JPH0365681U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0365681U JPH0365681U JP12584389U JP12584389U JPH0365681U JP H0365681 U JPH0365681 U JP H0365681U JP 12584389 U JP12584389 U JP 12584389U JP 12584389 U JP12584389 U JP 12584389U JP H0365681 U JPH0365681 U JP H0365681U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- handshaft
- shaft
- fitting
- drive shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案を実施した半導体基板搬送装置
を示す一部省略の断面図、第２図は本考案の要部
を示す同上拡大図、第３図はハンドシヤフトの一
部切欠の正面図、第４図は同上方向から見た端
面図、第５図は駆動シヤフトの一部切欠の正面図
、第６図は同上方向から見た端面図、第７図は
ハンドシヤフトと駆動シヤフトとの結合状態を示
す縦断面図、第８図は同上−線に沿つた断面
図である。 １０……駆動部、１４……アームシヤフト、１
８……ハンドシヤフト、２２……嵌合溝部、２４
……アーム部、２６……ボス、２９……駆動シヤ
フト、３３……嵌合突起部。
を示す一部省略の断面図、第２図は本考案の要部
を示す同上拡大図、第３図はハンドシヤフトの一
部切欠の正面図、第４図は同上方向から見た端
面図、第５図は駆動シヤフトの一部切欠の正面図
、第６図は同上方向から見た端面図、第７図は
ハンドシヤフトと駆動シヤフトとの結合状態を示
す縦断面図、第８図は同上−線に沿つた断面
図である。 １０……駆動部、１４……アームシヤフト、１
８……ハンドシヤフト、２２……嵌合溝部、２４
……アーム部、２６……ボス、２９……駆動シヤ
フト、３３……嵌合突起部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 水平回転可能なアーム部と駆動部とを備えた半
導体基板の搬送装置において、 前記駆動部側のアームシヤフトに回転可能に内
挿着されたハンドルシヤフトの上端中心部位に嵌
合溝部が設けられ、一方、前記アーム部側の駆動
シヤフトの下端中心部位には、前記ハンドシヤフ
トの嵌合溝部に一体的に嵌り込む嵌合突起部が設
けられて、該突起部の溝部に対する嵌合をもつて
前記駆動シヤフトとハンドシヤフトが一体回転可
能に連結されると共に、前記駆動シヤフトの下端
部分を囲繞して前記アーム部側に設けられたボス
が前記アームシヤフトに対して取り外し可能に嵌
合固着されて、前記アーム部と駆動部が取り付け
られる構成を特徴とする半導体基板搬送装置にお
けるアーム部と駆動部との取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12584389U JPH0365681U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12584389U JPH0365681U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0365681U true JPH0365681U (ja) | 1991-06-26 |
Family
ID=31673694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12584389U Pending JPH0365681U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0365681U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4833549A (ja) * | 1971-08-31 | 1973-05-11 | ||
| JPS63102886A (ja) * | 1986-10-17 | 1988-05-07 | 東京電力株式会社 | ロ−プ駆動式マニピユレ−タ |
-
1989
- 1989-10-27 JP JP12584389U patent/JPH0365681U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4833549A (ja) * | 1971-08-31 | 1973-05-11 | ||
| JPS63102886A (ja) * | 1986-10-17 | 1988-05-07 | 東京電力株式会社 | ロ−プ駆動式マニピユレ−タ |