JPH03264800A - 油拡散ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は油拡散ポンプに係わる。

〔発明の概要〕

本発明は油拡散ポンプに係わり、ケーシング内にチムニ
−と、ノズルを構成するジェット構成部とを有して威る
油拡散ポンプにおいて、ジェット構成部き鉄またはステ
ンレスより構成することによって、ジェット構成部の変
形を回避して特性の劣化を回避する。

〔従来の技術〕

油拡散ポンプは、安価で排気速度が高く動作が安定なこ
となどから、真空管例えばＴＶにおける陰極線管等の排
気工程において使われている。

このような油拡散ポンプは、ケーシングと、これに収容
されるチムニ−１油を噴出させるジェット構成部等より
なる本体、冷却部、排気口及び吸入口等で構成される。

通常そのジェット構成部を含んでその本体は安価で熱伝
導率が良く、軽量な材料例えばＡＩ　（アルミニウム）
より構成されている。

ところが、上述した陰極線管等の排気工程において、そ
のガラス材料より戒る管体の例えばパネル及びファンネ
ル間のフリットガラスによる接合部等において歪みやき
すがある場合、管体が割れることがあり、このガラスの
微細な破片が油拡散ポンプ内に高速度で侵入する。この
場合、このガラス破片を除去するために油拡散ポンプの
分解清掃等のメンテナンスを行う必要がある。

一方ジエツト構成部は、そのノズル部分において油拡散
蒸気を一定の角度により噴射させるものであり、この角
度やノズルの形状等がその排気速度、排気量などの特性
に影響を及ぼす。

ところが、上述した油拡散ポンプのジェット構成部等の
本体は比較的柔らかいＡ／材料よりなるため、上述した
メンテナンス時の取扱い中に、他物に突き当ることによ
って変形し易く、また上述したような管体が割れた時の
ガラス破片の衝撃によってＡｔジェット構成部が変形し
、著しい特性の劣化を招く恐れがある。

従来のＭによるジェット構成部を含む本体を有する油拡
散ポンプによる排気時の、真空度の時間に対する変化を
第２図に示す。第２図において、符号ａを付して示す曲
線はＡｔよりなる正常なジェット構成部を有する場合、
符号すを付して示す曲線はＡｔよりなる変形したジェッ
ト構成部を有する場合を示す。なお、各側共にロータリ
ーポンプにより１５分間排気を行った後に油拡散ポンプ
を動作させて真空度を測定した。

第２図に示すように、曲線ａで示される正常ジェットの
場合は油拡散ポンプ動作後５分で１０−　’Ｔｏｒｒ以
下に達するが、曲線すで示される変形ジェットの場合は
１０−’Ｔｏｒｒ以下に達する゛までに３０分以上必要
とし、最終的に到達する真空度も低い。このように、Ｍ
ジェット構成部の変形によって特性の劣化を招来するこ
とがわかる。

また、特開昭６１−１０１７００号公報に示されている
、大型の油拡散ポンプを得るために複数個のジェット構
成部を有して戒る油拡散ポンプを用いる場合においても
、上述したガラス管体が割れた場合における分解消掃等
のメンテナンスは必要であり、このようなより複雑な構
成の油拡散ポンプの場合は、メンテナンス時におけるジ
ェット構成部の変形によって、さらに特性の劣化を招く
恐れがある。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、上述したような問題の解決をはかり、油拡散
ポンプのメンテナンス時及びガラス管体の破損時の変形
を回避して特性の劣化を回避する。

〔課題を解決するための手段〕

本発明による油拡散ポンプの一例の路線的断面図を第１
図に示す。

本発明は、第１図に示すように、ケーシング（１）内に
、チムニ−（２）と、ノズル図示の例では３段のノズル
（６）、（７）及び（８）を構成するジェット構成部（
３）、（４）及び（５）とを有して成る油拡散ポンプに
おいて、ジェット構成部（３）、（４）及び（５）が鉄
またはステンレスより構成される。

〔作用〕

上述したように、本発明による油拡散ポンプは、各ジェ
ット構成部（３）、（４）及び（５）ヲ鉄またはステン
レスより構成するものであることから、ジェット構成部
（３）、（４）及び（５）は比較的強固であり、これら
が変形し難いものであるために、分解消掃等のメンテナ
ンス時における他物との衝撃、排気時におけるガラス管
体の破損時のガラス破片の衝撃等による変形を確実に回
避することができる。従って、ジェット構成部（３）、
（４）及び（５）、即ちノズル（６）、（７）及び（８
）の変形による排気速度や排気量の低下等の特性の劣化
を抑制することができる。そして、このようなメンテナ
ンス時における変形を回避したことにより、油拡散ポン
プの長寿命化をはかることができる。

（実施例） 以下、本発明による油拡散ポンプの一例を、その要部の
路線的断面図を示す第１図を参照して詳細に説明する。

第１図において、（１）は鉄またはステンレスよりなる
円筒形状のケーシングであり、この上部には、図示しな
いが排気しようとする容器側例えば真空管側へ油蒸気が
入り込むことを防ぐためのいわゆるバッフルやトラップ
等（図示せず）を介して連結される、吸入口（１１）が
配置され、下部側面には図示しないがロータリーポンプ
等に連結される排気口（１０）が配置される。

この円筒形状のケーシング（１）の内側には、チムニ−
（２）すなわち例えば内側チムニ−（２３）及び外側チ
ムニ−（２４）と、例えば３段のジェット権威部（３）
、（４）及び（５）よりなる本体（２０）が配置される
。

第１、第２及び第３のジェット権威部（３）、（４）及
び（５）は、それぞれが傘部（３２）、（４２）及び（
５２）と円筒部（３３）１．　（４３）及び（５３）よ
り構威され、各傘部（３２）、（４２）及び（５２）の
下面と各円筒部（３３）、（４３）及び（５３）の上端
とにおいて間隙が形成されて、それぞれジェットすなわ
ち第１〜第３のノズル（６）、（７）及び（８）が構威
される。

図示の例では第１のジェット権威部（６）の円筒部（３
３）の下端に第２のジェット構成部（７）の傘部（４２
）の中心部が連結され、第２のジェット権威部（７）の
円筒部（４３）の下端に第３のジェット権威部（８）の
傘部（５２）の中心部が連結され、第３のジェット権威
部（８）の円筒部（５３）の下端にはかま（９）が連結
され、これらは鉄またはステンレスによって構威される
。

第３のジェット構成部（５）の円筒部（５３）下部のは
かま（９）は、その直径がケーシング（１）の内側の直
径よりわずかに小とされ、ケーシング（１）の下部すな
わちはかま（９）の下部に注入されたシリコン油等の油
拡散ポンプ用の油（１２）が、ジェット構成部（３）、
（４）及び（５）の内側にのみ油（１２）の蒸気が導か
れるようになされる。

そして第１のジェット構成部（３）の円筒部（３３）の
下端に二重構造によるチムニ−（２）の内側チムニ−（
２３）が連通され、第２のジェット権威部（４）の円筒
部（４３）の下端にチムニ−（２）の外側チムニ−（２
４）７り＜連通される。そしてこのチムニ−（２）すな
わち内外両側チムニ−（２３）及び（２４）は、熱伝導
性が大であるＡｔ等より威る。

また、図示しないがケーシング（１）の円筒側壁の外部
には、冷却水用配管が巻装された冷却手段が設けられて
なり、ケーシング（１）の底部の下側には図示しないが
ヒーター等の加熱手段が配置される。

このような構成においてケーシング（１）下部の加熱手
段により加熱されると、油（１２）が熱せられて蒸発し
、各ジェット権威部（３）、（４）及び（５）の内部に
拡散される。そして第１、第２及び第３のノズル（６）
、（７）及び（８）から油（１２）の蒸気が噴出し、ケ
ーシング（１）内に拡散した気体をとらえて排気口（１
０）から排気される。一方、上述した冷却手段によって
冷却されたケーシング（１）の内壁で凝縮した油滴は、
このケーシング（１）の内壁面をつたわって下部に戻る
。

実施例１ 上述の構成において、各ジェット権威部（３）、（４）
及び（５）を鉄によって構威し、ケーシング（１）をス
テンレスによって構成し、バッフルを空冷バッフルとし
た。

実施例２ 上述の構威において、各ジェット構成部（３）、（４）
及び（５）を鉄によって構威し、ケーシング（１）をス
テンレスによって構威し、パンフルを水冷バッフルとし
た。

実施例３ 上述の構成において、各ジェット権威部（３）、（４）
及び（５）を鉄によって構威し、ケーシング（１）を鉄
によって構威し、パンフルを空冷バッフルとした。

実施例４ 上述の構威において、各ジェット権威部（３）、（４）
及び（５）を鉄によって構成し、ケーシング（１）を鉄
によって構威し、バッフルを水冷バッフルとした。

比較例１ 上述の構威において、各ジェット権威部（３）、（４）
及び（５）をＡＩによって構成し、ケーシング（１１を
ステンレスによって構威し、パンフルを空冷バッフルと
した。

比較例２ 上述の構成において、各ジェット権威部（３）、（４）
及び（５）をＡｔによって構威し、ケーシング（１）を
ステンレスによって構成し、ハッフルヲ水冷バッフルと
した。

比較例３ 上述の構威において、各ジェット構成部（３）、（４）
及び（５）をＡＩによって構威し、ケーシング（１）を
鉄によって構威し、バッフルを空冷バッフルとした。

比較例４ 上述の構成において、各ジェット権威部（３）、（４ン
及び（５）をＡｔによって構威し、ケーシング（１）を
鉄によって構威し、バッフルを水冷パンフルとした。

従来の油拡散ポンプにおける通常のメンテナンス時にお
いて２％程度の台数についてジェット構成部に変形がみ
られたが、上述の本発明番こよる実施例１〜４の油拡散
ポンプでは、ジェット構成部の変形はメンテナンス時 た。

また、上述の各実施例及び各比較例における排気速度、
排気量と背圧の各測定結果を表１に示す。

各測定値は真空度が９．９Ｘ１０−４Ｔｏｒｒ時の値を
示す。

表１ 表１かられかるように、本発明による油拡散ポンプは、
従来の変形していないＡｔジェットを有する油拡散ポン
プに比しても排気速度が約２０％以上向上し、排気量は
約３０％以上向上し、さらに背圧の改善がみられ、同条
件下において鉄ジエ、７トより成る油拡散ポンプは、Ａ
ｔジェットより成る油拡散ポンプに比して、より高い真
空度が得られた。

〔発明の効果〕

上述したように、本発明による油拡散ポンプは、各ジェ
ット構成部（３）、（４）及び（５）が鉄またはステン
レスより戒ることにより、比較的強固で変形し難いもの
であるために、分解清掃等のメンテナンス時における他
物との衝撃、排気時におけるガラス管体の破損時のガラ
ス破片の衝撃等による変形を回避することができる。従
って、ジェット構成部（３）、（４）及び（５）、即ち
ノズル（６）、（７）及び（８）の変形による排気速度
や排気量の低下等の特性の劣化を抑制することができた
。そして、このようなメンテナンス時における変形を回
避したことにより、油拡散ポンプの長寿命化をはかるこ
とができた。

また本発明による鉄ジェットより威る油拡散ポンプは表
１かられかるように、従来のＡｔジェットより成る油拡
散ポンプに比して、排気速度が約２０％以上向上し、排
気量は約３０％以上向上した。さらに本発明による鉄ジ
ェットより戒る油拡散ポンプは、従来のＡｔジェットよ
り威る油拡散ポンプに比して背圧が低く、より高い真空
度が得られた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による油拡散ポンプの一例の路線的断面
図、第２図は従来の油拡散ポンプの真空度の時間に対す
る変化を示す図である。 （１）はケーシング、（２）はチムニ−１（２３）は内
側チムニ−１（２４）は外側チムニ−１（３）、（４）
及び（５）は第１、第２及び第３のジェット構成部、（
６）、（７）及び（８）は第１、第２及び第３のノズル
、（９）ははかま、（１０）は排気口、（１１）は吸入
口、（１２）は油、（３２）、（４２）及び（５２）は
傘部、（３３）、（４３）及び（５３）は円筒部、（２
０）は本体である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ケーシング内にチムニーと、ノズルを構成するジェット
   構成部とを有して成る油拡散ポンプにおいて、 上記ジェット構成部が鉄またはステンレスより成る ことを特徴とする油拡散ポンプ。