JPH0322065U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0322065U JPH0322065U JP8230189U JP8230189U JPH0322065U JP H0322065 U JPH0322065 U JP H0322065U JP 8230189 U JP8230189 U JP 8230189U JP 8230189 U JP8230189 U JP 8230189U JP H0322065 U JPH0322065 U JP H0322065U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- plasma
- plasma flow
- shutter
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案の処理装置の概略構成図である
。第2図は従来装置の概略構成図である。第3図
は従来のECR装置のシヤツタの開閉動作による
動作説明図である。第4図は本考案のシヤツタの
実施例の構成図である。第5図及び第6図は本考
案装置の異なる処理動作の説明図である。第7図
と第8図は本考案装置の異なる実施例の側面図と
平面図である。
。第2図は従来装置の概略構成図である。第3図
は従来のECR装置のシヤツタの開閉動作による
動作説明図である。第4図は本考案のシヤツタの
実施例の構成図である。第5図及び第6図は本考
案装置の異なる処理動作の説明図である。第7図
と第8図は本考案装置の異なる実施例の側面図と
平面図である。
Claims (1)
- プラズマ発生源と、該プラズマ発生源からのプ
ラズマ流を受ける試料を設置する試料台と、前記
プラズマ発生源と前記試料台の間に設備され前記
プラズマ流の前記試料への付与を許容若しくは禁
止するシヤツタとを備えてなる電子サイクロトロ
ン共鳴プラズマ処理装置において、前記シヤツタ
は、前記プラズマ流を受ける遮蔽部と、前記プラ
ズマ流の前記試料への付与を許容する通過部とを
有しており、前記処理装置はさらに、前記試料台
とシヤツタとを相対的に移動させる駆動手段と、
該駆動手段を制御するため用意され、前記試料台
上の試料に付与されるプラズマ流の流束を、前記
シヤツタにより開閉するように制御する制御手段
とを備えており、前記制御手段は前記試料台上の
試料への前記プラズマ流の流量が全プラズマ流付
与期間を通じて実質的に一定になるように、前記
駆動手段を制御することを特徴とする電子サイク
ロトロン共鳴プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8230189U JPH0322065U (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8230189U JPH0322065U (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0322065U true JPH0322065U (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=31628984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8230189U Pending JPH0322065U (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0322065U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6115964A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-24 | Fujitsu Ltd | 真空蒸着装置 |
JPS6267171A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-26 | Kawasaki Steel Corp | 連続式真空蒸着用蒸気シ−ルド |
-
1989
- 1989-07-13 JP JP8230189U patent/JPH0322065U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6115964A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-24 | Fujitsu Ltd | 真空蒸着装置 |
JPS6267171A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-26 | Kawasaki Steel Corp | 連続式真空蒸着用蒸気シ−ルド |
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