JPH03239926A - 光検出器 - Google Patents
光検出器Info
- Publication number
- JPH03239926A JPH03239926A JP3628390A JP3628390A JPH03239926A JP H03239926 A JPH03239926 A JP H03239926A JP 3628390 A JP3628390 A JP 3628390A JP 3628390 A JP3628390 A JP 3628390A JP H03239926 A JPH03239926 A JP H03239926A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphor
- heater
- heated
- temperature
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 241000195493 Cryptophyta Species 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野」
本発明μ蛍光体の波長変換機能を利用した光検出器に膚
し、特に紫外線やＸ線などの電磁波を間接的に検出でき
る光検出器に関するものである。
し、特に紫外線やＸ線などの電磁波を間接的に検出でき
る光検出器に関するものである。
蛍光体の波長変換機能を利用した従来の光検出器として
、例えば紫外線センナを例にとって説明する。この紫外
線センナは、アモルファスシリコン太陽電池などの受光
素子の上面に、Ｚｎｓ：Ｃｏ。
、例えば紫外線センナを例にとって説明する。この紫外
線センナは、アモルファスシリコン太陽電池などの受光
素子の上面に、Ｚｎｓ：Ｃｏ。
Ａｔなどの蛍光体と紫外線透過用フィルタを頂次積み重
ねて光センサ部を構成し、これをパラクジ用ケースンこ
収ぴした１造金有しているっＥ発明が祥夫し＝うとする
課題〕 しかし、このような従来の紫外線センサは、その温度に
対する出力電流の特性を第５図に示すように、室温・、
２５℃）以下では蛍光体の発光効率が著しく低下し、０
℃付近では半分程度まで出力電流が減少してし１う、そ
のため、こｎを温度補償回路で補正しようとすると、２
０℃以下の急激に出力電流が１減少丁６領域では、かな
り正確に蛍光体の温度をモニターしなげれば、正確な補
正ができないっそれ改、土用温度範囲が限定されてしま
うという問題が６つ之つ 本発明は以上の点に鑑みてなさｎたもので、その目的は
、簡単な構成によって低温領域まで高精度に＃Ｉ定でき
る、蛍光体を利用した光検出器を提供することにあるう 二課題金解決する之めの手段Ｊ 上記の目的を達成する定め、本発明の光検出器は、蛍光
体の波長変換機能を利用し九光七ンサ部と、前記蛍光体
を一定温度に加熱するだめの加熱手段を有するものであ
るっ 作用２ 不発明におい′Ｃは、蛍光体を一定温度に加熱すること
により、低温下での蛍光体の発光効率の低下を防ぐこと
ができる。う 二実兎例」 以下、本発明全図面知示す実施例に基いて絆細に説明す
る。
ねて光センサ部を構成し、これをパラクジ用ケースンこ
収ぴした１造金有しているっＥ発明が祥夫し＝うとする
課題〕 しかし、このような従来の紫外線センサは、その温度に
対する出力電流の特性を第５図に示すように、室温・、
２５℃）以下では蛍光体の発光効率が著しく低下し、０
℃付近では半分程度まで出力電流が減少してし１う、そ
のため、こｎを温度補償回路で補正しようとすると、２
０℃以下の急激に出力電流が１減少丁６領域では、かな
り正確に蛍光体の温度をモニターしなげれば、正確な補
正ができないっそれ改、土用温度範囲が限定されてしま
うという問題が６つ之つ 本発明は以上の点に鑑みてなさｎたもので、その目的は
、簡単な構成によって低温領域まで高精度に＃Ｉ定でき
る、蛍光体を利用した光検出器を提供することにあるう 二課題金解決する之めの手段Ｊ 上記の目的を達成する定め、本発明の光検出器は、蛍光
体の波長変換機能を利用し九光七ンサ部と、前記蛍光体
を一定温度に加熱するだめの加熱手段を有するものであ
るっ 作用２ 不発明におい′Ｃは、蛍光体を一定温度に加熱すること
により、低温下での蛍光体の発光効率の低下を防ぐこと
ができる。う 二実兎例」 以下、本発明全図面知示す実施例に基いて絆細に説明す
る。
第１図′ｒｉ本発明〇−笈見例による紫外線センサのｅ
略構造全示すもので、同図（１）はその光センサ部の斜
視ズ、１司図市）ぼその光センサ部を収容するパッケー
ジ用ケースの′ｌ＋視図であるっこの実施例の紫外線セ
ッサ′は、第１図（ａ）に示すように、アモルファスン
リコン大号電池などの受光素子１の上面に、ＺｎＳ ：
Ｃｕ 、 ＡｔやＧｄ、Ｏ，Ｓ ： Ｔｂ １′など
の蛍光体２と紫外線透過用帯域フィルタ３を順次積み重
ねて光センサ部４を構成し、この光センサ部４をＰＢＴ
： ５のパッケージ用ケース５（第１図ΦＨに収容し
て、そのケース５の壁面に埋め込まれたヒータ６を通電
加熱することにより、このヒータ６によって光センナ部
４の蛍光体２′ｆＣ一定の温度に加熱するものとなって
いるっ々お、第１図甲Ｔは検出用１子、８は温度調節機
構（図示せず〕に接続されるヒータ用端子であり、その
ヒータ６を温度調節機構によって作動させるようになさ
れているっ か′Ｄλる構造の紫外線センサによると、通常は、ヒー
タ６によって３０℃前後に光センサ部４の蛍光体２を加
熱する。勿論、測定環境温度が３０℃以上の場合にはヒ
ータ６はオフとする。その結果、第４図に示すように、
測定環境温度が低温域（２０℃以下）でも蛍光体２０発
光効率の低下によるセンサ感度の急激な低下が起らず、
広い温度範囲にわ之って略−様な出力値が得られたつ 第２図及び第３図は本発明の他の実施例をそれぞれ示す
要部斜視図であシ、この実施例では、ヒタが光センサ部
に組み込まれた構造となっている。すなわち、第２図の
ものは、ヒータ６ａと蛍光体２が別々に構成された場合
であり、第３図のものは、゛ヒータ６ｂと蛍光体（蛍光
膜）２１が一改９つガラス等り基板９に集積さＣた構造
となっている。このとさ、いずｎもヒータ６ｍ、６ｂの
部分子−蛍光体に、：る発光全効率よく透過さぜる之め
、刑い線状にＮｉＣｒ等の導体を薄漠で蒸着したり、さ
らに透過率全土げる次めに透ｑｔ極に用いらｎているＩ
ＴＯ膜などを基板上に蒸音させて用いてもよい。々お、
第３図串打号１０は入射光の入射万・司全表わす。この
ように、光センサ部４にヒタ６ａま＋は６ｂを組み込む
ことＫより、より均一に蛍光体を加熱することがでさ、
上記実施例と同様の効果全奏する。
略構造全示すもので、同図（１）はその光センサ部の斜
視ズ、１司図市）ぼその光センサ部を収容するパッケー
ジ用ケースの′ｌ＋視図であるっこの実施例の紫外線セ
ッサ′は、第１図（ａ）に示すように、アモルファスン
リコン大号電池などの受光素子１の上面に、ＺｎＳ ：
Ｃｕ 、 ＡｔやＧｄ、Ｏ，Ｓ ： Ｔｂ １′など
の蛍光体２と紫外線透過用帯域フィルタ３を順次積み重
ねて光センサ部４を構成し、この光センサ部４をＰＢＴ
： ５のパッケージ用ケース５（第１図ΦＨに収容し
て、そのケース５の壁面に埋め込まれたヒータ６を通電
加熱することにより、このヒータ６によって光センナ部
４の蛍光体２′ｆＣ一定の温度に加熱するものとなって
いるっ々お、第１図甲Ｔは検出用１子、８は温度調節機
構（図示せず〕に接続されるヒータ用端子であり、その
ヒータ６を温度調節機構によって作動させるようになさ
れているっ か′Ｄλる構造の紫外線センサによると、通常は、ヒー
タ６によって３０℃前後に光センサ部４の蛍光体２を加
熱する。勿論、測定環境温度が３０℃以上の場合にはヒ
ータ６はオフとする。その結果、第４図に示すように、
測定環境温度が低温域（２０℃以下）でも蛍光体２０発
光効率の低下によるセンサ感度の急激な低下が起らず、
広い温度範囲にわ之って略−様な出力値が得られたつ 第２図及び第３図は本発明の他の実施例をそれぞれ示す
要部斜視図であシ、この実施例では、ヒタが光センサ部
に組み込まれた構造となっている。すなわち、第２図の
ものは、ヒータ６ａと蛍光体２が別々に構成された場合
であり、第３図のものは、゛ヒータ６ｂと蛍光体（蛍光
膜）２１が一改９つガラス等り基板９に集積さＣた構造
となっている。このとさ、いずｎもヒータ６ｍ、６ｂの
部分子−蛍光体に、：る発光全効率よく透過さぜる之め
、刑い線状にＮｉＣｒ等の導体を薄漠で蒸着したり、さ
らに透過率全土げる次めに透ｑｔ極に用いらｎているＩ
ＴＯ膜などを基板上に蒸音させて用いてもよい。々お、
第３図串打号１０は入射光の入射万・司全表わす。この
ように、光センサ部４にヒタ６ａま＋は６ｂを組み込む
ことＫより、より均一に蛍光体を加熱することがでさ、
上記実施例と同様の効果全奏する。
をお、上記実施例では、ヒータを光センサ部にｍｌみ込
むのにその蛍光体部分に設ける場合について示したが、
本発明はこｎＫ限らず、ヒータを、光センサ部の受光素
子あるいは帯域フィルタの部分に岨み込む構造とし念り
、紫外線センサの他にＸ線センナ等にも同様に適用でき
るものである。
むのにその蛍光体部分に設ける場合について示したが、
本発明はこｎＫ限らず、ヒータを、光センサ部の受光素
子あるいは帯域フィルタの部分に岨み込む構造とし念り
、紫外線センサの他にＸ線センナ等にも同様に適用でき
るものである。
以二Ｖ：うに本発明によれば、蛍光体を利用し之尤演出
器においてその蛍元藻全ヒータで加熱する機礪全設け、
ることにより、低温下での蛍光体の発″／ｌ、切率低下
を坊（゛ことができるので、低温領域２で安定し之セン
サ出力値が得られ、高精度な測定が実現可能となる。
器においてその蛍元藻全ヒータで加熱する機礪全設け、
ることにより、低温下での蛍光体の発″／ｌ、切率低下
を坊（゛ことができるので、低温領域２で安定し之セン
サ出力値が得られ、高精度な測定が実現可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す概略構造の分、轡図で
あって、同図（ＩＬ）はその光センサ部の斜視図、同図
（１）Ｊζそのパッケージ用ケースの斜視図、第２図及
び第３図は本発明の他の実施例をそれぞれ下す要部斜視
図、第４図は第１図の実施例における出力電流の特性を
示す図、第５図は従来の紫外線セッサの出力電流の特性
を示す図である。 １・・・・受光素子、２，２ａ・・・・蛍光体、３・・
・・帯域フィルタ、４・・・・光センサ部、５・・・・
パッケージ用ケース、６．６＆、６ｂ・＠−・ヒータ■
あって、同図（ＩＬ）はその光センサ部の斜視図、同図
（１）Ｊζそのパッケージ用ケースの斜視図、第２図及
び第３図は本発明の他の実施例をそれぞれ下す要部斜視
図、第４図は第１図の実施例における出力電流の特性を
示す図、第５図は従来の紫外線セッサの出力電流の特性
を示す図である。 １・・・・受光素子、２，２ａ・・・・蛍光体、３・・
・・帯域フィルタ、４・・・・光センサ部、５・・・・
パッケージ用ケース、６．６＆、６ｂ・＠−・ヒータ■
Claims (1)
- 少くとも受光素子と蛍光体からなりその蛍光体の波長変
換機能を利用した光センサ部と、前記蛍光体を一定温度
に加熱するための加熱手段を有する光検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3628390A JPH03239926A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | 光検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3628390A JPH03239926A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | 光検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03239926A true JPH03239926A (ja) | 1991-10-25 |
Family
ID=12465461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3628390A Pending JPH03239926A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | 光検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03239926A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1283426A3 (de) * | 2001-08-09 | 2005-04-06 | Philips Intellectual Property & Standards GmbH | Röntgendetektor mit Heizvorrichtung |
| GB2484029A (en) * | 2008-10-09 | 2012-03-28 | Schlumberger Holdings | Thermally protected scintillation detector |
| JP2020041922A (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | ローム株式会社 | 紫外線検出器 |
-
1990
- 1990-02-19 JP JP3628390A patent/JPH03239926A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1283426A3 (de) * | 2001-08-09 | 2005-04-06 | Philips Intellectual Property & Standards GmbH | Röntgendetektor mit Heizvorrichtung |
| GB2484029A (en) * | 2008-10-09 | 2012-03-28 | Schlumberger Holdings | Thermally protected scintillation detector |
| US8987670B2 (en) | 2008-10-09 | 2015-03-24 | Schlumberger Technology Corporation | Thermally-protected scintillation detector |
| US9835736B2 (en) | 2008-10-09 | 2017-12-05 | Schlumberger Technology Corporation | Thermally-protected scintillation detector |
| JP2020041922A (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | ローム株式会社 | 紫外線検出器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4859079A (en) | Optical system using a luminescent material sensor for measuring very high temperatures | |
| JPS6129648B2 (ja) | ||
| US4948976A (en) | Multi-wavelength band infrared detector | |
| JP2017058364A (ja) | 分光放射計 | |
| CN110146948A (zh) | 一种硅基底长波通红外滤光片及其制备方法 | |
| JPH01242927A (ja) | 放射線センサー | |
| Liu et al. | A compact solid-state UV flame sensing system based on wide-gap ii–vi thin film materials | |
| CA2099124A1 (en) | Regulated infrared source | |
| JPH03239926A (ja) | 光検出器 | |
| US6979811B2 (en) | Light sensing film and light sensor circuit using the same | |
| AU658568B2 (en) | Light detector | |
| RU2426144C1 (ru) | Многоспектральный фотоприемник | |
| JPH0356831A (ja) | 冷却型赤外線検知装置 | |
| US9312423B2 (en) | Photo detector having sensor element array and photo conversion element, and method for fabricating the same | |
| JP5294162B2 (ja) | 光検出素子、及び該光検出素子の製造方法 | |
| US20020192361A1 (en) | Fabricating technique of a miniature ultraviolet sensor | |
| US4313257A (en) | Annealing methods for improving performance of a radiation sensor | |
| JP2005207830A (ja) | 赤外線センサ | |
| JP2013083521A (ja) | 焦電型赤外線検出素子、焦電型赤外線撮像素子および焦電型赤外線撮像装置 | |
| JPH04113234A (ja) | 屋外赤外放射測定方法及びその放射計 | |
| CN115326206A (zh) | 一种热调控的上转换红外探测装置 | |
| Katsuyama et al. | An Experimental Determination of the Maximum Spectral Luminous Efficacy of Radiation | |
| JPS5819520A (ja) | 太陽光吸収率放射率測定装置 | |
| KR100191209B1 (ko) | 파장변환물질을 이용한 복사형 광온도 감지 시스템 | |
| KR100310113B1 (ko) | 적외선검지소자의수광전극구조 |