JPH03244804A - Reciprocating type driving device - Google Patents

Reciprocating type driving device

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JPH03244804A
JPH03244804A JP4375890A JP4375890A JPH03244804A JP H03244804 A JPH03244804 A JP H03244804A JP 4375890 A JP4375890 A JP 4375890A JP 4375890 A JP4375890 A JP 4375890A JP H03244804 A JPH03244804 A JP H03244804A
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JP
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pressure
signal
deviation
fluid
port
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JP4375890A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsuhiro Kamibayashi
淳浩 上林
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Abstract

PURPOSE:To reduce shock in the reversal of a fluid cylinder by carrying out pressure feedback so that each pressing force on the head side and rod side of the fluid cylinder is balanced, and generating the pressure damping effect. CONSTITUTION:The outlet pressure of a three-port servovalve 5 is detected by a pressure sensor 31, and the pressure difference between the above-described signal and the signal 30 for making the pressing force for a piston equal is calculated in a calculation circuit 33. The pressure difference signal 35, signal of the position detector 7 of a hydraulic cylinder 3, signal passing through a differentiation circuit 12, and a position instruction signal 16 are inputted into a servo controller 40, and used for the output control of the three-port servovalve 5. Accordingly, the pressure feedback for constant speed movement is carried out for the feedback control for position and speed, and the shock due to the reversal of the hydraulic cylinder 3 is reduced, and the stick slip in the low speed operation can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、重量物などを駆動する往復駆動装置に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a reciprocating drive device for driving a heavy object or the like.

〈従来の技術〉 従来、この種の往復駆動装置としては次のようなものが
ある。この往復駆動装置は、第3図に示すように、圧力
源1と、重量物2を駆動する油圧シリンダ3との間に3
ポートサーボ弁5を接続し、この3ポートサーボ弁5と
圧力源lとの間を上記油圧シリンダ3のロッド側ポート
3bに接続して、差動回路6を形成している。そして、
重量物2の位置すなわち油圧シリンダ3のピストンロッ
ド3cの位置を検出する位置検出器7からの位置信号I
Iと、この位置信号IIを微分回路12で微分して作成
した信号と、位置指令信号16とをサーボコントローラ
15に入力して、制御信号18を作成し、3ポートサー
ボ弁5に入力している。
<Prior Art> Conventionally, there are the following types of reciprocating drive devices of this type. As shown in FIG.
A differential circuit 6 is formed by connecting a port servo valve 5 and connecting the 3-port servo valve 5 and the pressure source 1 to the rod side port 3b of the hydraulic cylinder 3. and,
A position signal I from a position detector 7 that detects the position of the heavy object 2, that is, the position of the piston rod 3c of the hydraulic cylinder 3.
I, a signal created by differentiating this position signal II with a differentiating circuit 12, and a position command signal 16 are input to the servo controller 15 to create a control signal 18, which is input to the 3-port servo valve 5. There is.

第4図は上記往復駆動装置のブロック図である。FIG. 4 is a block diagram of the reciprocating drive device.

第4図中の減算回路21.23および電圧/電流変換回
路25はサーボコントローラ15の一部を構成する。油
圧シリンダ3のピストンロッド3cの位置は位置検出器
7によって検出され、位置検出器7からの位置信号は減
算回路2Jに入力されて、位置指令信号16との偏差を
表わす位置偏差信号22が作成される。そして、この位
置偏差信号22と、位置検出器7からの位置信号11を
微分回路12で微分して作成した速度信号との差が減算
回路23で演算され、この差を表わす制御信号24が電
圧/電流変換器25を介して3ポートサーボ弁55に入
力されて、油圧シリンダ3の位置および速度のフィート
バンク制御が行なわれる。
The subtraction circuits 21 and 23 and the voltage/current conversion circuit 25 in FIG. 4 constitute a part of the servo controller 15. The position of the piston rod 3c of the hydraulic cylinder 3 is detected by a position detector 7, and the position signal from the position detector 7 is input to a subtraction circuit 2J to create a position deviation signal 22 representing the deviation from the position command signal 16. be done. Then, the difference between this position error signal 22 and the speed signal created by differentiating the position signal 11 from the position detector 7 with the differentiation circuit 12 is calculated in the subtraction circuit 23, and the control signal 24 representing this difference is / current is input to the 3-port servo valve 55 via the current converter 25, and foot bank control of the position and speed of the hydraulic cylinder 3 is performed.

〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、この第3.4図に示す往復駆動装置では、位
置および速度のフィードバックループによって、油圧シ
リンダ3の位置および速度の制御をしているが、差動回
路6を構成して油圧シリンダ3の速度が速く、また重量
物2を駆動しているため、3ポートサーボ弁5を切り換
えてシリンダ3の作動方向を反転した場合に、極めて大
きなショックかが生じるという問題がある。すなわち、
位置制御及び速度制御のループ利得を高くとりながら、
かつヘッド側ポート3aの流体圧力の変動を小さくする
ことはできない。そのため、重量物2は急激な加減速運
動を行うことになるため、反転時のショックが大きくな
るのである。
<Problems to be Solved by the Invention> By the way, in the reciprocating drive device shown in Fig. 3.4, the position and speed of the hydraulic cylinder 3 are controlled by a position and speed feedback loop, but the differential circuit 6, the speed of the hydraulic cylinder 3 is high, and the heavy object 2 is being driven, so if the 3-port servo valve 5 is switched to reverse the operating direction of the cylinder 3, an extremely large shock will occur. There's a problem. That is,
While maintaining high loop gain for position control and speed control,
Moreover, it is not possible to reduce fluctuations in the fluid pressure of the head side port 3a. As a result, the heavy object 2 undergoes rapid acceleration and deceleration movements, which increases the shock upon reversal.

そこで、この発明の目的は、差動回路によって駆動され
る流体シリンダを有する往復駆動装置において、流体シ
リンダのピストンに対するヘッド側とロッド側との流体
力による押圧力をバランスするように圧力フィードバッ
クを行なって、圧力ダンピンク効果を生じさせることに
よって、流体シリンダの反転時のショックを少なくし、
スムーズに反転を行なうことができるようにすることに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to perform pressure feedback in a reciprocating drive device having a fluid cylinder driven by a differential circuit so as to balance the pressing force due to the fluid force between the head side and the rod side against the piston of the fluid cylinder. By creating a pressure damping effect, the shock when the fluid cylinder is reversed is reduced.
The purpose is to enable smooth reversal.

く課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するため、この発明は、流体シリンダの
ヘッド側ポートと圧力源との間に3ポートサーボ弁を接
続すると共に、上記圧力源と3ポートサーボ弁との間と
、上記流体シリンダのロッド側ポートとを接続して差動
回路を形成し、上記流体シリンダのピストンロッドの位
置を検出する位置検出器からの位置信号と位置指令信号
との偏差を算出する位置偏差用の減算回路からの位置偏
差信号によって上記3ポートサーボ弁を制御する往復駆
動装置において、上記流体シリンダのヘッド側ポートの
流体圧力を検出する圧力センサと、上記流体シリンダの
ピストンに対するロッド側からの流体による押圧力に対
して、ヘッド側からの上記ピストンに対する押圧力を等
しくするヘッド側の流体圧力を表わす信号と上記圧カセ
ノサからの出力信号との圧力偏差を算出する圧力偏差用
の減算回路と、上記圧力偏差用の減算回路から出力され
た圧力偏差信号と上記位置偏差用の減算回路から出力さ
れた位置偏差信号との偏差を算出し、この偏差を表わす
信号を上記3ポートサーボ弁に出力する減算回路を備え
て、上記流体シリンダのピストンロッド側の流体圧力に
よるピストンに対する押圧力と、ヘッド側の流体圧力に
よるピストンに対する押圧力とが等しくなるように圧力
フィードバックを行なうようにしたことを特徴としてい
る。
Means for Solving the Problems> In order to achieve the above object, the present invention connects a 3-port servo valve between the head side port of a fluid cylinder and a pressure source, and connects the 3-port servo valve to the pressure source and the 3-port servo valve. and the rod side port of the fluid cylinder to form a differential circuit, and detect the deviation between the position signal from the position detector that detects the position of the piston rod of the fluid cylinder and the position command signal. In the reciprocating drive device that controls the 3-port servo valve using a position deviation signal from a subtraction circuit for position deviation to be calculated, a pressure sensor detects fluid pressure at a head side port of the fluid cylinder, and a pressure sensor for detecting the fluid pressure at the head side port of the fluid cylinder; For pressure deviation, which calculates the pressure deviation between the signal representing the fluid pressure on the head side and the output signal from the pressure casenosa, which equalizes the pressing force from the head side against the piston with the pressing force due to the fluid from the rod side. The difference between the pressure deviation signal output from the pressure deviation subtraction circuit and the position deviation signal output from the position deviation subtraction circuit is calculated, and a signal representing this deviation is sent to the three ports. A subtraction circuit is provided to output an output to the servo valve, and pressure feedback is performed so that the pressing force on the piston due to the fluid pressure on the piston rod side of the fluid cylinder and the pressing force on the piston due to the fluid pressure on the head side are equal. It is characterized by what it did.

〈作用〉 流体シリンダのピストンロッドの位置は位置検出器によ
って検出され、この位置検出器からの位置信号は位置偏
差用の減算回路に入力され、この位置偏差用の減算回路
において位置指令信号と位置信号とから位置偏差が算出
され、位置偏差信号か出力される。一方、上記流体シリ
ンダのヘッド側ポートの圧力は圧力センサによって検出
され、この圧カセノサからの圧力信号は圧力偏差用の減
算回路に入力される。この圧力偏差用の減算回路には、
流体フリンゾのピストンに対するロッド側からの流体に
よる押圧力に対してヘッド側からの上記ピストンに対す
る流体による押圧力を等しくするヘッド側の流体圧力を
表わす信号と、圧力センサからの信号が入力されて、圧
力偏差信号が出力される。その圧力偏差信号は、流体フ
リンゾのピストンロッド側からのピストンに対する流体
による押圧力と、このピストンに対するヘッド側からの
流体による押圧力との釣り合いが外れた場合に、元の釣
り合いに復帰させるものである。位置偏差用の減算回路
からの出力信号と圧力偏差用の減算回路からの信号はさ
らに、別の減算回路で減算されて、この減算回路から制
御信号が3ポートサーボ弁に出力される。
<Operation> The position of the piston rod of the fluid cylinder is detected by a position detector, and the position signal from this position detector is input to a subtraction circuit for position deviation, and in this subtraction circuit for position deviation, the position command signal and position are The positional deviation is calculated from the signal, and the positional deviation signal is output. On the other hand, the pressure at the head side port of the fluid cylinder is detected by a pressure sensor, and the pressure signal from this pressure case sensor is input to a subtraction circuit for pressure deviation. This subtraction circuit for pressure deviation includes:
A signal representing the fluid pressure on the head side that equalizes the pressing force of the fluid against the piston from the head side with the pressing force of the fluid against the piston of the fluid frinzo from the rod side, and the signal from the pressure sensor are input, A pressure deviation signal is output. The pressure deviation signal is used to restore the original balance when the pressing force of the fluid against the piston from the piston rod side of the fluid frinzo and the pressing force of the fluid against the piston from the head side are out of balance. be. The output signal from the subtraction circuit for position deviation and the signal from the subtraction circuit for pressure deviation are further subtracted by another subtraction circuit, and a control signal is output from this subtraction circuit to the three-port servo valve.

したがって、3ポートサーボ弁は位置指令信号に応して
流体フリンゾを制御すると共に、流体フリンゾのピスト
ンロッド側の流体圧力によるピストンに対する押圧力と
ヘット側の流体圧力によるピストンに対する押圧力が等
しくなるように制御を行ない、流体フリンゾおよび重量
物は急激な加減速運動を行なうことなく、ノヨックレス
に位置制御を行なうようになる。見方を変えると、この
圧力フィードバックによって流体シリンダに圧力制動を
かけていることになる。したがって、流体シリンダの作
動方向を切り換えてもスムーズに切り換えを行なうこと
ができ、ノヨックを軽減することができる。また、この
ように圧力制動をかけているので、流体シリンダの低速
時のスティックスリップを防止することができる。
Therefore, the 3-port servo valve controls the fluid frinzo according to the position command signal, and makes sure that the pressing force of the fluid frinzo on the piston due to the fluid pressure on the piston rod side is equal to the pressing force on the piston due to the fluid pressure on the head side. As a result, the position of the fluid and heavy objects can be controlled without any sudden acceleration or deceleration. Looking at it from another perspective, this pressure feedback applies pressure braking to the fluid cylinder. Therefore, even if the operating direction of the fluid cylinder is switched, the switching can be performed smoothly, and noise can be reduced. Furthermore, since pressure braking is applied in this manner, stick-slip of the fluid cylinder at low speeds can be prevented.

〈実施例〉 以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to illustrated embodiments.

第1図において、■は圧力源、2はワークである重量物
、3は流体シリンダの一例としての油圧シリンダ、5は
3ポートサーボ弁、6は差動回路、7は位置検出器、1
2は微分回路であって、これらは第3図に示す従来例と
全く同し構成をしている。
In FIG. 1, ■ is a pressure source, 2 is a heavy workpiece, 3 is a hydraulic cylinder as an example of a fluid cylinder, 5 is a 3-port servo valve, 6 is a differential circuit, 7 is a position detector, 1
Reference numeral 2 denotes a differential circuit, which has exactly the same configuration as the conventional example shown in FIG.

また、31は油圧フリツプ3のヘット側ポート3aの流
体圧力を検出する圧力センサ、33は油圧フリツプ3の
ピストン3dに対するヘッド側とロッド側の流体圧力に
よる押圧力を等しくするためのヘッド側ポート3aの流
体圧力を表わす信号と圧カセノサ31からの圧力信号と
の偏差を算出する圧力偏差用の減算回路、40はサーボ
コントローラである。
Further, 31 is a pressure sensor for detecting the fluid pressure of the head side port 3a of the hydraulic flip 3, and 33 is the head side port 3a for equalizing the pressing force of the fluid pressure on the head side and the rod side against the piston 3d of the hydraulic flip 3. A pressure deviation subtraction circuit 40 is a servo controller that calculates the deviation between a signal representing the fluid pressure of the pressure sensor 31 and a pressure signal from the pressure case sensor 31.

第2図は第1図に示す往復駆動装置をブロック図で示し
たものである。この第2図に示す減算回路2+、23.
37および電圧/電流変換回路25は上記サーボコント
ローラ40を構成するものである。
FIG. 2 is a block diagram showing the reciprocating drive device shown in FIG. 1. Subtraction circuits 2+, 23 . shown in FIG.
37 and the voltage/current conversion circuit 25 constitute the servo controller 40.

上記構成によれば、油圧シリンダ2のピストンロッド3
cの位置は位置検出器7によって検出され、この位置検
出器7からの位置信号11は減算回路21に入力される
。この減算回路21は位置指令信号16と位置信号11
とから位置偏差信号22を作成して出力する。まrコ上
記位置信号11は微分回路12に人力され、この微分回
路12から速度を表わす信号39が出力される。上記微
分回路12からの速度を表わす信号39と位置偏差信号
22との偏差か減算回路23によって作成され、この偏
差を表わす信号42が減算回路37に入力される。一方
、油圧フリツプ3のヘッド側ポート3aの圧力は圧力セ
ンサ31によって検出され、この圧力センサ3Iからの
信号32は圧力偏差用の減算回路33に入力される。ま
た、上記圧力偏差用の減算回路33には油圧フリツプ3
のピストン3dに対するヘッド側からの流体圧力による
押圧力とピストンロッド3c側からの流体圧力による押
圧力が等しくなるような信号30が入力される。この信
号30は、油圧フリツプのピストン3dのヘッド側の受
圧面積をAh、ピストン3dのピストンロッド3c側の
油圧面積をArとすると、次式で表わされる。
According to the above configuration, the piston rod 3 of the hydraulic cylinder 2
The position of c is detected by a position detector 7, and a position signal 11 from this position detector 7 is input to a subtraction circuit 21. This subtraction circuit 21 is a subtraction circuit that outputs a position command signal 16 and a position signal 11.
A position deviation signal 22 is created and output from the above. The above position signal 11 is input manually to a differentiating circuit 12, and this differentiating circuit 12 outputs a signal 39 representing the speed. A difference between the signal 39 representing the speed from the differentiation circuit 12 and the position error signal 22 is created by the subtraction circuit 23, and a signal 42 representing this deviation is input to the subtraction circuit 37. On the other hand, the pressure at the head side port 3a of the hydraulic flip 3 is detected by a pressure sensor 31, and a signal 32 from this pressure sensor 3I is input to a subtraction circuit 33 for pressure deviation. In addition, a hydraulic flip 3 is included in the subtraction circuit 33 for pressure deviation.
A signal 30 is input such that the pressing force due to the fluid pressure from the head side and the pressing force due to the fluid pressure from the piston rod 3c side on the piston 3d are equal. This signal 30 is expressed by the following equation, where Ah is the pressure receiving area on the head side of the piston 3d of the hydraulic flip, and Ar is the hydraulic area on the piston rod 3c side of the piston 3d.

((Ar)/(Ah))X圧力センサ3Iのゲイン×圧
力源1の圧力P したがって、上記圧力偏差用の減算回路33から出力さ
れる圧力偏差信号35は油圧シリンダ3のピストン3d
に働く流体による押圧力の釣り合いが外れた場合に、釣
り合いに引き戻そうとする信号である。見方をかえると
、常にピストン3hが等速運動をさせようとする信号で
ある。この圧力偏差信号35と減算回路23からの信号
42との偏差が減算回路37によって算出され、この偏
差を表わす信号44が電圧/電流変換回路25を介して
3ポートサーホ弁5に入力され、油圧シリンダ3の作動
が制御される。
((Ar)/(Ah))
This is a signal that attempts to restore balance when the pressing force exerted by the fluid acting on it is out of balance. Looking at it from a different perspective, this is a signal that always causes the piston 3h to move at a constant velocity. The deviation between this pressure deviation signal 35 and the signal 42 from the subtraction circuit 23 is calculated by the subtraction circuit 37, and a signal 44 representing this deviation is inputted to the 3-port surf valve 5 via the voltage/current conversion circuit 25, and the signal 42 is inputted to the hydraulic cylinder. 3 is controlled.

このように、この往復駆動装置は位置と速度のフィード
バックに加えて、油圧シリンダ3が等速運動をするよう
に圧力フィードバックを行なって圧力ダンピング効果を
得ているので、重量物を駆動する油圧シリンダ3の作動
方向が反転してもノヨソクを軽減することができ、さら
に低速時においてスティックスリップを防止することが
できる。
In this way, in addition to position and speed feedback, this reciprocating drive device performs pressure feedback so that the hydraulic cylinder 3 moves at a constant velocity to obtain a pressure damping effect, so that the hydraulic cylinder 3 that drives a heavy object can Even if the operating direction of No. 3 is reversed, slippage can be reduced, and stick-slip can also be prevented at low speeds.

上記実施例では速度フィートバンクも行なうようにして
いるか、速度フィードバックは取り除いてもよく、また
加速度のフィードバックを付加するようにしてもよい。
In the embodiments described above, velocity foot banking may also be performed, velocity feedback may be removed, or acceleration feedback may be added.

要は、差動回路によって駆動される流体シリンダを位置
のフィードバックによって制御すると同時に、圧力のフ
ィードバックを行なって流体シリンダに圧力ダンパー効
果を得るということである。
The point is to control the fluid cylinder driven by the differential circuit by position feedback, and at the same time to perform pressure feedback to obtain a pressure damper effect on the fluid cylinder.

〈発明の効果〉 以上より明らかなように、この発明の往復駆動装置は、
3ポートサーホ弁を有する差動回路によって駆動される
流体シリンダを位置フィードバックによって制御すると
共に、圧力センサで検出したヘッド側ポートの圧力信号
に基づいて、減算回路を用いて、流体シリンダが急激な
加速度運動を行なわないように圧力フィードバックを行
なっているので、流体シリンダは差動回路によって高速
に作動していても急激な加減速運動を行なうことなくノ
ヨゾクレスな作動を行なうことになり、また圧力ダンピ
ング効果を得ることになり、流体シリンダの作動方向を
反転してもンヨックを少なくすることができ、また低速
時においてスティックスリップをなくすることかできる
<Effects of the Invention> As is clear from the above, the reciprocating drive device of the present invention has the following effects:
A fluid cylinder driven by a differential circuit having a 3-port surf valve is controlled by position feedback, and a subtraction circuit is used to control the fluid cylinder from sudden acceleration motion based on the pressure signal of the head side port detected by a pressure sensor. Since pressure feedback is performed to prevent this, even if the fluid cylinder is operated at high speed by the differential circuit, it will operate smoothly without sudden acceleration or deceleration, and it will also reduce the pressure damping effect. As a result, even if the operating direction of the fluid cylinder is reversed, yoke can be reduced, and stick-slip can be eliminated at low speeds.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例の往復駆動装置の回路図、
第2図は上記実施例のブロック図、第3図は従来の往復
駆動装置の回路図、第4図は従来の往復駆動装置のブロ
ック図である。 ■・・圧力源、2・・重量物、3・・・油圧シリンダ、
5−3ポートサーボ弁、6・・・差動回路、31 ・圧
ツノセンサ、21,23,33.37・・・減算回路、
40 ・サーボコントローラ。
FIG. 1 is a circuit diagram of a reciprocating drive device according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a block diagram of the above embodiment, FIG. 3 is a circuit diagram of a conventional reciprocating drive device, and FIG. 4 is a block diagram of a conventional reciprocating drive device. ■...Pressure source, 2...Heavy object, 3...Hydraulic cylinder,
5-3 port servo valve, 6... Differential circuit, 31 ・Pressure horn sensor, 21, 23, 33.37... Subtraction circuit,
40 ・Servo controller.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)流体シリンダ(3)のヘッド側ポートと圧力源(
1)との間に3ポートサーボ弁(5)を接続すると共に
、上記圧力源(1)と3ポートサーボ弁(5)との間と
、上記流体シリンダ(3)のロッド側ポートとを接続し
て差動回路を形成し、上記流体シリンダ(3)のピスト
ンロッドの位置を検出する位置検出器(7)からの位置
信号と位置指令信号との偏差を算出する位置偏差用の減
算回路(21)からの位置偏差信号によって上記3ポー
トサーボ弁(5)を制御する往復駆動装置において、 上記流体シリンダ(3)のヘッド側ポートの流体圧力を
検出する圧力センサ(31)と、 上記流体シリンダ(3)のピストンに対するロッド側か
らの流体による押圧力に対して、ヘッド側からの上記ピ
ストンに対する押圧力を等しくするヘッド側の流体圧力
を表わす信号と上記圧力センサ(31)からの出力信号
との圧力偏差を算出する圧力偏差用の減算回路(33)
と、 上記圧力偏差用の減算回路(33)から出力された圧力
偏差信号と上記位置偏差用の減算回路(21)から出力
された位置偏差信号との偏差を算出し、この偏差を表わ
す信号を上記3ポートサーボ弁(5)に出力する減算回
路(37)を備えて、上記流体シリンダ(3)のピスト
ンロッド側の流体圧力によるピストンに対する押圧力と
、ヘッド側の流体圧力によるピストンに対する押圧力と
が等しくなるように圧力フィードバックを行なうように
したことを特徴とする往復駆動装置。
(1) Head side port of fluid cylinder (3) and pressure source (
1), and also connect between the pressure source (1) and the 3-port servo valve (5) and the rod side port of the fluid cylinder (3). a position deviation subtraction circuit (1) which calculates the deviation between the position signal from the position detector (7) for detecting the position of the piston rod of the fluid cylinder (3) and the position command signal; 21) in a reciprocating drive device that controls the 3-port servo valve (5) by a position deviation signal from the fluid cylinder (3); (3) A signal representing the fluid pressure on the head side that makes the pressing force on the piston from the head side equal to the pressing force of the fluid on the piston from the rod side, and the output signal from the pressure sensor (31). Subtraction circuit for pressure deviation (33) that calculates the pressure deviation of
and calculate the deviation between the pressure deviation signal output from the pressure deviation subtraction circuit (33) and the position deviation signal output from the position deviation subtraction circuit (21), and generate a signal representing this deviation. A subtraction circuit (37) is provided to output to the 3-port servo valve (5), and a pressing force on the piston due to fluid pressure on the piston rod side of the fluid cylinder (3) and a pressing force on the piston due to fluid pressure on the head side. A reciprocating drive device characterized in that pressure feedback is performed so that
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