JPH03245156A - Electrophotographic sensitive body and substrate for the same - Google Patents

Electrophotographic sensitive body and substrate for the same

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JPH03245156A
JPH03245156A JP4287490A JP4287490A JPH03245156A JP H03245156 A JPH03245156 A JP H03245156A JP 4287490 A JP4287490 A JP 4287490A JP 4287490 A JP4287490 A JP 4287490A JP H03245156 A JPH03245156 A JP H03245156A
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JP
Japan
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glass
layer
electrophotographic photoreceptor
substrate
glass tube
Prior art date
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Application number
JP4287490A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsuaki Kamiyama
神山 三明
Hidekazu Kaga
英一 加賀
Shigeto Yoshida
成人 吉田
Haruhiko Ishida
晴彦 石田
Sadao Kajiura
貞夫 梶浦
Minoru Inada
実 稲田
Naoyuki Kokuni
小国 尚之
Masaaki Yoshida
正明 吉田
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Toshiba Corp
AGC Techno Glass Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Glass Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH03245156A publication Critical patent/JPH03245156A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain superior characteristics of the photosensitive body without requiring mechanical grinding by laminating on a cylindrical substrate made of a glass selected from a group composed of soda lime glasses, lime glasses and borosilicic acid glasses and formed by the mechanical tube drawing method, a conductive layer and a photosensitive layer. CONSTITUTION:The conductive layer 31 and the photosensitive layer 32 are laminated on the cylindrical glass substrate 30 in this order. The glass substrate 30 is made of a soda lime glass, a lead glass, or a borosilicic acid glass and formed by the mechanical tube drawing method has superior surface characteristics, such as linearity, parallelism, circularity, and cylindricality, and there is no need to apply grinding work and no fear of being stained by oil. The conductive layer 31 serves not only as a conductive electrode, but also as an undercoat layer for enhancing electric characteristics and adhesion between the layer 32 and the substrate 30 and promoting reparation of the defects of the substrate, thus permitting photosensitivity characteristics to be enhanced and the obtained photosensitive body to be reduced in heat deformation and enhanced in precision.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明はガラスからなる支持体を用いた電子写真感光体
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an electrophotographic photoreceptor using a support made of glass.

(従来の技術) 電子写真感光体は基本的には支持体と感光層から構成さ
れている。従来、感光体の支持体は、主としてアルミニ
ウムを用いている。これは、アルミニウムか機祉的強度
、Q鏡面切削性・高寸法精度等の加工性および表面の導
電性等の要求特性において最も適していたためである。
(Prior Art) An electrophotographic photoreceptor basically consists of a support and a photosensitive layer. Conventionally, aluminum has been mainly used as a support for photoreceptors. This is because aluminum was the most suitable in terms of required properties such as mechanical strength, workability such as Q-mirror machinability and high dimensional accuracy, and surface conductivity.

一方、アルミニウム以外の支持体材料としてガラスを用
いた電子写真感光体が開示されている(「電子写真」P
62〜68、井上英−訳、共立出版)。これらの感光体
支持体は、硬質ガラス表面に酸化インジウム(In20
.i)等の透明導電性電極を設けたものである。
On the other hand, an electrophotographic photoreceptor using glass as a support material other than aluminum has been disclosed ("Electrophotography" P.
62-68, Hide Inoue-translator, Kyoritsu Shuppan). These photoreceptor supports have indium oxide (In20
.. A transparent conductive electrode such as i) is provided.

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、アルミニウムは鉄やyj<素等の不純物
を微量ながら含む。このため、機械的な研削によって加
工する場合、表面に微小な門Wや欠陥を生じる。また、
アルミニウム上に感光層を良好に塗布するために、通常
、洗浄による脱脂処理を施す。この脱脂処理は、生に切
削加工時に用いる切削油を洗浄するものであるか、しば
しば不充分となることがある。脱脂処理が不充分となり
アルミニウム表面上に油分が残ると、アルミニウム上に
良好に感光層を形成することができず、得られる電子写
真感光体の特性不良や画像欠陥を引き起こす。さらに、
表面を鏡面に仕上げたアルミニウム支持体は、露光手段
としてレーザ等の単色光を用いた時に干渉縞を発生して
画像不良を生じる。
(Problems to be Solved by the Invention) However, aluminum contains trace amounts of impurities such as iron and yj<element. Therefore, when processed by mechanical grinding, minute gates W and defects are generated on the surface. Also,
In order to coat aluminum well with a photosensitive layer, it is usually subjected to degreasing treatment by washing. This degreasing treatment is intended to wash away the cutting oil used during machining, and is often insufficient. If the degreasing treatment is insufficient and oil remains on the aluminum surface, a photosensitive layer cannot be satisfactorily formed on the aluminum, causing poor characteristics and image defects in the resulting electrophotographic photoreceptor. moreover,
An aluminum support with a mirror-finished surface generates interference fringes and causes image defects when monochromatic light such as a laser is used as an exposure means.

このように、アルミニウムのみからなる支持体は、充分
な緒特性を得ることは難しい。
As described above, it is difficult to obtain sufficient strength characteristics with a support made only of aluminum.

実際に使用される電子写真感光体は、支持体と感光層と
の間に、カゼイン、ポリビニルアルコール、エチルセル
ロース、ポリアミド、ポリウレタン、アルコール溶性ナ
イロン、または塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体等から
なる下引き層を設けている。一般に、下引き層を設ける
ことにより、電子写真感光体の電気的特性の改良、感光
層と支持体との接着性の向上、あるいは支持体の欠陥保
護を達成することかできる。しかし、下引き層を有する
電子写真感光体は、製造工程か繁雑であり、しかもアル
ミニウム自体の値段が高いので、製造コストが必然的に
高くなる。また、アルミニウムは表面硬度が低いので、
鏡面研磨後の製造工程中に損傷することがある。このた
め、取扱いに格別の配慮が必要であった。
In the electrophotographic photoreceptor actually used, an undercoat consisting of casein, polyvinyl alcohol, ethyl cellulose, polyamide, polyurethane, alcohol-soluble nylon, or vinyl chloride-vinyl acetate copolymer is provided between the support and the photosensitive layer. There are layers. Generally, by providing an undercoat layer, it is possible to improve the electrical properties of the electrophotographic photoreceptor, improve the adhesion between the photosensitive layer and the support, or protect the support from defects. However, the manufacturing process of an electrophotographic photoreceptor having an undercoat layer is complicated, and since aluminum itself is expensive, the manufacturing cost is inevitably high. In addition, aluminum has a low surface hardness, so
It may be damaged during the manufacturing process after mirror polishing. For this reason, special consideration was required in handling it.

一方、ガラス表面上に酸化インジウム等の透明導電性電
極を設けたものは、高温下での熱処理が必要であるため
非常に高価となる。また、露光現を同時方式等の特殊な
用途1=用いることを意図したものであり、技術的にも
難しく実用化はされていない。したがって、電子写真複
写機やプリンター等の一般用電子写真装置に用いるため
のガラス支持体感光体は、技術的改良や低コスト化の手
段等についての実質的検討が為されていない。このため
、実用化に耐え得る具体的な構成手段はほとんど開示さ
れておらず、実用化されてないのが現状である。
On the other hand, those in which transparent conductive electrodes such as indium oxide are provided on the glass surface are very expensive because they require heat treatment at high temperatures. In addition, this method is intended to be used for special purposes such as a simultaneous exposure method, and is technically difficult to put into practical use. Therefore, with respect to glass support photoreceptors for use in general-purpose electrophotographic devices such as electrophotographic copying machines and printers, no substantial studies have been conducted on technical improvements or cost reduction measures. For this reason, few concrete configuration means that can withstand practical use have been disclosed, and the present situation is that they have not been put into practical use.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、機械
的な研削が不要で、切削加工時に用いる切削油等による
汚染を防止し、優れた感光体特性を発揮し、しかも安値
である電子写真感光体を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of these points, and is an electronic device that does not require mechanical grinding, prevents contamination by cutting oil used during cutting, exhibits excellent photoreceptor characteristics, and is inexpensive. The purpose is to provide a photographic photoreceptor.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明の電子写真感光体は、ソーダ石炭ガラス、鉛ガラ
ス、および硼珪酸ガラスからなる群から選ばれたガラス
からなり、機械管引き法により成形された円筒状ガラス
支持体と、該ガラス支持体上に設けられた導電層と、該
導電層上に設けられた感光層とを具備することを特徴と
する。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The electrophotographic photoreceptor of the present invention is made of glass selected from the group consisting of soda coal glass, lead glass, and borosilicate glass, and is made of glass selected from the group consisting of soda coal glass, lead glass, and borosilicate glass, and It is characterized by comprising a molded cylindrical glass support, a conductive layer provided on the glass support, and a photosensitive layer provided on the conductive layer.

(作用) 本発明の電子写真感光体は、機械引き法により成形され
た円筒状ガラスを支持体として用いているので、優れた
真直度、平行度、真円度、及び円筒度等の表面特性を有
する。また、支持体がガラスであるため、切削加工を施
す必要かなく、切削加工時の油分による汚染を防止する
。したかって、導電層および感光層をガラス支持体上に
良好に形成することができる。
(Function) Since the electrophotographic photoreceptor of the present invention uses cylindrical glass formed by a mechanical drawing method as a support, it has excellent surface properties such as straightness, parallelism, roundness, and cylindricity. has. Furthermore, since the support is made of glass, there is no need for cutting, and contamination due to oil during cutting is prevented. Therefore, a conductive layer and a photosensitive layer can be formed satisfactorily on a glass support.

導電層は、導電性電極として機能する他に、電気的特性
、感光層と支持体との接着性、支持体の欠陥保護性を向
上させるための下引き層の役割を果たす。
The conductive layer functions not only as a conductive electrode but also as an undercoat layer for improving electrical properties, adhesion between the photosensitive layer and the support, and defect protection of the support.

さらに、本発明の電子写真感光体の支持体に用いられる
ソーダ石炭ガラス、鉛ガラス、および硼珪酸ガラスは、
例えば、蛍光灯の素管等の量産製品の原料であるので、
支持体はそのような量産製品のバイプロダクトとして製
造され得る。このため、低コストで生産性良く製造する
ことができる。
Furthermore, the soda coal glass, lead glass, and borosilicate glass used for the support of the electrophotographic photoreceptor of the present invention are
For example, since it is a raw material for mass-produced products such as raw tubes for fluorescent lamps,
The support can be manufactured as a by-product of such mass-produced products. Therefore, it can be manufactured at low cost and with high productivity.

(実施例) 以下、本発明の実施例を添付図面を参照しながら具体的
に説明する。
(Embodiments) Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings.

ガラス支持体の製造、導電層の形成、および感光層の形
成の順で電子写真感光体の製造工程を説明する。
The manufacturing process of the electrophotographic photoreceptor will be explained in the order of manufacturing the glass support, forming the conductive layer, and forming the photosensitive layer.

1、ガラス支持体の製造 前述したような感光体の支持体、特に一般的に用いられ
る円筒状の支持体(以下、素管という)が持つべき要求
事項としては、機械的寸法精度、素管表面の粗さ(鏡面
度)、および低価格であることが挙げられる。
1. Manufacture of the glass support The requirements that the photoreceptor support as mentioned above, especially the commonly used cylindrical support (hereinafter referred to as the base tube), should have include mechanical dimensional accuracy, Examples include surface roughness (specularity) and low price.

このようなガラス管は、電子写真感光体の円筒状の支持
体として必要である真直度、平行度、真円度、円筒度等
の機械的寸法精度や素管表面の粗さ(鏡面度)の表面特
性を良くするためにダンナアップドロー ダウンドロー
、ベロ一方式等の機械管引き法によって作製される。
Such glass tubes have mechanical dimensional accuracy such as straightness, parallelism, roundness, and cylindricity, which are required as cylindrical supports for electrophotographic photoreceptors, and roughness of the surface of the raw tube (specularity). In order to improve the surface properties of the pipes, they are manufactured using mechanical pipe drawing methods such as the flattened up-draw, down-draw, and tongue-type methods.

また、電子写真感光体の支持体を構成するガラス素管の
材料には、例えば、下記第1表に示すような組成のソー
ダ石灰ガラス、鉛ガラス、硼珪酸ガラスが用いられる。
Further, as the material of the glass tube constituting the support of the electrophotographic photoreceptor, for example, soda lime glass, lead glass, or borosilicate glass having a composition as shown in Table 1 below is used.

これは、この素管が蛍光灯素管のバイプロダクトとして
製造されるため、ガラス炉で製造される他の量産製品と
同一の組成を持つことが望ましいからである。
This is because this raw tube is manufactured as a by-product of a raw fluorescent lamp tube, so it is desirable that it has the same composition as other mass-produced products manufactured in a glass furnace.

第 表 Hv:ビッカース硬度(kgl關2) このような要求に答え得る高精度ガラス素管の組成およ
び製造方法としては、次のような方法を用いる。
Table Hv: Vickers hardness (kgl 2) The following methods are used to create and manufacture high-precision glass tubes that can meet these requirements.

以下、本発明の電子写真感光体のガラス支持体を製造す
る方l去の一例を示す。
An example of how to manufacture the glass support for the electrophotographic photoreceptor of the present invention will be shown below.

まず、ダンチー法によるガラスチューブ自動管引工程を
行う。この工程に用いられる連続式ガラスタンク炉及び
グンナー設備は、以下に掲げる管理要点を満たすもので
ある。
First, an automatic glass tube drawing process is performed using the Danchy method. The continuous glass tank furnace and Gunnar equipment used in this process meet the following management points.

・ガラス原料、調合、溶融の管理による均質なガラスの
生成、 ・ガラス管引量の大量化(1〜2 t / h r )
及び−走化、 ・ガラス温度、ダンナー成形雰囲気温度の適性・安定化
、 ・スリーブローチーティングマシン、ドローイングマシ
ン等の付帯設備の安定化及び0速化、・温度、外径、肉
厚、曲りなどの計測・制御機構の最適化、 ・管曲り矯正機構の最適化、 第1図は、連続式ガラスタンク炉及びダンナー設備を示
す概略説明図である。図中10はトラフである。トラフ
10の底部にはガラスを流下させるための流下口11が
設けられている。トラフlOはマツフル】2内に載置さ
れており、その14」に溶融状態のガラス13が貯留さ
れている。マツフル12内のトラフ10の下方にはスリ
ーブ14が設置されている。ここで、スリーブ14上に
流下されるガラス13の温度及び力′ラス1−づの分合
】状態を安定化するために、トラフ1(1)、マツフル
12にかけての温度分布と温度変動の少なくすることが
必要であるので、これらの領域には独特の燃焼方式と高
精度温度制御機構を採用し、スリーブ14は密閉したマ
ツフル12に置かれて外気の影響から遮断される構造と
なっている。また、スリーブ〕4の形状(径の大きさ、
外面のデザイン)は、得られるガラス管の寸法精度を高
める上で歪□な要素となる而の寸法精度、耐浸触性等を
考慮して決定する。また、スリーブ14はトラフ〕0か
らの落差と位置、傾斜角度、回転速度を最適に調整し、
スリーブ先端(チップ)の振れがないように設定する。
・Generation of homogeneous glass by controlling glass raw materials, blending, and melting. ・Increasing the amount of glass tube drawn (1 to 2 t/hr)
- Chemotization, ・Appropriateness and stabilization of glass temperature and dancer molding atmosphere temperature, ・Stabilization and zero speed of incidental equipment such as sleeve blow cheating machines and drawing machines, ・Temperature, outer diameter, wall thickness, and bending Optimization of measurement and control mechanisms such as: Optimization of pipe bend straightening mechanism Figure 1 is a schematic explanatory diagram showing a continuous glass tank furnace and damper equipment. In the figure, 10 is a trough. A flow port 11 is provided at the bottom of the trough 10 to allow the glass to flow down. The trough IO is placed in a trough 14, in which glass 13 in a molten state is stored. A sleeve 14 is installed below the trough 10 within the pine full 12. Here, in order to stabilize the temperature and force of the glass 13 flowing down onto the sleeve 14, the temperature distribution and temperature fluctuations across the trough 1 (1) and the matsuru 12 are minimized. Therefore, a unique combustion method and high-precision temperature control mechanism are adopted for these areas, and the sleeve 14 is placed in a sealed matsufuru 12 to be isolated from the influence of outside air. . In addition, the shape of sleeve] 4 (diameter size,
The design of the outer surface is determined in consideration of dimensional accuracy, penetration resistance, etc., which are critical factors in improving the dimensional accuracy of the resulting glass tube. In addition, the sleeve 14 is adjusted to the optimum height and position from the trough [0], inclination angle, and rotation speed.
Set so that the tip of the sleeve does not shake.

スリーブ14はその中央部を貫通するステンレス製のス
リーブシャフト15で支持され、その−方の端部がマツ
フル12の外部に設置されたスリーブローチーティング
マシン16に固定されている。スリーブローチーティン
グマシン16にはスリーブシャフト15の中央部を貫通
する孔にブローエアーを送風するためのエアー送風口1
7が設けられており、図示しないエアー送風機と連通し
ている。また、スリーブ12の端部のチップ18の下方
にはガイドローラー19が設置されている。
The sleeve 14 is supported by a sleeve shaft 15 made of stainless steel that passes through its center, and its negative end is fixed to a sleeve low cheating machine 16 installed outside the matsufuru 12. The sleeve blow cheating machine 16 has an air outlet 1 for blowing air into a hole passing through the center of the sleeve shaft 15.
7 is provided and communicates with an air blower (not shown). Further, a guide roller 19 is installed below the tip 18 at the end of the sleeve 12.

ガイドローラー19はアニーリングチャンバー20によ
り覆われている。ガイドローラーユ9は、その下流に設
置されているドローイングマシン21に連結されている
。また、ドローイングマシン21のさらに下流には得ら
れたガラス管22を切断するカッティングマシン23が
載置されている。
Guide roller 19 is covered by an annealing chamber 20. The guide roller unit 9 is connected to a drawing machine 21 installed downstream thereof. Furthermore, a cutting machine 23 for cutting the obtained glass tube 22 is placed further downstream of the drawing machine 21.

このような構成の装置において、タンク炉(図示せず)
で溶解されたガラスはりファイナ−炉、フォアハース(
いずれも図示せず)を経てトラフ10に達する。フォア
ハースにはガラス材質およびガラス温度の均質化を計る
ためスタージーが設置されている。トラフ10の先端か
らリボン状のガラス13を回転するスリーブ14上に流
下させる。そのガラス流量はトラフ10に嵌合したゲー
トの微動上下駆動装置(図示せず)によって調整される
In an apparatus with such a configuration, a tank furnace (not shown)
Glass beams melted in a finer furnace, forehearth (
The trough 10 is reached through a passageway (none of which is shown). A stirrer is installed in the forehearth to homogenize the glass material and glass temperature. A ribbon-shaped glass 13 is caused to flow down from the tip of the trough 10 onto a rotating sleeve 14. The glass flow rate is adjusted by a fine vertical movement device (not shown) of the gate fitted in the trough 10.

ガラス13はスリーブ14上を流動し、チップ18を離
れ、ガイドローラー19を経てドローイングマシン21
に通される。この際、エアー送風口17からブローエア
ーをスリーブシャフト15の中央部を貫通する孔を通し
て送風させる。ガラスはドローイングマシン21により
引っ張られてガラス管22となる。ドローイングマシン
21のガラス管22を牽引する上下のゴムベルトは管の
進行方向に対し角度の調整か可能であり、これによりガ
ラス管22の曲りの矯正を行う。
The glass 13 flows over the sleeve 14, leaves the tip 18, passes through the guide rollers 19 and passes through the drawing machine 21.
passed through. At this time, blow air is blown from the air outlet 17 through a hole passing through the center of the sleeve shaft 15. The glass is drawn into a glass tube 22 by a drawing machine 21. The angle of the upper and lower rubber belts that pull the glass tube 22 of the drawing machine 21 can be adjusted with respect to the direction in which the tube travels, thereby correcting the bending of the glass tube 22.

なお、得られるガラス管22の外径と肉厚は、ガラス流
下量、管引速度、ブローエアー圧の関係で決定する。外
径と肉厚はレーザー光線による非接触連続測定を行って
いる。また、外径はブローエアー圧、肉厚は管引速度を
調整しつつ制御する自動制御方式を採用し、さらに、そ
れぞれが管理レベルを外れた場合に対応するための自動
選別機構を採用している。
The outer diameter and wall thickness of the resulting glass tube 22 are determined based on the relationship between the amount of glass flowing down, the tube drawing speed, and the blow air pressure. The outer diameter and wall thickness are continuously measured using a laser beam without contact. In addition, we have adopted an automatic control system that adjusts the blow air pressure for the outer diameter and the tube drawing speed for the wall thickness, and has also adopted an automatic sorting mechanism to deal with cases where each of them is out of the control level. There is.

なお、この装置ではガラス素管の切断は自動化されてお
り、長さの異なる複雑種のガラス素管を同時に作製して
も生産性にはまったく悪影響を及ぼさないため、本装置
により複数用途のガラス素管を効率的に生産することか
可能である。
In addition, this device automates the cutting of glass tubes, and there is no negative effect on productivity even if complex types of glass tubes with different lengths are manufactured at the same time.This device allows glass for multiple uses. It is possible to efficiently produce raw pipes.

得られたガラス管22はカッティングマシン23により
切断される。
The obtained glass tube 22 is cut by a cutting machine 23.

次に、ガラス管22両端部の加工を行う。Next, both ends of the glass tube 22 are processed.

得られたガラス管22の両端部は切断したままの状態で
は衝撃やコシ入れ等のショックに弱く破損しやすい。ま
た、両端部にフランジを取り付けやすい形状に加工する
場合や、撮像部表面に対する仮想軸とフランジとの同軸
化を図る場合がある。
If both ends of the obtained glass tube 22 are left cut, they are susceptible to shocks such as impact and stiffening, and are easily damaged. In addition, there are cases where both ends are processed into a shape that makes it easy to attach flanges, or where the imaginary axis and the flange are made coaxial with respect to the surface of the imaging section.

二のような場合に、第2図(A)ないし第2図(C)に
示すような形状に両端部を加工する必要がある。この加
工は、撮像部表面を基準面としてガラス管の両端部に、
焼き込み(グレージングまたは口焼き)、加熱プレス、
あるいは加熱絞り等の熱処理により行われる。
In case 2, it is necessary to process both ends into the shape shown in FIGS. 2(A) to 2(C). This process is performed on both ends of the glass tube using the surface of the imaging section as a reference plane.
Burning (glazing or mouth-burning), heating press,
Alternatively, heat treatment such as heating and squeezing may be performed.

上記方法で例えば、直径29.81111%長さ349
關、肉厚1.0mmのガラス素管を作製し、5本を抜き
とり、その外形の真直度、真円度および円筒度をul定
した。その結果、5本の平均値は、真直度か13.2μ
m、真円度か16.6μm、および円筒度が42.5μ
mであった。それぞれの値は従来のアルミニウム素管の
精度と同しヘルと判断される。上記の結果から、ダンチ
ー法により作製されたガラス素管は、電子写真感光体に
要求される精度を満足するものであることか確認された
。また、二のガラス素管は、第1表に示すようにガラス
の硬度がいずれもアルミニウムの約20〜40(ブリネ
ル硬度)よりかなり高く、表面に傷がつきにくい。さら
に、このガラス素管は、熱膨張係数もアルミニウムに比
して格段に小さく後述するアモルファスシリコン感光体
の作製時の熱による変形防止にも効果があるものである
In the above method, for example, diameter 29.81111% length 349
Next, a glass raw tube with a wall thickness of 1.0 mm was prepared, five tubes were extracted, and the straightness, roundness, and cylindricity of the outer shape were determined. As a result, the average value of the five pieces was 13.2 μ
m, roundness is 16.6μm, and cylindricity is 42.5μm.
It was m. Each value is judged to be as accurate as conventional aluminum tubes. From the above results, it was confirmed that the glass tube produced by the Danchy method satisfies the accuracy required for electrophotographic photoreceptors. Furthermore, as shown in Table 1, the glass hardness of the second glass tube is considerably higher than about 20 to 40 (Brinell hardness) of aluminum, and the surface is less likely to be scratched. Furthermore, this glass tube has a coefficient of thermal expansion that is much smaller than that of aluminum, and is effective in preventing deformation due to heat during the production of an amorphous silicon photoreceptor, which will be described later.

2、導電層の形成 次に作製されたガラス素管の外表面に導電層を形成する
。導電層の形成手段としては、真空蒸着、イオンスパッ
タリング、イオンブレーティング、化学的気相成長(C
VD) 、無電解メツキ等による金属膜被覆や樹脂中に
金属粉、カーボン粉、グラファイト、金属酸化物等の導
電フィラーを分散させた複合材料導電性樹脂の被覆等が
挙げられる。
2. Formation of conductive layer Next, a conductive layer is formed on the outer surface of the manufactured glass tube. As a means for forming the conductive layer, vacuum evaporation, ion sputtering, ion blating, chemical vapor deposition (C
(VD), coating with a metal film by electroless plating, coating with a composite conductive resin in which a conductive filler such as metal powder, carbon powder, graphite, metal oxide, etc. is dispersed in a resin, and the like.

金属薄膜を被着する場合、必要とされる導電度は通常1
07〜104Ω0以下であるので、はとんどの金属蒸着
膜は使用可能であるが、特に、アルミニウム、ニッケル
、金、銀、クロム、In2O,等が比較的容易に用いる
ことかできる。
When depositing metal thin films, the required conductivity is usually 1
Since the resistance is 07 to 104Ω or less, most metal vapor deposited films can be used, but in particular, aluminum, nickel, gold, silver, chromium, In2O, etc. can be used relatively easily.

また、導電性樹脂を被覆する場合は、ます、金属粉、カ
ーボン粉等をエポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹
脂、ABS樹脂、変性ポリオフィン等のバインダー樹脂
に混含分散させ、バインダー樹脂に適合した溶剤を用い
て適度な粘度と抵抗になるようにして導電性樹脂を得る
。なお、分散にはサンドミル、ボールミル、ロールミル
、ペイントシェーカー等を用いる。次に、アルコールで
浸漬・蒸気洗浄を行ったガラス素管に得られた導電性樹
脂を塗布する。導電性樹脂の塗布方法は、ディッピング
法、スプレー法、ロール法、ブレード法等があるか、円
筒状の支持体にはディッピングあるいはスプレーが適し
ている。いずれの塗布方法を用いる場合も膜厚の均一性
と電気抵抗の安定性が重要であり、しかもゴミ等の混入
を防止する必要がある。このような導電性樹脂被覆は、
導電性樹脂被覆層が感光体層との接着性を向上させ、電
荷の障壁層としての機能するので好ましい。
In addition, when coating a conductive resin, mix and disperse mass, metal powder, carbon powder, etc. in a binder resin such as epoxy resin, urethane resin, acrylic resin, ABS resin, modified polyopine, etc. A conductive resin is obtained by using a solvent to obtain an appropriate viscosity and resistance. In addition, a sand mill, a ball mill, a roll mill, a paint shaker, etc. are used for dispersion. Next, the obtained conductive resin is applied to the glass tube that has been immersed in alcohol and cleaned with steam. Methods for applying the conductive resin include a dipping method, a spray method, a roll method, a blade method, etc., and dipping or spraying is suitable for a cylindrical support. Regardless of the coating method used, uniformity of film thickness and stability of electrical resistance are important, and it is also necessary to prevent contamination by dust and the like. Such conductive resin coating is
A conductive resin coating layer is preferable because it improves adhesion to the photoreceptor layer and functions as a charge barrier layer.

さらに、これらの金属膜もしくは導電樹脂層と、感光層
もしくは保護層と、の間の接着性等を向上させるために
必要に応じて中間層として0.05〜1.0μmの樹脂
層を設けても良い。このような樹脂としては、ニトロセ
ルロース、ポリアミド等が挙げられる。なお、導電層の
厚さは、金属膜の場合、ピンホール等の欠陥が生じない
程度であわばよく約0.1t1m以上必要であり、導電
樹脂層の場合には、蒸着等による金属膜より欠陥か発生
しやすいため、0.5〜30μmの範囲が好ましい。い
ずれの場合も最適な厚さは塗布方法や材料により異なる
Furthermore, in order to improve the adhesion between these metal films or conductive resin layers and the photosensitive layer or protective layer, a resin layer of 0.05 to 1.0 μm may be provided as an intermediate layer as necessary. Also good. Examples of such resins include nitrocellulose and polyamide. In addition, in the case of a metal film, the thickness of the conductive layer should be about 0.1 t1 m or more to the extent that defects such as pinholes do not occur, and in the case of a conductive resin layer, it is necessary to have a thickness of about 0.1 t1 m or more, so that defects such as pinholes do not occur. Since defects are likely to occur, a range of 0.5 to 30 μm is preferable. In either case, the optimal thickness varies depending on the coating method and material.

3、感光層の形成 本発明の電子写真感光体に用いられる感光体としては、
有機または無機の既知のものを用いることができる。
3. Formation of photosensitive layer The photoreceptor used in the electrophotographic photoreceptor of the present invention includes:
Known organic or inorganic materials can be used.

有機感光体には、 ■ホIJ −N−ビニルカルバゾール等の光導電性高分
子単独からなるもの、 ■ポリーN−ビニルカルバゾール等の電子供与性高分子
と2.4.7−ドリニ10−9−フル第1ノノン等の電
子受容性低分子化合物とからなる電荷移動錯体、 ■電子受容性高分子と電子供与性低分子物質とからなる
電荷移動錯体、 ■ポリカーボネート類とチアピリリウム等との共晶錯体
、 ■光電荷発生機能を有するフタロシアニン等の低分子電
荷発生材、例えばヒドラゾン等の正孔輸送能を有する低
分子電荷輸送材や2,4.7−ドリニトロー9−フルオ
レノン等の電子輸送能を有する低分子電荷輸送材をバイ
ンダーとなる樹脂中に分散させたいわゆる分散系有機感
光体、等が挙げられる。近年は有機物質の多様性を利用
した分散系有機感光体か主流である。
The organic photoreceptor includes: ■ one consisting of a photoconductive polymer alone such as Ho-IJ-N-vinylcarbazole, and ■ one consisting of an electron-donating polymer such as poly-N-vinylcarbazole and 2.4.7-Dolini 10-9. -A charge transfer complex consisting of an electron-accepting low-molecular compound such as a full primary nonone, ■A charge-transfer complex consisting of an electron-accepting polymer and an electron-donating low-molecular substance, ■A eutectic of polycarbonates and thiapyrylium, etc. Complexes, ■ Low-molecular charge-generating materials such as phthalocyanine that have a photocharge-generating function, low-molecular charge-transporting materials that have a hole-transporting ability such as hydrazone, and electron-transporting materials such as 2,4,7-dolinitro-9-fluorenone. Examples include so-called dispersed organic photoreceptors in which a low-molecular charge-transporting material is dispersed in a resin serving as a binder. In recent years, dispersed organic photoreceptors that utilize the diversity of organic materials have become mainstream.

ここで、分散系有機感光体の層構成には、■電荷発生材
と電荷輸送材とをバインダー中に含有させた物質からな
る層を基体上に設けた、いわゆる単層型、 ■電荷発生材と必要に応じてバインダーとからなる電荷
発生層(CGL) 、及び電荷輸送材とバインダーとか
らなる電荷輸送層(CTL)を基体上に順次設けた、い
わゆる機能分離型、■電荷輸送材とバインダーとからな
る電荷輸送層、及び電荷発生材とバインダーとからなる
電荷発生層を基体上に順次設けた、いわゆる機能分離型
、 ■機能分離型において、電荷の注入を防いたり、基体と
の接着性を向上させる等の目的で基体の直上に樹脂層を
介在させたもの、 ■機能分離型において、機械的強度の向上、或いはオゾ
ン等に対する耐候性向上を目的として保護層や絶縁層を
最上層の上に設けたもの、等が考えられる。なお、これ
らの各々の層において、特性に悪影響を及はさない質的
、量的範囲内でバインダー中に各種の添加剤を含有させ
てもよい。近年では、高光感度、高耐刷性の感光層を得
ることができる機能分離型が主流である。
Here, the layer structure of the dispersed organic photoreceptor includes: (1) a so-called single-layer type in which a layer consisting of a substance containing a charge generating material and a charge transporting material in a binder is provided on a substrate; (2) a charge generating material; A so-called functionally separated type, in which a charge generating layer (CGL) consisting of a charge transporting material and a binder as required, and a charge transporting layer (CTL) consisting of a charge transporting material and a binder are sequentially provided on a substrate.Charge transporting material and binder A so-called functionally separated type in which a charge transport layer consisting of and a charge generating layer consisting of a charge generating material and a binder are sequentially provided on a substrate. ■In the functionally separated type, a protective layer or insulating layer is placed on the top layer for the purpose of improving mechanical strength or weather resistance against ozone, etc. One example is the one provided above. In addition, in each of these layers, various additives may be contained in the binder within a qualitative and quantitative range that does not adversely affect the properties. In recent years, a functionally separated type has become mainstream, as it can provide a photosensitive layer with high photosensitivity and high printing durability.

電荷発生材としては、ビリリウム、チアゾール類、アズ
レニウム系色素、フタロシアニン系色素、アントアント
ロン色素、ジベンズピレンキノン色素、ビラントロン色
素、トリスアゾ色素、ジスアゾ色素、アゾ色素、インジ
ゴ系色素、キナクリドン系色素、非対称キノシアニン系
色素、ペリレン系色素、多環キノン系色素、キノシアニ
ン系色素、スクアリリウム系色素、並びにこれらの混合
物等が挙げられる。
Charge generating materials include biryllium, thiazoles, azulenium dyes, phthalocyanine dyes, anthorone dyes, dibenzpyrenequinone dyes, vilanthrone dyes, trisazo dyes, disazo dyes, azo dyes, indigo dyes, quinacridone dyes, and asymmetrical dyes. Examples include quinocyanine dyes, perylene dyes, polycyclic quinone dyes, quinocyanine dyes, squarylium dyes, and mixtures thereof.

電子輌送材としては、クロラニル、ブロラニル、テトラ
シアノキノジメタン、2,4.7−)リニトロー9−フ
ルオレノン等の電子受容性物質やこれらを高分子化した
もの等が挙げられる。また、正孔輸送材としては各種の
カルバゾール類、ヒドラゾン類、ピラゾロン類、オキサ
デアゾール類、オキサゾール類、チアゾール類、トリア
リールメタン類、ボリアリールアルカン類、ボッアリー
ルアルケン類、トリアリールアミン類、縮合多環炭化水
素類、並びにこれらの混合物等が考えられる。
Examples of the electron transport material include electron-accepting substances such as chloranil, broranil, tetracyanoquinodimethane, and 2,4.7-)linitro-9-fluorenone, and polymerized versions of these substances. In addition, as hole transport materials, various carbazoles, hydrazones, pyrazolones, oxadeazoles, oxazoles, thiazoles, triarylmethanes, polyarylalkanes, polyarylalkenes, triarylamines, Conceivable examples include fused polycyclic hydrocarbons, mixtures thereof, and the like.

電荷発生材のバインダーとしては、ブチラール樹脂、フ
ェノキシ樹脂、ポリカーボネート、ポリエステル、アク
リル系樹脂、スチレン系樹脂等か挙げられ、熱可塑上樹
脂に適当な硬化剤を添加して熱硬化型として用いてもよ
い。また、電荷輸送材のバインダーとしては、ボリアリ
レート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリアミド樹脂、アク
リル樹脂、アクリロニトル樹脂、メタクリル樹脂、塩化
ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、フェノール樹脂、エポキ
シ樹脂、ポリエステル樹脂、アルキッド樹脂、ポリカー
ボネート、ポリウレタン等が挙げられる。
Examples of the binder for the charge generating material include butyral resin, phenoxy resin, polycarbonate, polyester, acrylic resin, styrene resin, etc., and it can also be used as a thermosetting type by adding an appropriate curing agent to the thermoplastic resin. good. In addition, binders for charge transport materials include polyarylate resins, polysulfone resins, polyamide resins, acrylic resins, acrylonitrile resins, methacrylic resins, vinyl chloride resins, vinyl acetate resins, phenol resins, epoxy resins, polyester resins, alkyd resins, and polycarbonates. , polyurethane, etc.

上記のものからなる感光体を塗布する際に用いられる溶
剤としては、電荷発生材の分散性、あるいは電荷輸送材
との相溶性、さらに溶剤の乾燥速度等を考慮して選択す
る必要がある。このようなものとして、各種のケトン類
、アミド類、スルホキシド類、エーテル類、エステル類
、脂肪族ハロゲン化炭化水素類、芳香族炭化水素類等を
使用することかできる。なお、ソルベントバランスを考
慮して、これらの溶剤を2種以上混合して使用してもよ
い。
The solvent used for coating the photoreceptor made of the above materials must be selected in consideration of the dispersibility of the charge generating material or compatibility with the charge transporting material, as well as the drying speed of the solvent. As such, various ketones, amides, sulfoxides, ethers, esters, aliphatic halogenated hydrocarbons, aromatic hydrocarbons, etc. can be used. Note that in consideration of solvent balance, two or more of these solvents may be used in combination.

また、電荷発生材のバインダーに対する配合比は0,5
〜2.0、好ましくは0.5〜1.5であり、電荷輸送
材のバインダーに対する配合比は0.5〜3.0、好ま
しくは0.5〜2.0の範囲である。
In addition, the blending ratio of the charge generating material to the binder is 0.5
-2.0, preferably 0.5-1.5, and the blending ratio of the charge transport material to the binder is in the range of 0.5-3.0, preferably 0.5-2.0.

分散は、まず予め調製しておいたビヒクルであるバイン
ダーと、電荷発生材または電化輸送材とを所定量混合す
る。この混合は、サンドミル、ボールミル、ロールミル
、ペイントシェーカー アトライタ、高速グラインドミ
ル、ペブルミル等を用いて行なわれ、必要に応してレッ
トダウンされる。その後、得られた混合物は、上記溶剤
により被覆溶液に調液される。
For dispersion, first, a predetermined amount of a binder, which is a vehicle prepared in advance, and a charge generating material or a charge transporting material are mixed. This mixing is performed using a sand mill, a ball mill, a roll mill, a paint shaker attritor, a high speed grind mill, a pebble mill, etc., and letdown is performed as necessary. Thereafter, the resulting mixture is formulated into a coating solution with the above-mentioned solvent.

得られた被覆溶液をガラス素管に被覆する。まず、ガラ
ス素管をアルコール系溶剤で浸漬洗浄および蒸気洗浄す
る。ハンドリング等で指紋等の油類か付着するおそれの
ある場合には、ノ10ゲン系溶剤で脱脂洗浄、蒸気洗浄
し、必要に応してさらに紫外線/オゾン洗浄する。この
後、蒸着性あるいはデイツプコーティング、スプレーコ
ーティングを繰り返して多層膜の形成を行なう。好まし
い膜厚は、導電層が015〜30μm、好ましくは11
5−20ti、中間層か0.05〜1.0!1m。
A glass tube is coated with the obtained coating solution. First, the glass tube is immersed in an alcohol-based solvent and cleaned with steam. If there is a risk of fingerprints or other oils being attached due to handling, etc., degrease cleaning with a 10-gen solvent, steam cleaning, and further UV/ozone cleaning if necessary. Thereafter, a multilayer film is formed by repeating vapor deposition, dip coating, and spray coating. The preferred thickness of the conductive layer is 0.15 to 30 μm, preferably 11 μm.
5-20ti, intermediate layer 0.05-1.0!1m.

好ましくは(1,3〜0.7μm、電荷発生層か0.1
〜1.0μm1好ましくは0.2〜0.6μm5電荷輸
送層が10〜30μm、好ましくは15〜25μm1お
よび保護層が0.5〜30μm1好ましくは0.5〜1
.5μmである。デイツプコーティングの場合、生産性
を考慮して、比較的厚膜の電荷輸送層形成時において、
基体の引上げ速度は最大でも12〜15備/分程度に抑
える必要がある。比較的WiHである導電層、電荷発生
層および保護層の形成時においては、基体引上げ速度は
30〜40cm/分になるように設定する必要がある。
Preferably (1.3 to 0.7 μm, charge generation layer or 0.1
~1.0 μm1 preferably 0.2-0.6 μm5 charge transport layer 10-30 μm, preferably 15-25 μm1 and protective layer 0.5-30 μm1 preferably 0.5-1
.. It is 5 μm. In the case of deep coating, in consideration of productivity, when forming a relatively thick charge transport layer,
The pulling speed of the substrate must be kept to about 12 to 15 min/min at maximum. When forming the conductive layer, charge generation layer, and protective layer, which are relatively WiH, the substrate pulling speed must be set to 30 to 40 cm/min.

電荷輸送層または電荷発生層を形成する方法としては、
デイツプコーティングの他に、スプレーコーティング、
ロールコーティング、ブレードコーティング等が挙げら
れる。被塗布物が円筒状基体の場合にはデイツプコーテ
ィングあるいはスプレーティングが好ましい。これらの
方法により所定の膜厚の層を得るためには、被覆溶成の
不揮発分扇度、粘度、被覆速度等の調整が必要である。
The method for forming the charge transport layer or charge generation layer is as follows:
In addition to dip coating, spray coating,
Examples include roll coating and blade coating. When the object to be coated is a cylindrical substrate, dip coating or spraying is preferred. In order to obtain a layer of a predetermined thickness by these methods, it is necessary to adjust the degree of non-volatile content of coating melting, viscosity, coating speed, etc.

特に、スプレーコーティングを用いる場合は、さらにス
プレーノズルと円筒状基体との間の距離、被覆液液滴の
吐出圧力、スプレーノズルの形状、円筒状基体の回転と
スプレーの円筒状基体長手方向の走査との同期性等の調
整が必要となる。導電層との電気的導通の確保、クリー
ニング性能を向上させるために、溶液被覆後、必要に応
じて、円筒状基体の非画像形成領域に対応する円筒状基
体の少なくとも一端部に被覆された被膜のi′IJM、
内壁または端面からの被膜の除去を行う。この剥離・除
去は、被膜の良溶剤により、あるいはこれを含浸させた
拭き取り部材を用いて行われる。
In particular, when using spray coating, the distance between the spray nozzle and the cylindrical substrate, the ejection pressure of the coating liquid droplets, the shape of the spray nozzle, the rotation of the cylindrical substrate and the longitudinal direction of the cylindrical substrate of the spray Adjustments such as synchronization with scanning are required. In order to ensure electrical continuity with the conductive layer and improve cleaning performance, after coating with the solution, if necessary, a coating is applied to at least one end of the cylindrical substrate corresponding to the non-image forming area of the cylindrical substrate. i'IJM,
The coating is removed from the inner wall or end face. This peeling/removal is performed using a good solvent for the film or a wiping member impregnated with the same.

また、バインダーレスの電荷発生層は蒸着により形成す
ることができる。蒸着法においては、真空度、蒸着基板
の温度、基体温度、蒸着時間、円筒状基体の回転速度、
円筒状基体のセツティング仰角等によって電荷発生材の
結晶形や電荷発生層の膜厚を制御する。
Further, the binderless charge generation layer can be formed by vapor deposition. In the vapor deposition method, the degree of vacuum, the temperature of the vapor deposition substrate, the substrate temperature, the vapor deposition time, the rotation speed of the cylindrical substrate,
The crystal form of the charge generating material and the thickness of the charge generating layer are controlled by the setting elevation angle of the cylindrical substrate.

被覆後、被覆層に所定の風乾を行い、その後、乾燥温度
50〜140℃、好ましくは80〜120℃で、乾燥時
間5〜60分、好ましくは10〜30分て乾燥される。
After coating, the coating layer is air-dried for a predetermined period of time, and then dried at a drying temperature of 50 to 140°C, preferably 80 to 120°C, for a drying time of 5 to 60 minutes, preferably 10 to 30 minutes.

機能分離型感光体では多層塗りを行なうので、その後、
必要に応して冷却し、次の被覆を行う。このとき、下層
の被膜あるいは色材を上層の被覆時に溶出させないこと
が必要であり、これらを考慮して溶剤の選択、乾燥時間
の設定を行う。最終の被覆・乾燥後に、被膜のモルフォ
ロシー的変化により高感度化させるためのエーシングを
行う。このエージングは室温から100℃で半日から1
週間かけて処理することにより行われる。
Functional separation type photoreceptors require multilayer coating, so after that,
Cool and apply the next coating if necessary. At this time, it is necessary to prevent the lower layer coating or coloring material from eluting when coating the upper layer, and this is taken into consideration when selecting the solvent and setting the drying time. After the final coating and drying, icing is performed to increase sensitivity through morphological changes in the coating. This aging is performed at room temperature to 100℃ for half a day to 1 day.
This is done by processing over a period of weeks.

無機感光体には、セレン系、a−3i系、セレンーヒ素
系等のものが挙げられる。a−5i系においてはCVD
法か用いられ、他のものには真空蒸着法が用いられる。
Examples of the inorganic photoreceptor include those based on selenium, a-3i, and selenium-arsenic. CVD for a-5i series
For some, a vacuum deposition method is used.

無機系の感光体を用いる場合、導電層として樹脂塗布層
を用いると、ガスの発生等により悪影響を及ぼすため、
導電層として金属を用いることか好ましい。
When using an inorganic photoreceptor, if a resin coating layer is used as the conductive layer, gas generation etc. will have an adverse effect.
It is preferable to use metal as the conductive layer.

感光体の端面の形状としては、第3図(A)〜第3図(
C)に示すような形状が挙げられる。第3図(A)に示
す電子写真感光体は、感光体端部(いずれか一端でもi
iJ )にガラス素管30の上に設けられた導電層31
が露出するように感光層32を設け、その部分にアルミ
ニウム等の金属、導電性プラスチック、ゴム、或いはこ
れらの複合構造からなる導電性フランジ33を矢印のよ
うに嵌着することにより、一般の感光体と同様に回転軸
との導通か図れるようになっている。第3図(B)に示
す電子写真感光体は、導電層31がガラス素管30端部
の内側にも被覆されており、この部分に嵌着されるフラ
ンジ34と導通が図れるようになっている。第3図(C
)に示す電子写真感光体は、ガラス素管30端部か絞り
加工されており、導電層31の少くも一端部の絞り部分
35は感光層32に覆われずに露出している。この部分
を覆うようにフランジ36を嵌着することにより、両端
部に多少のストレスか加わっても耐えるよう配慮されて
いる。なお、嵌着時に大きなストレスを加えて割れるお
それかある場合には、軽い嵌め合い状態にして、間隙に
導電性接着剤を充填するようにする。あるいは、フラン
ジとガラス素管との嵌合部に導電性弾性体(ゴム)を配
設して、嵌着時の歪を小さくするとともに確実な取り付
けを行ってもよい。
The shape of the end surface of the photoreceptor is as shown in Fig. 3(A) to Fig. 3(
Examples include the shape shown in C). The electrophotographic photoreceptor shown in FIG.
iJ) conductive layer 31 provided on the glass tube 30
A photosensitive layer 32 is provided so that the photosensitive layer 32 is exposed, and a conductive flange 33 made of metal such as aluminum, conductive plastic, rubber, or a composite structure of these is fitted in the direction of the arrow. It is designed so that it can be electrically connected to the rotating shaft in the same way as the body. In the electrophotographic photoreceptor shown in FIG. 3(B), a conductive layer 31 is also coated on the inside of the end portion of the glass tube 30, so that electrical conduction can be achieved with the flange 34 fitted to this portion. There is. Figure 3 (C
In the electrophotographic photoreceptor shown in ), the end of the glass tube 30 is drawn, and the drawn part 35 at at least one end of the conductive layer 31 is exposed without being covered with the photosensitive layer 32. By fitting the flange 36 so as to cover this portion, consideration is given to withstand even if some stress is applied to both ends. Note that if there is a risk of cracking due to the application of large stress during fitting, the fitting should be made light and the gap filled with conductive adhesive. Alternatively, a conductive elastic body (rubber) may be provided at the fitting portion between the flange and the glass tube to reduce distortion during fitting and ensure reliable attachment.

以下、本発明の効果を明確にするために行った試験例を
示す。
Test examples conducted to clarify the effects of the present invention are shown below.

試験例1 まず、ダンチー法により直径60關、長さ18011m
、肉厚1.1mmのソーダ石灰ガラスからなるガラス素
管(以下、ガラス素管と省略する)を作製した。得られ
たガラス素管をアルコールで浸漬洗浄及び蒸気洗浄した
Test Example 1 First, the diameter was 60 mm and the length was 18011 m using the Danchi method.
A glass tube (hereinafter abbreviated as glass tube) made of soda lime glass and having a wall thickness of 1.1 mm was prepared. The obtained glass tube was immersed in alcohol and cleaned with steam.

次に、ガラス素管上にアルミニウムを蒸着して厚さ1μ
mの導電層を形成した。
Next, aluminum was vapor-deposited onto the glass tube to a thickness of 1 μm.
m conductive layers were formed.

このガラス素管を第4図に示す装置内に装着した。第4
図中40は反応容器である。反応容器40の底部には基
体回転軸41が挿入されている。
This glass raw tube was installed in the apparatus shown in FIG. Fourth
In the figure, 40 is a reaction container. A base rotating shaft 41 is inserted into the bottom of the reaction vessel 40 .

基体回転軸41上には支持体42が取り付けられており
、支持体42上にはヒータ43か設置されている。なお
、基体回転軸41は図示しない回転装置に連結されてい
る。ヒータ43を挿入させるようにしてガラス素管44
が装着されている。また、反応容器40の側壁には電極
45か取り付けられている。反応容器40の外側には高
周波電源46が設置されており、プラズマを生起させる
ために反応容器40に接続されている。
A support 42 is attached to the base rotating shaft 41, and a heater 43 is installed on the support 42. Note that the base rotating shaft 41 is connected to a rotating device (not shown). The glass tube 44 is inserted into the heater 43.
is installed. Further, an electrode 45 is attached to the side wall of the reaction vessel 40. A high frequency power source 46 is installed outside the reaction vessel 40 and is connected to the reaction vessel 40 to generate plasma.

一方、反応容器40の外に4つのボンベ47が載置され
ており、それぞれのボンベ47には圧力計48および調
整弁4つが取り付けられている。
On the other hand, four cylinders 47 are placed outside the reaction vessel 40, and a pressure gauge 48 and four regulating valves are attached to each cylinder 47.

また、それぞれのボンベ47から混合器50まで配管5
1が延出されている。さらに、混合器50から反応容器
40まて配管52が連通されており、配管52の途中に
混合ガス流量を調節する調整弁53が取り付けられてい
る。反応容器40の底部には容器内を減圧するための排
気口54が設けられており、排気口54から延出する配
管55には容器内の真空度を調節する調整弁56が取り
付けられている。
Also, piping 5 from each cylinder 47 to the mixer 50 is provided.
1 is extended. Further, a piping 52 is connected from the mixer 50 to the reaction vessel 40, and a regulating valve 53 is installed in the middle of the piping 52 to adjust the flow rate of the mixed gas. An exhaust port 54 is provided at the bottom of the reaction container 40 to reduce the pressure inside the container, and a regulating valve 56 is attached to a pipe 55 extending from the exhaust port 54 to adjust the degree of vacuum inside the container. .

この装置において、反応容器40内を約1O−5Tor
rの真空度に排気した。同時に、ヒータ41の温度を2
50℃に設定し、基体回転軸4〕を10rpI11で回
転させた。基体の表面温度か一定になったところでボン
へ47中のSiH4ガス、B、H6ガス、CH4ガスを
混合器50内て混合し、その混合ガスを反応容器40内
に導入した。その流量比はSiH4:B2H6:CH4
−1: 10−’+0.5とした。次に、反応容器40
内の圧力を0 、 5 Torrに調節した。1’3.
56MHzの高周波電力を150W印加してプラズマを
生起させ、混合ガスを反応させて厚さ0.5μmのp型
a−5iC:H障壁層を形成した。
In this apparatus, the inside of the reaction vessel 40 is heated to about 10-5 Torr.
It was evacuated to a vacuum degree of r. At the same time, the temperature of the heater 41 is
The temperature was set at 50° C., and the substrate rotating shaft 4] was rotated at 10 rpI11. When the surface temperature of the substrate became constant, the SiH4 gas, B, H6 gas, and CH4 gas in the bomb 47 were mixed in the mixer 50, and the mixed gas was introduced into the reaction vessel 40. The flow rate ratio is SiH4:B2H6:CH4
-1: 10-'+0.5. Next, the reaction container 40
The internal pressure was adjusted to 0.5 Torr. 1'3.
A 56 MHz high frequency power of 150 W was applied to generate plasma, and the mixed gas was reacted to form a p-type a-5iC:H barrier layer with a thickness of 0.5 μm.

次いで、反応容器40内のガス流量比をS iH4: 
B2 Hb : CH4−1+ 10−’: 0とし、
反応容器内の圧力を0 、 7 Torrl: :A節
した。
Next, the gas flow rate ratio in the reaction vessel 40 is set to S iH4:
B2 Hb: CH4-1+ 10-': 0,
The pressure inside the reaction vessel was set at 0.7 Torrl: A.

13.56MHzの高周波電力を300W印加して厚さ
30μmのi型a−5i:H光導電層を形成した。
A 300 W high frequency power of 13.56 MHz was applied to form an i-type a-5i:H photoconductive layer with a thickness of 30 μm.

次いで、反応容器内のガス流量比を5xH4:CH4−
1,+10とした。反応容器内の圧力を0 、 7 T
orrにし、13.56 MHzの高周波電力を150
W印加して厚さ0.1μmのa−5iC:8表面層を形
成した。p型a−5iC:H障壁層、i型a−5i:H
光導電層、並びにa−5iC:8表面層により感光層を
構成した。
Then, the gas flow ratio in the reaction vessel was set to 5xH4:CH4-
1, +10. The pressure inside the reaction vessel was set to 0 and 7 T.
orr, and set the 13.56 MHz high frequency power to 150 MHz.
W was applied to form a 0.1 μm thick a-5iC:8 surface layer. p-type a-5iC:H barrier layer, i-type a-5i:H
The photoconductive layer and the a-5iC:8 surface layer constituted the photosensitive layer.

このようにして、本発明の電子写真感光体を得た。In this way, an electrophotographic photoreceptor of the present invention was obtained.

得られた電子写真感光体の真円度を測定した。The roundness of the obtained electrophotographic photoreceptor was measured.

その結果を下記第2表に示す。なお、真円度は、以ドの
式により求めた。
The results are shown in Table 2 below. Note that the roundness was determined using the following formula.

真円度−(最大径−最小径)/2 このとき、電子写真感光体の端面には異常は認められな
かった。
Roundness - (Maximum diameter - Minimum diameter)/2 At this time, no abnormality was observed on the end surface of the electrophotographic photoreceptor.

また、得られた電子写真感光体を東芝製複写機BD−3
810に搭載してハーフトーン画像及びベタ黒、文字画
像を出した。その結果、画像濃度ムラはおこらなかった
。これは、a−5iとガラスの熱膨張係数かほぼ同しで
あるためと思われる。
In addition, the obtained electrophotographic photoreceptor was used in a Toshiba copier BD-3.
It was installed on the 810 to produce halftone images, solid black images, and character images. As a result, no image density unevenness occurred. This is probably because the thermal expansion coefficients of a-5i and glass are almost the same.

また、白点のような画像欠陥は生しなかった。これは、
ガラスの表面か均質であるためと思われる。
Furthermore, no image defects such as white spots were observed. this is,
This is probably because the glass surface is homogeneous.

また、200に回の連続使用をおこなっても初期と同等
の鮮明の画像か得られた。
Moreover, even after continuous use for 200 times, images as clear as the initial image were obtained.

比較例1 アルミニウム(J l53003相当)を、直径60關
、長さ280 mtx、肉厚2II11の素管に加[し
た。この素管表面に鏡面研磨を施した。次に、アルミニ
ウム素管を1.1.2−トリクロロエタン中に浸漬し、
超音波洗浄を行って切削くずをとり、蒸気洗浄で切削油
の脱脂をした。
Comparative Example 1 Aluminum (equivalent to J153003) was added to a blank tube with a diameter of 60 mm, a length of 280 mtx, and a wall thickness of 2II11. The surface of this tube was mirror polished. Next, the aluminum tube was immersed in 1.1.2-trichloroethane,
Ultrasonic cleaning was performed to remove cutting waste, and steam cleaning was used to remove cutting oil.

このアルミニウム素管に試験例1と同様の処理を施して
a−5iの感光層を形成して、電子写真感光体を得た。
This aluminum tube was subjected to the same treatment as in Test Example 1 to form an a-5i photosensitive layer to obtain an electrophotographic photoreceptor.

得られた電子写真感光体の真円度を試験例1と同様にし
て測定した。その結果を下記第2表に併記する。
The roundness of the obtained electrophotographic photoreceptor was measured in the same manner as in Test Example 1. The results are also listed in Table 2 below.

第   2   表 第2表から明らかなように、本発明にかかる電子写真感
光体のガラス素管は従来のアルミニウム素管よりも高い
真円度を示した。また、アルミニラ1.素管を用いた電
子写真感光体(比較例)は、端1相に第5図に示すよう
に歪みが牛じていた。このときの歪み量Wは0.1關程
度であった。この歪みはa−5iとアルミニウムとの熱
膨張係数の差による基体冷却時の歪みであると思われる
Table 2 As is clear from Table 2, the glass tube of the electrophotographic photoreceptor according to the present invention exhibited higher roundness than the conventional aluminum tube. Also, aluminum 1. In the electrophotographic photoreceptor using a blank tube (comparative example), there was considerable distortion at one end phase as shown in FIG. The amount of distortion W at this time was about 0.1 degrees. This distortion is thought to be caused by the difference in thermal expansion coefficient between a-5i and aluminum during cooling of the substrate.

また、得られた電子写真感光体を試S例1と同様にして
ハーフトーン画像及びベタ黒、文字画像を出した。その
結果、真円度が低いためハーフトーン及びベタ黒で周方
向の濃度ムラが見られ、ベタ黒およびハーフトーン画像
で白斑がみられた。
Furthermore, halftone images, solid black images, and character images were produced using the obtained electrophotographic photoreceptor in the same manner as in Sample S Example 1. As a result, density unevenness in the circumferential direction was observed in halftone and solid black images due to low circularity, and white spots were observed in solid black and halftone images.

この傾向は連続使用をするとさらに増えた。この白斑を
SEM観察したところ、すりばち状の穴であり、基板ま
で達していた。これは、アルミニウム表面にある突起状
の析出物上にa−Siか異常成長し、成膜中にはがれた
跡と思われる。成膜中にはがれないものも複写機内のブ
レードによってかきおとされ、白点が増加すると思われ
る。
This tendency further increased with continuous use. When this white spot was observed using a SEM, it was found to be a pinhole-shaped hole that reached the substrate. This is thought to be a trace of a-Si abnormally growing on the protruding precipitates on the aluminum surface and peeling off during film formation. It is thought that the particles that cannot be peeled off during film formation are also scraped off by the blade in the copying machine, resulting in an increase in white spots.

試験例2 ダンチー法により直径78mm、長さ324關、厚さ1
.1mmの鉛ガラスからなるガラス素管を作製した。試
験例1と同様にして、ガラス素管上に導電層および感光
層を形成し、本発明の電子写真感光体を得た。得られた
電子写真感光体を車送製複写機B D −8560、B
D−9110、BD9230にそれぞれ搭載し、試験例
1と同様にしてハーフトーン画像及びへ7黒、文字画像
を出したところ、鮮明な画像か得られた。
Test example 2 Diameter 78 mm, length 324 mm, thickness 1 by Danchi method
.. A glass tube made of 1 mm lead glass was prepared. In the same manner as in Test Example 1, a conductive layer and a photosensitive layer were formed on a glass tube to obtain an electrophotographic photoreceptor of the present invention. The obtained electrophotographic photoreceptor was transferred to a copying machine B D-8560, B
When mounted on D-9110 and BD9230, and outputting halftone images, 7 black, and character images in the same manner as in Test Example 1, clear images were obtained.

試験例3 a−5iCH表面層の代わりに、N2ガスを用いて流量
を2.OSU、圧力を2 、  OTorrとし、25
0Wの電力を印加して得られた厚さQ、0511 mの
a−5iNH表面層を形成することを除いて試験例1と
同様にして本発明の電子写真感光体を得た。得られた電
子写真感光体を車送製複写機B D−3810搭載し5
、試験例1と同様にして・\−フトーン画像及びベタ黒
、文字画像を出したところ、鮮明な画像が得られた。
Test Example 3 In place of the a-5iCH surface layer, N2 gas was used at a flow rate of 2. OSU, pressure 2, OTorr, 25
An electrophotographic photoreceptor of the present invention was obtained in the same manner as in Test Example 1, except that an a-5iNH surface layer having a thickness Q of 0511 m was formed by applying a power of 0 W. The obtained electrophotographic photoreceptor was mounted on a car-transfer copying machine B D-3810.
When a \-tone image, solid black, and character image were produced in the same manner as in Test Example 1, clear images were obtained.

試験例4 a−5iC:8表面層の代わりに、5IH4ガス50S
CCM、CH4ガス4 [10SCCM、N2ガス1 
n OOSCCMを反応容器内に導入して圧力を1To
rrとし、200Wの電力を印加して得られた厚さ0.
1μmのa−5i (C,N):8表面層を形成するこ
とを除いて試験例1と同様にして本発明の電子写真感光
体を得た。得られた電子写真感光体を車送製複写機BD
−3810搭載し、試験例1と同様にしてハーフトーン
画像及びベタ黒、文字画像を出したところ、鮮明な画像
が得られた。
Test Example 4 a-5iC: 5IH4 gas 50S instead of 8 surface layer
CCM, CH4 gas 4 [10SCCM, N2 gas 1
n OOSCCM was introduced into the reaction vessel and the pressure was increased to 1To.
rr, and the thickness obtained by applying a power of 200 W is 0.
An electrophotographic photoreceptor of the present invention was obtained in the same manner as in Test Example 1 except that a 1 μm a-5i (C,N):8 surface layer was formed. The obtained electrophotographic photoreceptor is transferred to a copying machine BD.
-3810 was installed, and halftone images, solid black images, and character images were produced in the same manner as in Test Example 1, and clear images were obtained.

試験例5 ガラス素管の長さが262 mmのものを使用し、障壁
層形成の際にB、H6ガスの代りにPH3ガスを用い 
流量比をS iHa  + P H31: 5x10−
5として、n型a−5iC:H障壁層を形成することを
除いて試験例1と同様にして本発明の電子写真感光体を
得た。得られた電子写真感光体を車送製複写機BD−2
810搭載し、試験例1と同様にして・\−フトーン画
像及びベタ黒、文字画像を出したと二ろ、鮮明な画像が
得られた。
Test Example 5 A glass tube with a length of 262 mm was used, and PH3 gas was used instead of B and H6 gas when forming the barrier layer.
The flow rate ratio is SiHa + P H31: 5x10-
As Example 5, an electrophotographic photoreceptor of the present invention was obtained in the same manner as in Test Example 1 except that an n-type a-5iC:H barrier layer was formed. The obtained electrophotographic photoreceptor was transferred to a copying machine BD-2.
810 was installed in the same manner as in Test Example 1. When a flat-tone image, a solid black image, and a character image were produced, clear images were obtained.

試験例6 ダンチー法により直径30關、長さ324111%肉厚
1.1關である鉛ガラスからなるガラス素管を作製した
。試験例5と同様にして負帯電型a−5i悪感光を形成
して本発明の電子写真感光体を得た。得られた電子写真
感光体を車走製レーザビームプリンタTN−7200に
搭載し、試験flllと同様にしてハーフトーン画像及
びベタ黒、文字画像を出したところ、鮮明な画像が得ら
れた。
Test Example 6 A glass tube made of lead glass having a diameter of 30 mm, a length of 324,111%, and a wall thickness of 1.1 mm was prepared by the Danchy method. A negatively charged type a-5i photoreceptor was formed in the same manner as in Test Example 5 to obtain an electrophotographic photoreceptor of the present invention. The obtained electrophotographic photoreceptor was mounted on a laser beam printer TN-7200 manufactured by Jyuhashi Corporation, and halftone images, solid black images, and character images were produced in the same manner as in the test flll, and clear images were obtained.

試験例7 アルミニウム導電層を蒸着せずに、p型a−SiC+H
層の厚みを5μmとすることを除いて試験例1と同様に
して本発明の電子写真感光体を得た。得られた電子写真
感光体を車送製複写機BD〜3810搭載し、試験例1
と同様にしてハーフトーン画像及びベタ黒、文字画像を
出したところ、鮮明な画像が得られた。
Test Example 7 P-type a-SiC+H without vapor depositing an aluminum conductive layer
An electrophotographic photoreceptor of the present invention was obtained in the same manner as in Test Example 1 except that the layer thickness was 5 μm. The obtained electrophotographic photoreceptor was installed in a car-transfer copying machine BD~3810, and
When halftone images, solid black images, and character images were produced in the same manner as above, clear images were obtained.

以上のようにガラス素管上にa−Si感光層を形成する
ことにより、洗浄において有機溶媒を使用する必要がな
く、歪みが少なく、しかも画像欠陥を生じない電子写真
感光体を得ることができる。
By forming an a-Si photosensitive layer on a glass tube as described above, it is not necessary to use an organic solvent for cleaning, and it is possible to obtain an electrophotographic photoreceptor that has less distortion and does not cause image defects. .

試験例8 ダンチー法により直径60 m+*、長さ240mm、
肉厚1.1+smである硼珪酸ガラスからなるガラス素
管を作製した。得られたガラス素管をアルコールで浸漬
洗浄及び蒸気洗浄した。
Test Example 8 Diameter 60 m + *, length 240 mm, by Danchi method
A glass tube made of borosilicate glass with a wall thickness of 1.1+sm was produced. The obtained glass tube was immersed in alcohol and cleaned with steam.

次に、酸化錫の粉末(粒径1μm以下)を含むポリビニ
ルアルコールをガラス素管表面上に厚さ5μmで塗布し
導電層を形成した。次いで、アルコール可溶性ナイロン
を導電層上に厚さ0. 5μmで塗布した。次いで、電
荷発生材として無金属フタロシアニンと、バインダー樹
脂としてフェノキシ樹脂(構造式I)とを、混合比が電
荷発生材:樹脂−1=1で混合した。この溶液中にガラ
ス素管を浸漬して厚さ0.2μmで電荷発生層を設けた
Next, polyvinyl alcohol containing tin oxide powder (particle size of 1 μm or less) was applied onto the surface of the glass tube to a thickness of 5 μm to form a conductive layer. Next, alcohol-soluble nylon is deposited on the conductive layer to a thickness of 0. It was applied at a thickness of 5 μm. Next, metal-free phthalocyanine as a charge generating material and phenoxy resin (Structural Formula I) as a binder resin were mixed at a mixing ratio of charge generating material:resin-1=1. A glass tube was immersed in this solution to form a charge generation layer with a thickness of 0.2 μm.

次いで、電荷輸送材としてヒドラゾン誘導体(構造式■
)およびブタジェン誘導体(構造式■)の混合物(混合
比5:5)を用い、バインダー樹脂にポリカーボネート
(構造式■)を用いて、混合比が電荷輸送材:樹脂−〇
、S:1である電荷輸送溶液を調製した。この溶液中に
電荷発生層を設けたガラス素管を浸漬して厚さ19μm
で電荷輸送層を設けた。
Next, a hydrazone derivative (structural formula ■
) and a butadiene derivative (structural formula ■) (mixing ratio 5:5), polycarbonate (structural formula ■) is used as the binder resin, and the mixing ratio is charge transport material: resin -〇, S: 1. A charge transport solution was prepared. A glass tube provided with a charge generation layer was immersed in this solution to a thickness of 19 μm.
A charge transport layer was provided.

(構造式■) H3 (構造式■) 以上の工程を連続して行い、100本のレーザービーム
プリンター用電子写真感光体を作製した。
(Structural formula ■) H3 (Structural formula ■) The above steps were performed continuously to produce 100 electrophotographic photoreceptors for laser beam printers.

得られた電子写真感光体をレーザービームプリンターに
搭載し、1ドツトパターンの画像を印字し、その画像中
の白斑数を調べた。その結果を下記第3表に示す。
The obtained electrophotographic photoreceptor was mounted on a laser beam printer, a one-dot pattern image was printed, and the number of white spots in the image was examined. The results are shown in Table 3 below.

比較例2 アルミニウムを、直径60關、長さ240開の素管に如
上した。この素管表面に鏡面研磨を施した。次に、アル
ミニウム素管を1.1.1−hリクロロエタン中に浸漬
し、超音波洗浄を行って切削くずをとり、蒸気洗浄で切
削油の脱脂をした。
Comparative Example 2 Aluminum was placed into a blank tube with a diameter of 60 mm and a length of 240 mm. The surface of this tube was mirror polished. Next, the aluminum tube was immersed in 1.1.1-h dichloroethane, subjected to ultrasonic cleaning to remove cutting debris, and steam cleaned to remove cutting oil.

次いて、洗浄後のアルミニウム素管上にアルコール可溶
性ナイロンを厚さ0.5μmで塗布した。
Next, alcohol-soluble nylon was applied to a thickness of 0.5 μm on the cleaned aluminum tube.

この上に試験例8と同様にして電荷発生層および電荷輸
送層を順次形成し、て100本の電子写真感光体を作製
した。
A charge generation layer and a charge transport layer were sequentially formed thereon in the same manner as in Test Example 8, thereby producing 100 electrophotographic photoreceptors.

得られた電子写真感光体をレーザービームプリンターに
搭載し、試験例8と同様にして画像中の白斑数を調べた
。その結果を下記第3表に併記する。
The obtained electrophotographic photoreceptor was mounted on a laser beam printer, and the number of white spots in the image was examined in the same manner as in Test Example 8. The results are also listed in Table 3 below.

第   3   表 第3表から明らかなように、ガラス素管を使用した電子
写真感光体は、画像中の白斑が少ないものであった。こ
れは、ガラス素管の表面の粗さが50Aと非常に小さい
からである。また、通常の画像も鮮明なものが得られた
。これに対して、アルミニウム素管を使用した電子写真
感光体は、画像中の白斑の多いものであった。これは、
アルミニウム表面の突起状の析出物により電荷発生層お
よび電荷輸送層が形成されなかったためと思われる。ま
た、アルミニウム素管を使用すると、アルミニウムと有
機溶媒の反応性か高いために、多数回の使用により被覆
液が劣化する。劣化した被覆液を被覆した電子写真感光
体は特性が劣化していた。また、アルミニウム素管を用
いた電子写真感光体では、レーザービームによる木目状
の干渉縞が発生した。なお、ガラス素管を用いたもので
は上記の問題点はみられず特性は安定していた。
Table 3 As is clear from Table 3, the electrophotographic photoreceptor using the glass tube had fewer white spots in the image. This is because the surface roughness of the glass tube is very small, 50A. In addition, clear normal images were also obtained. On the other hand, electrophotographic photoreceptors using aluminum tubes had many white spots in the images. this is,
This is probably because a charge generation layer and a charge transport layer were not formed due to protruding precipitates on the aluminum surface. Furthermore, when aluminum tubes are used, the coating liquid deteriorates after repeated use due to the high reactivity of aluminum and organic solvents. The characteristics of the electrophotographic photoreceptor coated with the deteriorated coating liquid were deteriorated. Furthermore, in an electrophotographic photoreceptor using an aluminum tube, wood grain-like interference fringes were generated by the laser beam. In addition, the above-mentioned problems were not observed in those using glass tubes, and the characteristics were stable.

試験例9 電荷発生材に銅フタロシアニン(構造式V)を用いるこ
とを除いて、試験例8と同様にして本発明の電子写真感
光体を作製した。得られた電子写真感光体について、試
験例8と同様にして白斑数を調べたところ、白斑はほと
んど生じなかった。
Test Example 9 An electrophotographic photoreceptor of the present invention was produced in the same manner as Test Example 8 except that copper phthalocyanine (Structural Formula V) was used as the charge generating material. Regarding the obtained electrophotographic photoreceptor, the number of white spots was examined in the same manner as in Test Example 8, and almost no white spots were found.

試験例10 電荷輸送材にヒドラゾン系のもの(構造式■)を用い、
バインダー樹脂にポリアクリレート(構造式■)を用い
て混合比1:1とすることを除いて、試験例8と同様に
して本発明の電子写真感光体を作製した。得られた電子
写真感光体について、試験例8と同様にして白斑数を調
べたところ、白斑はほとんど生じなかった。
Test Example 10 Using a hydrazone type material (structural formula ■) as a charge transport material,
An electrophotographic photoreceptor of the present invention was prepared in the same manner as in Test Example 8, except that polyacrylate (Structural Formula 2) was used as the binder resin at a mixing ratio of 1:1. Regarding the obtained electrophotographic photoreceptor, the number of white spots was examined in the same manner as in Test Example 8, and almost no white spots were found.

2H5 (構造式■) 試験例11 導電層を厚さ2μmのアルミニウムの蒸着膜とすること
を除いて、試験例8と同様にして本発明の電子写真感光
体を作製した。得られた電子写真感光体について、試験
例8と同様に画像を出したところ鮮明な画像が得られた
2H5 (Structural Formula ■) Test Example 11 An electrophotographic photoreceptor of the present invention was produced in the same manner as Test Example 8, except that the conductive layer was a vapor-deposited aluminum film with a thickness of 2 μm. When an image was produced on the obtained electrophotographic photoreceptor in the same manner as in Test Example 8, a clear image was obtained.

試験例12 直径30關、長さ326 mm、肉厚1.1■のガラス
素管を用いることを除いて、試験例8と同様にして本発
明の電子写真感光体を作製した。得られた電子写真感光
体について、試験例8と同様に画像を出したところ鮮明
な画像が得られた。
Test Example 12 An electrophotographic photoreceptor of the present invention was produced in the same manner as Test Example 8, except that a glass tube having a diameter of 30 mm, a length of 326 mm, and a wall thickness of 1.1 mm was used. When an image was produced on the obtained electrophotographic photoreceptor in the same manner as in Test Example 8, a clear image was obtained.

試験例13 導電層としてカーボンブラックを分散したポリカーボネ
ート樹脂を厚さ2μmで形成することを除いて、試験例
8と同様にして本発明の電子写真感光体を作製した。得
られた電子写真感光体について、試験例8と同様に画像
を出したところ鮮明な画像か得られ、また、干渉縞の発
生し見られなかった。
Test Example 13 An electrophotographic photoreceptor of the present invention was produced in the same manner as Test Example 8, except that the conductive layer was formed of polycarbonate resin in which carbon black was dispersed to a thickness of 2 μm. When an image was produced using the obtained electrophotographic photoreceptor in the same manner as in Test Example 8, a clear image was obtained, and no interference fringes were observed.

試験例14 ダンチー法により直径60mm、長さ262 IIm 
s肉厚1.1mmであるソーダ石灰ガラスからなるガラ
ス素管を作製した。得られたガラス素管をアルコールで
浸漬洗浄及び蒸気洗浄した。
Test Example 14 Diameter 60 mm, length 262 IIm by Danchi method
A glass tube made of soda lime glass with a wall thickness of 1.1 mm was produced. The obtained glass tube was immersed in alcohol and cleaned with steam.

次に、カーボンブラックを含むポリビニルアルコールを
ガラス素管表面上に厚さ5μmで塗布し導電層を形成し
た。次いで、アルコール可溶性ナイロンを導電層上に厚
さ0.5μmで塗布した。
Next, polyvinyl alcohol containing carbon black was applied onto the surface of the glass tube to a thickness of 5 μm to form a conductive layer. Alcohol-soluble nylon was then applied onto the conductive layer to a thickness of 0.5 μm.

次いで、電荷発生材としてビスアゾ顔料(構造式■)と
、バインダー樹脂としてフェノキシ樹脂とを、混合比が
電荷発生材:樹脂−1=1で1,12−トリクロロエタ
ン中に分散させた。この溶液中にガラス素管を浸漬して
厚さ0.5μmで電荷発生層を設けた。
Next, a bisazo pigment (structural formula (2)) as a charge generating material and a phenoxy resin as a binder resin were dispersed in 1,12-trichloroethane at a mixing ratio of charge generating material:resin-1=1. A glass tube was immersed in this solution to form a charge generation layer with a thickness of 0.5 μm.

次いで、試験例8と同様にして電荷発生層上に電荷輸送
層を設けた。
Next, in the same manner as in Test Example 8, a charge transport layer was provided on the charge generation layer.

以上の工程を連続して行い、100本の複写機用電子写
真感光体を作製した。
The above steps were performed continuously to produce 100 electrophotographic photoreceptors for copying machines.

得られた電子写真感光体を車送製複写機BD−2810
に搭載し、ハーフトーン画像及びベタ環、文字画像を出
した。その結果、画像濃度ムラはおこらす、鮮明な画像
が得られた。
The obtained electrophotographic photoreceptor was transferred to a copying machine BD-2810.
It was installed in the system and produced halftone images, solid rings, and character images. As a result, a clear image was obtained, although image density unevenness occurred.

比較例3 アルミニウムを、直径60++n、長さ26211mの
素管に加工した。この素管表面に鏡面研磨を施した。次
に、アルミニウム素管を1.1.1−トリクロロエタン
中に浸漬し、超音波洗浄を行って切削くずをとり、蒸気
洗浄で切削油の脱脂をした。
Comparative Example 3 Aluminum was processed into a raw tube with a diameter of 60++n and a length of 26211 m. The surface of this tube was mirror polished. Next, the aluminum tube was immersed in 1.1.1-trichloroethane, subjected to ultrasonic cleaning to remove cutting waste, and steam cleaned to remove cutting oil.

次いで、洗浄後のアルミニウム素管上にアルコール可溶
性ナイロンを厚さ0.5μmで塗布した。
Next, alcohol-soluble nylon was applied to a thickness of 0.5 μm on the cleaned aluminum tube.

この上に試M例ユ4と同様にして電荷発生層および電荷
輸送層を順次形成して100本の電子写真感光体を作製
した。
A charge generation layer and a charge transport layer were sequentially formed thereon in the same manner as in Sample M Example U 4 to produce 100 electrophotographic photoreceptors.

得られた電子写真感光体を車送製複写機BD2810に
搭載し、ハーフトーン画像及びベタ環、文字画像を出し
た。その結果、画像中に白斑かあるものであり、鮮明な
画像は得られなかった。
The obtained electrophotographic photoreceptor was mounted on a BD2810 copying machine, and a halftone image, a solid ring, and a character image were produced. As a result, there were white spots in the image, and a clear image could not be obtained.

試験例15 直径78m+*、長さ326關のガラス素管を用いるこ
とを除いて、試験例14と同様にして本発明の電子写真
感光体を作製した。
Test Example 15 An electrophotographic photoreceptor of the present invention was produced in the same manner as Test Example 14, except that a glass tube having a diameter of 78 m+* and a length of 326 m was used.

得られた電子写真感光体を車送製複写機BD7610を
負帯電型に改造したM/C(30CPM)に搭載して画
像を出したところ鮮明な画像か得られた。また、80に
回の連続コピーにおいても初期と変わりない画像が17
られた。
When the obtained electrophotographic photoreceptor was mounted on an M/C (30 CPM), which is a negatively charged copying machine (BD7610), a clear image was obtained. Also, even after 80 consecutive copies, 17 images remain the same as the initial one.
It was done.

試験例16 試験例12において、ガラス素管表面にフッ酸処理ある
いはサンドブラスト処理を施して、2種類の粗度のもの
(0,07sおよび0. 55)を作製し、その表面上
に電荷発生層の膜厚を0.1.0.i2,0.15,0
.18,0.20.25μmとした合計12個の電子写
真感光体を作製した。これらの電子写真感光体について
、1ドツトラインのパターン画像を出した。その濃度ム
ラの結果を下記第4表に示す。
Test Example 16 In Test Example 12, two types of roughness (0.07s and 0.55) were prepared by subjecting the surface of the glass tube to hydrofluoric acid treatment or sandblasting, and a charge generation layer was formed on the surface. The film thickness of 0.1.0. i2,0.15,0
.. A total of 12 electrophotographic photoreceptors with diameters of 18, 0, 20, and 25 μm were produced. A one-dot line pattern image was produced for these electrophotographic photoreceptors. The results of density unevenness are shown in Table 4 below.

第  4 表 第4表から明らかなように、電荷発生層の厚みが小さい
と濃度ムラが生じる傾向にあるが、ガラス素管表面を粗
すことによって電荷発生層の厚みが小さくても濃度ムラ
が緩衝される。
Table 4 As is clear from Table 4, density unevenness tends to occur when the thickness of the charge generation layer is small, but by roughening the surface of the glass tube, density unevenness can be prevented even if the thickness of the charge generation layer is small. Buffered.

試験例17 純度99.99%以上のSe、Teの各粉末を重量比で
8=2の割合で配合し、この混合粉末を石英アンプル中
に約10−3Torrの真空度で封入した。次に、この
アンプルを約750℃で10時間加熱して、内容物を溶
融させた。次いで、このアンプルを水中に投入して急冷
させ、5e−Teのガラス状合金を得た。
Test Example 17 Se and Te powders with a purity of 99.99% or more were mixed in a weight ratio of 8=2, and this mixed powder was sealed in a quartz ampoule at a vacuum level of about 10-3 Torr. The ampoule was then heated at approximately 750° C. for 10 hours to melt the contents. Next, this ampoule was put into water and rapidly cooled to obtain a glassy 5e-Te alloy.

次いで、ダンチー法により作製された直径60111%
長さ280 m1mの鉛ガラスからなるガラス素管上に
アルミニウム膜を厚さ約2μmで被覆して導電層を形成
した。その後、このガラス素管に上記のガラス状合金を
真空蒸着して厚さ55μmの感光層を形成して本発明の
電子写真感光体を得た。
Next, a diameter of 60111% was produced by the Dunchy method.
A conductive layer was formed by covering an aluminum film to a thickness of approximately 2 μm on a glass tube made of lead glass having a length of 280 m1. Thereafter, the above-mentioned glassy alloy was vacuum-deposited on this glass tube to form a photosensitive layer having a thickness of 55 μm, thereby obtaining an electrophotographic photoreceptor of the present invention.

なお、真空蒸着は真空度10−’〜10−5+*m H
g、s基板温度は60〜65℃、蒸着源温度は300℃
において行なった。
In addition, vacuum evaporation is performed at a vacuum degree of 10-' to 10-5+*m H
g, s Substrate temperature is 60-65℃, evaporation source temperature is 300℃
It was carried out in

得られた電子写真感光体を車送製複写機BD−3810
に搭載して画像を出したところ鮮明な画像が得られた。
The obtained electrophotographic photoreceptor was transferred to a copying machine BD-3810.
When the camera was mounted on a camera and images were taken, clear images were obtained.

試験例】8 純度99.99%以上のSe、Teの各粉末を重量比で
8:2の割合で配合した混合粉末と、Te粉末の2種類
の粉末を、それぞれ石英アンプル中に約10−3Tor
rの真空度で封入し、次いで、混合粉末のアンプルは約
750℃で10時間加熱し、Te粉末のアンプルは60
0℃で10時間加熱し、内容物を溶融した。次いで、こ
れらを水中に投入して急冷し5e−Te及びTeのガラ
ス状合金を得た。
Test Example] 8 A mixed powder of Se and Te powders with a purity of 99.99% or higher in a weight ratio of 8:2 and a Te powder were each mixed in a quartz ampoule with approximately 10- 3 Tor
The ampoule of mixed powder was then heated at about 750°C for 10 hours, and the ampoule of Te powder was heated at about 60°C.
Heated at 0°C for 10 hours to melt the contents. Next, these were put into water and rapidly cooled to obtain a glassy alloy of 5e-Te and Te.

次いで、ダンチー法により作製された直径60m■、長
さ280 mmの硼珪酸ガラスからなるガラス素管をア
ルコール中に浸漬したのちに蒸気洗浄を行った。このガ
ラス素管上にアルミニウム膜を厚さ約5μmで被覆して
導電層を形成した。
Next, a glass tube made of borosilicate glass with a diameter of 60 m and a length of 280 mm prepared by the Dunchy method was immersed in alcohol and then steam-cleaned. This glass tube was coated with an aluminum film having a thickness of about 5 μm to form a conductive layer.

その後、このガラス素管に5e−Te上記のガラス状合
金を真空蒸着して厚さ50μmの感光層を形成した。な
お、真空蒸着は真空度104〜10−’111m)Ig
、基板温度は70〜75℃、蒸着源温度は350℃にお
いて行なった。次いで、蒸着源温度が350℃になるま
でTeボードを徐々に加熱l7、その後、温度を下げて
、基体表面近傍にTeの濃度を高くして蒸着を行った。
Thereafter, the above-mentioned glassy alloy of 5e-Te was vacuum-deposited on this glass tube to form a photosensitive layer having a thickness of 50 μm. In addition, vacuum evaporation is performed at a vacuum degree of 104 to 10-'111 m)Ig
The substrate temperature was 70 to 75°C, and the deposition source temperature was 350°C. Next, the Te board was gradually heated 17 until the temperature of the vapor deposition source reached 350° C., and then the temperature was lowered to perform vapor deposition at a high concentration of Te near the surface of the substrate.

このようにして、T e richs e系の電子写真
感光体を得た。
In this way, a Te richs type electrophotographic photoreceptor was obtained.

なお、感光層の総膜厚は60μmであった。Note that the total thickness of the photosensitive layer was 60 μm.

得られた電子写真感光体を車送製複写機BD3810に
搭載して画像を出したところ鮮明な画像が得られた。
When the obtained electrophotographic photoreceptor was mounted on a copying machine BD3810, and an image was produced, a clear image was obtained.

試験例1つ 直径78關、長さ324關のガラス素管を用いることを
除いて、試験例18と同様にして5e−Te系電子写真
感光体を得た。但し、表面近傍の丁eの濃度は蒸着源の
温度を上げることにより増加させた。
Test Example 1 A 5e-Te electrophotographic photoreceptor was obtained in the same manner as in Test Example 18, except that a glass tube with a diameter of 78 mm and a length of 324 mm was used. However, the concentration of Dine near the surface was increased by increasing the temperature of the deposition source.

得られた電子写真感光体を車送製複写機BD−8510
に搭載して画像を出したところ鮮明な画像が得られた。
The obtained electrophotographic photoreceptor was transferred to a copying machine BD-8510.
When the camera was mounted on a camera and images were taken, clear images were obtained.

試験例20 次いて、ダンチー法により作製された直径78mm、長
さ324 m+iのソーダ石灰ガラスからなるガラス素
管をアルコール中に浸漬したのちに蒸気洗浄を行った。
Test Example 20 Next, a glass blank tube made of soda lime glass with a diameter of 78 mm and a length of 324 m+i produced by the Dunchy method was immersed in alcohol and then steam cleaned.

このガラス素管上にアルミニウム膜を厚さ約2μmで被
覆して導電層を形成した。その後、このガラス素管にA
s2 Se3を真空蒸着して厚さ55μmの感光層を形
成して本発明の電子写真感光体を得た。た。なお、真空
蒸着は真空度10−5Torr、蒸着源温度は400℃
において行なった。
This glass tube was coated with an aluminum film having a thickness of about 2 μm to form a conductive layer. After that, add A to this glass tube.
A photosensitive layer having a thickness of 55 μm was formed by vacuum evaporation of s2Se3 to obtain an electrophotographic photoreceptor of the present invention. Ta. For vacuum evaporation, the degree of vacuum is 10-5 Torr, and the temperature of the evaporation source is 400°C.
It was carried out in

得られた電子写真感光体を車走製複写機BD−3810
に搭載して画像を出したところ鮮明な画像が得られた。
The obtained electrophotographic photoreceptor was transferred to a copying machine BD-3810 manufactured by Jushiho Co., Ltd.
When the camera was mounted on a camera and images were taken, clear images were obtained.

[発明の効果コ 以上説明した如く、本発明の電子写真感光体は、優れた
感光特性が発揮すると共に、熱変形の少い高精度のもの
である。また、様々な感光体作製条件に対しても適合性
が良い。また、ガラスはアルミニウムに比べて比重が小
さいので、感光体の軽量化を図ることができる。ま7二
、ガラスは表面硬度が高いので、傷が生じにくい。さら
に、ガラス素管においては、表面研磨をするこトナ<鏡
面が得られ表面欠陥も少ないため、アルミニウム素管に
不可欠であった表面処理を省略することができる。また
、金属フィラーの樹脂分散層を用いた場合には、導電層
と下引き層との機能が兼用されると共にレーザ光等の単
色光を吸収、あるいは拡散(散乱)させる効果をも有す
るため、支持体からの反射による干渉作用が防止され、
濃淡むら等の画像不良の発生を防止することができる。
[Effects of the Invention] As explained above, the electrophotographic photoreceptor of the present invention exhibits excellent photosensitive characteristics and is highly accurate with little thermal deformation. Furthermore, it is highly compatible with various photoreceptor manufacturing conditions. Further, since glass has a lower specific gravity than aluminum, it is possible to reduce the weight of the photoreceptor. 72. Glass has a high surface hardness, so it is less prone to scratches. Furthermore, in the case of glass tubes, a mirror surface can be obtained by surface polishing, and there are fewer surface defects, so surface treatment, which is essential for aluminum tubes, can be omitted. In addition, when a metal filler resin dispersion layer is used, it serves both the functions of a conductive layer and an undercoat layer, and also has the effect of absorbing or diffusing (scattering) monochromatic light such as laser light. Interference effects due to reflections from the support are prevented,
It is possible to prevent image defects such as uneven shading.

また、ガラス素管の表面を適度な粗さに処理することに
より、電荷発生層の均一な塗布が容易になるとともに、
金属を導電層として用いても干渉縞が発生するのを防止
することができる。
In addition, by treating the surface of the glass tube to an appropriate level of roughness, it becomes easier to uniformly apply the charge generation layer, and
Even if metal is used as the conductive layer, interference fringes can be prevented from occurring.

なお、上記実施例に用いた機械管引き方式によるガラス
素管の製造設備は極めて生産性が高く、短時間に大量の
ガラス素管が精度良く生産できるので、極めて安価に感
光体を生産することができる。
Note that the equipment for manufacturing glass tubes using the mechanical tube drawing method used in the above examples has extremely high productivity and can produce a large amount of glass tubes with high precision in a short period of time, making it possible to produce photoreceptors at extremely low cost. I can do it.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の電子写真感光体のガラス素管を製造す
る装置の説明図、第2図(A)〜第2図(C)は本発明
の電子写真感光体のガラス素管の端部を示す説明図、第
3図(A)〜第3図(C)は本発明の電子写真感光体の
端部説明図、第4図は感光層を形成する際に使用される
装置の概略図、第5図は従来の電子写真感光体のアルミ
ニウム素管の歪みを示す説明図である。 10・・・トラフ、12・・・マツフル、14・・・ス
リーブ、15・・・スリーブシャフト、16・・・スリ
ーブローチーティングマシン、17・・・エアー送風口
、19・・・ガイドローラー 20・・・アニリングチ
ャンパー 21・・・ドローイングマシン、22・・・
ガラス管、23・・・カッティングマシン、30.44
・・・ガラス素管、31・・・導電層、32・・・感光
層、33,34.36・・・フランジ、35・・・絞り
部分、40・・・反応容器、41・・・基体回転軸、4
2・・・支持体、43・・・ヒータ、45・・・電極、
46・・・高周波電源、47・・・ボンベ、48・・・
圧力計、49.53.56・・・調整弁、50・・・混
合器、51.52.55・・・配管、54・・・排気口
。 第4図 556
FIG. 1 is an explanatory diagram of an apparatus for manufacturing a glass tube for the electrophotographic photoreceptor of the present invention, and FIGS. 2(A) to 2(C) are the ends of the glass tube for the electrophotographic photoreceptor of the present invention. FIG. 3(A) to FIG. 3(C) are explanatory diagrams showing the end portion of the electrophotographic photoreceptor of the present invention, and FIG. 4 is a schematic diagram of the apparatus used in forming the photosensitive layer. 5 are explanatory diagrams showing the distortion of the aluminum tube of a conventional electrophotographic photoreceptor. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10...Trough, 12...Matsuful, 14...Sleeve, 15...Sleeve shaft, 16...Sleeve low cheating machine, 17...Air outlet, 19...Guide roller 20 ...Aniling Champer 21...Drawing Machine, 22...
Glass tube, 23...Cutting machine, 30.44
... Glass tube, 31 ... Conductive layer, 32 ... Photosensitive layer, 33, 34. 36 ... Flange, 35 ... Squeezed part, 40 ... Reaction container, 41 ... Substrate Rotating axis, 4
2... Support body, 43... Heater, 45... Electrode,
46...High frequency power supply, 47...Cylinder, 48...
Pressure gauge, 49.53.56...Adjusting valve, 50...Mixer, 51.52.55...Piping, 54...Exhaust port. Figure 4 556

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、および硼珪酸ガラ
スからなる群から選ばれたガラスからなり、機械管引き
法により成形された円筒状支持体と、該支持体上に設け
られた導電層と、該導電層上に設けられた感光層とを具
備することを特徴とする電子写真感光体。
(1) A cylindrical support made of glass selected from the group consisting of soda lime glass, lead glass, and borosilicate glass and formed by a mechanical tube drawing method, and a conductive layer provided on the support. , and a photosensitive layer provided on the conductive layer.
(2)機械管引き法により成形され、ソーダ石灰ガラス
、鉛ガラス、および硼珪酸ガラスからなる群から選ばれ
たガラスからなることを特徴とする電子写真感光体用支
持体。
(2) A support for an electrophotographic photoreceptor, which is formed by a mechanical tube drawing method and is made of glass selected from the group consisting of soda lime glass, lead glass, and borosilicate glass.
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