JPH031963U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH031963U JPH031963U JP6342289U JP6342289U JPH031963U JP H031963 U JPH031963 U JP H031963U JP 6342289 U JP6342289 U JP 6342289U JP 6342289 U JP6342289 U JP 6342289U JP H031963 U JPH031963 U JP H031963U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- power supply
- supply rod
- earth shield
- cart
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による移動式成膜装
置の逆スパツタリング機構部及びＲＦ導入機構を
示す図、第２図は前記第１図に示したＲＦ導入機
構の駆動部分を示す図、第３Ａ図及び第３Ｂ図は
従来の装置における逆スパツタリング機構部を示
す図である。 １４……基板カート、２０……基板積載部、２
５……アースシールド枠体、２１……ＲＦ端子、
２２……アース接続板、２７……電力供給ロツド
、２８……リフト、２９……アースシールド円筒
系、３０……フランジ、３７……絶縁板、４４…
…スプリング、４９……シリンダ。
置の逆スパツタリング機構部及びＲＦ導入機構を
示す図、第２図は前記第１図に示したＲＦ導入機
構の駆動部分を示す図、第３Ａ図及び第３Ｂ図は
従来の装置における逆スパツタリング機構部を示
す図である。 １４……基板カート、２０……基板積載部、２
５……アースシールド枠体、２１……ＲＦ端子、
２２……アース接続板、２７……電力供給ロツド
、２８……リフト、２９……アースシールド円筒
系、３０……フランジ、３７……絶縁板、４４…
…スプリング、４９……シリンダ。
Claims (1)
- 基板積載部及びこの基板積載部と所定の放電防
止スペースを保つて設けられたアースシールド枠
体を有する基板カートと、昇降自在に設けられ前
記基板カートの基板積載部に接触して基板に放電
用電力を供給する電力供給ロツドと、この電力供
給ロツドとともに昇降自在に設けられ前記基板カ
ートのアースシールド枠体に接触するアースシー
ルド系と、前記電力供給ロツドとアースシールド
系とを絶縁しながら弾性的に連結する緩衝連結手
段と、前記電力供給ロツド及びアースシールド系
を昇降駆動する駆動手段とを備えた移動式成膜装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6342289U JP2558316Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 移動式成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6342289U JP2558316Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 移動式成膜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031963U true JPH031963U (ja) | 1991-01-10 |
| JP2558316Y2 JP2558316Y2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=31593457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6342289U Expired - Lifetime JP2558316Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 移動式成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2558316Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006183456A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-07-13 | Kazuhiro Sano | 洪水、高潮等の浸水から財産を守る浸水防御群パーツ及び工法。 |
| JP2011001818A (ja) * | 2004-12-02 | 2011-01-06 | Kazuhiro Sano | 洪水、高潮等の浸水から財産を守る浸水防御群パーツ及び工法。 |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP6342289U patent/JP2558316Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006183456A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-07-13 | Kazuhiro Sano | 洪水、高潮等の浸水から財産を守る浸水防御群パーツ及び工法。 |
| JP2011001818A (ja) * | 2004-12-02 | 2011-01-06 | Kazuhiro Sano | 洪水、高潮等の浸水から財産を守る浸水防御群パーツ及び工法。 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2558316Y2 (ja) | 1997-12-24 |