JPH03500816A - Particle asymmetry analyzer - Google Patents

Particle asymmetry analyzer

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JPH03500816A
JPH03500816A JP63508858A JP50885888A JPH03500816A JP H03500816 A JPH03500816 A JP H03500816A JP 63508858 A JP63508858 A JP 63508858A JP 50885888 A JP50885888 A JP 50885888A JP H03500816 A JPH03500816 A JP H03500816A
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Abstract

An apparatus and method which provides a measure of the asymmetry as well as the size of individual fluid borne particles. Laser-light scattering techniques are employed to obtain data on the particles, which is then compared to data on known particle shapes to ascribe an asymmetry factor to the particles.

Description

【発明の詳細な説明】 粒子の非対称性の分析装置 本発明は、液体中に担持された粒子の分析のための技術に、特にそうした粒子の 非対称性を検査するための技術に係わる。[Detailed description of the invention] Particle asymmetry analyzer The present invention relates to techniques for the analysis of particles supported in liquids, and in particular to techniques for the analysis of particles supported in liquids. Concerns techniques for testing asymmetry.

例えばエーロゾル、エーロゾル分散及び空気中に担持された粒子汚染制御の研究 調査においては、個々の粒子の幾何学的形状及び対称性に関する情報と共に、特 に直径1〜10ミクロンの範囲内の粒度分布の迅速な測定が必要とされている。For example, research on aerosols, aerosol dispersion and airborne particle pollution control. The investigation includes information on the geometry and symmetry of individual particles, as well as There is a need for rapid measurement of particle size distribution within the range of 1 to 10 microns in diameter.

例えば粒子の幾何学的形状及び対称性に関する情報は、球状対称性を有する粒子 が識別されるのを可能にし、従って他の非球状の固体粒子を含む環境内の液体の 小滴を計数/監視することを可能にする。本明細書の文脈においては、術語「粒 子」は、固体と液体の滴粒との両方に適用されるように意図されている。For example, information about particle geometry and symmetry can be obtained from particles with spherical symmetry. of liquids in the environment containing other non-spherical solid particles. Allows droplets to be counted/monitored. In the context of this specification, the term "grain" "child" is intended to apply to both solid and liquid droplets.

そうした技術では、典型的には毎秒20.000個の粒子の速度で試料内の個々 の粒子を計数することが可能であることと、並びに球状粒子と非球状粒子とを区 別し且つその各タイプを計数することが可能であることが望ましい。別の望まし い特徴は、0.5〜15ミクロンの直径を持つ球状粒子を幾つかのサイズ範囲に 類別し、並びにこれに関連して非球状の粒子を分類し、且つ粒度スペクトルの収 集においては、そうした非球状粒子を無視するということである。Such techniques typically target individual particles within a sample at a rate of 20,000 particles per second. It is possible to count particles, and to distinguish between spherical particles and non-spherical particles. It would be desirable to be able to separate and count each type. another preference A unique feature is that spherical particles with diameters from 0.5 to 15 microns are available in several size ranges. classification and related classification of non-spherical particles and collection of particle size spectra. In the collection, such non-spherical particles are ignored.

市販の幾つかの装置に使用されているような粒子測定のための通常の技術は、粒 子によって散乱される電磁放射光の検出及び分析を用いる。そうした装置は全て 、「検出容積」を通過するように試料空気を駆動させる機械的メカニズムを使用 し、またその「検出容積」内では、運ばれた粒子が入射電磁数 によって照射さ れる。粒子によって散乱された放射光は1つ以上の検出器によって受け取られ、 これらの検出器はそのエネルギーを電気信号に変換し、更にこの電気信号から適 切な電気回路によって情報が抽出される。The usual techniques for particle measurement, such as those used in some commercially available instruments, are using the detection and analysis of electromagnetic radiation scattered by the particles. All such devices , using a mechanical mechanism to drive sample air through a "detection volume" However, within that “detection volume”, the transported particles are illuminated by the incident electromagnetic number. It will be done. the radiation scattered by the particles is received by one or more detectors; These detectors convert that energy into an electrical signal, and from this electrical signal, Information is extracted by means of electrical circuits.

市販の第1の種類の装置は、多数の粒子からの散乱放射光を同時に収集すること が可能であり、且つ気体又は空気の単位体積当りの粒子質量の平均値を測定する ために、又は粒子物質の統計学的な平均粒度分布を測定するためにこの情報を使 用する。The first type of commercially available device collects scattered radiation from a large number of particles simultaneously. is possible, and measures the average particle mass per unit volume of gas or air. or use this information to determine the statistical average size distribution of particulate matter. use

これらの装置は個々の粒子を測定することが不可能であり、従って粒子の形態に 関連する正確な粒子計数又は情報を与えることはできない。These devices are unable to measure individual particles and are therefore sensitive to particle morphology. No relevant accurate particle counts or information can be given.

市販の第2の種類の装置は、より小さな検出容積に粒子を制限するために、気体 における層流特性を使用し、更に何らかの方法で入射電磁放射光を集中させるこ とによって個々の粒子を検査し、粒子計数を与え且つ場合によっては粒度分布を 概算することが可能である。A second type of commercially available device uses gas to confine particles to a smaller detection volume. It is possible to use the laminar flow properties of The individual particles are examined by It is possible to make a rough estimate.

従って従来技術の装置は、ある程度は粒度及び粒子計数に関する情報を与えるこ とだろう。しかし個々の流体中に担持された粒子の非対称性に関する情報を与え ることが可能な装置は入手不可能である。Therefore, to some extent, prior art devices cannot provide information regarding particle size and particle counts. That would be it. However, it does not give information about the asymmetry of particles carried in individual fluids. No equipment is available that can do this.

従って個々の流体中に担持された粒子を分析することが可能な、且つ例えば個々 の粒子に非対称性要因を見出すことによって、粒子の非対称性に関・する情報を 与えることが可能な粒子分析装置が必要とされている。It is therefore possible to analyze particles carried in individual fluids and for example By finding the asymmetry factor in the particles, we can obtain information about the asymmetry of the particles. There is a need for a particle analyzer that can provide

本発明の1つの態様により、層流流体の形で流体試料を配送するための手段と、 放射光ビームで前記試料を照射するための手段と、散乱放射光を反射し且つ光収 集器に方向付けるための手段と、粒子を表示するために前記放射光収集器からデ ータを得るための手段とから成る粒子分析装置が与えられ、更にこの分析装置は 、粒子の非対称性の度合いを測定するために、得られたデータと既知の形状に関 するデータとを比較するための手段をも含む。According to one aspect of the invention, a means for delivering a fluid sample in the form of a laminar fluid; means for irradiating said sample with a beam of synchrotron radiation; and means for reflecting and concentrating scattered radiation; means for directing radiation from said radiation collector to display particles; A particle analyzer is provided, the analyzer further comprising: means for obtaining data; , in order to measure the degree of asymmetry of the particles, the obtained data are related to the known shape. It also includes means for comparing the data.

放射光ビームはレーザによって与えられることが好ましく、また散乱された放射 光は、その放射光を放射光収集器に方向付ける凹面反剣鏡によって、好ましくは 楕円面鏡によって反射される。低い角度で散乱された放射光は、前記楕円面鏡内 の開口から通じている第2のチャンバ内で放射光収集器によって、好ましくは非 散乱ビームの周囲に同心的に配置された光ファイバによって検出される。その後 、収集された放射光は電気信号に変換されて、処理され且つ分析され、さらに既 知の粒子形状に関するデータと比較することによって、その粒子が非対称性要因 を有するものと見なされる。Preferably, the beam of radiation is provided by a laser and the beam of scattered radiation is preferably provided by a laser. The light is preferably emitted by a concave mirror that directs the emitted light into a emitted light collector. reflected by an ellipsoidal mirror. The synchrotron radiation scattered at a low angle is reflected in the ellipsoidal mirror. preferably by a radiation collector in a second chamber leading from an opening in the It is detected by an optical fiber placed concentrically around the scattered beam. after that , the collected radiation is converted into electrical signals, processed and analyzed, and further By comparing the data on known particle shapes, it is possible to determine whether the particles are the cause of the asymmetry. is considered to have the following.

更に非対称性要因に加えて、粒度が測定されることも可能である。多数の粒子が 非対称性要因を持っているものと見なされることが可能であって、その関連する 粒度スペクトルと組み合わされたこの操作の累積結果は、単独に測定される単一 の粒子のデータよりもより大きな値であり得る環境内粒子の空中写真的な[特t !i(thumb print) Jを生じさせるために使用されることも可能 である。Furthermore, in addition to the asymmetry factor, it is also possible for the particle size to be measured. many particles It can be considered as having an asymmetry factor, and its related The cumulative result of this operation combined with the particle size spectrum is the single Aerial photographic data of particles in the environment can be larger than the data of particles in ! i(thumb print) can also be used to generate J It is.

真球度を調査する場合には、球状粒子を分類するための基準は、ランダム偏光さ れた又は円偏光された放射光の照射ビーム軸に関する対称散乱として、容易に定 義されることが可能である。従って幾つかの放射光収集器が、凹面反射鏡の反射 軸の周囲に半径方向に対称的に設置される。When investigating sphericity, the criterion for classifying spherical particles is randomly polarized light. It is easily determined as symmetric scattering about the illumination beam axis of circularly polarized or circularly polarized synchrotron radiation. It is possible to be defined. Therefore, some synchrotron radiation collectors are installed radially symmetrically around an axis.

非対称性の度合いの調査の場合には、その放射光収集器の配置は、粒子の非対称 性を分析するために最適な配置と同一のものであるわけにはいかない。その散乱 チャンバの設計は、それに特に必要とされる収集器形状の適応性を実現可能にし 、且つ収iJ器位置が自由自在に変えられることを可能にしなければならない。In the case of investigating the degree of asymmetry, the arrangement of the synchrotron radiation collector should be It cannot be the same as the optimal arrangement for analyzing gender. the scattering The design of the chamber makes it possible to achieve the flexibility of the collector shape that is particularly required. , and it must be possible to change the position of the collector at will.

この技術の利点は、光フアイバ収集光学系を使用することによって、散乱範囲の ほぼ全周に亘って何れの位置にも殆ど任意の数の収集器を設置するのと同じ効果 が、容易に実現され得るということであり、この技術を使用しなければ、上記の 課題の達成は機械的に極めて困難なものとなるだろう。従ってその高度の適応性 の故に、散乱チャンバ自体に対する機械的な変更の必要なしに、様々な検出ジオ メトリ−が試験されることが可能である。The advantage of this technique is that by using fiber-optic collection optics, the scattering range Same effect as installing almost any number of collectors at any position around the entire circumference. can be easily realized, and without using this technology, the above Accomplishing the task will be mechanically extremely difficult. Therefore its high degree of adaptability Therefore, various detection geometries can be used without the need for mechanical modifications to the scattering chamber itself. metrics can be tested.

本発明の第2の態様に従って、流体中に担持された粒子の非対称性を測定する方 法は、 層流の形で流体試料を与える段階と、 前記試料を放射光ビームを用いて照射する段階と、個々の粒子によって散乱され た放射光を放射光収束器に反射させる段階と、 粒子を表現するデータを光収集器から得る段階と、粒子の非対称性の度合いを測 定するために、既知の形状に関するデータと得られたデータとを比較する段階と を含む。A method for measuring asymmetry of particles supported in a fluid according to a second aspect of the invention The law is providing a fluid sample in the form of a laminar flow; irradiating the sample with a synchrotron radiation beam; reflecting the synchrotron radiation to a synchrotron radiation concentrator; A step in which data representing the particles is obtained from a light collector and the degree of asymmetry of the particles is measured. a step of comparing data about the known shape with the obtained data in order to including.

その試料はエーロゾルであってよい。The sample may be an aerosol.

さて以下では本発明の2つの実施例が、次のような添付の図面を参照して単なる 本発明の一例として説明されることとなる。Two embodiments of the invention will now be described with reference to the accompanying drawings as follows: This will be explained as an example of the present invention.

第1図は球状粒子を分析するための粒子分析装置の概略的な側面断面図、 第2図は第1図の線XXに沿った分析装置の断面図、及び第3図は非対称性分析 システムの概略的な側面断面図である。Figure 1 is a schematic side sectional view of a particle analyzer for analyzing spherical particles; Figure 2 is a cross-sectional view of the analyzer along line XX in Figure 1, and Figure 3 is an asymmetry analysis. 1 is a schematic side cross-sectional view of the system; FIG.

第1図は球状の粒子だけが分析される、本発明の基本的な形態を図解し、この形 態では、放射面凹面反射鏡1が散乱チャンバ2の一方の端部に設置されている。Figure 1 illustrates the basic form of the invention in which only spherical particles are analyzed; In this embodiment, an emitting concave reflector 1 is installed at one end of the scattering chamber 2.

前記散乱チャンバ2の他方の端部に及び反射鏡1の主軸と一直線上に、レーザ3 が取り付けられ、このレーザは放射ビーム4を、反射鏡1内の開口5と反射鏡の 主軸上にあるチャンバ2とに向けて方向付ける。ビーム4は前記開口5を通過し た後に、典型的にはレイリーホーン(Rayleigh horn)であるビー ムダンプ6に入る。At the other end of the scattering chamber 2 and in line with the main axis of the reflector 1, a laser 3 is provided. is mounted and this laser directs the radiation beam 4 between the aperture 5 in the reflector 1 and the reflector. Orient it towards chamber 2 which is on the main axis. The beam 4 passes through the aperture 5 After that, the bead, typically a Rayleigh horn, is Enter Mudump 6.

層流空気の試料1は、放物面反射鏡1の焦点においてレーザビーム4を直角に交 差するように、チャンバ2の中へ導かれる。A sample 1 of laminar air is sampled by a laser beam 4 that crosses the laser beam 4 at right angles at the focal point of a parabolic reflector 1. is guided into the chamber 2 in such a way that the

試料7内の粒子はビーム4からの放射光を反射鏡1上へと偏向させ、反射鏡1は レーザ3に隣接する放射光収集器8へ主軸に平行にその放射光を反射する。放射 光収集器8は光電子倍増管ユニットか、そうしたユニットに通じる光ファイバか 、又は、放射光を前記ファバもしくは前記光電子倍増管ユニットに導くためのレ ンズであってもよい。The particles in sample 7 deflect the radiation from beam 4 onto mirror 1, which The radiation is reflected parallel to the main axis into a radiation collector 8 adjacent to the laser 3. radiation Is the light collector 8 a photomultiplier unit or an optical fiber leading to such a unit? or a lever for guiding synchrotron radiation to the fiber or the photomultiplier unit. It may be a lens.

第2図に示されるように、3つの放射光収集器8がビーム4の周囲に放射状方向 に配置されている。そうした配置では、球状の粒子を確認する対称性の散乱が方 向付けられることが可能である。実際には任意の数の放射光収集器8が放射ビー ム4の称性要因を帰属させることが可能な、本発明による粒子分析装置の好まし い実施例の1つを示す。この実施例では、レーザ3はチャンバ2の下部で且つ反 射鏡1の主軸に対し90°の角度で取り付けられている。ビーム4は、反射鏡の 主軸上に適切に設置されたプリズム又は鏡9によって反射鏡の主軸上に反射され る。実際にはレーザ3は、前記軸上で適切な角度で傾斜した鏡9を用いて、散乱 チャンバ2の周囲の殆どあらゆる位置に取り付けられることが可能である。Three synchrotron radiation collectors 8 are arranged radially around the beam 4, as shown in FIG. It is located in In such an arrangement, the symmetry scattering that confirms the spherical particles is better. It is possible to be directed. In practice, any number of radiation collectors 8 can be used to Preferable particle analyzer according to the present invention that can attribute the symmetry factor of One example is shown below. In this example, the laser 3 is located in the lower part of the chamber 2 and in the opposite direction. It is attached at an angle of 90° to the main axis of the projecting mirror 1. Beam 4 is the reflector reflected onto the main axis of the reflector by a prism or mirror 9 properly placed on the main axis. Ru. In reality, the laser 3 is scattered using a mirror 9 tilted at an appropriate angle on said axis. It can be mounted at almost any position around the chamber 2.

また第3図は1つの楕円面皮9A鏡10を有する散乱チャンバ2を示し、ビーム 4と試料7とが交差する点がこの楕円面段1&iの一方の焦点にあり、チャンバ 2の端部にある放射光収集器8へ反射放射光を平行に導く収集器レンズ11が、 前記楕円面反射鏡の他方の焦点の付近に取り付けられている。この位置ではその 強度分布は、粒子によって散乱範囲の約0.84にまで散乱された強度分布の、 空間的に変形されたレプリカを表す。第1図は、定速度で空気層を供給するシー ス状空気取り入れ口12によって層流の形で配送される流体試料7を示す。FIG. 3 also shows a scattering chamber 2 with one ellipsoidal skin 9A mirror 10, and the beam The point where 4 and sample 7 intersect is at one focus of this ellipsoidal stage 1&i, and the chamber A collector lens 11 directs the reflected radiation in parallel to a radiation collector 8 at the end of the It is attached near the other focal point of the ellipsoidal reflector. In this position, The intensity distribution is that of the intensity distribution scattered by the particles to about 0.84 of the scattering range. Represents a spatially transformed replica. Figure 1 shows a seam that supplies an air layer at a constant rate. 1 shows a fluid sample 7 delivered in laminar flow by means of an air inlet 12;

ど−ム4の方向に対して低い角度で散乱された放射光を捕捉し且つ分析する場合 には、ある程度の困aさが生じる。きわめて低い角度(1°〜3°)では、後続 の集束光学系に基づく光散乱によって散乱光が打ち消される。この問題を克服す るために第2の散乱チャンバ13が、主散乱チャンバ2上の凹面反!)I鏡1の 主軸に対し同軸に導入される。低い角度の偏向を収集するために、放射光収集器 8がこのチャンバ内に適切に設置されている。When capturing and analyzing synchrotron radiation scattered at a low angle with respect to the direction of dome 4 A certain degree of difficulty arises. At very low angles (1° to 3°), the following The scattered light is canceled by light scattering based on the focusing optical system. overcome this problem The second scattering chamber 13 has a concave surface on the main scattering chamber 2. ) I mirror 1 It is introduced coaxially with the main shaft. Synchrotron radiation collector to collect low angle deflection 8 is suitably placed within this chamber.

従って第3図は、光ファイバ14がビーム4の周囲に配置されている第2チヤン バ13を示す。光ファイバ14はビーム4の周囲の同心の環の形に配置されても よい。この光ファイバ4は、処理及び分析のために、収集された放射光を電気信 号に変換するための放射光収集器として働く。FIG. 3 therefore shows a second channel in which the optical fiber 14 is arranged around the beam 4. The bar 13 is shown. The optical fibers 14 may be arranged in a concentric ring around the beam 4. good. This optical fiber 4 electrically transmits the collected emitted light for processing and analysis. It acts as a synchrotron radiation collector for converting into radio waves.

この代わりに第1図に示されるように、第2チヤンバ13は第2の凹面反射鏡1 4を有してもよく、この第2の凹面反射鏡14は普通は楕円面反射鏡であって、 ビーム4と試料7とが交差する点をその第2の又は遠位の焦点に有し、且つその 第1の又は近位の焦点に1つの放射光収集器15を有する。従って低い角度で偏 向された放射光は、該楕円面反射鏡に突き当り、前記放射光収集器15上に導か れる。Alternatively, as shown in FIG. 4, this second concave reflecting mirror 14 is usually an ellipsoidal reflecting mirror, has at its second or distal focus the point where beam 4 and sample 7 intersect; It has one emitted light collector 15 at the first or proximal focus. Therefore, it is deflected at a low angle. The directed radiation hits the ellipsoidal reflector and is guided onto the radiation collector 15. It will be done.

放射光収集器15は、第1チヤンバ上の開口5に正面を向けて設置されてもよく 、又は第1図に示されるように、この方向に対して90°の角度で設置されても よい。後者の配置は低い角度で偏向された放射光を相対的により一層多く収集す るが、その収集器の正面方向の偏向だけが登録されるであろうが故に、放射光の 収集は全体としてはより少ないものとなろう。The radiation collector 15 may be placed facing the opening 5 on the first chamber. , or placed at an angle of 90° to this direction, as shown in Figure 1. good. The latter arrangement collects relatively more radiation polarized at low angles. However, since only the frontal deflection of the collector will be registered, the radiation Collections will be smaller overall.

第1図は実際の使用において、試11の周囲に供給される濾過された定速度のシ ース用空気によって、どのように試料が層流の形で供給されるかを示す。従って 試料の外側部分は、その内側部分と同じ速度で流れる。そうでなければ試料の外 側部分は、その試料流れに隣接する定常空気との摩擦の故により遅い速度で流動 することになろう。これに加えて更に重要なことであるが、そのシース用空気を 供給する同軸の管は、粒子の層流を与えるためにその試料内の粒子を動力学的に 集束させるように設計される。これによって、粒子流れを反射鏡の焦点上に集束 させることが容易になる。Figure 1 shows a filtered constant velocity system supplied around test 11 in actual use. Figure 1 shows how the sample is delivered in a laminar flow by ground air. Therefore The outer part of the sample flows at the same speed as its inner part. Otherwise outside the sample The side portion flows at a slower velocity due to friction with the steady air adjacent to its sample stream. I'm going to do it. In addition to this, it is even more important that the air for the sheath The feeding coaxial tube dynamically moves the particles within its sample to give a laminar flow of particles. Designed to focus. This focuses the particle stream onto the focal point of the reflector. It becomes easier to do so.

一非対称性粒子分析装置は次のように作動する。ガスレーザによって作り出され たレーザビームが反射鏡の軸に対し直角にチャンバ内に入り、更に反1&ltの 主軸に沿って90″″反射される。One asymmetric particle analyzer operates as follows. produced by gas laser The laser beam entered the chamber at right angles to the axis of the reflector and further 90″″ reflected along the principal axis.

従って、そのビーム軸に関して約19°〜145゛の範囲で個々の粒子によって 散乱された放射光が、チャンバ後部の非球面収集レンズの一層へ反射される。こ のレンズはその放出光を平行にし、この出力窓を越えた強度分布は、粒子によっ て球体の約0.84にまで散乱された強度分布の空間的に変形されたレプリカを 表す。Therefore, by an individual particle in the range of approximately 19° to 145° with respect to its beam axis. The scattered radiation is reflected into a layer of aspheric collection lenses at the rear of the chamber. child The lens collimates the emitted light, and the intensity distribution across this output window is determined by the particle. A spatially deformed replica of the scattered intensity distribution down to approximately 0.84 of the sphere. represent.

上記の形の収集された光に関しては、光分布を測定するための光フアイバ検出器 の位置は自由自在に変えられてよい。For the collected light of the above form, a fiber optic detector to measure the light distribution The position of can be changed at will.

粒子の真球度を測定するためには、その検出器は出力窓の軸に関し対称的に設置 される。To measure the sphericity of a particle, the detector is placed symmetrically about the axis of the output window. be done.

このようにして、光フアイバ光学系を使用して、散乱節回全体のほぼ全周に亘っ て任意の位置に殆ど任意の数の収集器を設置するのと同じ効果が、容易に実現さ れることが可能である。In this way, fiber optics can be used to cover almost the entire circumference of the entire scattering loop. The same effect as installing almost any number of collectors in any location can be easily achieved. It is possible to

理論モデルの結末及び既知の形状の散乱パターンの実験的結果に基づいて、粒子 が非対称性要因を持っているのを見出すためにアルゴリズムが使用される。Based on the results of theoretical models and experimental results of scattering patterns of known shapes, particles An algorithm is used to find out which has an asymmetry factor.

粒子の非対称性を測定するための、粒子から得られたデータの処理は、例えばB r1tish Inmosチップ製造会社によって生産されるようなトランスピ ユータ(transputer)によって取り扱われることが可能だろう。Processing of data obtained from particles to measure particle asymmetry can be carried out by e.g. r1tish Transpients such as those produced by Inmos chip manufacturing company It could be handled by a transputer.

各々の検出チャネルにつき1つのトランスピユータが使用される。この方法では 、各チャネルから到着するデータに対し従来は逐次的に行われていたタスクが、 全チャネルに対し同時に行われることが可能であり、且つデータのスルーブツト の著しい増大をもたらすことが可能であろう。One transducer is used for each detection channel. in this way , tasks that were previously performed sequentially on data arriving from each channel are now This can be done simultaneously for all channels, and the data throughput is It would be possible to bring about a significant increase in

本発明は添付の図面を参照して単なる一例として説明されてきたが、添付の請求 に定義される通りの本発明の範囲を逸脱することなしに、変形及び改善が行われ ることが可能であることが理解されるべきである。Although the invention has been described by way of example only with reference to the accompanying drawings, the accompanying claims Variations and improvements may be made without departing from the scope of the invention as defined in It should be understood that it is possible to

補正書の写しく翻訳文)提出書(特許法第184条の8)平成2年5月し?屯夜 特許庁長官 吉 1)文 毅 殿 1、特許出願の表示 PCT/GB 881009752、発明の名称 粒子の 非対称性の分析装置3、特許出願人 名 称 イギリス国 5、補正書の提出年月日 1990年1月9日市販の第2の種類の装置は、より 小さな検出容積に粒子を制i 限するために、気体における層流特性を使用し、 更に何らかの方法で入射電磁放射光を集中させることによって個々の粒子を検査 し、粒子計数を与え且つ場合によっては粒度分布を概算することが可能である。Copy and translation of amendment) Submission (Article 184-8 of the Patent Law) May 1990? Tonya Yoshi, Commissioner of the Patent Office 1) Takeshi Moon 1. Indication of patent application PCT/GB 881009752, title of invention Particles Asymmetry analyzer 3, patent applicant Name United Kingdom 5. Date of submission of amendment: January 9, 1990 The second type of device on the market is more In order to confine the particles to a small detection volume, we use the laminar flow properties in gases, In addition, individual particles can be examined by concentrating the incident electromagnetic radiation in some way. However, it is possible to provide particle counts and possibly estimate the particle size distribution.

従って従来技術の装置は、ある程度は粒度及び粒子計数に関する情報を与えるこ とだろう。しかし個々の流体搬送粒子の非対称性に関する情報を与えることが可 能な装置は人手不可能で従って個々の流体中に担持された粒子を分析することが 可能な、且つ例えば個々の粒子に非対称性要因を見出すことによって、粒子の非 対称性に関する情報を与えることが可能な粒子分析装置が必要とされている。Therefore, to some extent, prior art devices cannot provide information regarding particle size and particle counts. That would be it. However, it is possible to provide information about the asymmetry of individual fluid-carrying particles. A device that is capable of analyzing particles carried in individual fluids is not available manually. possible and non-uniformity of particles, e.g. by finding asymmetry factors in individual particles. There is a need for a particle analyzer that can provide information about symmetry.

本発明の1つの態様により、粒子の非対称性の測定に使用するための粒子分析装 置が提供され、この装置は、層流流体の形で空気中浮遊粒子の試料を配送するた めの手段と、ランダム偏ための手段と、散乱放射光を反射し且つ少なくとも1つ の前方散乱検出器と中心軸の周りに対称的に設置された少なくとも3つの真球度 検出器とに向けて前記散乱放射光を方向付けるための手段と、粒子を表現するた めに前記検出器からデータを得るための、且つ粒子の非対称性の度合いを測定す るために前記データと既知の形状に関するデータとを比較するための手段とを含 むこ、とを特徴とする。In accordance with one aspect of the invention, a particle analyzer for use in measuring particle asymmetry is provided. The device is designed to deliver a sample of airborne particles in the form of a laminar fluid. means for randomly polarizing; and at least one means for reflecting the scattered radiation; forward scattering detectors and at least three spherical detectors symmetrically placed around a central axis. means for directing said scattered radiation towards a detector; and means for directing said scattered radiation towards a detector; to obtain data from the detector and to measure the degree of asymmetry of the particles. means for comparing said data with data relating to known shapes in order to It is characterized by:

散乱された放射光は、その放射光を放射光収集器に方向付ける凹面反射鏡によっ て、好ましくは楕円面鏡によって反射される。低い角度で散乱された放射光は、 前記楕円面鏡内の開口から通じている第2のチャンバ内で放射光収集器によって 、好ましくは非散乱ビームの周囲に同心的に配置された光ファイバによって検・ 出される。その後、収集された放射光は電気信号に変換されて、処理された且つ 分析され、さらに既知の粒子形状に関するデータと比較することによって、その 粒子が非対称性要因を有するものと見なされる。The scattered radiation is captured by a concave reflector that directs the radiation into a radiation collector. and is preferably reflected by an ellipsoidal mirror. Synchrotron radiation scattered at a low angle is by a radiation collector in a second chamber communicating with an aperture in the ellipsoidal mirror; , preferably by an optical fiber placed concentrically around the non-scattered beam. Served. The collected radiation is then converted into electrical signals, processed and by analyzing and further comparing it with data on known particle shapes. The particles are considered to have an asymmetry factor.

更に非対称性要因に加えて、粒度が測定されることも可能である。多数の粒子が 非対称性要因を持っているものと見なされることが可能であって、その関連する 粒度スペクトルと組み合わされたこの操作の累積結果は、単独に測定される単一 の粒子のデータよりもより大きな値であり得る環境内粒子の空中写真的な「特9 %(thumb print) Jを生じさせるために使用されることも可能で ある。Furthermore, in addition to the asymmetry factor, it is also possible for the particle size to be measured. many particles It can be considered as having an asymmetry factor, and its related The cumulative result of this operation combined with the particle size spectrum is the single Aerial photographic “special 9” data of environmental particles can be larger than the particle data of %(thumb print) can also be used to generate J. be.

真球度を調査する場合には、球状粒子を分類するための基準は、ランダム偏光さ れた又は円偏光された放射光の照射ビーム軸に関する対称散乱として、容易に定 義されることが可能である。従って幾つかの放射光収集器が、凹面反射鏡の反射 軸の周囲に半径方向に対称的に設置される。When investigating sphericity, the criterion for classifying spherical particles is randomly polarized light. It is easily determined as symmetric scattering about the illumination beam axis of circularly polarized or circularly polarized synchrotron radiation. It is possible to be defined. Therefore, some synchrotron radiation collectors are installed radially symmetrically around an axis.

非対称性の度合いの調査の場合には、その放射光収集器の配置は、粒子の非対称 性を分析するために最適な配置と同一のものであるわけにはいかない。その散乱 チャンバの設計は、それに特に必要とされる収集器形状の適応性を実現可能にし 、且つ収集器位置が自由自在に変えられることを可能にしなければならない。In the case of investigating the degree of asymmetry, the arrangement of the synchrotron radiation collector should be It cannot be the same as the optimal arrangement for analyzing gender. the scattering The design of the chamber makes it possible to achieve the flexibility of the collector shape that is particularly required. , and it must be possible to change the collector position at will.

この技術の利点は、光フィイバ収集光学系を使用することによって、散乱範囲の ほぼ全周に亘って何れの位置にも殆ど任意の数の収集器を設置するのと同じ効果 が、容易に実現され得るということであり、この技術を使用しなければ、上記の 課題の達成は機械的に極めて困離なものとなるだろうう。従って、その高度の適 応性の故に、散乱チャンバ自体に対す機械的な変更の必要なしに、様々な検出ジ オメトリ〜が試験されることが可能である。The advantage of this technique is that by using fiber optic collection optics, the scattering range Same effect as installing almost any number of collectors at any position around the entire circumference. can be easily realized, and without using this technology, the above Accomplishing the task will be extremely difficult mechanically. Therefore, the appropriate altitude Due to its responsiveness, a variety of detection techniques can be accommodated without the need for mechanical changes to the scattering chamber itself. Ometry ~ can be tested.

本発明の第2の態様による、粒子の非対称性を測定する方法は、 層流の形で空気中浮遊粒子の試料を与える段階と、ランダム偏光された又は円偏 光されたレーザビームで前記試料を照射する段階と、 少なくとも1つの前方散乱検出器と中心軸の周りに放射状に対称的に設置された 少なくとも3つの真球度検出器とに向けて、個々の粒子によって散乱された放射 光を反射する段階と、前記粒子を表現するデータを前記検出器から得る段階と、 前記粒子の非対称性の度合いを測定するために、既知の形状に関するデータと得 られたデータとを比較する段階とを含むことを特徴とする。A method of measuring particle asymmetry according to the second aspect of the invention comprises: providing a sample of airborne particles in the form of a laminar flow and randomly polarized or circularly polarized light; irradiating the sample with an illuminated laser beam; radially symmetrically placed around a central axis with at least one forward scatter detector; radiation scattered by individual particles toward at least three sphericity detectors; reflecting light and obtaining data representative of the particles from the detector; To determine the degree of asymmetry of the particles, data on the known shape and the obtained The method is characterized in that it includes a step of comparing the obtained data with the obtained data.

その試料はエーロゾルであってよい。The sample may be an aerosol.

さて以下では本発明の2つの実施例が次のような添付の図面を参照して単なる本 発明の一例として説明されることとなる。Now, two embodiments of the invention will be described below with reference to the accompanying drawings as follows: This will be explained as an example of the invention.

第1図は球状粒子を分析するための粒子分析装置の概略的な側面断面図、第2図 は第1図の線X×に沿った分析装置の断面図、及び第3図は非対称性分析システ ムの概略的な側面断面図である。Figure 1 is a schematic side sectional view of a particle analyzer for analyzing spherical particles, Figure 2 is a cross-sectional view of the analyzer along the line X× of FIG. 1, and FIG. FIG.

補正口の写しく翻訳文)提出書(特許法第114条の8)特許庁長官 吉 1) 文 毅 殿 1、特許出願の表示 PCT/GB 881009752、発明の名称 粒子の 非対称性の分析装置3、特許出願人 住 所 イギリス国、ロンドン・ニス・ダブリュ・1 ・エイ・2 ・エイチ・ ビイ、ホワイトホール(番地なし)名 称 イギリス国 4、代 理 人 東京都新宿区新宿1丁目1番14号 山田ビル5、補正書の提 出年月日 1990年2、特許請求の範囲 (1) 粒子の非対称性の測定に使用するための粒子分析装置であって、 層流の形で空気中に担持された粒子の試料を与える段階と、ランダム偏光された 又は円偏光されたレーザビームで前記試料を照射する手段と、 少なくとも1つの前方散乱検出器と中心軸の周りに放射状に対称的に設置された 少なくとも3つの真球度検出器とに向けて、個々の粒子によって散乱された放射 光を方向付ける手段と、前記粒子を表現するためにデータを前記検出器から得る 手段と、 前記粒子の非対称性の度合いを測定するために、既知の形状に関するデータと得 られたデータとを比較するための手段とを含むことを特徴とする粒子分析装置。Copy and translation of amendment) submission form (Article 114-8 of the Patent Law) Commissioner of the Japan Patent Office Yoshi 1) Moon Takeshi 1. Indication of patent application PCT/GB 881009752, title of invention Particles Asymmetry analyzer 3, patent applicant Address: United Kingdom, London, Nis.W.1.A.2.H. B, Whitehall (no address) Name: United Kingdom 4. Representative Yamada Building 5, Shinjuku 1-1-14, Shinjuku-ku, Tokyo, submission of amendment. Date of issue: February 1990, scope of claims (1) A particle analysis device for use in measuring particle asymmetry, providing a sample of particles carried in air in the form of a laminar flow and a randomly polarized or means for irradiating the sample with a circularly polarized laser beam; radially symmetrically placed around a central axis with at least one forward scatter detector; radiation scattered by individual particles toward at least three sphericity detectors; means for directing light and obtaining data from the detector to represent the particles; means and To determine the degree of asymmetry of the particles, data on the known shape and the obtained and means for comparing the obtained data with the data obtained.

■ 前記放射光を方向付ける手段が凹面反射鏡であることを特徴とする請求項1 に記載の粒子分析装置。(2) Claim 1, wherein the means for directing the emitted light is a concave reflecting mirror. The particle analyzer described in .

■ 前記凹面反射鏡が楕円面反射鏡であることを特徴とする請求項2に記載の粒 子分析装置。(2) The grain according to claim 2, wherein the concave reflecting mirror is an ellipsoidal reflecting mirror. Child analyzer.

’A)#2中心軸が前記凹面反射鏡又は楕円面反射鏡の反則軸であることを特徴 とする請求項2又は3に記載の粒子分析装置。'A) The #2 central axis is the foul axis of the concave reflector or ellipsoid reflector. The particle analyzer according to claim 2 or 3.

(ω 前記検出器が光電子倍増管であることを特徴とする請求項1から4のいず れか一項に記載の粒子分析装置。(ω) Any one of claims 1 to 4, wherein the detector is a photomultiplier tube. The particle analyzer according to any one of the above.

(6) 前記検出器が光電子倍増管に通じる光ファイバであることを特徴とする 請求項1から4のいずれか一項に記載の粒子分析装置。(6) The detector is an optical fiber leading to a photomultiplier tube. A particle analyzer according to any one of claims 1 to 4.

ω 前記放射光収集器が任意の形状であってもよく、且つその位置が自由自在に 変えられてよいことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の粒子分 析装置。ω The synchrotron radiation collector may have any shape, and its position may be freely determined. Particle fraction according to any one of claims 1 to 6, characterized in that it can be varied. analysis equipment.

■ 粒子の非対称性を測定する方法であって、層流の形で空気中に担持された粒 子の試料を与える段階と、ランダム偏光された又は円偏光されたレーザビームで 前記試料を照射する段階と、 少なくとも1つの前方散乱検出器と中心軸の周りに放射状に対称的に設置された 少なくとも3つの真球度検出器とに向けて、個々の粒子によって散乱された放射 光を反射する段階と、前記粒子を表現するデータを前記検出器から得る段階と、 前記粒子の非対称性の度合いを測定するために、既知の形状に関するデータと得 られたデータとを比較する段階とを含むことを特徴とする方法。■ A method for measuring particle asymmetry, in which particles are carried in air in a laminar flow. with a randomly polarized or circularly polarized laser beam. irradiating the sample; radially symmetrically placed around a central axis with at least one forward scatter detector; radiation scattered by individual particles toward at least three sphericity detectors; reflecting light and obtaining data representative of the particles from the detector; To determine the degree of asymmetry of the particles, data on the known shape and the obtained and comparing the data with the data obtained.

(■ 個々の粒子によって散乱される放射光が、凹面反射鏡によって光収集器に 向けて反射されることを特徴とする請求項8に記載の方法。(■ Emitted light scattered by individual particles is transferred to a light collector by a concave reflector. 9. A method according to claim 8, characterized in that the beam is reflected towards the target.

C0前記凹面反射鏡が楕円面の内側表面を有することを特徴とする請求項9に記 載の方法。10. The C0 concave reflector has an ellipsoidal inner surface. How to put it on.

09 前記中心軸が前記凹面反射鏡又は楕円面反射鏡の反射軸であることを特徴 とする請求項9又は10に記載の方法。09 The central axis is the reflection axis of the concave reflecting mirror or the ellipsoidal reflecting mirror. The method according to claim 9 or 10.

C3前記検出器が光電子倍増管であることを特徴とする請求項8から11のいず れか一項に記載の方法。C3 Any of claims 8 to 11, wherein the detector is a photomultiplier tube. The method described in item 1.

■ 前記検出器が光電子倍増管に接続された光フィイバであることを特徴とする 請求項8から11のいずれか一項に記載の方法。■ The detector is an optical fiber connected to a photomultiplier tube. 12. A method according to any one of claims 8 to 11.

国際調査報告 1s11.、a+Ie−^−ek−神−’−PCT/GB 8B100975international search report 1s11. , a+Ie-^-ek-God-'-PCT/GB 8B100975

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)粒子分析装置であって、 層流の形で流体試料を与えるための手段と、放射光ビームで前記試料を照射する ための手段と、個々の粒子によって散乱された放射光を放射光収集器に向けて方 向付けるための手段と、 粒子を表示するために前記放射光収集器からデータを得るための手段とから成り 、 粒子の非対称性の度合いを測定するために、前記データと既知の形状に関するデ ータとを比較するための手段をも含む粒子分析装置。(1) A particle analyzer, means for providing a fluid sample in the form of laminar flow and irradiating said sample with a synchrotron radiation beam; a means for directing the synchrotron radiation scattered by the individual particles to a synchrotron radiation collector; a means for directing means for obtaining data from said synchrotron radiation collector for displaying particles; , In order to measure the degree of asymmetry of the particles, we combine the above data with known shape data. A particle analyzer which also includes means for comparing data. (2)照射のビームがレーザによって与えられる請求項1に記載の粒子分析装置 。(2) The particle analysis device according to claim 1, wherein the beam of irradiation is provided by a laser. . (3)前記放射光を方向付けるための手段が凹面反射鏡である請求項1又は2に 記載の粒子分析装置。(3) Claim 1 or 2, wherein the means for directing the emitted light is a concave reflector. The particle analyzer described. (4)前記凹面反射鏡が楕円面反射鏡である請求項3に記載の粒子分析装置。(4) The particle analysis device according to claim 3, wherein the concave reflecting mirror is an ellipsoidal reflecting mirror. (5)前記放射光収集器が光電子倍増管に通じる光ファイバである請求項1から 4のいずれか一項に記載の粒子分析装置。(5) From claim 1, wherein the synchrotron radiation collector is an optical fiber leading to a photomultiplier tube. 4. The particle analyzer according to any one of 4. (6)前記放射光収集器が任意の形状であってもよく、且つその位置が自由自在 に変えられてよい請求項1から5のいずれか一項に記載の粒子分析装置。(6) The synchrotron radiation collector may have any shape and its position can be freely determined. The particle analysis device according to any one of claims 1 to 5, which may be changed to. (7)流体中浮遊粒子の非対称性を測定する方法であって、層流の形で流体試料 を与える段階と、 前記試料を放射光ビームを用いて照射する段階と、個々の粒子によって散乱され た放射光を放射光収集器に反射させる段階と、 粒子を表現するデータを光収集器から得る段階と、粒子の非対称性の度合いを測 定するために、既知の形状に関するデータと前記データとを比較する段階とを含 む方法。(7) A method for measuring the asymmetry of suspended particles in a fluid, the method comprising: a step of giving irradiating the sample with a synchrotron radiation beam; reflecting the emitted radiation onto a radiation collector; A step in which data representing the particles is obtained from a light collector and the degree of asymmetry of the particles is measured. comparing said data with data regarding known shapes in order to How to do it. (8)前記流体がエーロゾルである請求項7に記載の方法。(8) The method of claim 7, wherein the fluid is an aerosol. (9)照射のビームがレーザによって与えられる請求項7又は8に記載の方法。(9) A method according to claim 7 or 8, wherein the beam of radiation is provided by a laser.
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