JPH0341843U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0341843U JPH0341843U JP10231189U JP10231189U JPH0341843U JP H0341843 U JPH0341843 U JP H0341843U JP 10231189 U JP10231189 U JP 10231189U JP 10231189 U JP10231189 U JP 10231189U JP H0341843 U JPH0341843 U JP H0341843U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- cavity
- deposition material
- boat heater
- evaporate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すもので、ａは
上面図、ｂは第１図ａのＢ−Ｂ線に沿う縦断面図
、ｃは第１図ａをＣ−Ｃ線に沿つて切断した横断
面図、第２図は第１図の実施例の動作の説明図、
第３図は本考案の他の実施例を示すもので、ａは
上面図、ｂは第３図ａをＢ−Ｂ線に沿つて切断し
て示す縦断面図、ｃは第３図ａをＣ−Ｃ線に沿つ
て切断して示す横断面図、第４図は従来装置を説
明する図である。 １０……蒸着用ボートヒータ、１２……キヤビ
テイ、１３乃至１６……補助キヤビテイ。
上面図、ｂは第１図ａのＢ−Ｂ線に沿う縦断面図
、ｃは第１図ａをＣ−Ｃ線に沿つて切断した横断
面図、第２図は第１図の実施例の動作の説明図、
第３図は本考案の他の実施例を示すもので、ａは
上面図、ｂは第３図ａをＢ−Ｂ線に沿つて切断し
て示す縦断面図、ｃは第３図ａをＣ−Ｃ線に沿つ
て切断して示す横断面図、第４図は従来装置を説
明する図である。 １０……蒸着用ボートヒータ、１２……キヤビ
テイ、１３乃至１６……補助キヤビテイ。
Claims (1)
- 上面に蒸着材料を収容するキヤビテイを形成し
、通電により発熱して前記蒸着材料を蒸発させる
蒸着用ボートヒータにおいて、前記キヤビテイの
周囲の少なくとも一部に前記キヤビテイより幅狭
の補助キヤビテイを形成してなる蒸着用ボートヒ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10231189U JPH0341843U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10231189U JPH0341843U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341843U true JPH0341843U (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=31651214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10231189U Pending JPH0341843U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341843U (ja) |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP10231189U patent/JPH0341843U/ja active Pending