JPH032646U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH032646U JPH032646U JP6227389U JP6227389U JPH032646U JP H032646 U JPH032646 U JP H032646U JP 6227389 U JP6227389 U JP 6227389U JP 6227389 U JP6227389 U JP 6227389U JP H032646 U JPH032646 U JP H032646U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- substrate
- link plate
- link
- substrate holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
Description
第１図は本考案に係る基板保持具の一実施例を
示す平面図、第２図は第１図の右側または左側か
ら見た場合の側面図、第３図は要部断面図、第４
図は第１図のＡ矢視図、第５図は本考案の他の実
施例を示す平面図、第６図は本考案の更に他の実
施例を示す平面図、第７図は従来の基板保持具を
示す平面図、第８図は第７図の概略の断面図であ
る。 １２……ベースプレート、１３……センタース
タンド、１４……マウントプレート、１６……リ
ンクプレート、１９，２０……ガイド溝、２１，
２２……基板保持部材、２８……リンク機構、２
９，３０……リンク、Ｌ，Ｌ３，Ｌ６……正方形
の基板、Ｍ……長方形の基板。
示す平面図、第２図は第１図の右側または左側か
ら見た場合の側面図、第３図は要部断面図、第４
図は第１図のＡ矢視図、第５図は本考案の他の実
施例を示す平面図、第６図は本考案の更に他の実
施例を示す平面図、第７図は従来の基板保持具を
示す平面図、第８図は第７図の概略の断面図であ
る。 １２……ベースプレート、１３……センタース
タンド、１４……マウントプレート、１６……リ
ンクプレート、１９，２０……ガイド溝、２１，
２２……基板保持部材、２８……リンク機構、２
９，３０……リンク、Ｌ，Ｌ３，Ｌ６……正方形
の基板、Ｍ……長方形の基板。
Claims (1)
- 基板を載置するマウントプレートと、このマウ
ントプレートの下面中央に回転自在に配置された
リンクプレートと、前記マウントプレート上に前
記リンクプレートの回転中心を挟んでその両端に
接近、離間自在に配置され、前記基板を保持する
一対の基板保持部材と、各基板保持部材と前記リ
ンクプレートとを連結し両基板保持部材を連動し
て動作させるリンクとを備えたことを特徴とする
基板保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6227389U JPH032646U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6227389U JPH032646U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032646U true JPH032646U (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=31591267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6227389U Pending JPH032646U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH032646U (ja) |
-
1989
- 1989-05-29 JP JP6227389U patent/JPH032646U/ja active Pending