JPH03501895A - organic optical waveguide - Google Patents

organic optical waveguide

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JPH03501895A
JPH03501895A JP50948089A JP50948089A JPH03501895A JP H03501895 A JPH03501895 A JP H03501895A JP 50948089 A JP50948089 A JP 50948089A JP 50948089 A JP50948089 A JP 50948089A JP H03501895 A JPH03501895 A JP H03501895A
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doping
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トランドル,クライブ
グッドウイン,マーチン ジョン
カー,ネイル
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 ゛学的導゛ 本発明は、有機光学的導波管に関し、導波管構造体を製造する方法も含む。[Detailed description of the invention] ``Academic guidance'' The present invention relates to organic optical waveguides and also includes methods of manufacturing waveguide structures.

非線形光学的導波管の一つの構造は、1987年10月28日に公告された英国 特許出願第2189624号に記載されている。これには特に次のように記述さ れている。有機溶媒に入れた溶液から適当な支持体に付着された線形重合体フィ ルム層を形成する0次にそのフィルム表面の一部分を非線形ドープ(dope) 用添加剤で処理し、フィルムの隣接部分と比較して屈折率の値が局部的に増大し た部分を生じさせる。これにより多くの光学的論理及び信号処理用途に用いるこ とができる非線形チャネル導波管構造体を与えている。One structure for a nonlinear optical waveguide was published in the United Kingdom on October 28, 1987. It is described in patent application no. 2189624. This specifically states: It is. A linear polymer filament is deposited from a solution in an organic solvent onto a suitable support. Non-linear doping is applied to a part of the zero-order film surface that forms the film layer. The refractive index value is locally increased compared to the adjacent part of the film. produce a part. This makes it suitable for use in many optical logic and signal processing applications. We provide a nonlinear channel waveguide structure that can achieve this.

この目的に用いられるドープ用添加剤は、分子中高度の非線形性を示す必要があ る。しかし、この性質の主要な効果は、中に含浸させたドープ剤材料の非線形性 を薄める傾向がある重合体基体の存在によって非常に低下する。従って、導波管 チャネル体積の大部分が線形型の材料によって占められるようになり、この材料 は伝達される信号の光学的制御には、何等貢献することができない。Doping additives used for this purpose must exhibit a high degree of nonlinearity in their molecules. Ru. However, the main effect of this property is the nonlinearity of the dopant material impregnated in is greatly reduced by the presence of the polymeric substrate, which tends to dilute the Therefore, the waveguide The majority of the channel volume is now occupied by the linear type of material, and this material cannot contribute in any way to the optical control of the transmitted signal.

本発明は、光学的導波管を製造する別の方法を与えるために考えられたものであ り、非線形材料の主要な効果の実質的な部分を利用することができる方法である 。更に、ドープ用添加剤として可能な材料の選択は、幾らか広くすることができ る。The present invention was conceived to provide an alternative method of manufacturing optical waveguides. is a method that can take advantage of a substantial portion of the main effects of nonlinear materials. . Furthermore, the selection of possible materials as doping additives can be somewhat widened. Ru.

本発明によれば、重合体材料の基体フィルムで、そのフィルム表面の一部分が重 合体材料の屈折率を局部的に増大し且つ導波管チャネルを定めるのに有効なドー プ用添加剤を含む基体フィルムを有し、しかも前記重合体材料が非線形光学的材 料である光学的装置が与えられる。According to the present invention, a base film of a polymeric material is provided, in which a portion of the surface of the film is Dosing effective to locally increase the refractive index of the coalescing material and define the waveguide channel. a base film containing a polymeric additive, and wherein the polymeric material is a nonlinear optical material. A free optical device is provided.

適当な非線形重合体材料の一つの種類は、キシル可溶性ポリジアセチレンである 。特別な例は10.12−ドコサジイン−1,22−ジオールビス(S−(−) −メチルベンジルウレタン)であり、それは今後9SMBUとして言及する。One type of suitable nonlinear polymeric material is xyl-soluble polydiacetylene. . A special example is 10.12-docosadiin-1,22-diolbis(S-(-) -methylbenzylurethane), which will be referred to hereafter as 9SMBU.

種々のポリジアセチレン及び関連する基体フィルムの製造及び性質は、1987 年6月20日に出願された特許出願第G B 8714511号明細書に記載さ れている。The production and properties of various polydiacetylenes and related substrate films were reviewed in 1987. As described in patent application No. GB 8714511 filed on June 20, It is.

適当なドープ用添加剤の幾つかの例には、2−メチル−4−ニトロアニリンの如 きニトロアニリンが含まれる。Some examples of suitable doping additives include 2-methyl-4-nitroaniline. Contains nitroaniline.

別の態様によれば、本発明は、支持物体を用意し、その表面上に非線形重合体材 料を付着させて基体フィルムを形成し、前記付着は有機溶媒中に材料を入れた溶 液から行ない、前記フィルム表面上にマスク材料を付着させ、ドープ用添加物を 含浸させる必要がある領域中のマスク部分を除去し、ドープ用添加剤の溶液中に 前記マスクした基体物体を浸漬し、前記添加剤の前記露出させた表面フィルム部 分中への拡散を促進する諸工程からなる光学的装置の製造方法にある。付着段階 は、支持物体を溶液の表面から取り出す浸漬被覆操作か、スピン(spin)被 覆法によって、良好な光学的品質をもつフィルムを形成するようにして行なわれ る。According to another aspect, the invention provides a support object with a nonlinear polymeric material on the surface thereof. The material is deposited to form a substrate film, and the deposition is carried out using a solution containing the material in an organic solvent. A mask material is deposited on the film surface, and a doping additive is added to the film surface. Remove the masked areas in the areas that need to be impregnated and place them in the doping additive solution. The masked substrate object is dipped into the exposed surface film portion of the additive. A method of manufacturing an optical device includes steps for promoting diffusion into a liquid. Attachment stage can be carried out either by a dip coating operation in which the support object is removed from the surface of the solution or by spin coating. It is carried out by a coating method to form a film with good optical quality. Ru.

適当な処理時間が終わった時、基体フィルムを有する支持物体をビー1用添加剤 溶液から取り出す。次にもし必要なら、残留マスク材料をフィルム表面から取り 除き、装置の製造を完了させてもよい。At the end of the appropriate processing time, the support object with the base film is coated with the Bee 1 additive. Remove from solution. Next, if necessary, remove any residual mask material from the film surface. However, the manufacturing of the device may be completed.

例として、本発明の成る特定の態様を付図を参照して次に記述する0図中二 第1図〜第3図は導波管の異なった構造を示し、そして 第4図は重合体フィルムの材料の吸収率を示すグラフである。By way of example, certain embodiments of the invention are described below with reference to the accompanying drawings. Figures 1 to 3 show different structures of waveguides, and FIG. 4 is a graph showing the absorption rates of polymer film materials.

本発明の光学的導波管の製造は、この態様ではガラス板である支持物体を与える ことがら始める0次にその板を数字9SMBU化合物の基体フィルムで被覆する 必要があり、この材料の必要な量は前述の特許出願第8714511号に記載さ れた方法によって予め調製しておいた。The production of the optical waveguide of the invention provides a support object, which in this embodiment is a glass plate. Getting Started Next the board is coated with a base film of the number 9 SMBU compound. The required amount of this material is described in the aforementioned patent application no. 8714511. It was prepared in advance according to the method described above.

板上の基体フィルムの付着は、クロロホルムに93MBUを入れた溶液から板を 取り出すことにより行なわれ、その場合、存在する固体濃度は約10重量%であ り、板の取り呂し速度は280zx/分になるように調整した。得ろれな付着物 は0.4μlの厚さをもつフィルムの形になっており、それは赤/オレンジ色を 示していた。この効果は、浸漬被覆法が板表面上の重合体分子の配列に成る程度 の配向を与えていたことを示していた。To attach the base film on the board, remove the board from a solution containing 93 MBU in chloroform. This is done by removing the solids present, in which case the solids concentration present is approximately 10% by weight. The plate removal speed was adjusted to 280zx/min. unsightly deposits is in the form of a film with a thickness of 0.4 μl, which has a red/orange color. It was showing. This effect is due to the extent to which the dip coating method results in alignment of polymer molecules on the plate surface. It was shown that the orientation was given as follows.

製造されたフィルムに必要なドープ用添加剤を導入する工程は、「溶媒補助拡散 (solvent−assisted 1ndiffu−sion)」(S A  I D )法によって行なわれ、それはドープ剤と、ドープ剤の飽和溶液とか らなる二相系中で重合体基体を接触させることを含んでいる。溶媒は、ドープ剤 分子を一定速度で基体の表面に接触させると同時に、基体上に均一な分布を与え る移動媒体として働く、溶液中に懸濁された固体ドープ剤が存在することにより 、常に飽和された溶液及び定常状態を確実に与える。基体の表面に到達したドー プ剤分子は、続いて溶媒和になっているか、又は基体中に侵入して固溶体を形成 するかのいずれかをとる0表面中に入った分子は更にマトリックス中へ拡散する であろう、ドープ剤の濃度は、屈折率の変化を生じさせるのに充分であるべきで あり、拡散の深さはフィルムの厚さによって決定される。これによって良好な非 線形性を有する効果的な導波管を与えるであろうが、多くのモードを維持する厚 い導波管の形成を避けることになるであろう。The process of introducing the necessary doping additives into the produced film is called “solvent assisted diffusion”. (Solvent-Assisted 1ndiffu-sion)” (S A ID) method, which uses a dopant and a saturated solution of the dopant. contacting the polymeric substrate in a two-phase system comprising: solvent is doping agent The molecules are brought into contact with the surface of the substrate at a constant speed while at the same time giving a uniform distribution on the substrate. Due to the presence of a solid dopant suspended in the solution, which acts as a transport medium for , ensuring a saturated solution and steady state at all times. The dope that has reached the surface of the substrate The surfactant molecules are subsequently solvated or penetrate into the substrate to form a solid solution. The molecules entering the surface will further diffuse into the matrix. The concentration of the dopant should be sufficient to cause a change in the refractive index. Yes, the depth of diffusion is determined by the thickness of the film. This results in a good A thickness that will give an effective waveguide with linearity but retains many modes This would avoid the formation of ugly waveguides.

実際、ドープされた層の厚み中の屈折率が局所的に増大しているようになる程度 まで有機又は有機金属化合物がドープされた表面層が、基体の重合体マトリック ス中に形成される。不活性溶媒に入れた溶液から吸収により重合体マトリックス 中ヘドーブ剤を導入する方法は、屈折率の変化度を変えることができるように制 御することができる。得られる導波管のこれらの特徴を決定する主たる因子は、 (a)ドープ剤及び溶媒の性質、(b)溶液の濃度、(e)処理時宜、(d)重 合体マトリックスの種類、及び溶媒と重合体マトリックスに対するドープ剤の相 対的親和力、(e)処理温度、(f)前処理の性質、及び(g>の飽和溶液中に 浸漬する。容器中に基体を覆うのに充分な量の溶液を入れ、撹拌しながら必要な 温度へ加熱する。In fact, the extent to which the refractive index throughout the thickness of the doped layer becomes locally increased A surface layer doped with an organic or organometallic compound up to the base polymer matrix formed during the process. polymer matrix by absorption from solution in an inert solvent The method of introducing the intermediate hedobe agent is controlled so that the degree of change in the refractive index can be changed. can be controlled. The main factors determining these characteristics of the resulting waveguide are: (a) properties of the dopant and solvent; (b) concentration of the solution; (e) processing timing; and (d) weight. The type of coalescing matrix and the phase of the dopant to the solvent and polymeric matrix. (e) treatment temperature, (f) nature of pretreatment, and (g>) in a saturated solution of Soak. Pour enough solution into the container to cover the substrate, and add as much solution as needed while stirring. Heat to temperature.

もし用いられる温度が過度の溶媒蒸発を起こす傾向があるならば、凝縮器が必要 になるであろう。温度は、サーモスタット制御浴又は溶媒の還流によって最もよ く維持される。わずかな過剰量を含む飽和溶液を与えるのに充分な量のドープ剤 を添加し、系を平衡に到達させる。基体を溶液中に必要な時間浸漬する。溶液が 撹拌される限り、懸濁された固体ドープ剤粒子は通常その方法に影響を与えるこ とはないが、用いられた温度でドープ剤が溶融状形になるならば、基体がドープ 剤液滴によって直接濡らされないように注意しなければならない、さもないと不 均一な拡散が得られることになる0通常渦巻きは液滴を容器の側壁に付着させる ことになるであろう。それから基体を導入してもよい、基体表面に粒子が付着す るために不均一な拡散が起きる場合、その原因は屡々静電気にある。浸漬する前 に静電防止銃(anti−static gun)で基体を前処理するのがこの 問題を解決するのに通常有効である。浸漬後、基体を冷却し、洗浄し、乾燥して もよい。A condenser is necessary if the temperature used tends to cause excessive solvent evaporation. It will be. Temperature is best controlled by a thermostatically controlled bath or by refluxing the solvent. Maintained well. Sufficient amount of dopant to give a saturated solution with a slight excess is added to allow the system to reach equilibrium. The substrate is immersed in the solution for the required time. The solution Suspended solid dopant particles usually do not affect the method as long as it is agitated. However, if the dopant is in molten form at the temperature used, then the substrate is doped. Care must be taken not to be directly wetted by the agent droplets, or damage may occur. 0 Normal swirl will cause the droplet to adhere to the side wall of the container, resulting in uniform dispersion It will probably happen. The substrate may then be introduced, allowing the particles to adhere to the substrate surface. When non-uniform diffusion occurs due to electrostatic discharge, static electricity is often the cause. before soaking This is done by pre-treating the substrate with an anti-static gun. Usually effective in solving problems. After soaking, the substrate is cooled, washed, and dried. Good too.

丘二ヱ旦ff1 選択されなドープ剤は、第1に重合体基体中への拡散で屈折率を上昇させること ができるべきである。従って、非線形重合体基体中へ拡散して安定な固溶体を形 成する非反応性材料は、それが伝達されるビームを吸収しない限り、用いること ができるであろう。Oka Niedan ff1 The selected dopants primarily increase the refractive index by diffusion into the polymeric substrate. should be able to do so. Therefore, it diffuses into the nonlinear polymer substrate to form a stable solid solution. non-reactive materials may be used unless they absorb the transmitted beam. will be possible.

ドープ剤は、5eNA、oNA、CINA、DANの如き既知の非線形化合物、 又はベンゾフェノン、置換無ホコハク酸、例えばフルガイド(F ulgide )の如き線形化合物、又はスカンジウム トリスへブタフルオロジメチルアセl 夏曵五」 本発明の方法で用いられる溶媒の機能は、本質的に移動媒体として働くことであ る。それは不活性であるべきであり、基体をひどく溶解したり膨潤させるべきで はない。ドープ剤は、移動を可能にするために溶媒に溶けなければならないが、 溶解度積は小さいのがよい。その理由は二つある。第1はドープ剤の溶媒から基 体への移動は、溶媒と重合体へのその相対的溶解度に依存する。溶媒に対する親 和力が低く、重合体基体に対する親和力が高いと、ドープ剤分子が界面で基体の 方へ入り易くなる。Dopants include known non-linear compounds such as 5eNA, oNA, CINA, DAN; or benzophenone, substituted anophosuccinic acids, such as Fulgide ), or scandium tris butafluorodimethyl acetate ``Summer Five'' The function of the solvent used in the method of the invention is essentially to act as a transport medium. Ru. It should be inert and should not seriously dissolve or swell the substrate. There isn't. The dopant must be dissolved in the solvent to allow migration, but The solubility product should be small. There are two reasons for this. The first is to remove the base from the dopant solvent. Transfer to the body depends on its relative solubility in the solvent and polymer. parent to solvent If the bonding force is low and the affinity for the polymer substrate is high, the dopant molecules will bind to the substrate at the interface. It becomes easier to enter the direction.

第2に、溶媒中の溶解度が高いと言うことは、多量のドープ剤が取り込まれるこ とを意味し、一方溶解度が低いと言うことはわずかな量のドープ剤で飽和溶液が 維持されると言うことを意味する。Second, high solubility in the solvent means that large amounts of dopant can be incorporated. On the other hand, low solubility means that only a small amount of dopant can create a saturated solution. It means that it will be maintained.

ドープ剤の高温拡散及び低温での操作(蒸気損失が最小である場合)の両方に対 し、高沸点溶媒が望ましい。For both high temperature diffusion of dopants and low temperature operation (where vapor losses are minimal) However, a high boiling point solvent is preferable.

過フッ化(perf 1orenated)有機溶媒が本発明の方法で有利な溶 媒であることが見出されている。殆んどの有機化合物は上昇させた温度でこれら の溶媒にわずがしが溶けず、広い範囲のそのような溶媒を入手することができ( PP範囲)から商業的に入手することができる。しがし、その技術は過フッ素化 溶媒を使用することに限定されるものではなく、高沸点アルクン、例えばテトラ デカンの如き他の溶媒及びダウ・コーニング(Dow Corning)200 シリーズの如きシリコーンオイルを用いてもよい。Perfluorinated organic solvents are advantageous solvents in the process of the invention. It has been found to be a mediator. Most organic compounds undergo these changes at elevated temperatures. A wide range of such solvents are available ( PP range). However, the technology is perfluorination It is not limited to using solvents such as high boiling alkenes, e.g. Other solvents such as decane and Dow Corning 200 Silicone oils such as the series may also be used.

次の実施例により本発明の方法を例示する。The following examples illustrate the method of the invention.

実施例 浸漬被覆9SMBUを、PP9(主にペルフルオロメチルデカリンの異性体混合 物がらなり、160”Cで沸騰する商業的フルオロカーボン溶り中に入れた2− メチル−4−ニトロアニリン(MNA)の飽和溶液中に、120”Cの温度で浸 漬することにより拡散(indiffusion)を行なった。Example Dip coated 9SMBU with PP9 (mainly perfluoromethyldecalin isomer mixture) The material consists of 2- Immersion in a saturated solution of methyl-4-nitroaniline (MNA) at a temperature of 120”C. Diffusion was performed by soaking.

上の実施例で記述した方法を用いて、一層複雑な導波管楕遣体を次のようにして 形成することができる。標準的写真平板法によりマトリックス材料の表面上にマ スクを予め定める。このマスク中に定められた孔により、マトリックス材料の表 面の選択された領域に溶媒拡散を行なわせ、チャネル導波管構造体を与えること ができる。Using the method described in the example above, a more complex waveguide ellipse can be constructed as follows. can be formed. Matrix is placed on the surface of the matrix material using standard photolithography techniques. Define the schedule in advance. The holes defined in this mask allow the surface of the matrix material to be Allowing solvent diffusion to occur in selected areas of the surface to provide a channel waveguide structure Can be done.

この方法によって、曲がった導波管、分岐した導波管、方向性カップラー及びイ ンターフェロメーターを含めた種々の能動及び受動チャネル導波管構造体を形成 することができる。典型的導波管種遺体が第1図、第2図及び第3図に例示され ており、Radio & Electronic Engineer。This method allows curved waveguides, branched waveguides, directional couplers and Form a variety of active and passive channel waveguide structures, including interferometers can do. Typical waveguide species bodies are illustrated in FIGS. 1, 2, and 3. Radio & Electronic Engineer.

Vol、53. No、9. pp、313−320.5ept、 (1983 )に発表されたベニオン(Bennion)その他による論文に例示されている 。Vol, 53. No, 9. pp, 313-320.5ept, (1983 ), as illustrated in the paper by Bennion et al. .

第4 (a)区は平坦な導波管を示し、第4(b)図は曲線状導波管を示し2第 4(c)図はY型接合拡張線導波管を示している。第4 (a)tlではプラス チック基体(2)は、相(1)内の屈折率を上昇させるドープ剤の溶媒拡散によ って形成された導波表面相(1)を有する。第2図に示された導波管は、領域( 3)に溶媒拡散を極限することによってJ型導波管チャネルをもつように形成さ れている。第3図は、表面相(1)中に規定された模様状に溶媒拡散ドープ剤を 同様に極限することにより形成されたY型チャネル導波管構造体を示している。Section 4 (a) shows a flat waveguide, and Section 4 (b) shows a curved waveguide. Figure 4(c) shows a Y-junction extended line waveguide. 4th (a) Plus in tl The tick substrate (2) is formed by solvent diffusion of a dopant that increases the refractive index within the phase (1). It has a waveguide surface phase (1) formed by. The waveguide shown in FIG. 3) Formed with a J-shaped waveguide channel by limiting solvent diffusion. It is. Figure 3 shows the solvent diffusion dopant being applied in a defined pattern in the surface phase (1). A Y-channel waveguide structure formed by a similar limit is shown.

第3図の導波管では、例えばチャネル4に沿った方向に向けられた光は二つ路( 5)及び(6)に分割されるであろう。ベニオンその他の論文には、基本的製造 原理及び有機光学的導波管の利用について記述されている。In the waveguide of FIG. 3, for example, light directed along channel 4 passes through two paths ( 5) and (6). The paper by Bennion et al. The principles and uses of organic optical waveguides are described.

第4図は重合体フィルム中のドープ剤材料の吸収率を示すグラフである。水平軸 はフィルム試料により伝達される光の波長(n−)を与え、垂直軸は吸収率を示 している。FIG. 4 is a graph showing the absorption rate of dopant materials in polymeric films. horizontal axis gives the wavelength (n-) of the light transmitted by the film sample, and the vertical axis shows the absorption. are doing.

試料はガラス基体上に支持された9SMBtJフィルムに関し、ドープ剤材料は MNAであった。溶液中の浸漬時間の増大に伴うドープ剤材料の取り込み量はU V/V I S分光分析により検査し、MNAの吸収ピークは3840−の所に あり、9 SMBUの同様なピークは482及び530nm(二重II)の所に あると予想された。The sample involves a 9SMBtJ film supported on a glass substrate, and the dopant material is He was an M.N.A. The amount of dopant material uptake with increasing immersion time in the solution is U Inspected by V/V IS spectroscopy, the absorption peak of MNA is at 3840- Similar peaks for 9 SMBU are at 482 and 530 nm (double II). It was expected that there would be.

グラフの曲線は、ドープ剤溶液中にフィルムを浸漬した1、2.4及び8分の浸 漬時間の結果と一緒に0時間の結果を示している。2分は、ドープ剤材料の最大 取り込みを与えるための最適時間であることが観察された。The curves in the graph are for 1, 2.4 and 8 minute immersion of the film in the dopant solution. The results for 0 hours are shown together with the soaking time results. 2 minutes is the maximum of dopant material It was observed that this is the optimal time to provide uptake.

点線で示した曲線は、フィルム中へのドープ剤材料の最大の取り込みであるが、 14日間のエージング期間が経過した後の結果を示している。このことは、重合 体フィルム層中のドープ剤材料の安定性を示している。The dotted curve is the maximum incorporation of dopant material into the film, but Results are shown after a 14 day aging period. This means that polymerization Figure 2 shows the stability of the dopant material in the body film layer.

本発明の方法をニトロアニリンの拡散に特に関連して例示してきたが、別の有機 ドープ剤を用いることもできる。Although the method of the invention has been illustrated with particular reference to the diffusion of nitroaniline, other organic Dopants can also be used.

この種類のチャネル導波管構造体の一つ特別な用途は、例えば本出願人による英 国特許ff1lff第2155194号に記載されているような半導体部品間の 光学的相互結合部を与えることである。One particular application of this type of channel waveguide structure is, for example, the English Between semiconductor components as described in national patent ff1lff No. 2155194 The purpose is to provide an optical interconnect.

例えば、最初の基体上に一つ以上の重合体材料の層を付着させ、その構造体を( もし必要なら、硬化後〉溶媒拡散処理にかけた後、重合体の次の層を付着させる ことにより多相導波管構造体を形成することもできる。スピン被覆又は浸漬被覆 法は、二つ以上重ねられた重合体マトリックス層を付着させるのに適した方法で ある。For example, one or more layers of polymeric material may be deposited onto an initial substrate and the structure ( If necessary, apply the next layer of polymer after curing and subjecting it to a solvent diffusion treatment. This also allows the formation of polyphase waveguide structures. Spin coating or dip coating The method is suitable for depositing two or more superimposed polymer matrix layers. be.

上で示した如きチャネル導波管構造体は、希望の模様を重合体フィルム上に定め る標準的写真平板法を用いることにより製造することができる。そのような方法 は、重合体フィルム上に蒸発させた金属マスク(例えば、アれている。基体中へ 溶媒拡散させた後、アルミニウムを除去することにより、よく規定されたチャネ ル導波管が残される。写真平板法又は他の標準的方法により重合体フィルム上に 付着させた金属層は、溶媒拡散処理去する必要はないが、拡散したドープ剤に電 場を印加して極性ドープ剤分子を配列させる手段として用いることができる。Channel waveguide structures such as those shown above define a desired pattern on a polymeric film. can be manufactured using standard photolithography techniques. such a method is a metal mask evaporated onto a polymer film (e.g. Well-defined channels are created by removing the aluminum after solvent diffusion. A waveguide is left behind. onto polymeric film by photolithography or other standard methods. The deposited metal layer does not need to be removed by solvent diffusion, but the diffused dopant is It can be used as a means to apply a field to align polar dopant molecules.

この最後に述べた方法は、特に多くの重合体分子の大きな二次及び三次の磁化率 及び強度依存性屈折率を利用した光学的非線形導波管構造体を製造するのに特に 有用である。そのような有機分子を用いて製造された導波管は、広い範囲の非線 形機能を果たすことができるであろう、それらは、多相及び分配フィードバック 構造体と同様、上述の平らな構造体及び数多くのチャネル導波管構造体の形をと ることができる。This last-mentioned method is particularly useful for the large second- and third-order magnetic susceptibilities of many polymer molecules. and especially for manufacturing optical nonlinear waveguide structures using intensity-dependent refractive index. Useful. Waveguides fabricated using such organic molecules can exhibit a wide range of nonlinear They will be able to perform the following functions: polyphasic and distributive feedback Similar to the structures described above, in the form of flat structures and numerous channel waveguide structures. can be done.

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Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.重合体材料の基体フイルムで、前記重合体材料の屈折率を局部的に増大し、 導波管チャネルを定めるのに有効なドープ用添加剤を含むフイルム表面部分を有 する基体フイルムを有し、前記重合体が非線形光学的材料である光学的装置。1. locally increasing the refractive index of the polymeric material in a base film of polymeric material; having a surface portion of the film containing a doping additive effective to define the waveguide channel; 1. An optical device having a base film that is a nonlinear optical material, the polymer being a nonlinear optical material. 2.重合体材料がキラル可溶性ポリジアセチレンである請求項1に記載の装置。2. 2. The device of claim 1, wherein the polymeric material is a chiral soluble polydiacetylene. 3.重合体材料が、本文中に規定した9SMBUである請求項1又は2に記載裝 の置。3. The device according to claim 1 or 2, wherein the polymeric material is 9SMBU as defined in the text. Placement. 4.ドープ用添加剤が、拡散法によってフイルム表面に入ることができる有機化 合物である請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。4. Organicization where doping additives can enter the film surface by diffusion method The device according to any one of claims 1 to 3, which is a compound. 5.ドープ用添加剤が2−メチル−4−ニトロアニリンである請求項1〜4のい ずれか1項に記載の装置。5. Claims 1 to 4, wherein the dope additive is 2-methyl-4-nitroaniline. The device according to any one of the above. 6.基体物体を用意し、その表面に非線形重合体材料を付着させて表面フイルム を形成し、前記付着を有機溶媒中に前記材料を入れた溶液から行ない、前記フイ ルム表面上にマスク材料を付着し、ドープ用添加剤の含浸が必要な領域中のマス ク領域部分を除去し、マスクされた基体物体をドープ用添加剤の溶液中に浸漬し 、前記添加剤の表面フイルム中への拡散を促進する諸工程からなる光学的装置の 製造方法。6. Prepare a base object and attach a nonlinear polymer material to its surface to form a surface film. and the deposition is carried out from a solution of the material in an organic solvent; The mask material is deposited on the surface of the mask, and the mask material is deposited on the surface of the mask in the area that requires impregnation with the doping additive. The masked substrate object is immersed in a solution of doping additive. , an optical device comprising steps for promoting the diffusion of said additive into a surface film. Production method. 7.ドープ用添加剤が2−メチル−4−ニトロアニリン化合物からなる請求項6 に記載の方法。7. Claim 6: The dope additive comprises a 2-methyl-4-nitroaniline compound. The method described in. 8.2−メチル−4−ニトロアニリン化合物をペルフルオロメチルデカリン中に 入れた溶液として添加する請求項7に記載の方法。8.2-Methyl-4-nitroaniline compound in perfluoromethyldecalin 8. The method according to claim 7, wherein the method is added as a solution. 9.拡散操作が80℃〜160℃の範囲の温度で行なわれる請求項6〜8のいず れか1項に記載の方法。9. Any of claims 6 to 8, wherein the diffusion operation is carried out at a temperature in the range of 80°C to 160°C. The method described in item 1. 10.温度範囲が115℃〜125℃である請求項9に記載の方法。10. 10. The method according to claim 9, wherein the temperature range is 115<0>C to 125<0>C. 11.本文中に記載したのと実質的に同じ光学的装置製造方法。11. A method of manufacturing an optical device substantially the same as described herein. 12.付図のいずれか一つを参照して本文中に記載したのと実質的に同じ光学的 装置。12. Substantially the same optical system as described in the text with reference to any one of the attached figures. Device.
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