JPH0341929U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0341929U JPH0341929U JP10245189U JP10245189U JPH0341929U JP H0341929 U JPH0341929 U JP H0341929U JP 10245189 U JP10245189 U JP 10245189U JP 10245189 U JP10245189 U JP 10245189U JP H0341929 U JPH0341929 U JP H0341929U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mound
- blade portion
- detects
- semiconductor wafer
- predetermined height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るマウンドカツ
タの一部破断斜視図、第２図及び第３図は同実施
例の側面図であり、第２図はマウンドを検出して
いる状態を示し、第３図はマウンドを折曲する状
態を示している。第４図及び第５図は本考案の他
の実施例に係るマウンドカツタの側面図であり、
第４図は、マウンドを検出している状態を示し、
第５図はマウンドを折曲する状態を示している。
第６図は従来のマウンドカツタの斜視図である。 １……マウンド検出器、２，３……上下駆動機
構、１０２……刃部、Ｗ……半導体ウエハ、Ｍ…
…マウンド。
タの一部破断斜視図、第２図及び第３図は同実施
例の側面図であり、第２図はマウンドを検出して
いる状態を示し、第３図はマウンドを折曲する状
態を示している。第４図及び第５図は本考案の他
の実施例に係るマウンドカツタの側面図であり、
第４図は、マウンドを検出している状態を示し、
第５図はマウンドを折曲する状態を示している。
第６図は従来のマウンドカツタの斜視図である。 １……マウンド検出器、２，３……上下駆動機
構、１０２……刃部、Ｗ……半導体ウエハ、Ｍ…
…マウンド。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エピタキシヤル成長時に半導体エウハ表面に突
出して成長するマウンドを切除する刃部を有する
マウンドカツタであつて、 上記刃部と半導体ウエハ表面との距離を検出す
ると共にマウンドの位置を検知するマウンド検出
器と、上記マウンド検出器によつて検出されたマ
ウンドの位置に対応して上記刃部を所定高さまで
下降させる上下駆動機構とを有し、該上下駆動機
構によつて所定高さまで下降した刃部によつてマ
ウンドを切除することを特徴とするマウンドカツ
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10245189U JPH0341929U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10245189U JPH0341929U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341929U true JPH0341929U (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=31651347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10245189U Pending JPH0341929U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341929U (ja) |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP10245189U patent/JPH0341929U/ja active Pending