JPH03259584A - Semiconductor laser apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的コ
(産業上の利用分野)
この発明は、主にギガビット帯の光通信装置の光源とし
て用いられる半導体レーザ装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Objective of the Invention (Industrial Application Field) This invention relates to a semiconductor laser device mainly used as a light source of a gigabit band optical communication device.
(従来の技術)
従来より、光通信にあっては、伝送路の経済化のため伝
送速度の高速化か進められ、現在では毎秒数ギガビット
の伝送か可能となっている。光源には主に半導体レーザ
装置が用いられる。この装置に搭載される半導体レーザ
については、その変調帯域が10ギガヘルツを超えるも
のも開発されている。このような光通信の度重なる高速
化においては実用形態とするためのモジュール化技術が
重要である。なかでも半導体レーザは高速になるほど光
出力が増大するため、ベルチェ素子等を用いて信頼性の
向上、光出力の安定化を図る必要がある。このような実
装技術と共に、高速信号を半導体レーザに供給するため
の技術も重要である。(Prior Art) Conventionally, in optical communications, efforts have been made to increase the transmission speed in order to make transmission paths more economical, and it is now possible to transmit several gigabits per second. A semiconductor laser device is mainly used as a light source. Regarding the semiconductor laser mounted in this device, one with a modulation band exceeding 10 gigahertz has also been developed. As the speed of optical communication continues to increase, modularization technology is important to put it into practical use. In particular, since the optical output of a semiconductor laser increases as the speed increases, it is necessary to improve reliability and stabilize the optical output by using a Vertier element or the like. Along with such mounting technology, technology for supplying high-speed signals to semiconductor lasers is also important.
従来の半導体レーザ装置は、一般に第2図に示すような
構造となっている。第2図において、11は半導体レー
ザて、この半導体レーザ11はベルチェ素子による基台
(以下、ペルチェ素子台という)12の電極面a上に搭
載され、金属ケース13に収納される。この金属ケース
13には信号人力リード14が絶縁素子15を介して取
着され、また光ファイバ16が半導体レーザの光放射位
置の近傍に先端が位置するように装着される。A conventional semiconductor laser device generally has a structure as shown in FIG. In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a semiconductor laser, and this semiconductor laser 11 is mounted on an electrode surface a of a base 12 made of a Beltier element (hereinafter referred to as a Peltier element base), and housed in a metal case 13. A signal human power lead 14 is attached to the metal case 13 via an insulating element 15, and an optical fiber 16 is attached so that its tip is located near the light emission position of the semiconductor laser.
この先端部は先球テーバ加工されているのか一般的であ
る。上記ペルチェ素子台12の電極面aは金属ケース1
3とボンディングワイヤ17で接続され、これによって
金属ケース13と半導体レーザ11の一方の電極が接続
される。また、半導体レーザ11の他方の電極は上記信
号人力リード14にボンディングワイヤ18を介して接
続される。This tip is generally tapered. The electrode surface a of the Peltier element stand 12 is connected to the metal case 1
3 by a bonding wire 17, thereby connecting the metal case 13 and one electrode of the semiconductor laser 11. Further, the other electrode of the semiconductor laser 11 is connected to the signal human power lead 14 via a bonding wire 18.
すなわち、半導体レーザ11の一方の電極はペルチェ素
子台12の電極面a1ボンディングワイヤ17を介して
金属ケース13に接地されているので、リード14より
人力される変調信号がボンディングワイヤ18を介して
半導体レーザ11の他方の電極に給電されると、この半
導体レーザ11はその注入電流の変化に応して発振波長
が変化し、変調信号に対応するレーザ光を光ファイバ1
6に向けて放射するようになる。この際、半導体レーザ
11はレーザ光の放射と共に発熱するが、この熱はペル
チェ素子台12に吸熱され、金属ケース13へ放熱され
る。That is, since one electrode of the semiconductor laser 11 is grounded to the metal case 13 via the bonding wire 17 on the electrode surface a1 of the Peltier element stand 12, the modulation signal manually input from the lead 14 is transmitted to the semiconductor laser via the bonding wire 18. When power is supplied to the other electrode of the laser 11, the oscillation wavelength of the semiconductor laser 11 changes according to the change in the injected current, and the laser beam corresponding to the modulated signal is transmitted to the optical fiber 1.
It begins to radiate towards 6. At this time, the semiconductor laser 11 generates heat as the laser beam is emitted, but this heat is absorbed by the Peltier element base 12 and radiated to the metal case 13.
ところで、上記構成の従来の半導体レーザ装置では、リ
ード、ボンディングワイヤが長いため、この経路で伝わ
る熱は比較的少なく、ペルチェ素子台で十分熱伝導を遮
断することができ、半導体レーザと金属ケースとの間の
温度差を十分確保することができる。反面、高速の電気
信号も伝わりにくくなり、毎秒2ギガビット程度が限度
である。By the way, in the conventional semiconductor laser device with the above configuration, the leads and bonding wires are long, so relatively little heat is transmitted through this path, and the Peltier element stand can sufficiently block the heat conduction, and the semiconductor laser and the metal case can be separated. It is possible to ensure a sufficient temperature difference between On the other hand, it becomes difficult for high-speed electrical signals to be transmitted, with the limit being about 2 gigabits per second.
仮にリード、ボンディングワイヤを短くすることができ
たとしても、逆にペルチェ素子台で熱を十分吸収できな
くなり、半導体レーザと金属ケースとの間の熱抵抗が低
くなって温度差の確保が不十分となってしまう。Even if it were possible to shorten the leads and bonding wires, the Peltier element stand would not be able to absorb enough heat, and the thermal resistance between the semiconductor laser and the metal case would become low, making it insufficient to maintain the temperature difference. It becomes.
(発明が解決しようとする課題)
以上述べたように従来の半導体レーザ装置では、毎秒2
ギガビット程度以上の高速変調と熱的安定性を両立させ
ることは極めて困難であった。(Problems to be Solved by the Invention) As stated above, in the conventional semiconductor laser device,
It has been extremely difficult to achieve both high-speed modulation on the order of gigabit or higher and thermal stability.
この発明は上記の課題を解決するためになされたもので
、熱的に安定し、しかも飛躍的に変調速度を向上させる
ことのできる半導体レーザ装置を提供することを目的と
する。The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor laser device that is thermally stable and can dramatically improve the modulation speed.
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
上記目的を達成するためにこの発明に係る半導体レーザ
装置は、
互いに対向する面に電極を有する半導体レーザと、
表裏面に導体パターンが形成され、前記半導体レーザが
表面に載置固定される基板と、この基板の一方端が載置
固定されるペルチェ素子台と、
前記半導体レーザ、基板及びペルチェ素子台を収納し、
内部に前記ペルチェ素子台と同等の高さを有して前記基
板の他方端か載置固定される梁を形成してなる金属ケー
スと、
この金属ケースの前記梁の形成面に装着され、同軸ケー
ブルの変調信号伝送線なる同軸線か接続される同軸が内
部に突設され、前記同軸ケーブルの基準電位線なるシー
ルド線が接続される周囲か金属ケースと電気的に接続さ
れる同軸コネクタと、前記金属ケースに装着され、光フ
ァイバ線の先端が前記半導体レーザのレーザ光放射位置
に配置される光フアイバケーブルとを具備し、前記基板
に形成される導体パターンは、少なくとも裏面に形成さ
れる第1の導体パターンと、表裏面に連結して形成され
る第2の導体パターンと、表面に形成される第3の導体
パターンからなり、前記第1の導体パターンは前記梁と
接触して電気的に接続されるように形成され、第2の導
体パターンは前記ペルチェ素子台と接触すると共に前記
半導体レーザの一方の電極と接触して電気的に接続され
るように形成され、前記第3の導体パターンは前記同軸
及び半導体レーザの配置位置まで近接形成され、前記第
1、第2の導体パターンは互いに容量性素子で結合され
、前記第2の導体パターンは誘導性素子を介して前記金
属ケースに接続され、前記第3の導体パターンは前記同
軸及び半導体レーザの他方の電極と直接または間接に接
続されることを特徴とする。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problem) In order to achieve the above object, a semiconductor laser device according to the present invention includes a semiconductor laser having electrodes on surfaces facing each other, and a conductor pattern formed on the front and back surfaces. , a substrate on which the semiconductor laser is placed and fixed; a Peltier device stand on which one end of the substrate is placed and fixed; the semiconductor laser, the substrate, and the Peltier device stand are housed;
a metal case formed therein with a beam having the same height as the Peltier element stand and on which the other end of the substrate is placed and fixed; a coaxial connector in which a coaxial line to which a modulated signal transmission line of the cable is connected protrudes, and which is electrically connected to a surrounding metal case to which a shielded line, which is a reference potential line of the coaxial cable, is connected; an optical fiber cable that is attached to the metal case and has a tip of the optical fiber line located at a laser beam emission position of the semiconductor laser, and the conductor pattern formed on the substrate includes at least a first conductor pattern formed on the back surface. It consists of a first conductor pattern, a second conductor pattern connected to the front and back surfaces, and a third conductor pattern formed on the front surface, and the first conductor pattern is in contact with the beam and electrically conductive. The second conductor pattern is formed to be in contact with the Peltier element base and to be electrically connected to one electrode of the semiconductor laser, and the second conductor pattern is in contact with the Peltier element base and to be electrically connected to one electrode of the semiconductor laser. The pattern is formed close to the arrangement position of the coaxial and semiconductor lasers, the first and second conductor patterns are coupled to each other by a capacitive element, and the second conductor pattern is connected to the metal case via an inductive element. and the third conductive pattern is directly or indirectly connected to the other electrode of the coaxial and semiconductor laser.
(作用)
上記構成による半導体レーザ装置では、金属ケースは同
軸コネクタを通じて同軸ケーブルのシールド線に接続さ
れて基準電位となり、半導体レーザの一方の電極は第2
の導体パターン、誘導性素子を介して金属ケースに接続
されると共に、第2の導体パターンから容量性素子、第
1の導体パターンを介して金属ケースに接続されるため
、十分低インピーダンスで接地されることになる。(Function) In the semiconductor laser device having the above configuration, the metal case is connected to the shield wire of the coaxial cable through the coaxial connector and has a reference potential, and one electrode of the semiconductor laser is connected to the shield wire of the coaxial cable through the coaxial connector.
The conductor pattern is connected to the metal case via the inductive element, and the second conductor pattern is connected to the capacitive element and the metal case via the first conductor pattern, so it is grounded with sufficiently low impedance. That will happen.
方、同軸ケーブルの同軸線を通じて送られてくる変調信
号は同軸コネクタの同軸を通じ、第3の導体パターンを
介して半導体レーザ近傍まで伝送された後、直接または
間接に半導体レーザの他方の電極に送られる。このため
、半導体レーザは変調信号に応して発振し、レーザ光を
発するようになる。このレーザ光は光ファイバに入射さ
れ、伝送出力される。このとき、半導体レーザに発生す
る熱は第2の導体パターンを通じてペルチェ素子台に伝
導されるが、第2の導体パターンは誘導性素子、容量性
素子を介して金属ケースと接続されることになるので、
半導体レーザと金属ケースとの間で十分大きな熱抵抗を
確保することができる。On the other hand, the modulated signal sent through the coaxial line of the coaxial cable is transmitted through the coaxial line of the coaxial connector, via the third conductor pattern, to the vicinity of the semiconductor laser, and then directly or indirectly sent to the other electrode of the semiconductor laser. It will be done. Therefore, the semiconductor laser oscillates in response to the modulation signal and emits laser light. This laser light is input into an optical fiber and transmitted and output. At this time, the heat generated in the semiconductor laser is conducted to the Peltier element base through the second conductor pattern, but the second conductor pattern is connected to the metal case via an inductive element and a capacitive element. So,
Sufficiently large thermal resistance can be ensured between the semiconductor laser and the metal case.
(実施例)
以下、第1図を参照してこの発明の一実施例を説明する
。但し、第1図において第2図と同一部分には同一符号
を付して示し、ここでは異なる部分を中心に説明する。(Embodiment) An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. However, in FIG. 1, the same parts as in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and the different parts will be mainly explained here.
第1図はその構成を示すもので、前記金属ケース13に
は前記リードに代わって同軸コネクタ19が取り付けら
れ、そのアース側は金属ケース13に直接ねじ止めされ
て電気的に接続され、同軸すは前記絶縁部材15を介し
て内部に突設される。金属ケース13は、その内部の同
軸すの下部が前記ペルチェ素子台12と同程度の高さと
なるように形成される。この部分は支持台Cとなる。FIG. 1 shows its configuration. A coaxial connector 19 is attached to the metal case 13 in place of the lead, and its ground side is directly screwed to the metal case 13 for electrical connection. is provided to protrude inside through the insulating member 15. The metal case 13 is formed so that the lower part of the coaxial frame inside thereof has the same height as the Peltier element stand 12. This part becomes the support base C.
この支持台Cとペルチェ素子台12の上には適当な厚さ
の基板20が載置固定される。A substrate 20 of an appropriate thickness is placed and fixed on the support stand C and the Peltier element stand 12.
この基板20の下面には、支持台Cとペルチェ素子台1
2との間で切り離された第1、第2の導体ハターンd、
eが形成され、これらのパターンd、e間には容量性素
子21が配置接続される。On the lower surface of this substrate 20, a support stand C and a Peltier element stand 1 are provided.
2, the first and second conductor patterns d are separated from each other;
A capacitive element 21 is arranged and connected between these patterns d and e.
第1の導体パターンdはその端部が金属ケース13のペ
ルチェ素子台dと電気的に結合される。The end of the first conductor pattern d is electrically coupled to the Peltier element stand d of the metal case 13.
第2の導体パターンeはペルチェ素子台12と接合され
るように、さらに端面を介して上面端部まで延長形成さ
れる。The second conductor pattern e is formed to extend further through the end surface to the end of the upper surface so as to be joined to the Peltier element base 12.
前記半導体レーザ11は基板20上の端部に形成された
導体パターンeの上に搭載される。この基板20の上面
には半導体レーザ11に近接した位置にレーザ駆動装置
22が搭載され、このレーザ駆動装置22の近傍位置か
ら上記同軸すの配置位置まで第3の導体パターンfが形
成される。第3の導体パターンfと同軸すとは直接接続
され、第3の導体パターンfとレーザ駆動装置22の信
号入力端子とはボンディングワイヤ23によって接続さ
れ、レーザ駆動装置22の電流出力端子と半導体レーザ
11とはボンディングワイヤ24によって接続される。The semiconductor laser 11 is mounted on a conductive pattern e formed at an end of the substrate 20. A laser driving device 22 is mounted on the upper surface of this substrate 20 at a position close to the semiconductor laser 11, and a third conductor pattern f is formed from a position near this laser driving device 22 to a position where the coaxial plate is arranged. The third conductive pattern f and the coaxial line are directly connected, the third conductive pattern f and the signal input terminal of the laser driving device 22 are connected by a bonding wire 23, and the current output terminal of the laser driving device 22 and the semiconductor laser 11 through a bonding wire 24.
また、基板20の下面側において、第2の導体パターン
eと金属ケース13とは十分長いボンディングワイヤ等
による誘導性素子線25によって接続される。半導体レ
ーザ11のレーザ光放射位置の近傍には光ファイバ16
の先球テーバ加工されている先端が位置される。Further, on the lower surface side of the substrate 20, the second conductor pattern e and the metal case 13 are connected by an inductive element wire 25 made of a sufficiently long bonding wire or the like. An optical fiber 16 is located near the laser beam emission position of the semiconductor laser 11.
The tapered tip of the ball is located.
上記構成において、以下その作用について説明する。In the above configuration, the operation thereof will be explained below.
上記同軸コネクタ19に同軸ケーブル(図示せず)が接
続され、この同相ケーブルの芯線を通って伝送される変
調信号は同軸b、第3の導体パターンf1ボンディング
ワイヤ23を介してレーザ駆動装置22に入力される。A coaxial cable (not shown) is connected to the coaxial connector 19, and the modulated signal transmitted through the core wire of this in-phase cable is sent to the laser driving device 22 via the coaxial b and third conductor pattern f1 bonding wires 23. is input.
このレーザ駆動装置22は人力信号に応して半導体レー
ザ11への注入電流を変化させる。この注入電流はボン
ディングワイヤ24を介して半導体レーザ11の一方の
電極に供給される。This laser driving device 22 changes the current injected into the semiconductor laser 11 in response to a human power signal. This injection current is supplied to one electrode of the semiconductor laser 11 via the bonding wire 24.
一方、同軸ケーブルのシールド線をアースラインとすれ
ば、この同軸ケーブルを同軸コネクタ1つと接続するこ
とにより金属ケース13をアースすることかできる。こ
のとき、半導体レーザ11の他方の電極は第2の導体パ
ターンe、誘導性素子線25を介して金属ケース13に
接続されるため、十分な低インピーダンスをもってアー
スされる。また、容量性素子21、第1の導体パターン
dを介して金属ケース13の支持台Cに接続されるため
、交流的にも低インピーダンスでアースされる。On the other hand, if the shield wire of the coaxial cable is used as a ground line, the metal case 13 can be grounded by connecting this coaxial cable to one coaxial connector. At this time, the other electrode of the semiconductor laser 11 is connected to the metal case 13 via the second conductor pattern e and the inductive element wire 25, so that it is grounded with sufficiently low impedance. Furthermore, since the capacitive element 21 is connected to the support base C of the metal case 13 via the first conductor pattern d, it is grounded with low impedance in terms of alternating current as well.
したがって、上記構成の半導体レーザ装置は、半導体レ
ーザ11までのボンディングワイヤの長さは従来と比較
して極めて短くなり、これによって10ギガビット程度
まてレーザ光の高速変調か可能となる。また、半導体レ
ーザ11で発生する熱は導体パターンeを介してペルチ
ェ素子台12に吸熱され、さらに半導体レーザ11が載
置される導体パターンeは熱的にはペルチェ素子台12
を除いて、熱抵抗の大きい容量性素子21及び誘導性素
子25を介して金属ケース13と繋がっているたけなの
で、半導体レーザ11と金属ケース13との温度差を十
分確保することができる。Therefore, in the semiconductor laser device having the above configuration, the length of the bonding wire up to the semiconductor laser 11 is extremely short compared to the conventional one, and this enables high-speed modulation of laser light up to about 10 gigabits. Further, the heat generated by the semiconductor laser 11 is absorbed by the Peltier element stand 12 via the conductor pattern e, and the conductor pattern e on which the semiconductor laser 11 is mounted is thermally absorbed by the Peltier element stand 12.
The semiconductor laser 11 and the metal case 13 are connected to the metal case 13 through the capacitive element 21 and the inductive element 25, which have large thermal resistance, so that a sufficient temperature difference between the semiconductor laser 11 and the metal case 13 can be ensured.
尚、上記実施例では、第2の導体パターンeを基板20
の端面で折り返すように形成したが、これはスルーホー
ルによって上下面のパターンを接続するようにしても同
様に実施可能である。また、第2の導体パターンeを誘
導性素子25て接続するようにしたか、これはリードを
通して一旦金属ケース13の外に取り出し、定電位点と
接続するようにしても良い。この場合、導体パターンe
と金属ケース13との間の熱抵抗が大きくなり、熱的特
性をさらに改善することができる。In the above embodiment, the second conductor pattern e is connected to the substrate 20.
Although it is formed so as to be folded back at the end surface, this can be similarly implemented by connecting the patterns on the upper and lower surfaces with through holes. Further, although the second conductor pattern e is connected through the inductive element 25, it may be temporarily taken out of the metal case 13 through a lead and connected to a constant potential point. In this case, the conductor pattern e
The thermal resistance between the metal case 13 and the metal case 13 increases, and the thermal characteristics can be further improved.
[発明の効果コ
以上のようにこの発明によれば、熱的に安定し、しかも
飛躍的に変調速度を向上させることのできる半導体レー
ザ装置を提供することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, it is possible to provide a semiconductor laser device that is thermally stable and can dramatically improve the modulation speed.
第1図はこの発明に係る半導体レーザ装置の一実施例の
構成を示す一部断面図、第2図は従来の半導体レーザ装
置の構成を示す一部断面図である。
11・・・半導体レーザ、12・・・ペルチェ素子台、
13・・・・・・金属ケース、14・・・信号入力リー
ド、15・・絶縁素子、16・・・光ファイバ 17゜
18・・・ボンディングワイヤ、19・・・同軸コネク
タ、b・・・同軸、C・・・支持台、20・・・基板、
d、e、f・・・導体パターン、21・・・容量性素子
、22・・レーザ駆動装置、23.24・・・ボンディ
ングワイヤ、25・・・誘導性素子線。FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing the structure of an embodiment of a semiconductor laser device according to the present invention, and FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing the structure of a conventional semiconductor laser device. 11... Semiconductor laser, 12... Peltier element stand,
13... Metal case, 14... Signal input lead, 15... Insulating element, 16... Optical fiber 17° 18... Bonding wire, 19... Coaxial connector, b... Coaxial, C... Support stand, 20... Board,
d, e, f...Conductor pattern, 21...Capacitive element, 22...Laser drive device, 23.24...Bonding wire, 25...Inductive element wire.
Claims (1)
表面に載置固定される基板と、 この基板の一方端が載置固定されるペルチエ素子台と、 前記半導体レーザ、基板及びペルチエ素子台を収納し、
内部に前記ペルチエ素子台と同等の高さを有して前記基
板の他方端が載置固定される梁を形成してなる金属ケー
スと、 この金属ケースの前記梁の形成面に装着され、同軸ケー
ブルの変調信号伝送線なる同軸線が接続される同軸が内
部に突設され、前記同軸ケーブルの基準電位線なるシー
ルド線が接続される周囲が金属ケースと電気的に接続さ
れる同軸コネクタと、前記金属ケースに装着され、光フ
ァイバ線の先端が前記半導体レーザのレーザ光放射位置
に配置される光ファイバケーブルとを具備し、 前記基板に形成される導体パターンは、少なくとも裏面
に形成される第1の導体パターンと、表裏面に連結して
形成される第2の導体パターンと、表面に形成される第
3の導体パターンからなり、前記第1の導体パターンは
前記梁と接触して電気的に接続されるように形成され、
第2の導体パターンは前記ペルチエ素子台と接触すると
共に前記半導体レーザの一方の電極と接触して電気的に
接続されるように形成され、前記第3の導体パターンは
前記同軸及び半導体レーザの配置位置まで近接形成され
、前記第1、第2の導体パターンは互いに容量性素子で
結合され、前記第2の導体パターンは誘導性素子を介し
て前記金属ケースに接続され、前記第3の導体パターン
は前記同軸及び半導体レーザの他方の電極と直接または
間接に接続されることを特徴とする半導体レーザ装置。[Scope of Claims] A semiconductor laser having electrodes on surfaces facing each other; a substrate on which a conductive pattern is formed on the front and back surfaces, and on which the semiconductor laser is placed and fixed; one end of this substrate is placed and fixed. a Peltier device stand for storing the semiconductor laser, the substrate, and the Peltier device stand;
a metal case formed with a beam having the same height as the Peltier element stand and on which the other end of the substrate is placed and fixed; a coaxial connector in which a coaxial to which a coaxial line, which is a modulation signal transmission line of a cable, is connected is protruded inside, and a periphery to which a shielded wire, which is a reference potential line of the coaxial cable, is connected is electrically connected to a metal case; an optical fiber cable that is attached to the metal case and has a tip of the optical fiber line located at a laser beam emission position of the semiconductor laser, and the conductive pattern formed on the substrate includes at least a first It consists of a first conductor pattern, a second conductor pattern connected to the front and back surfaces, and a third conductor pattern formed on the front surface, and the first conductor pattern is in contact with the beam and electrically conductive. formed to be connected to
The second conductor pattern is formed to be in contact with the Peltier element base and to be electrically connected to one electrode of the semiconductor laser, and the third conductor pattern is formed to be in contact with the Peltier element base and to be electrically connected to one electrode of the semiconductor laser. the first and second conductor patterns are coupled to each other by a capacitive element, the second conductor pattern is connected to the metal case via an inductive element, and the third conductor pattern is connected to the metal case through an inductive element. is directly or indirectly connected to the other electrode of the coaxial and semiconductor laser.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5643790A JPH03259584A (en) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | Semiconductor laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5643790A JPH03259584A (en) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | Semiconductor laser apparatus |
Publications (1)
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000138393A (en) * | 1998-11-04 | 2000-05-16 | Hamamatsu Photonics Kk | Radiation detector |
EP1104053A2 (en) * | 1999-11-29 | 2001-05-30 | Nec Corporation | Semiconductor laser module |
JP2002141594A (en) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Kyocera Corp | Package for containing semiconductor element |
JP2002185068A (en) * | 2000-12-11 | 2002-06-28 | Kyocera Corp | Package for containing semiconductor element |
JP2011129592A (en) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical semiconductor device |
-
1990
- 1990-03-09 JP JP5643790A patent/JPH03259584A/en active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000138393A (en) * | 1998-11-04 | 2000-05-16 | Hamamatsu Photonics Kk | Radiation detector |
EP1104053A2 (en) * | 1999-11-29 | 2001-05-30 | Nec Corporation | Semiconductor laser module |
EP1104053A3 (en) * | 1999-11-29 | 2002-10-30 | Nec Corporation | Semiconductor laser module |
JP2002141594A (en) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Kyocera Corp | Package for containing semiconductor element |
JP2002185068A (en) * | 2000-12-11 | 2002-06-28 | Kyocera Corp | Package for containing semiconductor element |
JP4658313B2 (en) * | 2000-12-11 | 2011-03-23 | 京セラ株式会社 | Package for storing semiconductor elements |
JP2011129592A (en) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical semiconductor device |
US8737440B2 (en) | 2009-12-15 | 2014-05-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical module with enhanced robustness of temperature controlling device |
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