal resonators having lead wires have a problem in that it is difficult to apply surface mounting technology, and they cannot respond to miniaturization and thinning of electronic components.

又、リード線とケースとの間の気密性の劣化による水晶
振動子の信頼性の低下という問題がある。
Furthermore, there is a problem in that the reliability of the crystal resonator decreases due to the deterioration of the airtightness between the lead wire and the case.

水晶振動体とケースの外側の電極とを接続するために、
ケースに貫通穴を設けその中に導電性接着剤を充填する
場合、導電性接着剤と貫通穴内壁面との間の気密性劣化
による水晶振動子の信頼性低下という問題もある。
In order to connect the crystal oscillator and the electrodes on the outside of the case,
When a through hole is provided in the case and a conductive adhesive is filled in the through hole, there is also the problem that the reliability of the crystal resonator is lowered due to deterioration of airtightness between the conductive adhesive and the inner wall surface of the through hole.

さらに、製造段階において、水晶振動子の周波数を調整
する工程において、更に周波数調整用コンデンサー等を
設置している。この場合、振動子は大型、厚手化するの
みならず、生産性も極めて低下するという問題もある。
Furthermore, in the process of adjusting the frequency of the crystal resonator at the manufacturing stage, a frequency adjustment capacitor and the like are further installed. In this case, there is a problem that not only the vibrator becomes large and thick, but also productivity is extremely reduced.

本発明は、上記の問題を一挙に解決すべくなされたもの
である。
The present invention has been made to solve the above problems all at once.

〔問題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、 (a)  気体非透過性で、且つ光線透過性の優れた上
板と、気体非透過性のセラミック下板と、該上板及び下
板の少なくとも一方の周囲に設けられた気体非透過性の
セラミックの隆起部とからなり、該上板と該下板とを咳
隆起部を介して重ね合わせて気密封止することξこより
形成された内部に空間をもつセラミックケースと、 (b)  該セラミックケースの内部空間に振動可能な
状態で固定された水晶振動体と、 (C)  該セラミックケースの外側表面に設けられた
リードレス電極と、 (d)  該隆起部又は該隆起部と上板もしくは下板と
の界向を横切るように形成された、該水晶振動体と該リ
ードレス電極を電気的に接続するための導電体層、 とからなる水晶振動子である。
The present invention provides: (a) an upper plate that is impermeable to gas and has excellent light transmittance; a lower ceramic plate that is impermeable to gas; and a gas evaporator provided around at least one of the upper plate and the lower plate. a ceramic case having an internal space formed by overlapping the upper plate and the lower plate through the raised parts and hermetically sealing them; b) a crystal vibrating body fixed in a vibrating state in the internal space of the ceramic case; (C) a leadless electrode provided on the outer surface of the ceramic case; and (d) the raised portion or the raised portion. and a conductive layer for electrically connecting the crystal vibrating body and the leadless electrode, the conductor layer being formed to cross the boundary direction between the crystal vibrating body and the leadless electrode.

〔作 用〕[For production]

水晶振動子のケースにセラミック材料を用いることによ
って、厚さが薄くても機械的強度が高く気密性に優れた
ケースをつくることができる。又、リードレス電極を形
成することで表面実装可能な水晶振動子をつくることが
できる。
By using ceramic materials for the case of a crystal resonator, it is possible to create a case that is thin but has high mechanical strength and excellent airtightness. Furthermore, by forming leadless electrodes, a surface-mountable crystal resonator can be manufactured.

更に、セラミック上板又は下板と隆起部との間、あるい
は隆起部内部に導電体層が埋没した状態で形成されるた
め、導電体層の周囲からの気密低下が防止できる。
Furthermore, since the conductor layer is formed between the ceramic upper or lower plate and the raised portion or buried inside the raised portion, it is possible to prevent the conductor layer from being airtight from the surroundings.

また光線透過性に優れたガラスを上板に使用することに
より、生産工程における周波数の調整は、YAG等のレ
ーザー光を照射するだけで容易に可能となり、特別に周
波数調整用コンデンサーを設置する必要が無くなり、よ
り小型で薄手で、且つ高精度な水晶振動子を得ることが
でき、また同時に生産性も大いに向上させることができ
る。
In addition, by using glass with excellent light transmittance for the upper plate, frequency adjustment in the production process can be easily achieved by simply irradiating laser light such as YAG, and there is no need to install a special frequency adjustment capacitor. As a result, a smaller, thinner, and highly accurate crystal resonator can be obtained, and at the same time, productivity can be greatly improved.

〔実施例〕 以下、本発明のセラミックケースを用いた薄型水晶振動
子について、図面を参照して説明する。
[Example] Hereinafter, a thin crystal resonator using a ceramic case of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は、本発明の薄型水晶振動子10分解斜視図であ
り、薄型水晶振動子1は、上部ガラスケース10と水晶
振動体20と下部セラミックケース30からなっている
。第2図は、本発明の薄型水晶振動子の@1図の人−人
%B−B。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a thin crystal resonator 10 of the present invention, and the thin crystal resonator 1 consists of an upper glass case 10, a crystal vibrating body 20, and a lower ceramic case 30. FIG. 2 is the person-to-person %B-B of the thin crystal resonator of the present invention in Figure 1.

C−Cに沿った分解断面図である。上部ガラスケース1
0はガラス上板12と隆起部14を有し、非気体透過性
のガラスからなる。下部セラミックケース30は、セラ
ミック下板32と隆起部34及び、突起部38とを有し
、非気体透過性のセラミックからなる。下部セラミック
ケース30は、更にケース300下板と隆起部の界面を
横切るようlこ形成された導電体層42を有する。リー
ド線を有さな・いリードレス電極4゜が、下部セラミッ
クケース30の外側表面上に設置されている。水晶振動
体20とリードレス電極40とは、導電体層42及び下
部セラミックケースに設けられた穴36中に充填された
導電性材料44によって電気的に接続される。
It is an exploded sectional view along CC. Upper glass case 1
0 has a glass top plate 12 and a raised portion 14, and is made of non-gas permeable glass. The lower ceramic case 30 includes a ceramic lower plate 32, a raised portion 34, and a protrusion 38, and is made of non-gas permeable ceramic. The lower ceramic case 30 further includes a conductive layer 42 formed across the interface between the lower plate of the case 300 and the raised portion. A leadless electrode 4° without a lead wire is installed on the outer surface of the lower ceramic case 30. The crystal vibrating body 20 and the leadless electrode 40 are electrically connected by a conductive material 44 filled in a conductive layer 42 and a hole 36 provided in the lower ceramic case.

上部ガラスケース10は、ガラス上板12上に、隆起部
14となる部分を形成することによって得られる。
The upper glass case 10 is obtained by forming a portion that will become the raised portion 14 on the glass upper plate 12.

上部ガラスケース10及びガラス板12に使用されるガ
ラスとしては、周波数の調整時に使用するYAG等のレ
ーザー光線を効率良く透過するものであればいづれでも
良いが、具体的には、化学大辞典編集委員会網「化学大
辞典2」〔昭和37年6月15日初版第2刷、共立出版
■発行〕第516〜518頁記載のガラスであり、さら
に具体的には、例えば、酸化物ガラス。
The glass used for the upper glass case 10 and the glass plate 12 may be any glass that can efficiently transmit the laser beam used for frequency adjustment, such as YAG. It is a glass described in pages 516 to 518 of "Chemistry Dictionary 2" [June 15, 1960, first edition, second printing, published by Kyoritsu Shuppan ■], and more specifically, for example, oxide glass.

フッ化物ガラス、塩化物カラス、硫化物ガラス、炭酸塩
ガラス、硝酸塩ガラス、硫酸塩ガラス、水素結合ガラス
及び元素ガラス等であり、中でも酸化物ガラスが好まし
い。酸化物ガラスとしては、例えば、ケイ酸塩ガラス、
リン酸塩ガラス及びホウ酸塩ガラス等があり、中でも、
溶融温度が高く光線透過性の良いケイ酸塩を主体とした
ケイ酸塩ガラスが好ましい。
Examples include fluoride glass, chloride glass, sulfide glass, carbonate glass, nitrate glass, sulfate glass, hydrogen bond glass, and elemental glass, among which oxide glass is preferred. Examples of oxide glasses include silicate glasses,
There are phosphate glasses and borate glasses, among others,
A silicate glass mainly composed of silicate having a high melting temperature and good light transmittance is preferred.

下部セラミックケース30は、焼成後にセラミック下板
32となるセラミックのグリーンシート上に、導電体層
42を形成するためにスクリーン印刷可能な導電性ペー
ストをスクリーン印刷し、その上にスクリーン印刷可能
なペースト状のセラミックをスクリーン印刷して焼成後
に隆起部34及び突起部38となる部分及び穴36を形
成し、次いでリードレス電極40を形成する部分を導電
性ペーストζこてスクリーン印刷した後、これらを焼成
することによって得られる。
The lower ceramic case 30 is constructed by screen-printing a screen-printable conductive paste on a ceramic green sheet that will become the ceramic lower plate 32 after firing to form a conductor layer 42; A shaped ceramic is screen printed to form the portions that will become the raised portions 34 and protrusions 38 after firing, as well as the holes 36. Next, the portions that will form the leadless electrodes 40 are screen printed with a conductive paste ζ trowel. Obtained by firing.

下部セラミックケースの形成に用いられるグリーンシー
トはアルミナ、窒化アルミ、ムライト等からなる。導電
体層42を形成する導電性ペーストはW、Mo、Ag 
s P t s A u s 、 Cu等からなり、そ
の特性は、グリーンシートとの接着性や焼成後にクラッ
クが発生しないといった、グリーンシートとのマツチン
グが良好であることが望ましく、この導電性ペーストは
導電体層を形成するために1回あるいは複数回スクリー
ン印刷される。又、ペースト状のセラミックはアルミナ
、窒化アルミ、ムライト等からなり、その特性は前記グ
リーンシートと同じ収縮特性を有することが望ましい。
The green sheet used to form the lower ceramic case is made of alumina, aluminum nitride, mullite, or the like. The conductive paste forming the conductor layer 42 is W, Mo, Ag.
It is made of s P t s Au s , Cu, etc., and its characteristics are desirably good matching with the green sheet, such as adhesion with the green sheet and no cracking after firing, and this conductive paste is Screen printing is performed one or more times to form a conductive layer. Further, the paste-like ceramic is made of alumina, aluminum nitride, mullite, etc., and preferably has the same shrinkage characteristics as the green sheet.

隆起部を形成するためlこ、ペースト状のアルミナのス
クリーン印刷回数を1回あるいは複数回行う。リードレ
ス電極40を形成する導電性ペーストはW、 Mo、 
Ag、 Pt、Au%Cu等からなり、その特性はグリ
ーンシートとのマツチングが良好であることが望ましく
、この導電性ペーストをリードレス電極を形成するため
に1回あるいは複数回スクリーン印刷する。使用される
グリーンシート、導電性ペースト及びペースト状のセラ
ミックによって、それらの焼成条件は異なるが、還元雰
囲気または真空中で一般に800〜2000℃で焼成さ
れることが望ましい。
To form the ridges, paste alumina is screen printed one or more times. The conductive paste forming the leadless electrode 40 is W, Mo,
It is made of Ag, Pt, Au%Cu, etc., and it is desirable that it has good matching properties with the green sheet.This conductive paste is screen printed once or multiple times to form a leadless electrode. The firing conditions vary depending on the green sheet, conductive paste, and paste-like ceramic used, but it is generally desirable to fire at 800 to 2000°C in a reducing atmosphere or vacuum.

上部ガラスケース10と水晶振動子20と下部セラミッ
クケース30は、穴36に導電性接着剤44を充填し、
水晶振動体20を下部セラミックケース30の隆起部3
4及び突起部38の上に置き水晶振動体20及び導電体
層42を導電性材料である導電性接着剤44と接触させ
た状態で導電性接着剤44を硬化させ水晶振動体20を
隆起部34の上に固定させた後、上部ガラスケース10
と下部セラミックケース30とを各々の隆起部14と3
4とを介して気密封止することによって組み立てられる
。気密封止は、真空下ハンダの溶融やガラスの溶融等各
種の方法で行うことができる。導電性接着剤は銀−ポリ
イミド樹脂、銀−エポキシ樹脂等からなり、硬化条件は
気密封止温度よりも高温であることが望ましい。
The upper glass case 10, the crystal resonator 20, and the lower ceramic case 30 have the holes 36 filled with a conductive adhesive 44,
The crystal vibrating body 20 is connected to the raised portion 3 of the lower ceramic case 30.
4 and the protrusions 38, the crystal vibrating body 20 and the conductive layer 42 are brought into contact with the conductive adhesive 44, which is a conductive material, and the conductive adhesive 44 is cured, and the crystal vibrating body 20 is attached to the raised part. After fixing it on top of 34, the upper glass case 10
and the lower ceramic case 30 with respective raised portions 14 and 3.
4 and hermetically sealed. Hermetic sealing can be achieved by various methods such as melting solder under vacuum or melting glass. The conductive adhesive is made of silver-polyimide resin, silver-epoxy resin, etc., and the curing condition is preferably higher than the hermetic sealing temperature.

下部セラミックケースには、突起部38が設けられてい
るため、焼成後のセラミックケースのそりやねじれを防
止するという効果がある。
Since the lower ceramic case is provided with the protrusion 38, it has the effect of preventing the ceramic case from warping or twisting after firing.

第3図は、本発明の別の実施例である。第2図に示した
実施例と異なり、第3図においては、上部セラミックケ
ース10は隆起部を有していない。そのかわりに、下部
セラミックケース30の隆起部は34人と34Bの2段
となっており、隆起部34人及び突起部38の上に水晶
振動体20を固定できる。上部セラミックケース10と
下部セラミックケース30とは、隆起部34Bを介して
気密封止することができる。他の部分の構成は第2図と
同じである。
FIG. 3 is another embodiment of the invention. Unlike the embodiment shown in FIG. 2, in FIG. 3 the upper ceramic case 10 does not have a raised portion. Instead, the raised portions of the lower ceramic case 30 have two stages of 34 and 34B, and the crystal vibrating body 20 can be fixed on the raised portions 34 and the protrusions 38. The upper ceramic case 10 and the lower ceramic case 30 can be hermetically sealed via the raised portion 34B. The configuration of other parts is the same as in FIG. 2.

第4図は、本発明の更に別の実施例である。FIG. 4 shows yet another embodiment of the invention.

第3図に示した実施例と同様に、第4図においては、上
部ガラスケース10は隆起部を有しておらず、下部セラ
ミックケース30の隆起部は34人と34Bの2段とな
っており、隆起部34Aの上に水晶振動体20を固定で
きる。第3図と異なる点は、導電体層42が隆起部34
人と隆起部34Bとの間に隆起部を横切るようJこ形成
されている点及び穴36が隆起部34Aにない点である
。導電性接着剤によって、導電体層42と水晶振動体2
0とが電気的に接続されるとともに、水晶振動体42は
隆起部34人の上に固定される。これら以外の点におい
ては、第4図に示した水晶振動子は第3図に示した水晶
振動子と同様である。
Similar to the embodiment shown in FIG. 3, in FIG. 4, the upper glass case 10 does not have a raised part, and the raised part of the lower ceramic case 30 has two stages of 34 people and 34B. Therefore, the crystal vibrating body 20 can be fixed on the raised portion 34A. The difference from FIG. 3 is that the conductor layer 42 is
There is a hole 36 formed between the person and the raised part 34B across the raised part, and there is no hole 36 in the raised part 34A. The conductive layer 42 and the crystal vibrating body 2 are bonded together using a conductive adhesive.
0 are electrically connected, and the crystal vibrating body 42 is fixed on the raised portion 34. In other respects, the crystal resonator shown in FIG. 4 is similar to the crystal resonator shown in FIG. 3.

組み立てた後の水晶振動子の総厚は、好ましくは0.3
〜0.5 wasである。極端に厚さの薄い上部ガラス
ケース及び下部セラミックケースの製造は困難であるた
め、総厚0.3闘未満の水晶振動子の製造は困難であり
、総厚0.51mを越えると水晶振動子をICカードに
組み込むことができなくなる。セラミック上板及び下板
の厚さは各々0.05〜0.2 vIであることが好ま
しい。セラミック上板及び下板の厚さが0.04 El
以下では気体の非透過性が良くない。又、0.2n以上
では、水晶振動子の総厚な0.5 WM以下とする場合
、セラミツ、クケースの内部空間における水晶振動体と
セラミック上板又は下板との間の空隙が十分とれなくな
り、水晶振動体の発振周波数特性に悪影響が生じる。使
用される水晶振動体の厚さは、0.05〜o、 15 
II s特に0.09〜0、151111であることが
好ましい。水晶振動体の振動姿態は音叉型であることが
望ましい。
The total thickness of the crystal unit after assembly is preferably 0.3
~0.5was. Because it is difficult to manufacture extremely thin upper glass cases and lower ceramic cases, it is difficult to manufacture crystal resonators with a total thickness of less than 0.3 m, and crystal resonators with a total thickness of more than 0.51 m are difficult to manufacture. cannot be incorporated into an IC card. Preferably, the thickness of the ceramic top and bottom plates is each 0.05 to 0.2 vI. The thickness of the ceramic upper and lower plates is 0.04 El
Below that, gas impermeability is poor. In addition, if the total thickness of the crystal unit is 0.2n or more, if the total thickness of the crystal unit is 0.5 WM or less, the gap between the crystal unit and the ceramic upper or lower plate in the internal space of the ceramic case will not be sufficient. , the oscillation frequency characteristics of the crystal oscillator are adversely affected. The thickness of the crystal vibrating body used is 0.05 to 15
IIs is particularly preferably 0.09 to 0.151111. The vibration mode of the crystal vibrating body is preferably a tuning fork type.

〔効 果〕〔effect〕

本発明の薄型水晶振動子は、セラミックケースを用いて
いるため、総厚0.3 mであっても十分なる機械的強
度を有し、気密性に優れている。
Since the thin crystal resonator of the present invention uses a ceramic case, it has sufficient mechanical strength even with a total thickness of 0.3 m and is excellent in airtightness.

又、真空シール下水晶振動子のクリスタル・インピーダ
ンスが通常80にΩ以下、条件により50にΩ以下とい
う優れた特性を示し、リードレス電極であるため表面実
装が容易にできる。更に、リードレス電極と水晶振動体
を電気的に接続する導電体層とセラミックケースとの間
の気密性に優れ、高信頼性を有する水晶振動子を得るこ
とができる。
In addition, the crystal impedance of the vacuum-sealed crystal resonator is usually less than 80Ω, and depending on the conditions, less than 50Ω, which is an excellent characteristic, and since it is a leadless electrode, surface mounting is easy. Furthermore, it is possible to obtain a highly reliable crystal resonator with excellent airtightness between the ceramic case and the conductor layer that electrically connects the leadless electrode and the crystal resonator.

また光線透過性6ζ優れたガラスを上板Iこ使用するこ
とにより、生産工程における周波数の調整は、YAG等
のレーザー光を照射するだけで容易に可能となり、特別
に周波数調整用コンデンサーを設置する必要が無くなり
、より小型で薄手で、且つ高精度な水晶振動子を得るこ
とができ、同時に、生産性も大いに向上させることがで
きる。
In addition, by using glass with excellent light transmittance (6ζ) for the top plate, frequency adjustment in the production process can be easily achieved by simply irradiating a laser beam such as YAG, and a special frequency adjustment capacitor can be installed. This eliminates the need for this, making it possible to obtain a smaller, thinner, and more accurate crystal resonator, and at the same time, productivity can be greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の薄型水晶振動子の分解斜視図。 第2図は、第1図のA−入線、B−B線及びC−C線に
沿った分解断面図。 第3図および第4図は本発明の薄型水晶振動子の別の実
施態様の分解断面図。 図中、1は水晶振動子、10は上部ガラスケース、12
はガラス上板、14.34.34人及び34Bは隆起部
、20は水晶振動体、30は下部セラミックケース、3
2はセラミック下板、38は突起部、40はリードレス
電極、42は導電体層である。 第2図 第3図
FIG. 1 is an exploded perspective view of a thin crystal resonator of the present invention. FIG. 2 is an exploded sectional view taken along the A-entry line, the B-B line, and the C-C line in FIG. 3 and 4 are exploded sectional views of another embodiment of the thin crystal resonator of the present invention. In the figure, 1 is a crystal resonator, 10 is an upper glass case, 12
is a glass top plate, 14.34.34 people and 34B are raised parts, 20 is a crystal vibrating body, 30 is a lower ceramic case, 3
2 is a ceramic lower plate, 38 is a projection, 40 is a leadless electrode, and 42 is a conductor layer. Figure 2 Figure 3

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)(a)気体非透過性で、且つ光線透過性の優れた
上板と、気体非透過性のセラミック下板 と、該上板及び下板の少なくとも一方の周 囲に設けられた気体非透過性のセラミック の隆起部とからなり、該上板と該下板とを 該隆起部を介して重ね合わせて気密封止す ることにより形成された内部に空間をもつ セラミックケースと、 (b)該セラミックケースの内部空間に振動可能な状態
で固定された水晶振動体と、 (c)該セラミックケースの外側表面に設けられたリー
ドレス電極と、 (d)該隆起部又は該隆起部と上板もしくは下板との界
面を横切るように形成された、該 水晶振動体と該リードレス電極を電気的に 接属するための導電体層、 とからなる水晶振動子。
(1) (a) A gas-impermeable upper plate with excellent light transmittance, a gas-impermeable ceramic lower plate, and a gas-impermeable gas shield provided around at least one of the upper plate and the lower plate. (b) a ceramic case comprising a raised part of a transparent ceramic and having an internal space formed by overlapping the upper plate and the lower plate via the raised part and hermetically sealing the same; (c) a leadless electrode provided on the outer surface of the ceramic case; (d) the raised portion or the raised portion and the upper surface thereof; A crystal resonator comprising: a conductive layer for electrically connecting the crystal vibrating body and the leadless electrode, the crystal vibrating body being formed across an interface with a plate or a lower plate.
(2)隆起部以外の該上板及び該下板の厚さが各々0.
05〜0.2mmであり、水晶振動子の総厚が0.3〜
0.5mmである特許請求の範囲第1項記載の水晶振動
子。
(2) The thickness of the upper plate and the lower plate other than the raised portions is 0.
05~0.2mm, and the total thickness of the crystal resonator is 0.3~0.2mm.
The crystal resonator according to claim 1, which has a diameter of 0.5 mm.
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