JPH0362440A - X-ray generator - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はＸ線吸収スペクトル測定装置などに使用する
Ｘ線発生装置、特にそのＸ線発生用のターゲットの装着
機構に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an X-ray generator used in an X-ray absorption spectrum measuring device, and particularly to a mounting mechanism for a target for X-ray generation.
［従来の技術］
Ｅ Ｘ Ａ Ｆ Ｓ （Ｅｘｔｅｎｄｅｄ Ｘ−ｒａｙ
Ａｂｓｏｒｐｔｔｏｎ ＦｉｎｅＳｔｒｕｃｔｕｒｅ
）やＸ Ａ Ｎ Ｅ Ｓ （Ｘ−ｒａｙ Ａｂｓｏｒｐ
ｔｉｏｎ ＮｅａｒＥｄｇｅ ５ｔｒｕｃｔｕｒｅ）等
の解析を行うために、Ｘ線吸収スペクトル測定装置が用
いられる。従来のこの種のＸ線吸収スペクトル測定装置
としては、第３図に示すものがあった。第３図は従来の
装置の構成の概略を示す図で、図において（６）はＸ線
、（７）は薄膜の試料、（８〉はＸ線分光検出器、（１
２）はＸ線発生装置である。[Prior art] Extended X-ray
Absorptton FineStructure
) and X-ray Absorp
An X-ray absorption spectrum measurement device is used to perform analysis such as tion NearEdge 5structure). A conventional X-ray absorption spectrum measuring device of this type is shown in FIG. Figure 3 is a diagram schematically showing the configuration of a conventional device, in which (6) is an X-ray, (7) is a thin film sample, (8> is an X-ray spectrometer detector, and (1) is a thin film sample.
2) is an X-ray generator.
第３図に示す装置は、Ｘ線管球を用いたＸ線発生装置（
１２）が使用されており、このＸ線発生装置（１２）か
らＸ線（６〉を放射し、試料〈７〉へ照射して試料（７
）を透過したＸ線（６〉をＸ線分光検出器（８）で検出
してＸ線吸収スペクトルの分析を行っている。The device shown in Figure 3 is an X-ray generator using an X-ray tube (
12) is used, and this X-ray generator (12) emits X-rays (6) and irradiates them onto the sample (7).
) is detected by an X-ray spectrometer (8) to analyze the X-ray absorption spectrum.
この装置は、Ｘ線発生装置（１２）にＸ線管球を使用し
ているため、Ｘ線の発生箇所から試料（７〉までの距離
を短くすることができず、試料（７）にＸ線（６〉が照
射されるときにはＸ線（６）の照射領域が拡大してしま
い、単位面積当たりのＸ線強度が低下してしまうという
欠点がある。Since this device uses an X-ray tube as the X-ray generator (12), it is not possible to shorten the distance from the X-ray generation point to the sample (7), and the There is a drawback that when the X-ray (6) is irradiated, the irradiation area of the X-ray (6) expands, and the X-ray intensity per unit area decreases.
この欠点を解消するため第４図に示すように、本願出願
人と同一出願人により新しいＸ線吸収スペクトル測定装
置が開発されている。第４図は本願出願人と同一出願人
により開発された電子線励起によるＸ線吸収スペクトル
測定装置の構成の概略を示す破壊断面図で、図において
第３図と同一符号は同−又は相当部分を示し、（１）は
Ｘ線発生装置、（２）は電子銃、（３）は電子線、（４
〉はＸ線発生用のターゲット、（５〉はターゲット設置
台、（９〉は真空排気装置を示す。In order to eliminate this drawback, a new X-ray absorption spectrum measuring device has been developed by the applicant and the same applicant, as shown in FIG. FIG. 4 is a broken sectional view showing the outline of the configuration of an X-ray absorption spectrum measuring device using electron beam excitation developed by the applicant and the same applicant. In the figure, the same reference numerals as in FIG. (1) is an X-ray generator, (2) is an electron gun, (3) is an electron beam, and (4 is
> indicates a target for X-ray generation, (5> indicates a target installation stand, and (9> indicates a vacuum evacuation device).
この装置はターゲット（４）に電子線（３）を照射し、
電子線励起によりＸ線（６）を発生させるＸ線発生装置
（１）を使用しており、またＸ線発生装置（１）と試料
（７）とＸ線分光検出器（８）とを同一真空体内に配設
している。This device irradiates a target (4) with an electron beam (3),
An X-ray generator (1) that generates X-rays (6) by electron beam excitation is used, and the X-ray generator (1), sample (7), and X-ray spectrometer detector (8) are the same. It is placed inside a vacuum body.
次に第４図に示す装置の動作について説明する。Next, the operation of the apparatus shown in FIG. 4 will be explained.
電子銃（２）から発生した電子線（３）は電磁レンズ（
図示せず）により数μｍ以下に細く絞られ、Ｘ線発生用
のターゲット（４）へ照射される。電子線（３）が照射
されることにより、電子線励起によってターゲット（４
）からＸ線（６）が発生し、発生したＸ線（６）が試料
（７）に照射される。試料（７）に照射されたＸ線（６
）は、試料により特有の吸収を受けてからＸ線分光検出
器（８〉へ入射し、分光結晶とＸ線検出器（ともに図示
せず）を備えるＸ線分光検出器（８）で分光、検出され
、電気信号に変換されてＸ線強度が計測される。The electron beam (3) generated from the electron gun (2) passes through an electromagnetic lens (
(not shown) narrows the beam down to several micrometers or less, and irradiates it onto a target (4) for generating X-rays. By being irradiated with the electron beam (3), the target (4) is excited by the electron beam.
) generates X-rays (6), and the generated X-rays (6) are irradiated onto the sample (7). X-rays (6) irradiated to sample (7)
) enters the X-ray spectroscopic detector (8) after receiving a characteristic absorption by the sample, and is analyzed by the X-ray spectroscopic detector (8) equipped with a spectroscopic crystal and an X-ray detector (both not shown). It is detected, converted into an electrical signal, and the X-ray intensity is measured.
この装置は以上のように、ターゲット（４）へ電子線（
３）を照射し、ターゲット（４）から電子線励起により
Ｘ線（６）を発生させるＸ線発生装置（１）を備え、発
生したＸ線（６）を直接に試料（７）へ照射することと
して、Ｘ線の発生箇所から試料（７）までの距離を１０
ｍｍ〜２０ｍｍ以内の近距離に置いて、試料（７〉へ照
射されるＸ線（６〉の拡散による弊害を防止するととも
に、装置の自動運転を容易にしている。As described above, this device uses an electron beam (
3) and is equipped with an X-ray generator (1) that generates X-rays (6) from a target (4) by electron beam excitation, and directly irradiates the generated X-rays (6) to the sample (7). In particular, the distance from the X-ray generation point to the sample (7) should be 10
It is placed at a short distance within 20 mm to prevent harmful effects caused by the diffusion of X-rays (6) irradiated onto the sample (7), and facilitate automatic operation of the apparatus.
［発明が解決しようとする課題］
ところで試料を通過するＸ線の吸収スペクトルを測定し
分析を行うためには、分析する試料に対応して使用する
Ｘ線の種類を選択する必要がある。[Problems to be Solved by the Invention] In order to measure and analyze the absorption spectrum of X-rays passing through a sample, it is necessary to select the type of X-rays to be used in accordance with the sample to be analyzed.
このため第３図に示す従来の装置においては、組立式の
Ｘ線管球を使用している場合には、そのつと対陽極の交
換を行い、組立式でないＸ線管球を使用している場合に
はＸ線管球そのものを測定する試料に応じて交換してお
り、また第４図に示す装置においては、真空を破壊して
ターゲットの交換を行わなければならず、この操作が容
易でないという問題点があった。For this reason, in the conventional apparatus shown in Figure 3, if a prefabricated X-ray tube is used, the counter anode must be replaced, and a non-assembled X-ray tube is used. In some cases, the X-ray tube itself is replaced depending on the sample to be measured, and in the equipment shown in Figure 4, the vacuum must be broken to replace the target, which is not easy to do. There was a problem.
この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
、使用するＸ線の種類を容易に選択し、且つその交換を
容易に行うことができるＸ線発生装置を提供することを
目的としている。The present invention has been made to solve this problem, and an object of the present invention is to provide an X-ray generator that allows easy selection of the type of X-ray to be used and easy replacement of the X-ray.
［課題を解決するための手段］
この発明にかかるＸ線発生装置は、電子線の照射位置に
、Ｘ線発生用のターゲットを複数装着することができる
ターゲットホルダと、このターゲットホルダを駆動する
駆動機構とを備えることとした。[Means for Solving the Problems] An X-ray generation device according to the present invention includes a target holder capable of mounting a plurality of X-ray generation targets at an electron beam irradiation position, and a drive for driving the target holder. It was decided to have a mechanism.
［作用］
この発明においては、駆動機構によりターゲットホルダ
を駆動して、所望の種類のターゲットに電子線を照射す
ることが可能となる。[Function] In the present invention, it is possible to drive the target holder by the drive mechanism and irradiate a desired type of target with an electron beam.
［実施例］
以下、この発明の実施例を図面について説明する。第１
図はこの発明によるＸ線発生装置に使用されるターゲッ
トホルダの一実施例を示す斜視図で、図において第３図
、第４図と同一符号は同−又は相当部分を示し、（１０
）はターゲットホルダ、（１１）はその回転軸、（Ｗ）
はタングステン、（ＭＯ）はモリブデン、（Ｃｕ）は銅
、（ＣＯ）はコバルト、（Ｆｅ）は鉄、（Ｃｒ）はクロ
ムで、これらの金属はそれぞれＸ線発生用のターゲット
（４）として用いられる。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. 1st
The figure is a perspective view showing one embodiment of the target holder used in the X-ray generator according to the present invention. In the figure, the same reference numerals as in FIGS.
) is the target holder, (11) is its rotation axis, (W)
is tungsten, (MO) is molybdenum, (Cu) is copper, (CO) is cobalt, (Fe) is iron, and (Cr) is chromium, and each of these metals is used as a target (4) for X-ray generation. It will be done.
この発明におけるＸ線発生装置は第１図に示すように、
電子線（３）が照射される位置に、複数のｘＨ発生用の
ターゲット（４）を装着できるターゲットホルダ（１０
）を備えており、このターゲットホルダ（１０）は駆動
機構（図示せず〉により、外部からの制御信号で回転軸
（１１）を中心に回転駆動するように構成されている。As shown in FIG. 1, the X-ray generator in this invention has the following features:
A target holder (10
), and the target holder (10) is configured to be rotated about a rotation axis (11) by a drive mechanism (not shown) in response to an external control signal.
従って従来の装置のようにＸ線管球や対陽極を交換した
り、装置の真空を破壊する必要なく、ターゲットホルダ
（１０〉を回転させて分析する試料（７）に応じた所望
の種類のターゲット（４）を選択し、所望の種類のＸ線
（６）を容易に発生させることができる。Therefore, unlike conventional devices, there is no need to replace the X-ray tube or counteranode or break the vacuum of the device, and the target holder (10) can be rotated to select the desired type of sample (7) to be analyzed. A target (4) can be selected and a desired type of X-ray (6) can be easily generated.
また上述の駆動機構によって、電子線（３）の軸方向を
Ｚ方向とした場合のＸ−Ｙ平面でターゲットホルダ（１
０）を適宜に移動させることができるように、ターゲッ
トホルダ（１０）はターゲット設置台（５）の上に配置
されており、ターゲット（４〉の表面の一点に電子線（
３）が長時間照射されることでコンタミネーションの生
成によるＸ線の発生効率が低下するのを防止している。Furthermore, by the above-mentioned drive mechanism, the target holder (1
The target holder (10) is placed on a target installation stand (5) so that the target (4) can be moved appropriately, and the electron beam (
3) prevents the X-ray generation efficiency from decreasing due to the generation of contamination due to long-time irradiation.
なお、他の構成や動作については、第４図に示すＸ線発
生装Ｗ（１〉と同様であり、ここではその説明は省略す
る。Note that the other configurations and operations are the same as those of the X-ray generator W (1> shown in FIG. 4), and the description thereof will be omitted here.
また上記実施例では、ターゲットホルダ（１０）を回転
式のものとしているが、この発明は電子線（３）が照射
される位置に、複数のターゲット（４）が装着可能なタ
ーゲットホルダ（１０）と、このターゲットホルダ（１
０〉を駆動する駆動機構とを備えたものであれば、ター
ゲット（４〉の装着数や駆動方向を限定されるものでは
なく、例えば第２図に示すように、複数のターゲット（
４〉を−直線上に配置し、ターゲットホルダ（１０）を
平行移動させるようなものであってもよい。Further, in the above embodiment, the target holder (10) is a rotary type, but the present invention provides a target holder (10) that can attach a plurality of targets (4) to the position where the electron beam (3) is irradiated. And this target holder (1
As long as it is equipped with a drive mechanism that drives the target (4), there are no limitations on the number of attached targets (4) or the driving direction. For example, as shown in FIG.
4> may be placed on the - straight line and the target holder (10) may be moved in parallel.
さらに上記実施例では、Ｘ線吸収スペクトル測定装置に
使用するＸ線発生装置として説明しているが、種類の異
なるＸ線を発生させるＸ線発生源が必要な装置であれば
、各種の装置に使用することができる。Furthermore, in the above embodiment, the X-ray generator is used for an X-ray absorption spectrum measurement device, but it can be used for various types of equipment as long as the device requires an X-ray source that generates different types of X-rays. can be used.
［発明の効果］
この発明は以上説明したように、電子線の照射位置に、
Ｘ線発生用のターゲットを複数装着すことができるター
ゲットホルダを備え、このタゲットホルダを駆動して所
望の種類のターゲラに電子線を照射し、所望の種類のＸ
線を発生さることができるので、測定する試料に応じて
使するＸ線の種類を容易に選択し、且つその交換容易に
行うことができるという効果がある。[Effects of the Invention] As explained above, the present invention provides an electron beam at the irradiation position.
It is equipped with a target holder that can attach multiple targets for X-ray generation, and drives this target holder to irradiate a desired type of target with an electron beam, thereby generating the desired type of X-ray.
Since X-rays can be generated, the type of X-rays to be used can be easily selected depending on the sample to be measured, and the X-rays can be easily replaced.
第１図はこの発明の一実施例を示す図、第２は他の実施
例を示す図、第３図、第４図はそれれ従来の装置を説明
するための図。
（３〉は電子線、（４）はターゲット、（５）はタゲッ
ト設置台、（６）はＸ線、（１０）はターゲットルダ、
（１１〉は回転軸。
なお、各図中同一符号は同−又は相当部分をすものとす
る。FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of the present invention, the second is a diagram showing another embodiment, and FIGS. 3 and 4 are diagrams for explaining conventional devices. (3> is an electron beam, (4) is a target, (5) is a target installation stand, (6) is an X-ray, (10) is a target radar,
(11> is the rotation axis. In each figure, the same reference numerals refer to the same or corresponding parts.
Claims (1)
装置により発生させた電子線の照射位置に配置されるＸ
線発生用のターゲットを有し、このＸ線発生用のターゲ
ットに電子線を照射して、電子線励起によりＸ線を発生
させるＸ線発生装置において、 上記Ｘ線発生用のターゲットを複数個装着することがで
き、上記電子線の照射位置に配設されるターゲットホル
ダと、このターゲットホルダを装置外部からの指令によ
り駆動する駆動機構とを備え、 上記駆動機構により上記ターゲットホルダを駆動して所
望の種類の上記Ｘ線発生用のターゲットを選択し、選択
した上記Ｘ線発生用のターゲットに電子線を照射して所
望の種類のＸ線を発生させることを特徴とするＸ線発生
装置。[Claims] An electron beam generating device that generates an electron beam, and an
In an X-ray generation device that has a target for generating rays, irradiates the target for generating X-rays with an electron beam, and generates X-rays by excitation with the electron beam, a plurality of the targets for generating X-rays are installed. The device is equipped with a target holder disposed at the electron beam irradiation position and a drive mechanism that drives the target holder according to a command from outside the device, and the drive mechanism drives the target holder to achieve a desired result. An X-ray generation apparatus characterized in that the X-ray generation target of the above type is selected, and the selected X-ray generation target is irradiated with an electron beam to generate a desired type of X-ray.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19665089A JPH0362440A (en) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | X-ray generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19665089A JPH0362440A (en) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | X-ray generator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0362440A true JPH0362440A (en) | 1991-03-18 |
Family
ID=16361308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19665089A Pending JPH0362440A (en) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | X-ray generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0362440A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004511884A (en) * | 2000-10-06 | 2004-04-15 | ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ − チャペル ヒル | X-ray generation mechanism using electron field emission cathode |
| JP2006526268A (en) * | 2003-04-25 | 2006-11-16 | ヴァリアン メディカル システムズ テクノロジーズ インコーポレイテッド | Radiation source and radiation scanning system with improved radiation intensity uniformity |
| WO2022219537A1 (en) * | 2021-04-12 | 2022-10-20 | Ncx Corporation | X-ray source with anode exchange arrangement, and associated method |
-
1989
- 1989-07-31 JP JP19665089A patent/JPH0362440A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004511884A (en) * | 2000-10-06 | 2004-04-15 | ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ − チャペル ヒル | X-ray generation mechanism using electron field emission cathode |
| JP2006526268A (en) * | 2003-04-25 | 2006-11-16 | ヴァリアン メディカル システムズ テクノロジーズ インコーポレイテッド | Radiation source and radiation scanning system with improved radiation intensity uniformity |
| WO2022219537A1 (en) * | 2021-04-12 | 2022-10-20 | Ncx Corporation | X-ray source with anode exchange arrangement, and associated method |
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