JPH0365620A - 光素子出力検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光素子出力検査装置に関する。

〔従来の技術〕

近年の半導体レーザやダイオード等の需要の増大につれ
て、光素子においての各種特性及び検査を行なうことが
重要となっている。

特に、光素子の光出力は年々多様となり、低出力から高
出力に及ぶ広範囲の測定を行うことが必要とされている
。

一般に、光素子出力検査装置は、光素子に低電流を供給
し、予め基準光源により較正済みのフォトディテクタに
より光出力を検出する。また、高出力の場合は光素子前
に光量を減衰させるためにフィルタを置き、フィルタ量
を調整することによりフォトディテクタの取り込む光出
力を一定レンジ内に納め、フォトディテクタの本来の機
能を十分保証し測定を行う。

第２図に従来の光素子出力検査装置の一例を示す。

フィクスチャ７に光素子９をセットする。予め別方法に
より測定した光出力値を基にフォトディテクタ１０への
光素子９の出力を調節するためにフィルタ１８の分量を
測定者が調整する。フォトディテクタ１０を位置１９に
おいて基準光源８により較正し、定電流源３から電流供
給線６を介して光素子９に電流値を設定する。フォトデ
ィテクタ１０は駆動部１２により位置２０に移動し、フ
ィルタ１８によって減量された光出力を受け、出力測定
器１１により測定する。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記した従来の光素子出力検査装置は、様々なレンジの
光出力をフォトディテクタが本来の機能を十分保証でき
るレンジ内に抑えるために、予め光出力を別方法により
測定しそれに合わせて人手によりフォトディテクタ前に
置かれたフィルタの量を調整しなければならない。また
フィルタの未装着により高出力の光が直接フォトディテ
クタへ到達しフォトディテクタを破損するという問題が
生じやすいという欠点もある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の光素子出力検査装置は、光素子の光出力を検出
する１個のフォトディテクタと、一対の透明電極に挟ま
れた液晶からなり前記光素子と前記フォトディテクタの
間に配置されたフィルタと、前記光素子に定電流を供給
する定電流源とを含み、前記光素子の光出力に応じて前
記透明電極間の電界の強さを変え前記液晶の光透過率を
変えて前記フォトディテクタにより前記光素子の光出力
を測定することを特徴とする。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。

第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。

第３図は第１図に示す測定部４のブロック図で、測定部
４の中にはフィクスチャと、フォトディテクタと、基準
光源と、透明電極と、液晶と、透明電極用電源と、駆動
部とが設けられている。

フィクスチャ７に光素子９をセットし、第１図の電源部
２の電源を投入する。制御部１に電流値等の初期値を設
定し、その設定値が制御用信号線５により測定部４及び
定電流源３に伝達される。

設定された電流値は定電流供給部３内においてＤ／Ａ変
換され電流供給線６を介して測定部４内に送られる。一
方測定部４内では、第３図のフイクスチャ７にセットさ
れている光素子９に電流値が設定される。フォトディテ
クタ１０は駆動部１２によって移動し位置１６において
基準光源８の光出力により較正される。フォトディテク
タ１０はさらに位置１７へ移動後、透明電極１５及び液
晶１３により構成されるフィルタを透過してきた光素子
９の光出力を受け、出力測定器１１により測定する。

フィルタの詳細について説明する。透明電極１５は光素
子に定電流を設定するまで電界を零とする。液晶１３は
電界零において低透過率を示すものを用いる。光素子９
の光出力は透明電極１５及び液晶１３を経てフォトディ
テクタ１０へ到達する。フォトディテクタ１０が読み込
んだ値が予め初期値として入力しておいた希望値になる
まで、透明電極用電源１４により、透明電極１５におけ
る電界を一定間隔で増加させる。読み込んだ値が設定値
に満たない場合は、そのまま読み込んだ値を用いる。実
測値から出力値への補正については、予め電界と透過率
との関係について算出しておき、それに基づいて行なう
。

よって、光素子出力を予め測定する必要はなく、光出力
が高出力であっても透明電極間の電界強度により液晶の
濃淡を変えることによって、フォトディテクタの本来の
機能が十分保証できる透過率になるように自動的にフィ
ルタの量が設定できる。また光素子に電流を流す前に透
明電極間の電界を零設定することにより、高出力の光出
力が直接フォトディテクタへ到達することによるフォト
ディテクタの破損等の問題を防ぐことげ出来る。

なお、第１図に示す電源部２は、制御部１．定電流源３
および測定部４に電力を供給する。

〔発明の効果〕

本発明の光素子出力検査装置は、光出力が高出力であっ
ても、液晶を用いた電気的なフィルタを自動的に調整す
ることにより、広範囲の光出力のレンジをフォトディテ
クタの本来の機能を十分に保証できるレンジに減衰させ
、高精度の測定を行うことができ、また自動的にフィル
タがセットされるためフィルタの未装着により高出力の
光が直接フォトディテクタへ到達することによるフォト
ディテクタの破損等の問題を防ぐという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
従来の光素子出力検査装置の一例を示すブロック図、第
３図は第１図に示す測定部４内のブロック図である。 １・・・制御部、２・・・電源部、３・・・定電流源、
４・・・測定部、５・・・信号線、６・・・電流供給線
、７・・・フィクスチャ、８・・・基準光源、９・・・
光素子、１０・・・フォトディテクタ、１１・・・出力
測定器、１２・・・駆動部、１３・・・液晶、１４・・
・透明電極用電源、１５・・・透明電極、１６．１７・
・・フォトディテクタ位置、１８・・・フィルタ、１９
．２０・・・フォトディテクタ位置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光素子の光出力を検出する１個のフォトディテクタと、
   一対の透明電極に挟まれた液晶からなり前記光素子と前
   記フォトディテクタの間に配置されたフィルタと、前記
   光素子に定電流を供給する定電流源とを含み、前記光素
   子の光出力に応じて前記透明電極間の電界の強さを変え
   前記液晶の光透過率を変えて前記フォトディテクタによ
   り前記光素子の光出力を測定することを特徴とする光素
   子出力検査装置。