JPH03288339A - Lens actuator - Google Patents

Lens actuator

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JPH03288339A
JPH03288339A JP9073190A JP9073190A JPH03288339A JP H03288339 A JPH03288339 A JP H03288339A JP 9073190 A JP9073190 A JP 9073190A JP 9073190 A JP9073190 A JP 9073190A JP H03288339 A JPH03288339 A JP H03288339A
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JP
Japan
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movable part
soft magnetic
actuator
lens
sliding member
Prior art date
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Pending
Application number
JP9073190A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsuhiro Horikawa
堀川 満広
Tsugio Ide
次男 井出
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To reduce the number of parts, to make structure simple and to drive a lens with satisfactory responsiveness in respect to a control current by using glassy carbon with fine and uniform structure for a sliding member. CONSTITUTION:The sliding members of soft magnetic materials 4 and 5 at a fixed part are vertically moved while getting contact each other. In coils 6 and 7, a current flows mutually oppositely. These coils are wound so as to surround movable parts 1,2,3 and 5. The glassy carbon is applied also onto the surface of the soft magnetic material part 4 at the fixed part in contact with the sliding member 5 composed of the glassy carbon with the fine and uniform structure. The lens actuator can independently control acceleration performance and the primary resonance frequency in one magnetic circuit.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は光磁気メモリ、相変化光メモリ等の光メモリの
光学ヘッド等に用いられるレンズアクチュエータに関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a lens actuator used in an optical head of an optical memory such as a magneto-optical memory or a phase change optical memory.

[従来の技術] 従来のレンズアクチュエータには、大きく分けてコイル
が運動するMC(ムービングコイル)型と磁石が運動す
るMM(ムービングマグネット)型の2タイプがある。
[Prior Art] Conventional lens actuators are roughly divided into two types: an MC (moving coil) type in which a coil moves and an MM (moving magnet) type in which a magnet moves.

MC型には、例えば特開昭57−210456や実開昭
61−145334公報および特開昭64−37734
公報がある。
For the MC type, for example, JP-A-57-210456, JP-U-61-145334, and JP-A-64-37734 are disclosed.
There is a public notice.

MM型には、例えば特開昭63−37830号公報があ
る。
The MM type is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-37830.

[発明が解決しようとする課題] しかし、前述のMC型のような例では、可動部であるコ
イルに制御用の駆動電流を供給するため、コイルと固定
部間にわたって接続線を設ける必要がある。この接続線
は、可動部の運動を妨げないように極めて細い線材を用
いる必要がある。このような線材は機械的強度が十分で
ないため、接続、半田付は作業が困難である。また、こ
の給電線の弾性が可動部の振動特性に影響を与え、この
ことまで考慮して振動特性を設計するのは難しく、複雑
な調整作業が必要になる。また、前述のように給電線と
コイルの接続は半田付けで行うのが一般的であるから、
そのために必要な半田付は用のランドを可動部上に設け
なければならないので、可動部の小型軽量化を図る上で
の妨げとなる。さらに、可動部コイルに流れる電流によ
る発熱が、レンズの光学特性に悪影響を及ぼす場合があ
る。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in examples such as the above-mentioned MC type, in order to supply a driving current for control to the coil, which is a movable part, it is necessary to provide a connection line between the coil and the fixed part. . It is necessary to use an extremely thin wire for this connection line so as not to hinder the movement of the movable part. Since such wire rods do not have sufficient mechanical strength, it is difficult to connect and solder them. Furthermore, the elasticity of the power supply line affects the vibration characteristics of the movable part, and it is difficult to design the vibration characteristics by taking this into consideration, and complicated adjustment work is required. In addition, as mentioned above, the connection between the power supply line and the coil is generally done by soldering.
For this purpose, a land for soldering must be provided on the movable part, which is an obstacle to reducing the size and weight of the movable part. Furthermore, heat generated by the current flowing through the movable coil may adversely affect the optical characteristics of the lens.

また、MC型のアクチュエータの中には、レンズを支持
するとともにコイルを取り付けたボビンをバネ性を有す
る支持棒あるいは板バネ、モールドヒンジなどで支持し
、これらの弾性変形でレンズを駆動するバネ支持方式の
アクチュエータがある。このバネ支持方式のレンズアク
チュエータでは、支持する板バネや支持棒等のバネ材の
性質から駆動時に高次共振を発生しやすい、また、その
高次共振を抑える目的で上記板バネや支持棒等にダンパ
ー等を設けるために、構造が複雑になり組立が困難にな
る。
In addition, some MC type actuators include a spring support that supports the lens and supports the bobbin to which the coil is attached using a support rod with spring properties, a leaf spring, a molded hinge, etc., and drives the lens by elastic deformation of these. There are several types of actuators. In this spring support type lens actuator, high-order resonance is likely to occur during driving due to the nature of the spring materials such as the leaf springs and support rods that support it. Since a damper and the like are provided in the structure, the structure becomes complicated and assembly becomes difficult.

一方、従来のMM型では、一般にMC型に比して可動部
の貿Iが大きくなる。そのため、サーボ電流に大電流が
必要となり、消費電力やコイル部分の発熱が問題となる
On the other hand, in the conventional MM type, the trade I of the movable part is generally larger than that in the MC type. Therefore, a large current is required for the servo current, and power consumption and heat generation in the coil portion become problems.

それから、MC型、MM型を問わず、例えば特開昭57
−210456のような軸摺動型と呼ばれるタイプのア
クチュエータは、可動部に働く力と変位の関係にヒステ
リシスが生じるという問題があった。また、摺動部分の
経時変化によって摩擦力が次第に大きくなり、加速度性
能が変化するという問題もあった。
Then, regardless of MC type or MM type, for example, JP-A-57
A type of actuator called a shaft sliding type such as -210456 has a problem in that hysteresis occurs in the relationship between the force acting on the movable part and displacement. There is also the problem that the frictional force gradually increases due to changes in the sliding portion over time, resulting in changes in acceleration performance.

そこで本発明は、このような問題点を解決するもので、
その目的とするところは、部品点数の削減が図られ且つ
構造が容易であって、更に高次共振等を発生させること
なく制御電流に対して応答良くレンズを駆動し得るよう
にしたレンズアクチュエータを提供することにある。
Therefore, the present invention aims to solve these problems.
The objective is to create a lens actuator that reduces the number of parts, has a simple structure, and can drive the lens with good response to the control current without causing higher-order resonance. It is about providing.

[課題を解決するための手段] 本発明のレンズアクチュエータは、 主たる可動部が回転軸対称形であってかつ、軟磁性材料
からなるリング1、円筒磁石、および前記軟磁性材料か
らなるリング1と同形状、同性質のリング2をこの順序
に接合したものから構成されており、 前記可動部を前記回転軸に沿った方向に振動させる目的
で設けられた磁気回路の固定部分の軟磁性材料部分が前
記可動部と対称軸を同じくする回転軸対称形であって、
かつ前記可動部の外側に位置し、 摺動部材が、その内径が前記可動部の外径より大きく、
外径が前記磁気回路の固定部分の軟磁性材料部分の内径
より小さく、かつ回転軸が前記可動部および磁気回路の
固定部分の軟磁性材料部分と同じくする回転軸対称形で
あって、その材質が緻密な均一構造を有するガラス状の
カーボンであり、 前記摺動部材と接触する部分の表面に前記ガラス状カー
ボンを表面処理してあり、 前記固定磁気回路の軟!!性材料で匣まれる空間中にコ
イルが前記回転軸を中心に巻回されている構成からなる
ことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The lens actuator of the present invention has a main movable part that is rotationally symmetrical and includes a ring 1 made of a soft magnetic material, a cylindrical magnet, and a ring 1 made of the soft magnetic material. It is composed of rings 2 of the same shape and properties joined in this order, and is a soft magnetic material part of the fixed part of the magnetic circuit provided for the purpose of vibrating the movable part in the direction along the rotation axis. is rotationally symmetrical with the same axis of symmetry as the movable part,
and a sliding member located outside the movable part, the sliding member having an inner diameter larger than an outer diameter of the movable part,
The outer diameter is smaller than the inner diameter of the soft magnetic material portion of the fixed portion of the magnetic circuit, and the rotating shaft is symmetrical about the rotational axis that is the same as the movable portion and the soft magnetic material portion of the fixed portion of the magnetic circuit, and the material thereof is is glass-like carbon having a dense uniform structure, and the glass-like carbon is surface-treated on the surface of the portion that contacts the sliding member, and the soft carbon of the fixed magnetic circuit is made of glass-like carbon. ! The present invention is characterized in that a coil is wound around the rotating shaft in a space surrounded by a flexible material.

[実施例コ アクチュエータの駆動方式には様々な方法があるが、本
発明のアクチュエータは一般に電磁アクチュエータと呼
ばれるコンベンショナルなものである、ただし、電磁ア
クチュエータは前述のようにコイルが運動するMC型と
磁石が運動するMM型に分けられ、このうち本発明はM
M型に属するものである。であるから、前述のような可
動部に給電線を接続する必要から生じる問題点は一切な
い、またここで、本実施例は1次元アクチュエータであ
って、前掲の従来例はすべて互いに垂直な2つの平面内
を運動する2次元アクチュエータの例である。しかし、
前述した解決しなければならない課題は、アクチュエー
タが2次元であるとか1次元であるとかに影響されない
、もっと根本的な問題点である。また仮に、本発明を2
次元アクチュエータに応用するとしても、基本的には例
えば特願63−33170/32717のように可動部
に関しては円筒磁石の着磁パターンを変更すればよい、
そのため、MC型のように2次元になった分、余計にコ
イルが必要になって可動部質量が増すこともない。
[Example: There are various methods for driving a core actuator, but the actuator of the present invention is a conventional type generally called an electromagnetic actuator. However, as described above, an electromagnetic actuator can be an MC type in which a coil moves, or a magnet type. The present invention is divided into the MM type in which the
It belongs to type M. Therefore, there is no problem arising from the need to connect the power supply line to the movable part as described above. Also, the present embodiment is a one-dimensional actuator, and the conventional examples described above are all two-dimensional actuators perpendicular to each other. This is an example of a two-dimensional actuator that moves in two planes. but,
The above-mentioned problem to be solved is a more fundamental problem that is not affected by whether the actuator is two-dimensional or one-dimensional. Also, suppose that the present invention is
Even if it is applied to a dimensional actuator, basically it is sufficient to change the magnetization pattern of the cylindrical magnet for the movable part, as in, for example, Japanese Patent Application No. 63-33170/32717.
Therefore, since it is two-dimensional like the MC type, an extra coil is not required and the mass of the moving part does not increase.

従来のレンズアクチュエータは、MC型が主流であって
、例えば特開昭57−210456のようにバネ支持方
式のアクチュエータの場合、支持バネによる高次共振が
生じる可能性がある。一方、本発明のアクチュエータで
はいわゆる磁気バネを利用しているのでそのような心配
がない、また、例えば特開昭64−37733のような
構造上の共振もない。
Most conventional lens actuators are of the MC type, and in the case of a spring-supported actuator, such as that disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 57-210456, there is a possibility that higher-order resonance may occur due to the support spring. On the other hand, since the actuator of the present invention uses a so-called magnetic spring, there is no such concern, and there is also no structural resonance as in, for example, JP-A-64-37733.

以下、第1図に示す実施例に基づき、本発明の詳細な説
明する。第1図の1.2.3および5で構成される部分
が可動部分である。固定部分の軟磁性材料4と5の摺動
部材が接触しながら上下に運動する。コイルは第1図6
と7の2つを用いている。6と7は互いに反対方向に電
流を流している。いずれも可動部の周りを囲むような興
合いに巻かれている。第1図5は、緻密な均一構造を有
するガラス状のカーボンからなる摺動部材で、またこれ
と接触する第1図4の固定部分の軟磁性材料部分の表面
にも前記ガラス状カーボンを処理しである。
Hereinafter, the present invention will be explained in detail based on the embodiment shown in FIG. The parts 1, 2, 3 and 5 in FIG. 1 are movable parts. The sliding members made of soft magnetic materials 4 and 5 of the fixed part move up and down while being in contact with each other. The coil is shown in Figure 16.
and 7 are used. 6 and 7 are passing current in opposite directions. Both are wrapped around the moving parts. Fig. 1 5 shows a sliding member made of glass-like carbon having a dense uniform structure, and the glass-like carbon is also applied to the surface of the soft magnetic material part of the fixed part of Fig. 1 4 that comes into contact with the sliding member. It is.

第1図に示す本発明によるアクチュエータの動特性を、
FFTアナライザ、レーザ変位計を用いて、レンズをレ
ンズと質量の等しいフラットミラーに交換して評価した
。その結果得られたボード線図から、ゲインおよび位相
の周波数応答が評価できる。そして、前述の1次共振値
M、とか1次共振周波数f、などの性能指数を知ること
もできる。
The dynamic characteristics of the actuator according to the present invention shown in FIG.
Using an FFT analyzer and a laser displacement meter, evaluation was performed by replacing the lens with a flat mirror having the same mass as the lens. From the resulting Bode diagram, the frequency response of gain and phase can be evaluated. It is also possible to know the figures of merit such as the above-mentioned primary resonance value M and primary resonance frequency f.

これによれば、本発明による実施例のアクチュエータに
は40kHz以下に高次の共振はみられなかった。とい
うことは、前述のような高次共振を抑えるためのダンパ
ー等を特別に設ける必要は一切ないわけである。この特
性は光磁気メモリ、相変化メモリ等の光メモリの光学ヘ
ッドに応用する上で、ディスクの面振れ、回転数等の仕
様が変更になったとしてもそれには左右されない非常に
重要な特性である。
According to this, high-order resonance was not observed in the actuator of the example according to the present invention at frequencies below 40 kHz. This means that there is no need to specially provide a damper or the like to suppress high-order resonance as described above. This characteristic is extremely important when applied to optical heads for optical memories such as magneto-optical memories and phase change memories, and is unaffected by changes in specifications such as disk surface runout and rotational speed. .

さらに本発明のレンズアクチュエータは1つの磁気回路
の中で加速度性能と「次共振周波数を独立に制御するこ
とも可能である。勿論、可動部の磁石を強くすれば加速
度性能も1次共振周波数も共に大きくなる。しかし、可
動部の軟磁性リング1、円筒磁石、軟磁性リング2の割
合を変えることによって、加速度性能とは独立に1次共
振周波数を変えることが可能である0表、1は可動部の
軟磁性リング1、円筒磁石、軟m性リング2の割合を変
えて作ったレンズアクチュエータの1次共振周波数f、
の変化を測定した結果である。全て、第1図の構造が基
本形である0表、1のA、B、Cはいずれも可動部の高
さは6.6mmである。
Furthermore, the lens actuator of the present invention can independently control the acceleration performance and the primary resonance frequency within one magnetic circuit.Of course, by increasing the strength of the magnet in the movable part, both the acceleration performance and the primary resonance frequency can be controlled independently. However, by changing the ratio of the soft magnetic ring 1, cylindrical magnet, and soft magnetic ring 2 in the movable part, it is possible to change the primary resonance frequency independently of the acceleration performance. The primary resonance frequency f of a lens actuator made by changing the ratio of the soft magnetic ring 1, the cylindrical magnet, and the soft magnetic ring 2 in the movable part,
These are the results of measuring changes in . In all of A, B, and C of Tables 0 and 1 whose basic structure is the structure shown in FIG. 1, the height of the movable part is 6.6 mm.

ただ、軟6ji性リング1、円筒磁石、軟磁性リング2
の高さの比が異なるだけである1表、1は、軟磁性リン
グ1、円筒磁石、軟磁性リング2の高さをこの順にmm
単位で表わしである。ここで、加速度性能は、コイルに
単位電流を流したときの可動部の加速度のことである。
However, soft 6ji ring 1, cylindrical magnet, soft magnetic ring 2
Table 1 shows the heights of soft magnetic ring 1, cylindrical magnet, and soft magnetic ring 2 in mm in this order.
It is expressed in units. Here, the acceleration performance refers to the acceleration of the movable part when a unit current is passed through the coil.

表、1 示す可動部の外側に設けられた磁気回路のヨークが接触
して運動していたのに対して、第2図のアクチュエータ
は1および3で示す軟磁性材料からなるリングが5で示
す摺動部材と接触して運動する。つまり、第1図の方は
5の摺動部材が一緒に運動していたのに、第2図の方は
5の摺動部材は運動せずに固定されている。そのため第
2図の方が若干可動部の質量が小さくなる。
While the yoke of the magnetic circuit provided on the outside of the movable part shown in Table 1 moved in contact with each other, in the actuator shown in Figure 2, the ring made of soft magnetic material shown at 1 and 3 is shown at 5. It moves in contact with the sliding member. That is, in the case of FIG. 1, the sliding members 5 were moving together, but in the case of FIG. 2, the sliding members 5 were fixed without moving. Therefore, the mass of the movable part in FIG. 2 is slightly smaller.

表、2 第2図もまた、本発明による実施例である力τ、第1図
に示すアクチュエータとは、第1図、第2図のそれぞれ
の図の4で示す可動部の外側をこ固定して設けられた磁
気回路のヨークの形状に違し\力5ある。そのため、第
1図では5の摺動部材と4で第2図に示すアクチュエー
タも前述のような第1図のアクチュエータと同様な方法
で評価した。
Table 2 FIG. 2 also shows the force τ, which is an embodiment of the present invention, and the actuator shown in FIG. There is a force of 5 depending on the shape of the yoke of the magnetic circuit. Therefore, the sliding member 5 in FIG. 1 and the actuator 4 shown in FIG. 2 were evaluated in the same manner as the actuator in FIG. 1 as described above.

これも40kHz以下に高次の共振はなかった。There was also no high-order resonance below 40 kHz.

表、2は、それぞれのアクチュエータの加速度性能を比
較したものである。コイルの巻き数、ヨク材料、磁石材
料の条件はすべて同じにした。光メモリドライブに搭載
する目的のため、アクチュエータ全体の大きさは第1図
、第2図ともに同じにしである。つまり、それぞれの図
の5で示される摺動部材の厚さが異なる。 表、2に示
す加速度性能は従来のMC型に比べても遜色ない値であ
る(例えば、第50回応用物理学会学術講演会講演予講
集30a−PB−20と比較)、つまり、前述にように
MM型の可動部質量が大きく、消費電力やコイル部分の
発熱が大きいという問題がない、この加速度性能に関し
ても、ディスクの面振れ、回転数等の仕様が変更になっ
ても小さい方が良いということはなく、消費電力やコイ
ル部分の発熱の点からも本発明は有利である。
Table 2 compares the acceleration performance of each actuator. The number of coil turns, thread material, and magnet material conditions were all the same. For the purpose of mounting in an optical memory drive, the overall size of the actuator is the same in both FIGS. 1 and 2. That is, the thickness of the sliding member indicated by 5 in each figure is different. The acceleration performance shown in Table 2 is comparable to that of the conventional MC type (for example, compared with the 50th Japan Society of Applied Physics Academic Conference Preliminary Lecture Proceedings 30a-PB-20). As shown in the figure, the mass of the moving parts of the MM type is large, and there is no problem of large power consumption or heat generation in the coil part.As for this acceleration performance, even if the specifications such as the surface runout of the disk and the rotation speed are changed, it will be smaller. The present invention is advantageous in terms of power consumption and heat generation in the coil portion.

本発明では、このそれぞれの図の5で示される摺動部材
がm密な均一横道を有するガラス状のカーボンから成っ
ているため、第2図のような薄いものを使用しても表、
2に示すような良好な加速度性能が得られるが、従来一
般に用いられている4フフ化エチレン樹脂、ポリイミド
系樹脂あるいはポリアミド系樹脂などの樹脂系の材料を
使うと加工後反りが生じたり、耐久性が劣るとかの問題
が生じる。第3図は第2図の構造のアクチュエータにお
いて5の摺動部材に本発明のガラス状のガボンを用いた
ものとバルクのポリアミド系樹脂を用いたものについて
加速度性能の経時変化を比較したものである。
In the present invention, since the sliding member shown by 5 in each figure is made of glass-like carbon having m-dense uniform cross paths, even if a thin member as shown in FIG.
Good acceleration performance as shown in 2 can be obtained, but if conventionally commonly used resin materials such as 4-fluoroethylene resin, polyimide resin, or polyamide resin are used, warping may occur after processing or the durability may deteriorate. The problem of inferiority arises. Figure 3 compares the changes in acceleration performance over time in the actuator having the structure shown in Figure 2, in which the glass-like Gabon of the present invention is used for the sliding member 5 and in which bulk polyamide resin is used. be.

また、第4図は第1図の構造のアクチュエータにおいて
5の摺動部材にバルクの4フ、化エチレン樹脂を用いた
ものとアルミのリングの外側の表面に47.化エチレン
樹脂をコーティングしたものについて加速度性能の経時
変化を比較したものである。
FIG. 4 shows an actuator having the structure shown in FIG. 1, in which the sliding member 5 is made of bulk ethylene resin, and the outer surface of the aluminum ring is made of 47. This is a comparison of changes in acceleration performance over time for products coated with ethylene chloride resin.

第3図、第4図のいずれをみてもガラス状カーボンを使
用したものの方が耐久性に優れることがわかる。これら
の評価は、40Hzのサイン波で連続的にアクチュエー
タを駆動することで行った。
It can be seen from both FIG. 3 and FIG. 4 that the product using glassy carbon has superior durability. These evaluations were performed by continuously driving the actuator with a 40 Hz sine wave.

[発明の効果] このように本発明によれば、MM型のアクチュエータに
もかかわらず、MC型に劣らない十分な感度が得られ、
消費電力やコイル部分の発熱の心配もない、また、高次
の共振がないのでそれを防ぐ目的のダンパー等の部品の
取り付は調整も必要がない、また、可動部への給電線も
必要ないので、そのための半田づけ作業も必要ない、ま
た、可動部に半田づけ用のランドも必要なく、小型化も
図れる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, despite the MM type actuator, sufficient sensitivity comparable to that of the MC type can be obtained;
There is no need to worry about power consumption or heat generation in the coil part, and since there is no high-order resonance, there is no need to adjust the installation of parts such as dampers to prevent it, and there is no need for power supply lines to the moving parts. Therefore, there is no need for soldering work, and there is no need for soldering lands on the movable parts, allowing for miniaturization.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明による実施例1のレンズアクチュエー
タ断面図。 第2図は、本発明による実施例2のレンズアクチュエー
タ断面図。 第3図は、第2図の構造のレンズアクチュエータにおい
て様々な摺動部材についての加速度性能の経時変化を示
す図。 第4図は、第1図の構造のレンズアクチュエータにおい
て様々な摺動部材についての加速度性能の経時変化を示
す図。 1・・・軟磁性リング1 2・・・円筒磁石 3・・・軟磁性リング2 4・・・固定磁気回路の軟磁性部分 5・・・緻密な均一構造を有するガラス状カーボンから
成る摺動部材 6・・・コイル1 7・・・コイル2 以上
FIG. 1 is a sectional view of a lens actuator of Example 1 according to the present invention. FIG. 2 is a sectional view of a lens actuator according to a second embodiment of the present invention. 3 is a diagram showing changes over time in acceleration performance of various sliding members in the lens actuator having the structure shown in FIG. 2. FIG. FIG. 4 is a diagram showing changes over time in acceleration performance of various sliding members in the lens actuator having the structure shown in FIG. 1. 1... Soft magnetic ring 1 2... Cylindrical magnet 3... Soft magnetic ring 2 4... Soft magnetic part of fixed magnetic circuit 5... Sliding made of glassy carbon having a dense uniform structure Member 6...Coil 1 7...Coil 2 and above

Claims (1)

【特許請求の範囲】  レンズが固定された可動部の主要部が回転軸対称形で
あってかつ、軟磁性材料からなるリング1、円筒軸方向
に着磁された円筒磁石、および軟磁性材料からなるリン
グ2をこの順序に接合したものから構成されており、 前記可動部の外側に固定して設けられた磁気回路のヨー
クが、前記可動部の対称軸と平行な対称軸を有する回転
軸対称形であって、 摺動部材が、その内径が前記可動部の外径より大きく、
外径が前記磁気回路の固定部分の軟磁性材料部分の内径
より小さく、かつ対称軸を前記可動部と同じくする回転
軸対称形であって、その材質が緻密な均一構造を有する
ガラス状のカーボンからなり、 前記摺動部材と接触する部分の表面に前記ガラス状カー
ボンを表面処理してあり、 前記可動部の外側に固定して設けられた磁気回路のヨー
クで囲まれる空間中にコイルが前記回転軸を中心に巻回
されている構成からなることを特徴とするレンズアクチ
ュエータ。
[Claims] The main part of the movable part to which the lens is fixed is rotationally symmetrical, and includes a ring 1 made of a soft magnetic material, a cylindrical magnet magnetized in the axial direction of the cylinder, and a soft magnetic material. The yoke of the magnetic circuit fixedly provided on the outside of the movable part is rotationally symmetrical with the axis of symmetry parallel to the axis of symmetry of the movable part. the sliding member has an inner diameter larger than an outer diameter of the movable part,
A glass-like carbon whose outer diameter is smaller than the inner diameter of the soft magnetic material part of the fixed part of the magnetic circuit, and whose axis of symmetry is the same as that of the movable part, and whose material has a dense and uniform structure. The surface of the part that comes into contact with the sliding member is surface-treated with the glassy carbon, and the coil is placed in a space surrounded by a yoke of a magnetic circuit fixedly provided outside the movable part. A lens actuator characterized by being wound around a rotating shaft.
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JP9073190A Pending JPH03288339A (en) 1990-04-05 1990-04-05 Lens actuator

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