JPH03196004A - Waveguide type optical device - Google Patents
Waveguide type optical deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、導波路型光デバイスに関する。より詳細には
、本発明は、平面光導波路を含む導波路型光デバイスで
あって、特に光ファイバとの容易且つ低損失な結合が可
能な新規なデバイスの構成に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to waveguide type optical devices. More specifically, the present invention relates to a waveguide-type optical device including a planar optical waveguide, and particularly to a novel device configuration that allows easy and low-loss coupling with an optical fiber.
従来の技術
各種の光制御素子、光受動素子等を構成するために平面
光導波路を使用することがある。このような場合、平面
光導波路は、光導波媒体として最も普及している光ファ
イバと結合して使用に供される場合が多い。BACKGROUND OF THE INVENTION Planar optical waveguides are sometimes used to construct various optical control elements, optical passive elements, and the like. In such cases, the planar optical waveguide is often used in conjunction with an optical fiber, which is the most popular optical waveguide medium.
第3図(a)は、上述のような光ファイバと平面光導波
路との結合部を拡大して示す図である。FIG. 3(a) is an enlarged view showing the coupling portion between the optical fiber and the planar optical waveguide as described above.
同図に示すように、基体31上に形成された平面光導波
路32と光ファイバ33とは、一般に樹脂系の接着材3
4によって相互に結合されるが、このとき、結合損失を
抑制するためには互いの導波光の光軸を一致させる必要
がある。従って、実際には、各光フアイバ33毎に光軸
調整を行い、それぞれの光ファイバ33を直接平面光導
波路32に結合することになる。このような煩雑な方法
は、実験レベルあるいは結合箇所が少数であるような場
合にしか適用できない。As shown in the figure, a planar optical waveguide 32 and an optical fiber 33 formed on a base 31 are generally bonded to a resin-based adhesive 3.
4, but at this time, in order to suppress coupling loss, it is necessary to align the optical axes of the guided light beams. Therefore, in reality, the optical axis is adjusted for each optical fiber 33 and each optical fiber 33 is directly coupled to the planar optical waveguide 32. Such a complicated method can only be applied at an experimental level or in cases where there are a small number of bonding points.
第3図(b)は、複数の光ファイバを平面光導波路に結
合する場合に使用するコネクタ部材を示す図である。FIG. 3(b) is a diagram showing a connector member used when coupling a plurality of optical fibers to a planar optical waveguide.
即ち、複数の光ファイバ33を、基体310表面に形成
された複数の平面光導波路32に結合する際には、光フ
アイバ1本毎に光軸調整を行うことはあまりに煩雑であ
る。そこで、第3図(5)に示すように、基体31上の
平面光導波路32の間隔と等しい間隔で光ファイバ33
を保持するコネクタ部材35を使用し、複数の光ファイ
バ33を一括して取り扱うことができる。That is, when coupling a plurality of optical fibers 33 to a plurality of planar optical waveguides 32 formed on the surface of the base 310, it is too complicated to adjust the optical axis of each optical fiber. Therefore, as shown in FIG. 3(5), optical fibers 33 are arranged at intervals equal to the intervals of the planar optical waveguides 32 on the base 31.
By using the connector member 35 that holds the optical fibers 33, it is possible to handle a plurality of optical fibers 33 at once.
しかしながら、第3図(b)に示すような方法では、依
然として、光ファイバの光軸方向に直角であり且つ互い
に直角な2方向の位置と、相互の光軸の角度とについて
、複数の光ファイバ33と平面光導波路32との調整を
行う必要がある。そこで、昭和63年特許願第3107
39号として、結合時の光軸調整が容易な結合補助装置
を含む光デバイスの構成が提案されている。However, in the method shown in FIG. 3(b), it is still possible to connect a plurality of optical fibers at positions in two directions that are perpendicular to the optical axis direction of the optical fibers and mutually perpendicular to each other, and with respect to the mutual angles of the optical axes. 33 and the planar optical waveguide 32 must be adjusted. Therefore, Patent Application No. 3107 of 1988
No. 39 proposes a configuration of an optical device including a coupling auxiliary device that facilitates optical axis adjustment during coupling.
第4図(a)は上述のような結合補助装置の構成部材を
示す図である。FIG. 4(a) is a diagram showing the constituent members of the above-mentioned coupling auxiliary device.
同図に示すように、この補助装置は、中央部に形成され
たコネクタ搭載用の溝41aと後述するホルダ42を固
定するためのボルト43に対応した穴41bとを備えた
搭載面を有する基台41と、基台41の搭載面上に光導
波路基体44を固定するホルダ42と、光ファイバ46
の端部を保持するコネクタ部材45とから主に構成され
ている。As shown in the figure, this auxiliary device is a base having a mounting surface with a groove 41a formed in the center for mounting a connector and a hole 41b corresponding to a bolt 43 for fixing a holder 42, which will be described later. A base 41, a holder 42 for fixing the optical waveguide base 44 on the mounting surface of the base 41, and an optical fiber 46.
It is mainly composed of a connector member 45 that holds the end portion of the connector member 45.
ここで、コネクタ45は、上側部材45aおよび下側部
材45bから構成されており、この1対の部材の間に光
ファイバ46の端部を挟んで保持するように構成されて
いる。より詳細には、上側部材45aの下面と下側部材
45bの上面とにはそれぞれV字型断面の溝が形成され
ており、互いに対向するV字型断面の溝によって画成さ
れる管内に光ファイバ46が挟持されている。V字型断
面の溝は、基体44上の1対の平面光導波路44aと等
しい間隔で、且つ、光ファイバ46の光軸が上側部材4
5aの溝12が形成されている面上に位置するように形
成されている。従って、上側部材45aの溝内に光ファ
イバ46を収容した後、下側部材45bを上側部材45
aに固定することによって、下側部材45b゛との組立
精度に関係なく、上側部材45aと光ファイバ46との
位置関係が決定される。尚、下側部材45bの幅は基台
41の溝の幅と合致しているか、あるいはより狭くなっ
ており、一方、上側部材45aの幅は下側部材45bの
幅より広く形成されている。Here, the connector 45 is composed of an upper member 45a and a lower member 45b, and is configured to sandwich and hold the end of the optical fiber 46 between the pair of members. More specifically, grooves each having a V-shaped cross section are formed in the lower surface of the upper member 45a and the upper surface of the lower member 45b, and light is emitted into the tube defined by the grooves having the V-shaped cross section facing each other. A fiber 46 is clamped. The grooves having a V-shaped cross section are arranged at equal intervals to the pair of planar optical waveguides 44a on the base 44, and the optical axis of the optical fiber 46 is located at the upper member 4.
It is formed so as to be located on the surface where the groove 12 of 5a is formed. Therefore, after housing the optical fiber 46 in the groove of the upper member 45a, the lower member 45b is inserted into the upper member 45.
By fixing the upper member 45a to the position a, the positional relationship between the upper member 45a and the optical fiber 46 is determined regardless of the accuracy of assembly with the lower member 45b. The width of the lower member 45b matches or is narrower than the width of the groove of the base 41, while the width of the upper member 45a is wider than the width of the lower member 45b.
第4図(b)は、上述のような部材を使用して、光ファ
イバ46と平面光導波路44aとを結合した状態を示す
図である。FIG. 4(b) is a diagram showing a state in which the optical fiber 46 and the planar optical waveguide 44a are coupled using the above-mentioned members.
同図に示すように、先導波路基体44は、平面光導波路
44aが形成されている面を基台41の表面に接するよ
うに基台41上に搭載され、ホルダ42と基台41とを
ボルト43により締結したり、接着剤を使用することに
より固定される。従って、平面光導波路44aは基台4
1の上面に直接当接して固定される。As shown in the figure, the guiding waveguide base 44 is mounted on the base 41 so that the surface on which the planar optical waveguide 44a is formed is in contact with the surface of the base 41, and the holder 42 and the base 41 are connected by bolts. 43 or by using an adhesive. Therefore, the planar optical waveguide 44a is connected to the base 4.
1 and is fixed in direct contact with the top surface of the device.
一方、コネクタ部材45は、溝41aと同じ幅の下側部
材45bが溝41aの内部に収容され、これよりも幅の
広い上側部材45aは、基台41の上面に当接する。前
述のように、光ファイバ46を上側部材45a側から固
定することによって、上側部材45aと光ファイバ46
との位置関係は固定されている。上側部材45aと基台
41とは、互いに直接当接するので、光ファイバ46と
基台41の上面との位置関係も、これによって固定され
る。On the other hand, in the connector member 45, a lower member 45b having the same width as the groove 41a is housed inside the groove 41a, and an upper member 45a wider than this is in contact with the upper surface of the base 41. As described above, by fixing the optical fiber 46 from the upper member 45a side, the upper member 45a and the optical fiber 46 are connected.
The positional relationship with is fixed. Since the upper member 45a and the base 41 are in direct contact with each other, the positional relationship between the optical fiber 46 and the upper surface of the base 41 is also fixed thereby.
このように、第4図(ハ)に示した補助部材を使用する
ことによって、光ファイバ46の光軸と、平面光導波路
44aとは、基台41の上面を基準にして互いに固定さ
れる。また、コネクタ45の下側部材45bの幅は、基
台41の溝41aと一致しているので、光ファイバ46
の水平方向の位置もこれによって固定されている。In this way, by using the auxiliary member shown in FIG. 4(c), the optical axis of the optical fiber 46 and the planar optical waveguide 44a are fixed to each other with the upper surface of the base 41 as a reference. Further, since the width of the lower member 45b of the connector 45 matches the groove 41a of the base 41, the width of the lower member 45b of the connector 45 matches the groove 41a of the base 41, so that
The horizontal position of is also fixed by this.
発明が解決しようとする課題
上述のように、平面光導波路と光ファイバとの上下方向
の光軸合せは、平面ホルダーに両者を固着することによ
り行われる。Problems to be Solved by the Invention As described above, vertical alignment of the optical axes of the planar optical waveguide and the optical fiber is performed by fixing them to a planar holder.
第5図(a)は、平面光導波路と光ファイバとの接続に
おける軸ずれ量とそれに起因する損失との関係を示すグ
ラフである。尚、第5図(a)に示すグラフにおける軸
ずれ量とは、第5図(b)に示すように、平面光導波路
の光軸に対して生じた光ファイバの光軸の鉛直方向の変
位である。FIG. 5(a) is a graph showing the relationship between the amount of axial misalignment in the connection between the planar optical waveguide and the optical fiber and the loss caused by it. Note that the amount of axis deviation in the graph shown in FIG. 5(a) refers to the vertical displacement of the optical axis of the optical fiber with respect to the optical axis of the planar optical waveguide, as shown in FIG. 5(b). It is.
同図に示すように、平面光導波路と光ファイバとの軸ズ
レによる結合損失を1dB以内に抑えるためには、軸ズ
レ量を2μm以内にする必要がある。As shown in the figure, in order to suppress the coupling loss due to axial misalignment between the planar optical waveguide and the optical fiber to within 1 dB, the amount of axial misalignment needs to be within 2 μm.
従って、平面ホルダーの表面精度は平坦度2μm以内で
ある必要がある。Therefore, the surface accuracy of the flat holder needs to be within 2 μm of flatness.
しかしながら、実際には、2μm以下の平坦度というの
は実現が難しく、前述のような従来の導波路型光デバイ
スを使用した場合、軸ズレに起因する結合損失のばらつ
きが大きく、低損失な結合を実現している製品の歩留り
は極めて低い。However, in reality, it is difficult to achieve a flatness of 2 μm or less, and when using the conventional waveguide optical device described above, there is a large variation in coupling loss due to axis misalignment, and it is difficult to achieve a flatness of 2 μm or less. The yield of products that achieve this is extremely low.
そこで、本発明は、上記従来技術の問題点を解決し、平
面光導波路と光ファイバとの結合が容易であり、且つ、
両者の結合損失を十分に低くすることができる新規な導
波路型光デバイスを提供することをその目的としている
。Therefore, the present invention solves the problems of the prior art described above, allows easy coupling of a planar optical waveguide and an optical fiber, and
The purpose of this invention is to provide a novel waveguide type optical device that can sufficiently reduce the coupling loss between the two.
課題を解決するための手段
即ち、本発明に従うと、端面が同一平面上に一列に配列
されるように構成された複数の平面光導波路を含む基体
を搭載し、複数の光ファイバの端部を該平面光導波路と
同じ間隔で保持するコネクタ部材を、該光ファイバと該
平面光導波路とが光学的に結合されるように支持し且つ
案内する形状を具備する基台を備えた導波路型光デバイ
スであって、少なくとも該基体と該コネクタ部材とを支
持する該基台の表面が、平坦度が±IAtm以内のシリ
コンあるいはセラミクスにより形成されていることを特
徴とした導波路型光デバイスが提供される。According to the present invention, a base body including a plurality of planar optical waveguides whose end faces are arranged in a row on the same plane is mounted, and the ends of a plurality of optical fibers are connected to each other. A waveguide-type optical waveguide comprising a base having a shape to support and guide a connector member held at the same interval as the planar optical waveguide so that the optical fiber and the planar optical waveguide are optically coupled. Provided is a waveguide type optical device, wherein at least a surface of the base supporting the base and the connector member is formed of silicon or ceramics with a flatness within ±IAtm. be done.
作用
前述のような導波路型光デバイスにおいてコネクタ部材
を支持する基台は、従来、ステンレス等の金属によって
作製されていた。しかしながら、金属材料を使用して基
台を作製した場合、加工時の表面ダレ等により、2μm
以下の平滑度を実現することは極めて困難である。そこ
で、種々の材料により基台を作製して平坦度を比較した
ところ、硬質セラミクスまたはシリコンウェハを用いた
場合に2μm以下の平坦度を実現し得ることが見出され
た。また、これらの材料により形成された基台に対して
取付は穴等の加工を行なうと平坦度が悪化すること、逆
に、寸法が小さいほど平坦度が向上すること等が見出さ
れた。Function: In the waveguide type optical device as described above, the base supporting the connector member has conventionally been made of metal such as stainless steel. However, when the base is made using metal materials, due to surface sagging during processing, etc.
It is extremely difficult to achieve the following smoothness. Therefore, when bases were made from various materials and the flatness was compared, it was found that a flatness of 2 μm or less can be achieved when hard ceramics or silicon wafers are used. Furthermore, it has been found that when mounting holes or the like are formed on a base made of these materials, the flatness deteriorates, and conversely, the flatness improves as the dimensions are smaller.
そこで、本発明の好ましい態様によれば、基台のうち、
特に、平面光導波路を含む基板と光ファイバを保持する
コネクタとを直接支持する基台部分のみをシリコンウェ
ハまたは硬質セラミクス板により形成する。また、シリ
コンウェハまたハ硬質セラミクス板により形成された支
持部材の加工は最小限に止め、取り付は穴等は、別途加
工した金属製の支持枠に形成し、この支持枠と支持部材
を一体として基台として使用する。ここで、支持部材の
表面の平坦度は2μm(±1μm)以内とし、支持枠の
内部に支持部材を嵌入することにより両者を一体とする
ことができる。Therefore, according to a preferred embodiment of the present invention, among the bases,
In particular, only the base portion that directly supports the substrate including the planar optical waveguide and the connector holding the optical fiber is formed from a silicon wafer or a hard ceramic plate. In addition, the processing of the support member made of silicon wafer or hard ceramic plate is kept to a minimum, and the mounting holes are formed in a separately processed metal support frame, and the support frame and support member are integrated. Use it as a base. Here, the flatness of the surface of the support member is within 2 μm (±1 μm), and by fitting the support member into the support frame, both can be integrated.
以上のような支持面の平坦な基台を使用すると、コネク
タ部材をこの基台上で滑動させることにより、コネクタ
部材に保持された光ファイバの光軸を基台に垂直な方向
に変移させることなく、基台に平行な方向の軸合わせを
行うことができる。従って、本発明に係る導波路型光デ
バイスでは、精密な軸合せを容易に行うことができる。When a base with a flat support surface as described above is used, by sliding the connector member on this base, the optical axis of the optical fiber held by the connector member can be displaced in a direction perpendicular to the base. It is possible to perform axis alignment in the direction parallel to the base. Therefore, in the waveguide type optical device according to the present invention, precise axis alignment can be easily performed.
尚、この導波路型光デバイスにおいて、光ファイバの端
部を保持して位置決めするコネクタ部材は、Si等の材
料により構成し、平滑に仕上げた平面に光ファイバを収
容するための溝を形成した構成とすることができる。こ
こで、光ファイバを収容する溝は、例えば7字型の断面
であり、光ファイバの端部が、結合すべき平面光導波路
と同じ所定の間隔で、同一平面上に配置されるように形
成される。また、コネクタ部材の上側部材の表面と同じ
平面上に各光ファイバの光軸が配置されるように構成さ
れる。In this waveguide type optical device, the connector member for holding and positioning the end of the optical fiber is made of a material such as Si, and has a groove formed in a smooth surface to accommodate the optical fiber. It can be configured as follows. Here, the groove for accommodating the optical fiber has, for example, a figure 7-shaped cross section, and is formed so that the end of the optical fiber is arranged on the same plane at the same predetermined interval as the planar optical waveguide to be coupled. be done. Further, the optical axis of each optical fiber is arranged on the same plane as the surface of the upper member of the connector member.
以下、図面を参照して本発明をより具体的に説明するが
、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎず、本発明の技
術的範囲を何ら限定するものではない。Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings, but the following disclosure is only one embodiment of the present invention, and does not limit the technical scope of the present invention in any way.
実施例
第1図は、本発明に係る導波路型光デバイスにおいて使
用される基台の構成例を示す図である。Embodiment FIG. 1 is a diagram showing an example of the configuration of a base used in a waveguide type optical device according to the present invention.
尚、この基台は、第4図に示した従来の導波路型光デバ
イスにふける基台41に相当する部材である。Incidentally, this base is a member corresponding to the base 41 of the conventional waveguide type optical device shown in FIG.
同図に示すように、この基台1は、支持部材2と支持枠
3とから構成されている。支持部材2は、方形の板状の
部材であり、その対向する1対の辺から中央に向かって
、後述するコネクタ部材の一部を収容するための幅広の
溝2aを備えている。As shown in the figure, this base 1 is composed of a support member 2 and a support frame 3. The support member 2 is a rectangular plate-like member, and is provided with a wide groove 2a extending from a pair of opposing sides toward the center for accommodating a portion of a connector member to be described later.
ここで、支持部材2は、硬質セラミクス製であり、表面
の平滑度が2μm(±1μm)以下になるように仕上げ
られている。また、支持枠3は、金属製であり、上述の
支持部材2を収容するための凹陥部3aをその中央に備
えており、更に、この凹陥部3aの両側部に、やはり後
述するホルダを固定するためのボルト穴3bを備えてい
る。Here, the support member 2 is made of hard ceramics, and is finished to have a surface smoothness of 2 μm (±1 μm) or less. The support frame 3 is made of metal and has a recess 3a in the center for accommodating the support member 2 described above, and furthermore, holders, which will also be described later, are fixed to both sides of the recess 3a. A bolt hole 3b is provided for this purpose.
第2図は、上述のように構成された基台を使用した導波
路型光デバイスの具体的な構成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a specific example of the configuration of a waveguide type optical device using the base configured as described above.
ここで結合の対象となるのは、図中では下面に1対の平
面光導波路を備えた基体24と、各々端部をコネクタ部
材25に保持されたそれぞれ1対の光ファイバ26であ
る。コネクタ部材25は、上側部材25aと下側部材2
5bとを接着して一体とすることによって構成されてお
り、各光ファイバ26は、上側部材25aと下側部材2
5bとの間に挟持されるように構成されている。また、
上側部材25aおよび下側部材25bには、互いに対向
する面上にそれぞれV字型の断面形状を有する溝が形成
されてふり、このV字型の溝に一部を収容された各光フ
ァイバ26の光軸が、上側部材25aの下面と同一面上
に配置されるように構成されている。In the figure, the objects to be coupled are a base body 24 having a pair of planar optical waveguides on its lower surface, and a pair of optical fibers 26 each having an end portion held by a connector member 25. The connector member 25 includes an upper member 25a and a lower member 2.
5b, and each optical fiber 26 is constructed by bonding and integrating the upper member 25a and the lower member 25b.
5b. Also,
The upper member 25a and the lower member 25b have grooves each having a V-shaped cross section formed on their opposing surfaces, and each optical fiber 26 is partially housed in the V-shaped groove. The optical axis of the upper member 25a is arranged on the same plane as the lower surface of the upper member 25a.
一方、基台21は、第1図に示した基台1と同じ構成を
有しており、支持部材21aと支持枠21bとから構成
されている。支持部材21aは、硬質セラミクス製であ
り、上側の支持面は、平坦度が2μm以下となるように
仕上げられている。また、コネクタ部材25の下側部材
25bを収容し、コネクタ部材25が所定の範囲で自由
に支持部材21a上を滑動できるように、支持部材には
幅広の1対の溝が形成されている。但し、前述のように
、支持部材21aを高度に加工するとその平坦度が低下
するので、加工は最小限に止めている。その代わり、支
持枠21bの両側部には、平面光導波路を搭載した基体
24を固定する図示していないホルダを固定するための
ボルト穴が形成されている。On the other hand, the base 21 has the same configuration as the base 1 shown in FIG. 1, and is composed of a support member 21a and a support frame 21b. The support member 21a is made of hard ceramics, and the upper support surface is finished to have a flatness of 2 μm or less. Further, a pair of wide grooves are formed in the support member to accommodate the lower member 25b of the connector member 25 and allow the connector member 25 to freely slide on the support member 21a within a predetermined range. However, as described above, if the supporting member 21a is highly processed, its flatness will be reduced, so the processing is kept to a minimum. Instead, bolt holes are formed on both sides of the support frame 21b for fixing holders (not shown) for fixing the base body 24 on which the planar optical waveguide is mounted.
以上のような構成の部材を使用して実際に平面光導波路
と光ファイバとを結合し、総損失から光導波路自体の導
波損失および導波路と光ファイバとのモード不整合を引
いた結合損失は、0.3dBであり、1dBを大きく下
回っていることがFIi認された。このように、本発明
に係る導波路型光デバイスでは、低損失な結合を容易に
実現することができる。A planar optical waveguide and an optical fiber are actually coupled using the members configured as above, and the coupling loss is calculated by subtracting the waveguide loss of the optical waveguide itself and the mode mismatch between the waveguide and the optical fiber from the total loss. was 0.3 dB, which FIi confirmed was significantly lower than 1 dB. In this manner, the waveguide type optical device according to the present invention can easily realize low-loss coupling.
発明の効果
以上詳述のように、本発明に係る導波路型光デバイスで
は、平面光導波路の基体、および、結合すべき光ファイ
バの端部を保持したコネクタ部材を搭載する支持部材が
、平滑に形成されたセラミクスまたはシリコンウェハに
より構成されているので、精密な軸合わせを容易に実現
することができる。従って、平面光導波路と光ファイバ
とを高効率で結合することが容易に可能となる。Effects of the Invention As detailed above, in the waveguide type optical device according to the present invention, the base of the planar optical waveguide and the support member on which the connector member holding the end portion of the optical fiber to be coupled is mounted are smooth and smooth. Since it is made of ceramic or silicon wafer formed in the same manner, precise axis alignment can be easily achieved. Therefore, it becomes possible to easily couple the planar optical waveguide and the optical fiber with high efficiency.
これは、基台の搭載面を基準面とし、該基準面上に、平
面光導波路が形成しである面が接するように基体を搭載
し、光ファイバの光軸が平面光導波路の光軸のある面上
にくるようにコネクタを搭載するこの光デバイス独自の
構造によるものであり、更に、用いている基台のうち少
なくとも平面光導波路およびコネクタの搭載部分をシリ
コンもしくはセラミクスを用いた平坦度2μm以内の高
精度な平面とした構成によるものである。In this method, the mounting surface of the base is used as a reference surface, and the base is mounted on the reference surface so that the surface on which the planar optical waveguide is formed is in contact with the optical axis of the optical fiber. This is due to the unique structure of this optical device, in which the connector is mounted on a certain surface, and in addition, at least the part where the planar optical waveguide and connector are mounted on the base used is made of silicon or ceramics with a flatness of 2 μm. This is due to the configuration of a highly accurate flat surface within
第1図は、本発明に係る導波路型光デバイスにおいて使
用される基台の構成を示す図であり、第2図は、本発明
に係る導波路型光デバイスの構成を示す図であり、
第3図は、従来の導波路型光デバイスの構成を示す図で
あり、
第4図(a)および(b)は、改良された導波路型光デ
バイスの一般的な構成を示す図であり、第5図(a)お
よび(b)は、光ファイバと平面光導波路との軸ずれに
起因する結合損失を説明するためのグラフと、このグラ
フ中における軸ずれ量の定義を説明するための図である
。
33.46・・光ファイバ、
41・・・基台、
42・・・ホルダ、
45・・・コネクタ部材FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a base used in the waveguide type optical device according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the waveguide type optical device according to the present invention, FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a conventional waveguide type optical device, and FIGS. 4(a) and (b) are diagrams showing the general configuration of an improved waveguide type optical device. , FIGS. 5(a) and 5(b) are graphs for explaining the coupling loss due to axis misalignment between the optical fiber and the planar optical waveguide, and a graph for explaining the definition of the amount of axis misalignment in this graph. It is a diagram. 33.46...Optical fiber, 41...Base, 42...Holder, 45...Connector member
Claims (1)
複数の平面光導波路を含む基体を搭載し、複数の光ファ
イバの端部を該平面光導波路と同じ間隔で保持するコネ
クタ部材を、該光ファイバと該平面光導波路とが光学的
に結合されるように支持し且つ案内する形状を具備する
基台を備えた導波路型光デバイスであって、 少なくとも該基体と該コネクタ部材とを支持する該基台
の表面が、平坦度が±1μm以内のシリコンあるいはセ
ラミクスにより形成されていることを特徴とした導波路
型光デバイス。[Claims] A base body including a plurality of planar optical waveguides whose end faces are arranged in a line on the same plane is mounted, and the ends of the plurality of optical fibers are arranged at the same intervals as the planar optical waveguides. A waveguide type optical device comprising a base having a shape to support and guide a connector member to be held so that the optical fiber and the planar optical waveguide are optically coupled, the base comprising: at least the base; A waveguide type optical device characterized in that a surface of the base supporting the connector member and the connector member is formed of silicon or ceramics with a flatness of within ±1 μm.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33697189A JPH03196004A (en) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Waveguide type optical device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33697189A JPH03196004A (en) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Waveguide type optical device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03196004A true JPH03196004A (en) | 1991-08-27 |
Family
ID=18304295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33697189A Pending JPH03196004A (en) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Waveguide type optical device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03196004A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0798579A1 (en) * | 1996-03-29 | 1997-10-01 | Lucent Technologies Inc. | Optical integrated circuit having passively aligned fibers |
JP2009122290A (en) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Opto-electronic hybrid package and optical connector, and opto-electronic hybrid module equipped with these |
WO2013015197A1 (en) * | 2011-07-28 | 2013-01-31 | 京セラ株式会社 | Optical connector, optical transmission module, and method for producing optical connector |
JP2013097064A (en) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Kyocera Corp | Optical connector and manufacturing method of optical connector |
-
1989
- 1989-12-26 JP JP33697189A patent/JPH03196004A/en active Pending
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---|---|---|---|---|
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