JPH0350333U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0350333U JPH0350333U JP11156789U JP11156789U JPH0350333U JP H0350333 U JPH0350333 U JP H0350333U JP 11156789 U JP11156789 U JP 11156789U JP 11156789 U JP11156789 U JP 11156789U JP H0350333 U JPH0350333 U JP H0350333U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin
- characteristic measuring
- measuring
- measuring needle
- voltage application
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図ａ，ｂ，ｃは、この考案の特性測定針の
側面図であり、第１図ｂは高圧印加時、第１図ｃ
は特性測定時の特性測定針の側面図である。第２
図は従来の特性測定針の側面図である。 １……電圧印加ピン、２……特性測定ピン、３
……ウエーハの被測定部（電極）、４……特性測
定針。
側面図であり、第１図ｂは高圧印加時、第１図ｃ
は特性測定時の特性測定針の側面図である。第２
図は従来の特性測定針の側面図である。 １……電圧印加ピン、２……特性測定ピン、３
……ウエーハの被測定部（電極）、４……特性測
定針。
Claims (1)
- 電気特性測定針を、細い棒体で通電用の測定ピ
ンと、上記測定ピンを同心状に囲む筒状の高圧印
加ピンとからなる二重構造にしたことを特徴とす
る半導体ウエーハの特性測定針。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11156789U JPH0350333U (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11156789U JPH0350333U (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0350333U true JPH0350333U (ja) | 1991-05-16 |
Family
ID=31660037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11156789U Pending JPH0350333U (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0350333U (ja) |
-
1989
- 1989-09-22 JP JP11156789U patent/JPH0350333U/ja active Pending