JPH0361938B2 - - Google Patents

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JPH0361938B2
JPH0361938B2 JP57148613A JP14861382A JPH0361938B2 JP H0361938 B2 JPH0361938 B2 JP H0361938B2 JP 57148613 A JP57148613 A JP 57148613A JP 14861382 A JP14861382 A JP 14861382A JP H0361938 B2 JPH0361938 B2 JP H0361938B2
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JP
Japan
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photosensitive
film
weight
developer
molecular weight
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JP57148613A
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Japanese (ja)
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JPS5937540A (en
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Takeo Morya
Toshio Yamagata
Kentaro Oosawa
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Kimoto Co Ltd
Original Assignee
Kimoto Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/008Azides
    • G03F7/012Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders
    • G03F7/0125Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binder or the macromolecular additives other than the macromolecular azides

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ポリビニルブチラール、ポリビニル
ホルマール又はポリ酢酸ビニルと、有機溶剤に可
溶なアジド化合物とを含有する感光性組成物の画
像形成方法に関するものであり、さらに詳細には
感光皮膜が強靭で水系現像液で現像可能な感光性
組成物の画像形成方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for forming an image using a photosensitive composition containing polyvinyl butyral, polyvinyl formal, or polyvinyl acetate and an azide compound soluble in an organic solvent. relates to an image forming method using a photosensitive composition which has a strong photosensitive film and can be developed with an aqueous developer.

従来より高分子化合物と芳香族アジド化合物と
を含有する感光性組成物が知られており、例えば
環化ゴムと芳香族アジド化合物の組合せ、アルカ
リ可溶性ホルマリン縮合樹脂と芳香族アジド化合
物の組合せなどがある。これらはフオトレジス
ト、フオトレリーフなどの用途に利用されてい
る。
Photosensitive compositions containing a polymer compound and an aromatic azide compound are conventionally known, such as a combination of a cyclized rubber and an aromatic azide compound, a combination of an alkali-soluble formalin condensation resin and an aromatic azide compound, etc. be. These are used for applications such as photoresist and photorelief.

しかしながら環化ゴムと芳香族アジド化合物の
組合せでは耐蝕性、密着性にはすぐれているが、
有機溶剤によつて現像されるため人体への毒性、
引火性等、作業環境の面からみて、好ましいとは
言えない。
However, although the combination of cyclized rubber and aromatic azide compound has excellent corrosion resistance and adhesion,
Toxicity to the human body as it is developed using an organic solvent.
It cannot be said to be desirable from the viewpoint of work environment such as flammability.

又アルカリ可溶性ホルマリン縮合樹脂と芳香族
アジド化合物の組合せでは、アルカリ水溶液で現
像可能であるが、感光皮膜が脆く、きずがつきや
すいなど機械的強度が不十分である。
Furthermore, a combination of an alkali-soluble formalin condensation resin and an aromatic azide compound can be developed with an alkaline aqueous solution, but the photosensitive film is brittle and easily scratched, resulting in insufficient mechanical strength.

本発明の目的は、これらの問題点を解決し、感
光皮膜が強靭でしかも水系現像液で現像可能な感
光性組成物の画像形成方法を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to solve these problems and provide an image forming method using a photosensitive composition which has a strong photosensitive film and can be developed with an aqueous developer.

本発明者は、前記の問題点を解決すべく鋭意研
究を進めた結果、ポリビニルブチラール、ポリビ
ニルホルマール、又はポリ酢酸ビニルと、有機溶
剤に可溶なアジド化合物とを含有する感光性組成
物を使用するときは前記目的を達成し得ることを
発見した。本発明はかかる知見に基づいてなされ
たものである。
As a result of intensive research to solve the above problems, the present inventor used a photosensitive composition containing polyvinyl butyral, polyvinyl formal, or polyvinyl acetate and an azide compound soluble in an organic solvent. It has been discovered that the above objective can be achieved when The present invention has been made based on this knowledge.

本発明において使用する高分子化合物は、ポリ
ビニルブチラール、ポリビニルホルマール、又は
ポリ酢酸ビニルよりなる群から選ばれた1種以上
が用いられる。これら高分子化合物は有機溶剤に
可溶であれば使用可能であるが、その分子量が少
なすぎると、露光部の硬化が弱く、現像した場合
に露光部分の膨潤あるいは流出が発生し、実用に
耐えないし、被膜強度も低下する。また、分子量
が大きくなるにしたがい、露光部の光硬化は良く
なり、水系現像液に対する耐性は向上するが、未
露光部の水系現像液に対する溶解性が低下し、現
像時間が長くなり、極端な場合には現像が不可能
となるほか、感光液が高粘度になりその調液、塗
工等が困難になるため好ましくない。ブチラール
化度及びホルマール化度については、それらが低
い場合には有機溶剤に不溶であり、有機溶剤に可
溶なアジド化合物との混合が困難であり、また被
膜の耐水性が悪くなり、一方、高くなると水系現
像液に対する溶解性が低下し、極端な場合には現
像が不可能となる。以上の理由により、ポリビニ
ルブチラールにおいては平均分子量10000から
230000で、ブチラール化度が20から80mol%、ポ
リビニルホルマールにおいては、平均分子量9000
から150000でホルマール化度が20から80mol%、
ポリ酢酸ビニルにおいては平均分子量15000から
270000である高分子化合物が好ましい。
The polymer compound used in the present invention is one or more selected from the group consisting of polyvinyl butyral, polyvinyl formal, and polyvinyl acetate. These polymer compounds can be used as long as they are soluble in organic solvents, but if their molecular weight is too low, the curing of the exposed areas will be weak and the exposed areas will swell or run out when developed, making them unsuitable for practical use. Moreover, the film strength also decreases. In addition, as the molecular weight increases, photocuring of exposed areas improves and resistance to aqueous developers improves, but solubility of unexposed areas in aqueous developers decreases, development time becomes longer, and extreme In such cases, development becomes impossible and the photosensitive solution becomes highly viscous, making preparation, coating, etc. difficult, which is not preferable. Regarding the degree of butyralization and formalization, if they are low, it will be insoluble in organic solvents and difficult to mix with azide compounds that are soluble in organic solvents, and the water resistance of the coating will be poor. When the temperature increases, the solubility in an aqueous developer decreases, and in extreme cases, development becomes impossible. For the above reasons, polyvinyl butyral has an average molecular weight of 10,000.
230,000, the degree of butyralization is 20 to 80 mol%, and the average molecular weight of polyvinyl formal is 9,000.
From 150,000, the degree of formalization is 20 to 80 mol%,
For polyvinyl acetate, the average molecular weight starts from 15,000.
270,000 is preferred.

又、本発明において使用する有機溶剤に可溶な
アジド化合物としては、4,4′−ジアジドカルコ
ン、2,6−ジ(4′−アジドベンザル)−シクロ
ヘキサノン、2,6−ジ(4′−アジドベンザル)
−4−メチル−シクロヘキサノン、4,4′−ジア
ジドスチルベン、4,4′−ジアジドベンゾフエノ
ン、P−フエニレンジアジド、4,4′−ジアジド
フエニルメタン等をあげることができる。
In addition, examples of the azide compounds soluble in organic solvents used in the present invention include 4,4'-diazidochalcone, 2,6-di(4'-azidobenzal)-cyclohexanone, and 2,6-di(4'- Azidobenzal)
-4-methyl-cyclohexanone, 4,4'-diazidostilbene, 4,4'-diazidobenzophenone, P-phenylene diazide, 4,4'-diazidophenylmethane, etc. .

これら、有機溶剤に可溶なアジド化合物の、高
分子化合物に対する添加量は、重量で、通常1か
ら60%、好適な添加量は4から30%である。
The amount of these organic solvent-soluble azide compounds added to the polymer compound is usually 1 to 60%, preferably 4 to 30%, by weight.

さらに、必要に応じ、これらアジド化合物の増
加剤、染料、顔料等を添加しても差支えない。
又、使用目的に応じ、現像性、耐蝕性等の改善の
必要が有れば、ポリビニルブチラール、ポリビニ
ルホルマール、又はポリ酢酸ビニルと相溶性のあ
るフエノール樹脂、スチレン−マレイン酸共重合
樹脂、アルキツド樹脂、エポキシ樹脂等をポリビ
ニルブチラール、ポリビニルホルマール、又はポ
リ酢酸ビニルに対して等量まで添加しても良い。
Furthermore, if necessary, an increaser for these azide compounds, a dye, a pigment, etc. may be added.
Depending on the purpose of use, if it is necessary to improve developability, corrosion resistance, etc., phenolic resins, styrene-maleic acid copolymer resins, alkyd resins that are compatible with polyvinyl butyral, polyvinyl formal, or polyvinyl acetate may be used. , epoxy resin, etc. may be added in an amount equal to that of polyvinyl butyral, polyvinyl formal, or polyvinyl acetate.

本発明の感光性組成物は、一般的には有機溶剤
に溶解し、基材に塗布して使用する。有機溶剤の
具体例としては、アセトン、メチルエチルケト
ン、シクロヘキサノン、メチルアルコール、エチ
ルアルコール、プロピルアルコール、トルエン、
キシレン、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチレング
リコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、ジメチルホルムアミド
等、又はこれら有機溶剤の混合物をあげることが
できる。
The photosensitive composition of the present invention is generally used by dissolving it in an organic solvent and applying it to a substrate. Specific examples of organic solvents include acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, toluene,
Examples include xylene, ethyl acetate, butyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, dimethylformamide, and mixtures of these organic solvents.

本発明の感光性組成物の現像液としては、芳香
族カルボン酸、芳香族スルホン酸、フエノール
類、又はアルキル硫酸の各アルカリ金属塩化合物
の水溶液を使用することができる。これらの化合
物の具体例を示せば、芳香族カルボン酸としては
P−クロル安息香酸、サリチル酸、アントラニル
酸等、芳香族スルホン酸としては1−ナフトール
−4−スルホン酸等、フエノール類としてはP−
ヒドロキシ安息香酸エチル、ペンタクロルフエノ
ール等、アルキル硫酸としてはラウリル硫酸等が
有り、これらの化合物のナトリウム、カリウム等
のアルカリ金属塩化合物をあげることができる。
現像液の現像性、安定性等からみて、最も好まし
いものとしては、P−クロル安息香酸ナトリウ
ム、サリチル酸ナトリウムをあげることができ
る。現像液の濃度としては通常4から40重量%の
水溶液として使用することができるが、現像性を
改善する目的で、メチルアルコール、エチルアル
コール、イソプロピルアルコール、ベンジルアル
コール等の有機溶剤をこれら現像液に対し重量で
1から40%添加することもできる。
As a developer for the photosensitive composition of the present invention, an aqueous solution of an alkali metal salt compound of an aromatic carboxylic acid, an aromatic sulfonic acid, a phenol, or an alkyl sulfuric acid can be used. Specific examples of these compounds include aromatic carboxylic acids such as P-chlorobenzoic acid, salicylic acid, and anthranilic acid, aromatic sulfonic acids such as 1-naphthol-4-sulfonic acid, and phenols such as P-
Examples of alkyl sulfates include ethyl hydroxybenzoate and pentachlorophenol, lauryl sulfate, and alkali metal salts of these compounds such as sodium and potassium.
In view of the developability, stability, etc. of the developer, the most preferred are sodium P-chlorobenzoate and sodium salicylate. The concentration of the developer can usually be used as an aqueous solution with a concentration of 4 to 40% by weight, but in order to improve the developability, organic solvents such as methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, benzyl alcohol, etc. are added to these developers. It is also possible to add 1 to 40% by weight.

本発明の感光性組成物の画像形成方法によれ
ば、皮膜が強靭でレリーフがシヤープな良好な画
像が得られ、又有機溶剤を使用しないので作業性
も良い。
According to the image forming method of the photosensitive composition of the present invention, a good image with a strong film and sharp relief can be obtained, and workability is also good because no organic solvent is used.

次に本発明を実施例によつて更に詳細に説明す
る。なお、本発明は以下の実施例によつて制限を
受けるものではない。
Next, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples. Note that the present invention is not limited to the following examples.

実施例 1 コロナ放電処理した厚さ100μのポリエチレン
フタレートフイルム上に、下記組成の感光液を乾
燥後の塗膜が3μになるように塗布し、次いで乾
燥した。
Example 1 A photosensitive solution having the following composition was coated on a polyethylene phthalate film having a thickness of 100 μm which had been subjected to corona discharge treatment so that the coating film after drying had a thickness of 3 μm, and then dried.

感光液 ポリビニルブチラール・エスレツクBX−L
(積水化学(株)社製) 10重量部 4,4′−ジアジドカルコン 2 〃 メチルエチルケトン 50 〃 トルエン 40 〃 酢酸ブチル 30 〃 オイルブルー603(保土ヶ谷化学(株)製)
0.2〃 このようにして得られた感光性フイルムにネガ
原稿を密着させ2〓の超高圧水銀灯で1mの距離
より1分間露光を行つた後、次に示した現像液で
現像を行い未露光部を除去し鮮明なポジ画像を得
た。
Photosensitive liquid Polyvinyl butyral Eslec BX-L
(manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 10 parts by weight 4,4'-diazide chalcone 2 〃 Methyl ethyl ketone 50 〃 Toluene 40 〃 Butyl acetate 30 〃 Oil Blue 603 (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.)
0.2〃 A negative original was brought into close contact with the photosensitive film obtained in this way and exposed for 1 minute from a distance of 1 m using a 2〓 ultra-high pressure mercury lamp, and then developed with the following developer to remove the unexposed areas. was removed and a clear positive image was obtained.

現像液 サリチル酸ナトリウム 40重量部 水 60 〃 実施例 2 100μのポリエチレンフタレートフイルムの片
面に真空蒸着により0.1μのアルミニウム膜を設
け、その上に下記組成感光液を乾燥後の塗膜が
3μになる様に塗布し、乾燥した。
Developer Sodium salicylate 40 parts by weight Water 60 〃 Example 2 A 0.1μ aluminum film was provided on one side of a 100μ polyethylene phthalate film by vacuum deposition, and a photosensitive solution with the following composition was dried on top of it.
It was applied to a thickness of 3μ and dried.

感光液 ポリ酢酸ビニル・ゴーセニールM35−X6(メチ
ルアルコール35%溶液、日本合成化学工業(株)
社製) 40重量部 メチルエチルケトン 60 〃 トルエン 40 〃 2,6−ジ(4′−アジドベンザル)−4−メチ
ルシクロヘキサノン 3 〃 このフイルムにネガ原稿を密着させ、2kWの
超高圧水銀灯で1mの距離より2分間露光を行つ
た後、次に示す現像液で、現像を行つた。次いで
50重量%リン酸水溶液で、アルミニウムのエツチ
ングを行つた。露光部の感光層は十分にレジスト
としての機能を果たし、画像遮光性の高い鮮明な
アルミニウムのポジ画像が得られた。
Photosensitive liquid Polyvinyl acetate Gosenyl M35-X6 (35% methyl alcohol solution, Nippon Gosei Chemical Industry Co., Ltd.)
) 40 parts by weight Methyl ethyl ketone 60 Toluene 40 2,6-di(4'-azidobenzal)-4-methylcyclohexanone 3 A negative original was brought into close contact with this film and exposed to light from a distance of 1 m using a 2 kW ultra-high pressure mercury lamp. After exposure for one minute, development was carried out using the following developer. then
Aluminum was etched with a 50% by weight aqueous phosphoric acid solution. The photosensitive layer in the exposed area sufficiently functioned as a resist, and a clear aluminum positive image with high image light-shielding properties was obtained.

現像液 P−クロル安息香酸ナトリウム 20重量部 水 80 〃 実施例 3 厚さ100μのポリエチレンテレフタレートフイ
ルム上に下記の組成の皮膜形成液を乾燥後の膜厚
が10μになるように塗布、乾燥し、アルコール可
溶性ポリアミド層を形成した。
Developer Sodium P-chlorobenzoate 20 parts by weight Water 80 〃 Example 3 A film forming solution with the following composition was applied onto a 100μ thick polyethylene terephthalate film so that the film thickness after drying was 10μ, and dried. An alcohol-soluble polyamide layer was formed.

皮膜形成液 アルコール可溶性ポリアミド・ウルトラミド
IC(BASF社製) 10重量部 赤色有機染料 3 〃 メチルアルコール 70 〃 トルエン 20 〃 次に上記ポリアミド層の上に下記組成の感光液
を乾燥後の塗膜が3μになるように塗布、乾燥し
て感光性フイルムを得た。
Film forming liquid Alcohol-soluble polyamide/Ultramid
IC (manufactured by BASF) 10 parts by weight Red organic dye 3 Methyl alcohol 70 Toluene 20 Next, a photosensitive solution with the following composition was applied on the polyamide layer so that the coating film after drying was 3μ, and dried. A photosensitive film was obtained.

感光液 ポリビニルブチラール・エスレツクBL−3(積
水化学(株)社製) 4重量部 2,6−ジ(4′−アジドベンザル)−シクロヘ
キサノン 0.6 〃 メチルエチルケトン 60 〃 トルエン 40 〃 この感光性フイルムをポジ原稿と密着させ、超
高圧水銀灯2kWで1mの距離より、40秒露光を
行つた後、実施例2で用いた現像液で処理するこ
とにより、感光層の現像及びポリアミド層のエツ
チングを一液で行うことができ、良好なネガフイ
ルムが得られた。
Photosensitive liquid Polyvinyl butyral Eslec BL-3 (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 4 parts by weight 2,6-di(4'-azidobenzal)-cyclohexanone 0.6 〃 Methyl ethyl ketone 60 〃 Toluene 40 〃 Use this photosensitive film as a positive original After bringing them into close contact and exposing them for 40 seconds from a distance of 1 meter using a 2 kW ultra-high pressure mercury lamp, the photosensitive layer can be developed and the polyamide layer can be etched with one solution by processing with the developer used in Example 2. A good negative film was obtained.

実施例 4 銅張り積層板上に下記組成の感光液を乾燥後の
塗膜が4μになるように塗布し、乾燥した。
Example 4 A photosensitive solution having the following composition was applied onto a copper-clad laminate so that the coating film after drying had a thickness of 4μ, and dried.

感光液 ポリビニルホルマール・ビニレツクK(チツソ
(株)社製) 10重量部 2,6−ジ(4′−アジドベンザル)−4−メチ
ルシクロヘキサノン 1 〃 トルエン 45 〃 メチルアルコール 20 〃 エチレングリコールモノメチルエーテル
30 〃 これをネガ原稿と密着させ2kWの超高圧水銀
灯で1mの距離より2分間露光を行つた。実施例
2で用いた現像液で現像を行つた後、40重量%の
塩化第二鉄水溶液に浸漬し、非画線部の銅のエツ
チングを行つたが、露光部の感光層は十分にレジ
ストとしての機能を果たした。その後レジスト層
の除去はジメチルホルムアミドに浸漬することに
より簡単に行うことができた。
Photosensitive liquid Polyvinyl formal vinylec K (manufactured by Chitsuso Corporation) 10 parts by weight 2,6-di(4'-azidobenzal)-4-methylcyclohexanone 1 〃 Toluene 45 〃 Methyl alcohol 20 〃 Ethylene glycol monomethyl ether
30 This was placed in close contact with a negative original and exposed for 2 minutes from a distance of 1 meter using a 2 kW ultra-high pressure mercury lamp. After developing with the developer used in Example 2, the film was immersed in a 40% by weight ferric chloride aqueous solution to etch the copper in the non-image areas, but the photosensitive layer in the exposed areas was not sufficiently exposed to the resist. fulfilled its function. Thereafter, the resist layer could be easily removed by immersion in dimethylformamide.

実施例 5 実施例1で露光まで行つたフイルムを、次に示
した現像液1〜3で現像を行つたが、現像液1〜
3のいずれによつても実施例1と同様鮮明なポジ
画像が得られた。
Example 5 The film that had been exposed in Example 1 was developed using the following developing solutions 1 to 3.
As in Example 1, clear positive images were obtained in all cases.

現像液 1 ラウリル硫酸ナトリウム 25重量部 水 75 〃 現像液 2 アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム塩
(ペレツクスNBL・花王アトラス(株)社製有効
成分34%以上) 50重量部 水 50 〃 現像液 3 P−ヒドロキシ安息香酸η−プロピル36重量部 水酸化ナトリウム 8 〃 水 100 〃 比較例 実施例3で製造したアルコール可溶性ポリアミ
ド層を有するポリエチレンテレフタレートフイル
ムのポリアミド層の上に、下記組成の公知の感光
液を乾燥後の塗膜が3μになるように塗布、乾燥
して感光性フイルムを得た。
Developer 1 Sodium lauryl sulfate 25 parts by weight Water 75 〃 Developer 2 Sodium alkylnaphthalene sulfonate salt (34% or more of active ingredients manufactured by Perex NBL, Kao Atlas Co., Ltd.) 50 parts by weight Water 50 〃 Developer 3 P-hydroxy 36 parts by weight of η-propyl benzoate Sodium hydroxide 8 Water 100 Comparative example A known photosensitive liquid having the following composition was dried on the polyamide layer of the polyethylene terephthalate film having the alcohol-soluble polyamide layer produced in Example 3. The film was coated to a thickness of 3μ and dried to obtain a photosensitive film.

感光液 フエノール樹脂MP−707(群栄化学(株)社
製) 4重量部 2,6−ジ(4′−アジドベンザル)−シクロヘ
キサノン 0.6 〃 メチルエチルケトン 60 〃 トルエン 40 〃 この感光性フイルムをポジ原稿と密着させ超高
圧水銀灯2kWで1mの距離より1分30秒露光を
行つた後、1重量%水酸化ナトリウム水溶液で感
光層の現像を行つた。次いで実施例2で用いた現
像液でポリアミド層のエツチングを行つたが、感
光層に亀裂が生じ、亀裂が生じた部分のポリアミ
ド層までエツチングが行われてしまい、実施例3
のような良好なネガフイルムが得られなかつた。
Photosensitive liquid Phenol resin MP-707 (manufactured by Gunei Kagaku Co., Ltd.) 4 parts by weight 2,6-di(4'-azidobenzal)-cyclohexanone 0.6 〃 Methyl ethyl ketone 60 〃 Toluene 40 〃 This photosensitive film is brought into close contact with a positive original After exposure was carried out for 1 minute and 30 seconds from a distance of 1 m using a 2 kW ultra-high pressure mercury lamp, the photosensitive layer was developed with a 1% by weight aqueous sodium hydroxide solution. Next, the polyamide layer was etched using the developer used in Example 2, but cracks appeared in the photosensitive layer, and the polyamide layer in the cracked areas was etched.
It was not possible to obtain a good negative film.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 高分子化合物として、平均分子量10000から
230000でブチラール化度が20から80mol%である
ポリビニルブチラール、平均分子量9000から
150000でホルマール化度が20から80mol%である
ポリビニルホルマール、又は平均分子量15000か
ら270000であるポリ酢酸ビニルよりなる群から選
ばれた1種以上と、前記高分子化合物に対し1か
ら60重量%の有機溶剤に可溶なアジド化合物とを
含有する感光性組成物を、露光して光硬化させ、
次いで芳香族カルボン酸、芳香族スルホン酸、フ
エノール類、又はアルキル硫酸の各アルカリ金属
塩化合物の水溶液である水系現像液で現像するこ
とを特徴とする画像形成方法。
1 As a polymer compound, average molecular weight from 10,000
Polyvinyl butyral with degree of butyralization from 20 to 80 mol% at 230000, average molecular weight from 9000
150,000 with a formalization degree of 20 to 80 mol%, or polyvinyl acetate with an average molecular weight of 15,000 to 270,000, and 1 to 60% by weight of the polymer compound. A photosensitive composition containing an azide compound soluble in an organic solvent is exposed to light and photocured,
An image forming method, which is then developed with an aqueous developer that is an aqueous solution of an alkali metal salt compound of aromatic carboxylic acid, aromatic sulfonic acid, phenols, or alkyl sulfuric acid.
JP14861382A 1982-08-26 1982-08-26 Photosensitive composition and its development method Granted JPS5937540A (en)

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JPS4825518A (en) * 1971-08-02 1973-04-03
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