JPH03150794A - Nonvolatile semiconductor storage - Google Patents

Nonvolatile semiconductor storage

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JPH03150794A
JPH03150794A JP1290863A JP29086389A JPH03150794A JP H03150794 A JPH03150794 A JP H03150794A JP 1290863 A JP1290863 A JP 1290863A JP 29086389 A JP29086389 A JP 29086389A JP H03150794 A JPH03150794 A JP H03150794A
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JP
Japan
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sense amplifier
line
input
transistor
amplifier
Prior art date
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Application number
JP1290863A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanori Hayakoshi
正紀 林越
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PURPOSE:To attain a high-speed reading operation even with a slight cell current by using a flip-flop type sense amplifier. CONSTITUTION:A flip-flop type sense amplifier 8 consists of transistors Q4 - Q9. A normal sense amplifier, e.g., an inverter reads out data on the boundary of the set logical threshold value, e.g., 2.5V. That is, the output data are inverted when the input of an amplifier is changed to 2.5V from 0V or to 2.5V from 5V. Therefore the input of the amplifier must change by 2.5V for inversion of the output data of the sense amplifier. Meanwhile the amplifier 8 can satisfac torily read out the data with about several hundreds of mV required for the difference between two inputs since the input having a higher voltage level is set at 5V with the other input of a lower voltage leve set at 0V respectively. As a result, the input has no large change and the data can be read out at a high speed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電気的に書換え可能な不揮発性半導体記憶装
置の読出し手法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a reading method for an electrically rewritable nonvolatile semiconductor memory device.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第2図は、従来の不揮発性半導体記憶装置の読出しに関
する基本構成を示す回路図である。同図において、トラ
ンジスタQlのドレインはビット線lに接続され、ゲー
トはワード線2に接続され、ソースはメモリトランジス
タM1のドレインに接続されている。メモリトランジス
タM1のコントロールゲートはコントロールゲート線3
に接続され、ソースはソース線4に接続されている。ト
ランジスタQ2のドレインはビット線1に接続され、ゲ
ートはリセット信号R3Tが伝送されるリセット信号′
fIA5に接続され、ソースは接地されている。
FIG. 2 is a circuit diagram showing the basic configuration regarding reading of a conventional nonvolatile semiconductor memory device. In the figure, the drain of the transistor Ql is connected to the bit line 1, the gate is connected to the word line 2, and the source is connected to the drain of the memory transistor M1. The control gate of memory transistor M1 is connected to control gate line 3.
The source is connected to the source line 4. The drain of transistor Q2 is connected to bit line 1, and the gate is connected to reset signal ' to which reset signal R3T is transmitted.
It is connected to fIA5, and its source is grounded.

トランジスタQ3のソースはビット線lに接続され、ゲ
ートはYゲート信号YGが伝送されるYゲート信号線6
に接続され、ドレインはI/O線7に接続されている。
The source of the transistor Q3 is connected to the bit line l, and the gate is connected to the Y gate signal line 6 to which the Y gate signal YG is transmitted.
The drain is connected to the I/O line 7.

I/O線7は電流センスアンプ8に接続されている。I/O line 7 is connected to current sense amplifier 8.

次に、このような構成の不揮発性半導体記憶装置の動作
について説明する。
Next, the operation of the nonvolatile semiconductor memory device having such a configuration will be explained.

動作には書込みと読出しがある。まず、書込みについて
説明する。書込みには消去とプログラムがある、消去で
は、ワード線2とコントロールゲート線3は高電圧V□
に昇圧され、ビット線lは接地され、ソース線4は接地
またはフローティングにされる。すると、メモリトラン
ジスタM1のフローティングゲートに電子が注入されて
メモリトランジスタMlのしきい値は高くなる。プログ
ラムでは、ビット線lとワード線2は高電圧■ppに昇
圧され、コントロールゲート線3は接地され、ソース線
4はフローティングにされる。すると、メモリトランジ
スタMlのフローティングから電子が引き抜かれてメモ
リトランジスタM1のしきい値は低くなる。
Operations include writing and reading. First, writing will be explained. Writing includes erasing and programming. In erasing, word line 2 and control gate line 3 are connected to a high voltage V□
The bit line 1 is grounded, and the source line 4 is grounded or floating. Then, electrons are injected into the floating gate of the memory transistor M1, and the threshold voltage of the memory transistor M1 increases. In programming, the bit line 1 and the word line 2 are boosted to a high voltage ■pp, the control gate line 3 is grounded, and the source line 4 is left floating. Then, electrons are extracted from the floating memory transistor M1, and the threshold value of the memory transistor M1 becomes lower.

次に、読出しについて説明する。読出しでは、ワード線
2とYゲート信号線6はrHJレベルにされ、ソース線
4は接地され、コントロールゲート線3はメモリトラン
ジスタM1が消去状態とプログラム状態にある場合のし
きい値の中間の値の電圧が印加される。この状態で、I
/O線7に接続された電流センスアンプ8が活性化され
、読出しが行なわれる。続出しは、メモリトランジスタ
Mlを介してI/O線7に電流が流れるか否かを検出す
ることによって行なわれる。また、トランジスタQ2は
ビット線1をrLJレベルにリセットするためのトラン
ジスタであり、書込みと読出し特に必要に応じてビット
線1のリセットが行なわれる。
Next, reading will be explained. For reading, the word line 2 and the Y gate signal line 6 are set to rHJ level, the source line 4 is grounded, and the control gate line 3 is set to a value midway between the threshold values when the memory transistor M1 is in the erased state and the programmed state. voltage is applied. In this state, I
Current sense amplifier 8 connected to /O line 7 is activated and reading is performed. Continuation is performed by detecting whether or not current flows through the I/O line 7 via the memory transistor Ml. Further, the transistor Q2 is a transistor for resetting the bit line 1 to the rLJ level, and the bit line 1 is reset in writing and reading, especially when necessary.

従来のセンスアンプの構成を第3図に示し、センスアン
プの出力波形を第4図に示す。まず、リセット信号線5
(第2図)がrHJレベルになり、ビット線1が「L」
レベルにリセットされる。ワード線2とYゲート信号線
6はrHJレベルにされ、ソースvA4は接地され、コ
ントロールゲート線3はメモリトランジスタM1が消去
状態とプログラム状態にある場合のしきい値の中間の値
の電圧が印加される。この状態で、リセット信号線5が
「L」レベルになると、ビット線1を充電するためにト
ランジスタT3〜T5を介して充電電流が流れる。電流
センスアンプ8の出力信号aは、トランジスタT4の電
位降下によって一旦「L」レベルになる(第4図参照)
、ビット線lの充電が終わると、出力信号aは「H」レ
ベルに充電され始めようとする。メモリトランジスタM
1がプログラム状態(導通状B)にあると、トランジス
タT3〜T5を介して電流が流れ続けるため、出力信号
aの電位はトランジスタT4の電位降下によりrLJレ
ベルのままであるが(第4図の特性線Sl)、消去状態
(非導通状態)にあると、出力信号aの電位はトランジ
スタT4によって「H」レベルに充電される(第4図の
特性線S2)。
The configuration of a conventional sense amplifier is shown in FIG. 3, and the output waveform of the sense amplifier is shown in FIG. First, reset signal line 5
(Figure 2) becomes rHJ level, and bit line 1 becomes "L".
level will be reset. The word line 2 and the Y gate signal line 6 are set to the rHJ level, the source vA4 is grounded, and the control gate line 3 is applied with a voltage that is an intermediate value between the threshold values when the memory transistor M1 is in the erased state and the programmed state. be done. In this state, when the reset signal line 5 becomes "L" level, a charging current flows through the transistors T3 to T5 to charge the bit line 1. The output signal a of the current sense amplifier 8 becomes "L" level once due to the potential drop of the transistor T4 (see Fig. 4).
, when the bit line l is charged, the output signal a begins to be charged to the "H" level. memory transistor M
1 is in the programmed state (conducting state B), current continues to flow through the transistors T3 to T5, so the potential of the output signal a remains at the rLJ level due to the potential drop of the transistor T4 (as shown in Fig. 4). In the erase state (non-conducting state), the potential of the output signal a is charged to the "H" level by the transistor T4 (characteristic line S2 in FIG. 4).

以上の動作によって読出しが行なわれる。Reading is performed by the above operations.

ここで、セルカレント(メモリセルを流れる電流、すな
わち第2図においてビット線1〜トランジスタQl〜メ
モリトランジスタM1〜ソース線4を流れる電流)が減
少すると、メモリトランジスタM1がプログラム状&i
(導通状a)にある場合、電流センスアンプ8の出力信
号aの電位を「L」レベルに保つためにトランジスタT
4のサイズを絞る(インピーダンスを大きくする)必要
がある。そうでないと、セルカレントよりもトランジス
タT4の電流駆動能力の方が大きくなるため、出力信号
aの電位がrHJレベルに充電されて誤読出しが起こっ
てしまう。上記の理由でトランジスタT4のサイズを絞
ると、メモリトランジスタM1が消去状態(非導通状態
)にある場合、出力信号aの電位をrHJレベルに充電
するのに時間がかかってしまう。したがって、従来の電
流センスアンプでは、セルカレントが減少するとメモリ
セルが消去状態(非導通状態)にある場合の読出しが特
に遅れてしまう。
Here, when the cell current (the current flowing through the memory cell, that is, the current flowing through the bit line 1, transistor Ql, memory transistor M1, and source line 4 in FIG. 2) decreases, the memory transistor M1 is in the programmed state &i
(conducting state a), the transistor T
It is necessary to narrow down the size of 4 (increase the impedance). Otherwise, the current driving capability of the transistor T4 will be greater than the cell current, and the potential of the output signal a will be charged to the rHJ level, resulting in erroneous reading. If the size of the transistor T4 is reduced for the above reason, it will take time to charge the potential of the output signal a to the rHJ level when the memory transistor M1 is in the erased state (non-conductive state). Therefore, in the conventional current sense amplifier, when the cell current decreases, reading especially when the memory cell is in an erased state (non-conducting state) is delayed.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

従来の不揮発性半導体記憶装置はセンスアンプに電流セ
ンスアンプを用いているので、高集積化に伴うセルカレ
ントの減少により読出し速度が遅れてしまうという問題
があった。
Since conventional nonvolatile semiconductor memory devices use current sense amplifiers as sense amplifiers, there has been a problem in that the read speed is delayed due to a decrease in cell current that accompanies higher integration.

高集積化に伴ないセルカレント(メモリセルを流れる電
流)が減少する理由は、高集積化に伴いセルサイズが縮
小され、メモリセルのチャネル幅が実効的に短くなって
しまうため、メモリセルのオン抵抗が高くなることによ
る。
The reason why cell current (current flowing through memory cells) decreases with higher integration is that cell size decreases with higher integration, effectively shortening the channel width of memory cells. This is due to higher on-resistance.

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、微小なセルカレントでも高速の
読出しが可能な不揮発性半導体記憶装置を得ることにあ
る。
The present invention has been made in view of these points, and its purpose is to provide a nonvolatile semiconductor memory device that is capable of high-speed reading even with a minute cell current.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

このような課題を解決するために本発明は、センスアン
プにフリップフロップ型のセンスアンプを用いるように
したものである。
In order to solve these problems, the present invention uses a flip-flop type sense amplifier as the sense amplifier.

〔作用〕[Effect]

本発明による不揮発性半導体記憶装置においては、高速
の読出しが可能である。
In the nonvolatile semiconductor memory device according to the present invention, high-speed reading is possible.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は、本発明による不揮発性半導体記憶装置の一実
施例の読出しに関する基本構成を示す回路図である。同
図において、トランジスタQ1のドレインはビット線1
に接続され、ゲートはワード線2に接続され、ソースは
メモリトランジスタM1のドレインに接続されている。
FIG. 1 is a circuit diagram showing the basic configuration regarding reading of an embodiment of a nonvolatile semiconductor memory device according to the present invention. In the same figure, the drain of transistor Q1 is connected to bit line 1.
The gate is connected to the word line 2, and the source is connected to the drain of the memory transistor M1.

メモリトランジスタMlのコントロールゲートはコント
ロールゲート線3に接続され、ソースはソース線4に接
続されている。トランジスタQ2のドレインはビット線
lに接続され、ゲートはリセット手段R5Tが伝送され
るリセット信号線5に接続され、ソースは接地されてい
る。トランジスタQ3のソースはビット線1に接続され
、ゲートはYゲート信号YGが伝送されるYゲート信号
線6に接続され、ドレインはI/O線7に接続されてい
る。また、I/O線7はトランジスタQ4.Q5のドレ
インに共通に接続されるとともに、トランジスタQ6Q
7のゲートに共通に接続されている。トランジスタQ4
.Q5のゲートは共通に接続されるとともに、トランジ
スタQ6.Q7のドレインに共通に接続されている。ト
ランジスタQ4.Q6のソースは共通にトランジスタQ
8  (第3の入力に接続された活性化手段)のドレイ
ンに接続され、トランジスタQ8のゲートはセンスアン
プ活性化信号■が伝送されるセンスアンプ活性化信号線
9に接続され、ソースは電源電圧y ccに接続されて
いる。トランジスタQ5.Q7のソースは共通に接地さ
れている。リセット手段としてのトランジスタQ9のド
レインはトランジスタQ6.Q7のドレインに共通に接
続され、ゲートはセンスアンプ活性化信号線9に接続さ
れ、ソースは接地されている。センスアンプ8はフリッ
プフロップ型のセンスアンプで、トランジスタQ4〜Q
9で構成されている。
A control gate of the memory transistor M1 is connected to a control gate line 3, and a source is connected to a source line 4. The drain of the transistor Q2 is connected to the bit line 1, the gate is connected to the reset signal line 5 through which the reset means R5T is transmitted, and the source is grounded. The source of the transistor Q3 is connected to the bit line 1, the gate is connected to the Y gate signal line 6 through which the Y gate signal YG is transmitted, and the drain is connected to the I/O line 7. Also, I/O line 7 is connected to transistor Q4. Commonly connected to the drains of Q5 and connected to the transistor Q6Q
7 gates in common. Transistor Q4
.. The gates of Q5 are connected in common and the gates of transistors Q6. Commonly connected to the drains of Q7. Transistor Q4. The source of Q6 is commonly connected to transistor Q.
8 (activation means connected to the third input), the gate of the transistor Q8 is connected to the sense amplifier activation signal line 9 to which the sense amplifier activation signal ■ is transmitted, and the source is connected to the power supply voltage. Connected to ycc. Transistor Q5. The sources of Q7 are commonly grounded. The drain of the transistor Q9 serving as a reset means is connected to the transistor Q6. It is commonly connected to the drains of Q7, its gate is connected to sense amplifier activation signal line 9, and its source is grounded. Sense amplifier 8 is a flip-flop type sense amplifier, and transistors Q4 to Q
It consists of 9.

次に、フリップフロップ型のセンスアンプを用いた場合
に高速の読出しが可能となる理由について述べる0通常
のセンスアンプ(例えばインバータ)は、設定された論
理しきい値(例えば2.5V)を境にして読出しを行な
う。すなわち、センスアンプの入力が0■から2.5■
あるいは5■から2.5Vまで変化すると出力データが
反転される。したがって、この場合センスアンプの出力
データが反転されるのに、入力が2.5■以上変化する
必要がある。一方、フリップフロップ型センスアンプ(
差動センスアンプ)は2つの入力のうちのより高い電圧
をもつ入力を5Vにし、より低い電圧をもつ入力を0■
にするという特性をもっている。
Next, we will discuss the reason why high-speed reading is possible when using a flip-flop type sense amplifier.A normal sense amplifier (e.g., an inverter) cannot move beyond a set logic threshold (e.g., 2.5V). and read out. In other words, the input of the sense amplifier is from 0■ to 2.5■
Alternatively, when the voltage changes from 5V to 2.5V, the output data is inverted. Therefore, in this case, in order for the output data of the sense amplifier to be inverted, the input needs to change by 2.5 square meters or more. On the other hand, a flip-flop type sense amplifier (
Differential sense amplifier) has two inputs, the one with the higher voltage is set to 5V, and the input with the lower voltage is set to 0V.
It has the characteristic of making

これらの2つの入力の差は、数百mV程度あれば十分に
読出しを行なうことができる。従って、通常のセンスア
ンプのように入力が大きく変化する必要がなく、高速の
読出しが可能となる。
If the difference between these two inputs is about several hundred mV, reading can be performed sufficiently. Therefore, there is no need for the input to change significantly as in a normal sense amplifier, and high-speed reading is possible.

次に動作について説明する。Next, the operation will be explained.

動作には書込みと読出しがある。書込みについては従来
技術と同様であるので、その説明を省略する。読出しで
は、まずリセット信号線5とセンスアンプ活性化信号線
9がrHJレベルにされる。
Operations include writing and reading. Since writing is the same as in the prior art, its explanation will be omitted. In reading, first, the reset signal line 5 and the sense amplifier activation signal line 9 are set to rHJ level.

また、I/O線7は図示しないリセット手段によりrL
Jレベルにリセットされる。それによって、ビット、1
1とセンスアンプ8のノードNl、N2はrLJレベル
にリセットされる0次に、リセット信号線5がrLJレ
ベルにされ、ビット線1はrLJフローティングの状態
になる。また、上記図示しないリセット手段が非活性に
なり、1/O線7もrLJフローティングの状態になる
。ワード線2とYゲート信号線6はrHJレベルにされ
、ソース線4は電源電圧VCCに接続される。コントロ
ールゲート線3はメモリトランジスタM1が消去状態と
プログラム状態にある場合のしきい値の中間の値の電圧
が印加される。この状態で、メモリトランジスタM1が
プログラム状態にあるとメモリトランジスタMlはオン
して、ソース線4からビット1lIAlを介してI/O
線7を充電するために電流が流れ、I/O線7の電位は
上昇する。−方、メモリトランジスタMlが消去状態に
あるとメモリトランジスタM1はオフのままで、l/O
vA7はrLJフローティングの状態を保つ。その後、
センスアンプ活性化信号r万はゆっくりと「L」にされ
る。すると、メモリトランジスタM1がプログラム状態
にある場合にはl/O17の電位は上昇しているので、
センスアンプ8によってノードN1の電位はrHJレベ
ルにされ、ノードN2の電位はrLJレベルにされる。
Further, the I/O line 7 is set to rL by a reset means (not shown).
Reset to J level. Thereby, bit, 1
1 and the nodes Nl and N2 of the sense amplifier 8 are reset to the rLJ level.Next, the reset signal line 5 is set to the rLJ level, and the bit line 1 becomes rLJ floating. Further, the above-mentioned reset means (not shown) becomes inactive, and the 1/O line 7 also enters the rLJ floating state. Word line 2 and Y gate signal line 6 are set to rHJ level, and source line 4 is connected to power supply voltage VCC. A voltage having an intermediate value between the threshold values when the memory transistor M1 is in the erased state and the programmed state is applied to the control gate line 3. In this state, when the memory transistor M1 is in the programmed state, the memory transistor M1 is turned on and the I/O is transmitted from the source line 4 through the bit 1IAl.
A current flows to charge line 7, and the potential of I/O line 7 increases. - On the other hand, when the memory transistor M1 is in the erased state, the memory transistor M1 remains off and the l/O
vA7 maintains the rLJ floating state. after that,
The sense amplifier activation signal r1000 is slowly brought to "L". Then, when the memory transistor M1 is in the programmed state, the potential of l/O17 is rising, so
The sense amplifier 8 sets the potential of the node N1 to the rHJ level, and the potential of the node N2 to the rLJ level.

また、メモリトランジスタMlが消去状態にあるとI/
O線7はrLJフローティングの状態でありノードN2
の状態と同様になるが、I/O線7が接続されている分
だけ(ノードN1の容it) > (ノードN2の容量
)の容量アンバランスが生じているため、センスアンプ
8によってノードNlの電位はrLJレベルにされ、ノ
ードN2の電位はrHJレベルにされる。
Furthermore, when the memory transistor Ml is in the erased state, I/
O line 7 is in rLJ floating state and node N2
However, because the I/O line 7 is connected, there is a capacitance imbalance of (capacitance of node N1) > (capacitance of node N2), so the sense amplifier 8 The potential of node N2 is set to rLJ level, and the potential of node N2 is set to rHJ level.

以上の動作で読出しが行なわれる。Reading is performed through the above operations.

〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、センスアンプをフリップ
フロップ型のセンスアンプとしたことにより、このフリ
ップフロップ型のセンスアンプへの2入力信号のレベル
差が小さくても読出しを行なうことができるので、微小
なセルカレントでも高速の読出しが可能になる効果があ
る。
[Effects of the Invention] As explained above, in the present invention, by using a flip-flop type sense amplifier as the sense amplifier, reading can be performed even if the level difference between two input signals to the flip-flop type sense amplifier is small. This has the effect of enabling high-speed reading even with a minute cell current.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明による不揮発性半導体記憶装置の一実施
例を示す回路図、第2図は従来の不揮発性半導体記憶装
置を示す回路図、第3図は従来の電流センスアンプを示
す回路図、第4図は第3図の回路の特性を示すタイムチ
ャートである。 l・・・ビット線、2・・・ワード線、3・・・コント
ロールゲート線、4・・・ソース線、5・・・リセット
信号線、6・・・Y’y’−)(を量線、7・・司/O
線、8・・・センスアンプ、9・・・活性化信号線、Q
1〜Q9・・・トランジスタ、Ml・・・メモリトラン
ジスタ、Nl、N2・・・ノード。 代 理 人 大 岩 増 雄 第3図 第4 図 ■
FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of a non-volatile semiconductor memory device according to the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram showing a conventional non-volatile semiconductor memory device, and FIG. 3 is a circuit diagram showing a conventional current sense amplifier. , FIG. 4 is a time chart showing the characteristics of the circuit shown in FIG. l...Bit line, 2...Word line, 3...Control gate line, 4...Source line, 5...Reset signal line, 6...Y'y'-) Line, 7... Tsukasa/O
line, 8... sense amplifier, 9... activation signal line, Q
1 to Q9...transistor, Ml...memory transistor, Nl, N2...node. Agent Masuo Oiwa Figure 3 Figure 4 ■

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  フローティングゲートを有するメモリトランジスタを
行方向および列方向に沿って複数個配列したメモリセル
アレイを備えた不揮発性半導体記憶装置において、I/
O線にフリップフロップ型のセンスアンプを設け、この
センスアンプの第1の入力には前記I/O線を接続し、
前記センスアンプの第2の入力にはこの第2の入力を接
地レベルにするためのリセット手段を接続し、前記セン
スアンプの第3の入力には前記センスアンプを活性化す
るための活性化手段を接続したことを特徴とする不揮発
性半導体記憶装置。
In a nonvolatile semiconductor memory device equipped with a memory cell array in which a plurality of memory transistors each having a floating gate are arranged in the row direction and the column direction,
A flip-flop type sense amplifier is provided on the O line, the I/O line is connected to the first input of this sense amplifier,
A reset means is connected to a second input of the sense amplifier for setting the second input to a ground level, and an activation means for activating the sense amplifier is connected to a third input of the sense amplifier. A nonvolatile semiconductor memory device, characterized in that:
JP1290863A 1989-11-07 1989-11-07 Nonvolatile semiconductor storage Pending JPH03150794A (en)

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