JPH03218274A - Cylindrical piezoelectric actuator - Google Patents
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は円筒型圧電アクチュエータに関するものであり
、詳しくは、圧電アクチュエー夕を構成する圧電素子材
料の耐破壊性を向上せしめた新規な構造の円筒型圧電ア
クチュエー夕に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a cylindrical piezoelectric actuator, and more specifically, to a novel structure that improves the destruction resistance of the piezoelectric element material that constitutes the piezoelectric actuator. This invention relates to a cylindrical piezoelectric actuator.
従来より、圧電セラミックスの変位をアクチュ二一タに
利用する工夫がなされている。そして、圧電横効果を利
用したユニモルフ、バイモルフ、圧電縦効果を利用した
積層型などが一部実用化されている。Conventionally, efforts have been made to utilize the displacement of piezoelectric ceramics in actuators. Unimorphs and bimorphs that utilize the transverse piezoelectric effect, and stacked types that utilize the longitudinal piezoelectric effect have been put into practical use.
しかしながら、ユニモルフ、バイモルフは変位は大きい
が発生力が小さく、使用できる用途が限られている。こ
れに対し、積層型は発生力は大きく、適当な変位拡大機
構を設けることにより広い範囲の応用が考えられている
。ところが、積層型はその構造が極めて複雑であり、電
極間のリーク等の点でも信頼性に欠ける欠点があり、実
用化する上で問題が多い。However, although unimorphs and bimorphs have large displacements, they generate small forces, and their uses are limited. On the other hand, the laminated type generates a large force and is considered to have a wide range of applications by providing an appropriate displacement magnification mechanism. However, the laminated type has an extremely complicated structure and has the disadvantage of lacking reliability in terms of leakage between electrodes, etc., and has many problems in practical use.
一方、内面および外面に電極を設けた円筒型圧電素子は
、電圧の印加により円筒の肉厚方向に膨脹し長さ方向に
収縮することが知られている。On the other hand, it is known that a cylindrical piezoelectric element having electrodes provided on its inner and outer surfaces expands in the thickness direction of the cylinder and contracts in the length direction when a voltage is applied.
従って、この変位をアクチュエー夕として利用できれば
、構造的に単純であり、アクチュエー夕としての信頼性
も高いことが予想される。Therefore, if this displacement can be used as an actuator, it is expected that the structure will be simple and the reliability of the actuator will be high.
しかしながら、円筒型圧電素子は、材料の耐破壊性に問
題があり、アクチュエー夕として利用する試みはこれま
で積極的になされていなかった。However, the cylindrical piezoelectric element has a problem with the destruction resistance of the material, and no active attempts have been made to utilize it as an actuator.
すなわち、円筒型圧電素子は、その変位が収縮方向であ
るために、作動端子に駆動すべき荷重がかかった場合、
円筒型圧電素子には引っ張り力が加わることになる。と
ころが、圧電セラミックスは、他のセラミックスと同様
に、耐引っ張り強度は耐圧縮強度に比べて数分の一と小
さく、それがために、アクチュエータとしての信頼性に
問題があるとされていた。In other words, since the displacement of the cylindrical piezoelectric element is in the contraction direction, when a driving load is applied to the actuation terminal,
A tensile force will be applied to the cylindrical piezoelectric element. However, like other ceramics, piezoelectric ceramics have a tensile strength that is a fraction of their compressive strength, which is considered to be a problem in their reliability as actuators.
本発明者等は、かかる問題点を解決すべく鋭意検討を重
ねた結果、特定の構成とした機構により、圧電素子材料
の耐破壊性を向上し得、円筒型圧電素子の特徴である収
縮方向への変位を十分に活かすことができることを見い
出し本発明に到達した。As a result of intensive studies to solve these problems, the present inventors have found that a mechanism with a specific structure can improve the fracture resistance of the piezoelectric element material, and that The present invention was achieved by discovering that the displacement can be fully utilized.
すなわち、本発明の目的は、円筒型圧電素子を用いたア
クチュエー夕を提供することにあり、その目的は、基板
（１）、内外面に電極を有し前記基板上に垂直かつ絶縁
状態で設置された円筒型圧電素子（２）、該円筒型圧電
素子の軸方向の収縮により変位する絶縁状態になされた
作動端子（３）及び前記円筒型圧電素子に対しその軸方
向に圧縮力を付与するバネ（４）よりなることを特徴と
する円筒型圧電アクチュエー夕によって達成される。That is, an object of the present invention is to provide an actuator using a cylindrical piezoelectric element, which has a substrate (1), electrodes on the inner and outer surfaces, and is installed vertically and insulated on the substrate. A compressive force is applied in the axial direction to the cylindrical piezoelectric element (2), an actuating terminal (3) in an insulated state that is displaced by contraction of the cylindrical piezoelectric element in the axial direction, and the cylindrical piezoelectric element. This is achieved by a cylindrical piezoelectric actuator characterized by a spring (4).
以下、本発明を添付図面を用いて詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be explained in detail using the accompanying drawings.
第１図は、本発明のアクチュエー夕の一例を示す一部断
面の説明図、第２図はその変形例を示す同説明、第３図
は他の例を示す同説明図、第４図はその変形例を示す同
説明図である。FIG. 1 is a partially cross-sectional explanatory diagram showing an example of the actuator of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram showing a modification thereof, FIG. 3 is an explanatory diagram showing another example, and FIG. It is the same explanatory view showing the modification.
図中、（１）は基板、（２）は内面および外面に図示し
ていない電極を有する円筒型圧電素子、（３）は作動端
子、（４）はバネである。In the figure, (1) is a substrate, (2) is a cylindrical piezoelectric element having electrodes (not shown) on the inner and outer surfaces, (3) is an operating terminal, and (4) is a spring.
円筒型圧電素子（２）は、ペロブスカイト型の結晶構造
を有するＰ Ｚ Ｔ ： Ｐｂ（Ｚｒ， Ｔｉ）０３系
の圧電セラミックスよりなる。The cylindrical piezoelectric element (2) is made of PZT:Pb(Zr, Ti)03-based piezoelectric ceramic having a perovskite crystal structure.
円筒型圧電素子（３）は、その内面および外面に電極（
図示せず）を有しており、電極としては、特に限定され
ず、例えば、銀ペースト、導電性ぺースト、ニッケル、
銅等の無電解メッキ等によるものが挙げられる。The cylindrical piezoelectric element (3) has electrodes (
(not shown), and the electrodes are not particularly limited, and examples include silver paste, conductive paste, nickel,
Examples include electroless plating of copper or the like.
そして、円筒型圧電素子（３）の寸法関係は、使用用途
により適宜選定されるが、変位量（Ｘ）と円筒長さ（１
）および肉厚（ｔ）、印加電圧（ｖ）との関係は、Ｘ＝
ｄ，ｌ＋（Ｖ／ｔ）ｊ２ （但し、ｄ３１は圧電定数で
ある）で表わされ、従って、円筒長さ（ｊ２）はその大
きさに比例して変位量が犬となるが、通常５〜１５０ｍ
ｍ程度とされ、肉厚（１）は薄いほど変位量の面では有
利であるが、機械的強度の点から０．２〜２０ｍｍが適
当である。The dimensional relationship of the cylindrical piezoelectric element (3) is appropriately selected depending on the intended use, but the displacement amount (X) and the cylinder length (1
), wall thickness (t), and applied voltage (v) are as follows:
It is expressed as d,l+(V/t)j2 (however, d31 is a piezoelectric constant). Therefore, the cylinder length (j2) is proportional to its size and the amount of displacement is small, but it is usually 5 ~150m
The thinner the wall thickness (1) is, the more advantageous it is in terms of displacement, but from the point of view of mechanical strength, 0.2 to 20 mm is appropriate.
そして、円筒半径は大きいほど大きな負荷に耐えられる
が、通常５〜５０ｍｍ程度とされる。The larger the cylinder radius, the greater the load it can withstand, but it is usually about 5 to 50 mm.
先ず、第１図に示す円筒型圧電アクチュエー夕について
説明する。First, the cylindrical piezoelectric actuator shown in FIG. 1 will be explained.
基板（１）はコの字型断面を有している。円筒型圧電素
子（２）は、基板（１）のコの字型内部において該基板
上に垂直に設置されている。基板（１）と圧電素子（２
）とは、該圧電素子に印加する電圧により基板（１）側
に電流が漏洩しないように、絶縁状態になされている。The substrate (1) has a U-shaped cross section. The cylindrical piezoelectric element (2) is installed vertically on the substrate (1) inside the U-shape of the substrate. Substrate (1) and piezoelectric element (2
) is insulated to prevent current from leaking to the substrate (1) side due to the voltage applied to the piezoelectric element.
第１図に示す例においては、基板（１）と円筒型圧電素
子（２）との間に絶縁性支持体（５）を設けて絶縁状態
としてある。絶縁性支持体（５）は、弾性変形により圧
電素子の変位を吸収しない程度の硬度を有するものでな
ければならず、その例としては、アルミナ、ジルコニア
、Ｓｉ３Ｎ＜ 、ＳｉＣ等のセラミックス材料が挙げら
れる。In the example shown in FIG. 1, an insulating support (5) is provided between the substrate (1) and the cylindrical piezoelectric element (2) to provide an insulated state. The insulating support (5) must have a hardness that does not absorb the displacement of the piezoelectric element due to elastic deformation, and examples thereof include ceramic materials such as alumina, zirconia, SiN, and SiC. It will be done.
なお、基板（１）自体を絶縁性支持体（５）と同様の材
料で構成するか、または、内外面の電極を円筒型圧電素
子（２）の下端部を除いて形成するならば、絶縁性支持
体（５）は省略し得る。Note that if the substrate (1) itself is made of the same material as the insulating support (5), or if the electrodes on the inner and outer surfaces are formed except for the lower end of the cylindrical piezoelectric element (2), the insulation The sexual support (5) may be omitted.
作動端子（３）は、円筒型圧電素子（２）の上部に設け
られており、該円筒型圧電素子の軸方向の収縮により変
位する。作動端子（３）も、円筒型圧電素子（２）に対
しては絶縁状態になされており、円筒型圧電素子（２）
と作動端子（５）との間には絶縁性支持体（６）が設け
られている。The actuation terminal (3) is provided on the top of the cylindrical piezoelectric element (2), and is displaced by contraction of the cylindrical piezoelectric element in the axial direction. The actuation terminal (3) is also insulated from the cylindrical piezoelectric element (2), and the cylindrical piezoelectric element (2)
An insulating support body (6) is provided between the actuation terminal (5) and the actuation terminal (5).
絶縁性支持体（６）は、作動端子（３）自体を絶縁性材
料で構成するか、または、内外面の電極を円筒型圧電素
子（２）の上端部を除いて形成することにより省略し得
る。The insulating support (6) can be omitted by constructing the actuation terminal (3) itself from an insulating material, or by forming electrodes on the inner and outer surfaces of the cylindrical piezoelectric element (2) except for the upper end. obtain.
本発明の円筒型圧電アクチュエー夕は、−ヒ記のように
構成されるが、円筒型圧電素子（２）に対しその軸方向
に圧縮力を付与することを特徴としている。The cylindrical piezoelectric actuator of the present invention is constructed as shown in (1) above, and is characterized by applying a compressive force to the cylindrical piezoelectric element (2) in its axial direction.
上記圧縮力は、作動端子（３）と基板（１）の上部下面
の間に、自由長さより短く、従って、収縮状態になされ
たバネ（４）を配置し、該バネの伸長せんとする作用に
より付与される。バネ（４）の力学的定数（バネ定数等
）は、駆動すべき負荷とその移動速度などにより適宜選
択されるか、負荷を駆動するのに十分な力を発生できる
ことが必要である。The above compressive force is generated by arranging a spring (4) whose length is shorter than its free length and is therefore in a contracted state between the operating terminal (3) and the upper and lower surfaces of the substrate (1), and acts to cause the spring to expand. Granted by. The mechanical constant (spring constant, etc.) of the spring (4) must be appropriately selected depending on the load to be driven and its moving speed, or it must be able to generate sufficient force to drive the load.
円筒型圧電素子（２）への給電は、その内面および外面
に設けられた電極に接続された電極リード線（７）によ
り行われる。Power is supplied to the cylindrical piezoelectric element (2) through an electrode lead wire (7) connected to electrodes provided on its inner and outer surfaces.
そして、電極リード線（７）により、円筒型圧電素子（
２）に電圧が印加されると該圧電素子は軸方向に収縮し
、作動端子（３）は、バネ（４）により押圧されて下方
に変位する。Then, the cylindrical piezoelectric element (
When a voltage is applied to 2), the piezoelectric element contracts in the axial direction, and the operating terminal (3) is pushed by the spring (4) and is displaced downward.
第２図に示す圧電アクチュエータは、第１図に示す圧電
アクチュエータの変形例であり、円筒型圧電素子（２）
に対する圧縮力が、該圧電素子（２）の内側の絶縁性支
持体（５），（６）間に、自由長さより長い、従って、
伸張状態になされたバネ（４）を配置し、該バネの収縮
せんとする作用により付与されるようにしたものである
。第２図に示す圧電アクチュエー夕では、バネ（４）の
両端部は絶縁性支持体（５）， （６）にそれぞれ固
定されているが、いずれの絶縁性支持体も省略し得るこ
とは、第１図に示した圧電アクチュエー夕の場合と同様
であり、その場合、バネ（４）の両端部は、絶縁性の基
板（１）及び作動端子（３）にそれぞれ固定される。The piezoelectric actuator shown in FIG. 2 is a modification of the piezoelectric actuator shown in FIG.
A compressive force is applied between the inner insulating supports (5), (6) of the piezoelectric element (2), which is longer than the free length;
A spring (4) in a stretched state is arranged, and the force is applied by the action of the spring to contract. In the piezoelectric actuator shown in FIG. 2, both ends of the spring (4) are fixed to insulating supports (5) and (6), but both insulating supports can be omitted. This is similar to the case of the piezoelectric actuator shown in FIG. 1, in which both ends of the spring (4) are fixed to the insulating substrate (1) and the actuating terminal (3), respectively.
第３図に示す圧電アクチュエー夕は、本発明の他の例で
ある。The piezoelectric actuator shown in FIG. 3 is another example of the present invention.
基板（１）の上部には絶縁性支持体（５）を介して円筒
型圧電素子（２）が垂直に設置され、該円筒型圧電素子
の上部には絶縁性支持体（６）が設けられている。そし
て、基板（１）及び絶縁性支持体（５）には、円筒型圧
電素子（２）の内部に貫通する孔（８）が設けられてお
り、逆Ｔ字型の作動端子（３）が挿入され、それの挿入
端部は絶縁性支持体（６）に固定されている。A cylindrical piezoelectric element (2) is vertically installed on the top of the substrate (1) via an insulating support (5), and an insulating support (6) is provided on the top of the cylindrical piezoelectric element. ing. The substrate (1) and the insulating support (5) are provided with a hole (8) that penetrates into the inside of the cylindrical piezoelectric element (2), and an inverted T-shaped operating terminal (3) is provided. inserted, and its insertion end is fixed to an insulating support (6).
円筒型圧電素子（２）に対する圧縮力は、該圧電素子の
内側の絶縁性支持体（５），（６）間に、自由長さより
長い、従って、伸長状態になされたバネ（４）を配置し
、該バネの収縮せんとする作用により付与される。なお
、バネ（４）の両端部は、絶縁性支持体（５）， （
６）にそれぞれ固定されている。The compressive force on the cylindrical piezoelectric element (2) is applied by placing a spring (4), which is longer than its free length and is therefore in an extended state, between the insulating supports (5), (6) inside the piezoelectric element. This is provided by the action of the spring to contract. Note that both ends of the spring (4) are connected to an insulating support (5), (
6), respectively.
そして、電圧が印加されていない状態では、作動端子（
３）はＡの位置番，こあり、電圧が印加されると円筒型
圧電素子（２）が軸方向に収縮し、バネ（４）により、
Ｂの位置に変位する。And when no voltage is applied, the operating terminal (
3) is the position number of A. When voltage is applied, the cylindrical piezoelectric element (2) contracts in the axial direction, and the spring (4) causes the
Displaced to position B.
絶縁性支持体（５）は、高硬度材料でなければならず、
また、基板（１）自体を絶縁性支持体（５）と同様の材
料で構成するか、または、内外面の電極を円筒型圧電素
子（２）の下端部を除い９
て形成するならば、絶縁性支持体（５）を省略し得る点
等は、第１図に示した円筒型圧電アクチュエー夕の場合
と同じである。The insulating support (5) must be made of a high hardness material,
Furthermore, if the substrate (1) itself is made of the same material as the insulating support (5), or if the electrodes on the inner and outer surfaces are formed except for the lower end of the cylindrical piezoelectric element (2), The point that the insulating support (5) can be omitted is the same as in the case of the cylindrical piezoelectric actuator shown in FIG.
第４図に示す圧電アクチュエータは、第３図に示す圧電
アクチュエータの変形例であり、円筒型圧電素子（２）
に対する圧縮力が、基板（１）と逆Ｔ字型作動端子（３
）との間に、自然長より短い、従って、圧縮状態になさ
れたバネ（４）を配置し、該バネの伸長せんとする作用
により付与されるようにしたものである。それ以外の点
は、第３図に示した圧電アクチュエー夕と同じであり、
これと同様に作動する。The piezoelectric actuator shown in FIG. 4 is a modification of the piezoelectric actuator shown in FIG. 3, and includes a cylindrical piezoelectric element (2).
The compressive force against the substrate (1) and the inverted T-shaped actuating terminal (3
), a spring (4) whose length is shorter than its natural length, and therefore is in a compressed state, is arranged, and the tension is applied by the action of the spring to expand. Other points are the same as the piezoelectric actuator shown in Figure 3,
It works similarly.
以上説明した本発明の円筒型圧電アクチュエータには、
必要に応じて変位拡大機構を組込むこともできる。変位
拡大機構の例としては、押圧式、１段レバー式、２段レ
バー式、これらの複合式、座屈レバー式などが使用でき
る。The cylindrical piezoelectric actuator of the present invention described above includes:
A displacement magnification mechanism can also be incorporated if necessary. Examples of the displacement magnifying mechanism that can be used include a pressing type, a one-stage lever type, a two-stage lever type, a combination thereof, and a buckling lever type.
バネ（４）により円筒型圧電素子（２）に付与される軸
方向の圧縮力は、作動端子（３）にかか１０
る引張応力を相殺する。The axial compressive force exerted by the spring (4) on the cylindrical piezoelectric element (2) cancels the tensile stress exerted on the actuation terminal (3).
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本
発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定さ
れるものではない。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof.
実施例１ 第１図に示す円筒型圧電アクチュエー夕を構成した。Example 1 A cylindrical piezoelectric actuator shown in FIG. 1 was constructed.
円筒型圧電素子（２）としては、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔ＋）０
３を基本組成とする圧電セラミックス（ｄ３１＝５００
）の内外面に無電解Ｎｉメッキによる電極を形成したも
のを使用した。寸法は、外径２０ｍｍ、内径１８ｍｍ，
長さ３０ｍｍである。As the cylindrical piezoelectric element (2), Pb(Zr,T+)0
Piezoelectric ceramics with a basic composition of 3 (d31=500
) with electrodes formed on the inner and outer surfaces by electroless Ni plating. Dimensions are outer diameter 20mm, inner diameter 18mm,
The length is 30mm.
作動端子（３）に５０ｋｇｆの荷重をかけた状態で電極
間に１ ０ ０ ０Ｖの電圧を印加し、作動端子の変位
を測定したところ１５ミクロンの変位が観察された。When a voltage of 1000 V was applied between the electrodes with a load of 50 kgf applied to the operating terminal (3) and the displacement of the operating terminal was measured, a displacement of 15 microns was observed.
実施例２ 第３図に示す円筒型圧電アクチュエー夕を構成した。Example 2 A cylindrical piezoelectric actuator shown in FIG. 3 was constructed.
１１
円筒型圧電素子としては、実施例１と同一のものを使用
した。11 The same cylindrical piezoelectric element as in Example 1 was used.
実施例１と同一条件で作動端子（３）の変位を測定した
ところ、１５ミクロンの変位か観察された。When the displacement of the operating terminal (3) was measured under the same conditions as in Example 1, a displacement of 15 microns was observed.
本発明は次のような効果をもたらす。 The present invention brings about the following effects.
■）円筒型圧電アクチュエー夕を用いているので、他の
方式に比べ素子の構造が簡単であり信頼性か高い。■) Since a cylindrical piezoelectric actuator is used, the element structure is simpler and more reliable than other methods.
２）圧電セラミックスには常に圧縮ツノかかかつており
材料の耐破壊性が著しく向上する。2) Piezoelectric ceramics always have compression horns, which significantly improves the material's fracture resistance.
よって、本発明によるアクチュエー夕は磁気ヘッドのテ
ープ及びディスクに対するトラッキング調節、光ヘッド
のフォーカス機構、テイスクに対するトラッキング調節
、ピックアップ機構、ワイヤドットプリンタのワイヤ駆
動素子、リレー、スイッチなどの接点開閉用駆動素子、
油、空圧サーボ弁のノズルフラッパー駆動素子、自動車
間連では燃料噴射バルブ、サスペンション制御機構、ロ
１２
ポット、精密加工分野においては精密位置きめ、同送り
機構、リニアーモータなどに使用できる。Therefore, the actuator according to the present invention can be used for tracking adjustment of a magnetic head on a tape or disk, a focus mechanism of an optical head, a tracking adjustment for a take, a pickup mechanism, a wire drive element of a wire dot printer, a drive element for contact opening/closing of a relay, a switch, etc. ,
It can be used for nozzle flapper driving elements of oil and pneumatic servo valves, fuel injection valves, suspension control mechanisms, rotary pots in automobiles, and precision positioning, feed mechanisms, linear motors, etc. in the precision machining field.
第１図は、本発明のアクチュエー夕の一例を示す一部断
面の説明図、第２図はその変形例を示す同説明、第３図
は他の例を示す同説明図、第４図はその変形例を示す同
説明図である。
図中、（１）は基板、（２）は内面および外面に図示し
ていない電極を有する円筒型圧電素子、（３）は作動端
子、（４）はバネである。FIG. 1 is a partially cross-sectional explanatory diagram showing an example of the actuator of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram showing a modification thereof, FIG. 3 is an explanatory diagram showing another example, and FIG. It is the same explanatory view showing the modification. In the figure, (1) is a substrate, (2) is a cylindrical piezoelectric element having electrodes (not shown) on the inner and outer surfaces, (3) is an operating terminal, and (4) is a spring.
Claims (1)
直かつ絶縁状態で設置された円筒型圧電素子（２）、該
円筒型圧電素子の軸方向の収縮により変位する絶縁状態
になされた作動端子（３）及び前記円筒型圧電素子に対
しその軸方向に圧縮力を付与するバネ（４）よりなるこ
とを特徴とする円筒型圧電アクチュエータ。(1) A substrate (1), a cylindrical piezoelectric element (2) having electrodes on the inner and outer surfaces and installed vertically and insulated on the substrate, an insulated state that is displaced by contraction in the axial direction of the cylindrical piezoelectric element A cylindrical piezoelectric actuator comprising an actuating terminal (3) and a spring (4) that applies compressive force to the cylindrical piezoelectric element in its axial direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014086A JPH03218274A (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Cylindrical piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014086A JPH03218274A (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Cylindrical piezoelectric actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03218274A true JPH03218274A (en) | 1991-09-25 |
Family
ID=11851298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014086A Pending JPH03218274A (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Cylindrical piezoelectric actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03218274A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5479064A (en) * | 1993-02-28 | 1995-12-26 | Nec Corporation | Piezoelectric actuator with a displacement enlarging feature |
| JP2000513919A (en) * | 1996-10-21 | 2000-10-17 | ダイムラークライスラー・アクチエンゲゼルシヤフト | Device to reduce fluctuation of contact force between current collector and overhead wire |
| JP2011511619A (en) * | 2008-02-06 | 2011-04-07 | インノワッテク リミテッド | Energy harvesting |
| JP2013031881A (en) * | 2012-11-15 | 2013-02-14 | Wako Seiki:Kk | Press device |
| JP2015171225A (en) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | 国立大学法人信州大学 | Actuator device and unit of the same |
-
1990
- 1990-01-24 JP JP2014086A patent/JPH03218274A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5479064A (en) * | 1993-02-28 | 1995-12-26 | Nec Corporation | Piezoelectric actuator with a displacement enlarging feature |
| JP2000513919A (en) * | 1996-10-21 | 2000-10-17 | ダイムラークライスラー・アクチエンゲゼルシヤフト | Device to reduce fluctuation of contact force between current collector and overhead wire |
| JP2011511619A (en) * | 2008-02-06 | 2011-04-07 | インノワッテク リミテッド | Energy harvesting |
| JP2013031881A (en) * | 2012-11-15 | 2013-02-14 | Wako Seiki:Kk | Press device |
| JP2015171225A (en) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | 国立大学法人信州大学 | Actuator device and unit of the same |
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