JPH03248020A - 低温液化ガスの蒸発量測定方法および装置 - Google Patents
低温液化ガスの蒸発量測定方法および装置Info
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- JPH03248020A JPH03248020A JP4441290A JP4441290A JPH03248020A JP H03248020 A JPH03248020 A JP H03248020A JP 4441290 A JP4441290 A JP 4441290A JP 4441290 A JP4441290 A JP 4441290A JP H03248020 A JPH03248020 A JP H03248020A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、液体ヘリウム等の低温液化ガスの蒸発量を測
定する方法および装置に関するものである。
定する方法および装置に関するものである。
超電導コイルや各種低温機器の冷却には液体ヘリウム等
の低温液化ガスが使用される。この低温液化ガスは低温
容器内に貯蔵されるが、低温容器は断熱性が完全でない
ため、わずかではあるが外部からの熱流入を避けること
ができず、このため低温容器内では低温液化ガスの蒸発
が発生する。
の低温液化ガスが使用される。この低温液化ガスは低温
容器内に貯蔵されるが、低温容器は断熱性が完全でない
ため、わずかではあるが外部からの熱流入を避けること
ができず、このため低温容器内では低温液化ガスの蒸発
が発生する。
この蒸気は通常、排気通路を通して大気中に放出される
が、液体ヘリウム等の低温液化ガスはきわめて高価であ
るため、その消費量を管理する必要があり、従来から蒸
発量の測定が行われている。
が、液体ヘリウム等の低温液化ガスはきわめて高価であ
るため、その消費量を管理する必要があり、従来から蒸
発量の測定が行われている。
従来の蒸発量測定方法を図−２に示す０図において、１
は低温容器、２は低温容器ｌ内の真空室、３は真空室２
内に設置された内部容器、４は内部容器３内に貯蔵され
た液体ヘリウムである。液体ヘリウム４内には超電導マ
グネットの場合であれば超電導コイルが浸漬される。液
体ヘリウム４から蒸発したヘリウム蒸気は排気管５を通
って大気中に放出されるが、その途中には流量計６が接
続してあり、これによって蒸発量の測定を行うようにな
っている。
は低温容器、２は低温容器ｌ内の真空室、３は真空室２
内に設置された内部容器、４は内部容器３内に貯蔵され
た液体ヘリウムである。液体ヘリウム４内には超電導マ
グネットの場合であれば超電導コイルが浸漬される。液
体ヘリウム４から蒸発したヘリウム蒸気は排気管５を通
って大気中に放出されるが、その途中には流量計６が接
続してあり、これによって蒸発量の測定を行うようにな
っている。
従来の蒸発量測定系では、流量計の下流側が大気に通じ
ているため、自然現象あるいは室内の空調による大気圧
の変動により、流量計の測定値が乱され、誤差が発生す
るという問題があった。
ているため、自然現象あるいは室内の空調による大気圧
の変動により、流量計の測定値が乱され、誤差が発生す
るという問題があった。
このため正確な蒸発量を測定するには大気圧の変動周期
を考慮して５〜１０日にも及ぶ測定が必要となり、測定
に時間がかかるという問題もあった。
を考慮して５〜１０日にも及ぶ測定が必要となり、測定
に時間がかかるという問題もあった。
本発明は、上記のような課題を解決した低温液化ガスの
蒸発量測定方法を提供するもので、その構成は、低温容
器に貯蔵された低温液化ガスの蒸気の排気通路に流量計
を設置して低温液化ガスの蒸発量を測定する方法におい
て、前記流量計の下流側の圧力を大気圧の変動範囲の上
限より高い一定の圧力に保持することを特徴とする。
蒸発量測定方法を提供するもので、その構成は、低温容
器に貯蔵された低温液化ガスの蒸気の排気通路に流量計
を設置して低温液化ガスの蒸発量を測定する方法におい
て、前記流量計の下流側の圧力を大気圧の変動範囲の上
限より高い一定の圧力に保持することを特徴とする。
このようにすれば、流量計の測定値は大気圧の変動の影
響を受けなくなり、高精度の蒸発量測定を短時間で行え
るようになる。
響を受けなくなり、高精度の蒸発量測定を短時間で行え
るようになる。
本発明はまた上記の蒸発量測定方法を実施するための装
置を提供するもので、その構成は、低温容器に貯蔵され
た低温液化ガスの蒸気の排気通路に流量計を設置してな
る低温液化ガスの蒸発量測定装置において、前記流量計
の下流側に、その下流側の圧力を測定する圧力センサー
と、その圧力センサーの検出値に応じて前記下流側の圧
力を大気圧の変動範囲の上限より高い一定の圧力に保持
する制御弁とを接続したことを特徴とする。
置を提供するもので、その構成は、低温容器に貯蔵され
た低温液化ガスの蒸気の排気通路に流量計を設置してな
る低温液化ガスの蒸発量測定装置において、前記流量計
の下流側に、その下流側の圧力を測定する圧力センサー
と、その圧力センサーの検出値に応じて前記下流側の圧
力を大気圧の変動範囲の上限より高い一定の圧力に保持
する制御弁とを接続したことを特徴とする。
この装置では、低温液化ガスの蒸気は流量計を通過した
のち制御弁を通って大気中に放出される。
のち制御弁を通って大気中に放出される。
このとき流量計の下流側の圧力を圧力センサーで検出し
、その検出値に応じて制御弁の開度を調整することによ
り、流量計の下流側の圧力を一定に保つものである。
、その検出値に応じて制御弁の開度を調整することによ
り、流量計の下流側の圧力を一定に保つものである。
流量計の下流側の圧力を一定に制御するには、流量計と
制御弁の間にバッファー用のガス容器を設けておくと、
圧力制御が容品である。
制御弁の間にバッファー用のガス容器を設けておくと、
圧力制御が容品である。
以下、本発明の一実施例を図−１を参照して詳細に説明
する。
する。
図−１において、先に説明した図−２の装置と同一部分
には同一符号を付しである。この装置では、流量計６の
下流側にガス容器７と制御弁８が接続され、流量計６を
通過したヘリウム蒸気が一旦ガス容器７に入った後、制
御弁８を通って大気中に放出されるようになっている。
には同一符号を付しである。この装置では、流量計６の
下流側にガス容器７と制御弁８が接続され、流量計６を
通過したヘリウム蒸気が一旦ガス容器７に入った後、制
御弁８を通って大気中に放出されるようになっている。
またガス容器７には内部の圧力を検出する圧力センサー
９が取り付けてあり、この圧力センサー９の検出値は制
御ユニット１０に入力されるようになっている。制御ユ
ニット１０には予め大気圧の変動範囲の上限より例えば
ｌＯ〜２０ｍｍＨｇ高い圧力が設定されており、制御ユ
ニッ）１０は、この設定値と前記検出値とを比較して、
その差を出力し、その出力で制御弁８の開度を調整する
ことにより、ガス容器７内の圧力を上記設定値に保つも
のである。
９が取り付けてあり、この圧力センサー９の検出値は制
御ユニット１０に入力されるようになっている。制御ユ
ニット１０には予め大気圧の変動範囲の上限より例えば
ｌＯ〜２０ｍｍＨｇ高い圧力が設定されており、制御ユ
ニッ）１０は、この設定値と前記検出値とを比較して、
その差を出力し、その出力で制御弁８の開度を調整する
ことにより、ガス容器７内の圧力を上記設定値に保つも
のである。
以上のように構成すると、ガス容器７内の圧力が大気圧
の変動範囲より高い一定の圧力に保持されるため、流量
計７は大気圧の変動の影響を受けずに流量測定を行うこ
とができ、高精度の流量測定を短時間で行えるようにな
る。
の変動範囲より高い一定の圧力に保持されるため、流量
計７は大気圧の変動の影響を受けずに流量測定を行うこ
とができ、高精度の流量測定を短時間で行えるようにな
る。
なお流量計の測定値は、流量計の下流側の圧力が大気圧
より高くなるため、１気圧下での測定値と異なることに
なるが、１気圧下の流量に換算するには状態方程式（Ｐ
Ｖ ＝ ｎ ＲＴ）を用いればよい。
より高くなるため、１気圧下での測定値と異なることに
なるが、１気圧下の流量に換算するには状態方程式（Ｐ
Ｖ ＝ ｎ ＲＴ）を用いればよい。
また上記実施例では流量計と制御弁の間にバッファー用
のガス容器を設けたが、制御弁の精度あるいは配管系の
容量によってはこのガス容器を省略することも可能であ
る。
のガス容器を設けたが、制御弁の精度あるいは配管系の
容量によってはこのガス容器を省略することも可能であ
る。
また制御弁の下流側に、低温容器とガス容器の容量およ
び配管系のコンダクタンスを考慮して、適当な流体抵抗
器例えばオリフィス、ニードルバルブ等を取り付けるこ
とにより、測定系の圧力をより安定にすることができる
。
び配管系のコンダクタンスを考慮して、適当な流体抵抗
器例えばオリフィス、ニードルバルブ等を取り付けるこ
とにより、測定系の圧力をより安定にすることができる
。
本発明の蒸発量測定装置は、例えばＭＨＩ（核磁気共鳴
による断層撮影装置）やＮＭＲスペクトロメータ（核磁
気共鳴による質量分析器）等の超電導コイルを収納する
低温容器、あるいは低温液化ガスを使用する他の低温機
器の低温容器に付属させて使用されるものである。この
装置を付属させた低温容器は、その内部および測定系が
大気圧より高い一定の圧力に保持されるため、ヘリウム
の蒸発量が減り、従来のものに比べ、ヘリウム使用量を
２０〜３０％低減できる。
による断層撮影装置）やＮＭＲスペクトロメータ（核磁
気共鳴による質量分析器）等の超電導コイルを収納する
低温容器、あるいは低温液化ガスを使用する他の低温機
器の低温容器に付属させて使用されるものである。この
装置を付属させた低温容器は、その内部および測定系が
大気圧より高い一定の圧力に保持されるため、ヘリウム
の蒸発量が減り、従来のものに比べ、ヘリウム使用量を
２０〜３０％低減できる。
以上説明したように本発明によれば、低温液化ガスの蒸
発量を測定する流量計の下流側の圧力を大気圧の変動範
囲より高い一定の圧力に保持するようにしたので、流量
計の測定値が大気圧の変動の影響を受けることがなくな
り、短時間で精度の高い蒸発量の測定を行うことができ
る。
発量を測定する流量計の下流側の圧力を大気圧の変動範
囲より高い一定の圧力に保持するようにしたので、流量
計の測定値が大気圧の変動の影響を受けることがなくな
り、短時間で精度の高い蒸発量の測定を行うことができ
る。
図−１は本発明の一実施例に係る低温液化ガス蒸発量測
定装置の説明図、図−２は従来の低温液化ガス蒸発量測
定装Ｗの説明図である。 ｌ：低温容器 ２：真空室 ３：内部容器４：液体ヘリ
ウム ５：排気管 ６：流量計７：ガス容器 ８：制御
弁 ９：圧力センサー１０：制御ユニツト 図−２ 図− ０ 手続補正書（自発） 平成２年 ４月＞０日
定装置の説明図、図−２は従来の低温液化ガス蒸発量測
定装Ｗの説明図である。 ｌ：低温容器 ２：真空室 ３：内部容器４：液体ヘリ
ウム ５：排気管 ６：流量計７：ガス容器 ８：制御
弁 ９：圧力センサー１０：制御ユニツト 図−２ 図− ０ 手続補正書（自発） 平成２年 ４月＞０日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、低温容器に貯蔵された低温液化ガスの蒸気の排気通
路に流量計を設置して低温液化ガスの蒸発量を測定する
方法において、前記流量計の下流側の圧力を大気圧の変
動範囲より高い一定の圧力に保持することを特徴とする
低温液化ガスの蒸発量測定方法。 ２、低温容器に貯蔵された低温液化ガスの蒸気の排気通
路に流量計を設置してなる低温液化ガスの蒸発量測定装
置において、前記流量計の下流側に、その下流側の圧力
を測定する圧力センサーと、その圧力センサーの検出値
に応じて前記下流側の圧力を大気圧の変動範囲より高い
一定の圧力に保持する制御弁とを接続したことを特徴と
する低温液化ガスの蒸発量測定装置。 ３、請求項２記載の低温液化ガス蒸発量測定装置を備え
た低温容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4441290A JPH03248020A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 低温液化ガスの蒸発量測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4441290A JPH03248020A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 低温液化ガスの蒸発量測定方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03248020A true JPH03248020A (ja) | 1991-11-06 |
Family
ID=12690794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4441290A Pending JPH03248020A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 低温液化ガスの蒸発量測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03248020A (ja) |
-
1990
- 1990-02-27 JP JP4441290A patent/JPH03248020A/ja active Pending
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