JPH03142366A - Acceleration sensor - Google Patents

Acceleration sensor

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Publication number
JPH03142366A
JPH03142366A JP28096589A JP28096589A JPH03142366A JP H03142366 A JPH03142366 A JP H03142366A JP 28096589 A JP28096589 A JP 28096589A JP 28096589 A JP28096589 A JP 28096589A JP H03142366 A JPH03142366 A JP H03142366A
Authority
JP
Japan
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base
sensor
piezoelectric ceramic
connector
fixed
Prior art date
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Pending
Application number
JP28096589A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shogo Asano
浅野 勝吾
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP28096589A priority Critical patent/JPH03142366A/en
Publication of JPH03142366A publication Critical patent/JPH03142366A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To offer a sensor which is free from quality reduction and is easily built in and attached by fixing a cap covering a sensor main body and a wiring connector by an attaching bolt of a sensor base and connecting each lead pin of the main body part and each terminal of the connector and sealing up the connection part with a resin. CONSTITUTION:A metallic cap 34 whose upper face an attaching bolt 35 unified with a spanner reception hexagonal shaft 52 into one body is fixed to by welding is fixed to a base 51 by its peripheral edge flange 35. A wiring connector 56 where a bracket 57 and terminals 58 to 60 are inserted and molded is fixed to the base 51, and lead pins 24, 25, and 28 are connected to respective terminals by welding. A connection part 62 surrounded with a flange 57b of the bracket 57 and the wall surface of the connector 56 is sealed up with a resin 63. Thus, the quality is not degraded, and attachment and building-in for the use are simplified.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、内燃機関を備えた自動車等の走行加速度を測
定または検出するための速度センサに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a speed sensor for measuring or detecting the running acceleration of an automobile or the like equipped with an internal combustion engine.

従来の技術 第5図から第9図は、従来の加速度センサの構成を示し
ている。これらの図において、1は基台であり、その表
面中央部に位置決め穴2を有する環状突起3が形成され
ている。4は振動板であり、その中央部が基台1の環状
突起3に溶接等の手段により固定されている。5は振動
板4の上面に固定されたセンサ出力用の圧電セラミック
素子である。この圧電セラミック素子5は、第10図に
示すように、中心部に丸穴6を有するドーナツ状に形成
され、表面がセンサ出力用のプラス電極7と圧電素子駆
動用のプラス電極8とに環状に2分割されている。
BACKGROUND ART FIGS. 5 to 9 show the configuration of a conventional acceleration sensor. In these figures, 1 is a base, and an annular projection 3 having a positioning hole 2 is formed in the center of the surface thereof. 4 is a diaphragm, the center portion of which is fixed to the annular projection 3 of the base 1 by means such as welding. 5 is a piezoelectric ceramic element fixed to the upper surface of the diaphragm 4 for sensor output. As shown in FIG. 10, this piezoelectric ceramic element 5 is formed in a donut shape with a round hole 6 in the center, and the surface is formed into a ring shape with a positive electrode 7 for sensor output and a positive electrode 8 for driving the piezoelectric element. It is divided into two parts.

圧電セラミック素子5は、その裏面全体のマイナス電極
9が、振動板4の中央部に形成された環状ビード10の
外周に丸穴6を嵌め込んだ状態で、振動板4の表面に導
通接着されている。11は焦電キャンセル用の圧電セラ
ミック素子であり、第11図に示すように、圧電セラミ
ック素子5のプラス電極7と同じ面積で、同様に中心部
に丸穴12を有しており、表面のプラス電極13と、裏
面のマイナス電極14とを有している。圧電セラミック
素子11は、表面のプラス電極13側を振動板4の裏面
に、その中央部に形成された環状ビード15の外周に丸
穴12を嵌め込んた状態で導通接着されている。
The piezoelectric ceramic element 5 is conductively bonded to the surface of the diaphragm 4, with the negative electrode 9 on the entire back surface thereof being fitted into the outer periphery of an annular bead 10 formed in the center of the diaphragm 4. ing. Reference numeral 11 denotes a piezoelectric ceramic element for pyroelectric cancellation, and as shown in FIG. It has a positive electrode 13 and a negative electrode 14 on the back surface. The piezoelectric ceramic element 11 is conductively bonded to the back surface of the diaphragm 4 with the positive electrode 13 side on the front surface thereof, with a circular hole 12 fitted in the outer periphery of an annular bead 15 formed at the center thereof.

振動板4は、第12図および第13図に示すように、金
属円板の中心部に基台1の位置決め穴2と同径の位置決
め穴16を有し、その回りに同心円状に環状ビード10
および15が、それぞれ表面および裏面に径を順次大き
くして形成されている。振動板4は、第14図および第
15図に示すように、その周縁に上向きのフランジ17
を形成して加速度センサの出力アップを図るようにして
もよい。
As shown in FIGS. 12 and 13, the diaphragm 4 has a positioning hole 16 having the same diameter as the positioning hole 2 of the base 1 in the center of the metal disc, and an annular bead concentrically formed around the positioning hole 16. 10
and 15 are formed on the front and back surfaces, respectively, with diameters increasing sequentially. The diaphragm 4 has an upward flange 17 on its periphery, as shown in FIGS. 14 and 15.
It is also possible to increase the output of the acceleration sensor by forming a .

圧電セラミック素子5のプラス電極7と圧電セラミック
11のマイナス電極14は、それぞれリードフレーム1
8.19に半田20.21により接続され、絶縁埋込み
リードピン22および回路基板23を介してセンサ出力
用リードピン24へと接続されている。これは、周囲温
度の影響を受けて焦電現象によってセンサ出力用圧電セ
ラミック5のプラス電極7に発生した電荷をキャンセル
する役目を果たすものである。
The positive electrode 7 of the piezoelectric ceramic element 5 and the negative electrode 14 of the piezoelectric ceramic 11 are connected to the lead frame 1, respectively.
8.19 with solder 20.21, and is connected to a sensor output lead pin 24 via an insulated embedded lead pin 22 and a circuit board 23. This serves to cancel the charge generated in the positive electrode 7 of the sensor output piezoelectric ceramic 5 due to the pyroelectric phenomenon under the influence of the ambient temperature.

25は圧電セラミック素子駆動用のリードピンであり、
リードフレーム26を介して圧電セラミック素子5のプ
ラス電極8に半田27により接続されている。28は回
路基板23の電源供給用リードピンであり、2つはグラ
ンド用リードピンであり、それぞれ回路基板23に接続
されている。30.31は回路基板23を支持するため
の絶縁埋込みリードピンである。回路基板23には、イ
ンピーダンス変換回路や出力増幅回路、濾波回路等が設
けられている。
25 is a lead pin for driving the piezoelectric ceramic element;
It is connected to the positive electrode 8 of the piezoelectric ceramic element 5 by solder 27 via a lead frame 26 . 28 is a power supply lead pin of the circuit board 23, and two are ground lead pins, each of which is connected to the circuit board 23. 30 and 31 are insulated embedded lead pins for supporting the circuit board 23. The circuit board 23 is provided with an impedance conversion circuit, an output amplification circuit, a filter circuit, and the like.

ノードピンのうち22.24.25.28.30.31
は、基台1に封着ガラス32等の手段により絶縁ハーメ
チック固定され、グランド用り−ドピン29だけがロウ
付は等の手段により導通接続されている。33は基台1
の位置決め穴2を封着するための封着ガラスである。電
源の供給は、電源供給用リードピン28およびグランド
用り一トピン29を通じて行われる。
22.24.25.28.30.31 of the node pins
is insulated and hermetically fixed to the base 1 by means such as a sealing glass 32, and only the ground pin 29 is electrically connected by means such as brazing. 33 is base 1
This is a sealing glass for sealing the positioning hole 2 of. Power is supplied through a power supply lead pin 28 and a ground pin 29.

34は金属製のキャップであり、その周縁のフランジ3
5が基台1に全周にわたって抵抗溶接または冷間圧接等
の手段によって固定されている。
34 is a metal cap, and the flange 3 on its periphery
5 is fixed to the base 1 over its entire circumference by means such as resistance welding or cold pressure welding.

これにより、圧電セラミック素子5.6および回路基板
23を内蔵する空間部36が密閉されている。
Thereby, the space 36 containing the piezoelectric ceramic element 5.6 and the circuit board 23 is sealed.

このような構成からなる加速度センサは、基台lの両側
耳部に形成された取付穴37を介してボルト38および
ワッシャ39により自動車の車体等に取り付けて使用さ
れる。
The acceleration sensor having such a configuration is used by being attached to the body of an automobile or the like using bolts 38 and washers 39 through attachment holes 37 formed on both side ears of the base l.

次に上記従来例の動作について説明する。自動車等の走
行により発生した加速度は、基台1を介して振動板4に
伝えられ、振動板4に撓みを与える。振動板4の撓みは
、圧電セラミック素子5および6に引張力と圧縮力とを
交互に与えるため、圧電セラミック素子5および6に電
荷が発生する。この電荷は、回路基板23のインピーダ
ンス変換回路で電圧に変換され、必要な帯域および最適
な出力レベルになるように濾波回路および増幅回路を通
って出力され、センサ出力が得られる。
Next, the operation of the above conventional example will be explained. Acceleration generated by running an automobile or the like is transmitted to the diaphragm 4 via the base 1, causing the diaphragm 4 to bend. Since the deflection of the diaphragm 4 alternately applies tensile force and compressive force to the piezoelectric ceramic elements 5 and 6, charges are generated in the piezoelectric ceramic elements 5 and 6. This charge is converted into a voltage by an impedance conversion circuit on the circuit board 23, and outputted through a filtering circuit and an amplification circuit so as to have a necessary band and optimum output level, and a sensor output is obtained.

また、圧電セラミックは、温度変化に対しても同様に電
荷を発生する焦電現象を有するので、これを減少するた
めに、この加速度センサは圧電セラミック素子5および
6を互いに逆極性同士で接続してあり、発生電荷がキャ
ンセルされるようになっている。
Furthermore, since piezoelectric ceramics have a pyroelectric phenomenon that generates electric charges in response to temperature changes, in order to reduce this phenomenon, this acceleration sensor connects piezoelectric ceramic elements 5 and 6 with opposite polarities. The generated charge is canceled out.

また、自動車等に使用される加速度センサは、特に高い
精度および品質が要求されるので、確実に動作するかど
うかをコントローラ側でチエツク出来るように、圧電セ
ラミック素子5のプラス電極がセンサ出力用の電極7と
素子駆動用の電極8とに2分割されており、コントロー
ラ側の発信回路から駆動用電極に適当な信号を人力する
ことにより、センサ出力用電極7にそれに対応した駆動
出力が現われ、センサの故障診断が出来るようになって
いる。
In addition, since acceleration sensors used in automobiles and the like require particularly high precision and quality, the positive electrode of the piezoelectric ceramic element 5 is connected to the sensor output so that the controller can check whether the sensor is working reliably. It is divided into two, an electrode 7 and an electrode 8 for driving the element, and by manually inputting an appropriate signal from the transmitting circuit on the controller side to the driving electrode, a corresponding driving output appears on the sensor output electrode 7. It is now possible to diagnose sensor failures.

このように上記従来の加速度センサでも、自動車等にお
ける加速度の測定または検出を行うことができる。
In this way, the conventional acceleration sensor described above can also measure or detect acceleration in automobiles and the like.

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記従来の加速度センサでは、組み付は
作業上において、各リードピン24.25.28.29
のそれぞれにハーネスを接続しなければならず、組み付
は作業が非常に面倒になるという問題があった。また、
加速度センサを自動車の車体等に取り付ける際の取り付
は作業が面倒であるという問題があった。
Problems to be Solved by the Invention However, in the conventional acceleration sensor described above, each lead pin 24, 25, 28, 29 is assembled during work.
There was a problem in that a harness had to be connected to each of the parts, making the assembly process extremely troublesome. Also,
There has been a problem in that mounting the acceleration sensor on the body of an automobile is cumbersome.

本発明は、このような従来の問題を解決するものであり
、加速度センサとしての品質を低下させることなく、使
用に当たっての組み付けおよび取り付は作業が非常に簡
単な加速度センサを提供することを目的とする。
The present invention solves these conventional problems, and aims to provide an acceleration sensor that is extremely easy to assemble and install during use without degrading the quality of the acceleration sensor. shall be.

課題を解決するための手段 本発明は、上記目的を達成するために、加速度センサの
基台に取付ボルトを有して加速度センサ本体部を覆うキ
ャップと配線用のコネクタとを固定するとともに、この
コネクタの各ターミナルと加速度センサ本体部の各リー
ドピンとを溶接等の手段によって予め接続し、その接続
部を樹脂で封止するようにしたものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention fixes a cap and a wiring connector that have mounting bolts to the base of an acceleration sensor to cover the acceleration sensor main body, and Each terminal of the connector and each lead pin of the acceleration sensor main body are connected in advance by means such as welding, and the connection portion is sealed with resin.

作用 したがって、本発明によれば、コネクタの各ターミナル
と加速度センサ本体部の各リードピンとの接続部が樹脂
で封止されているので品質を低下させることがなく、し
かもコネクタを装着するだけで加速度センサ本体部との
接続が完了するので、使用に当たっての組み付は作業が
極めて簡単になるという効果を有する。また、キャップ
が取付ボルトを備えているので、加速度センサの取り付
けが極めて容易に行えるという利点を有する。
Therefore, according to the present invention, the connection between each terminal of the connector and each lead pin of the acceleration sensor main body is sealed with resin, so there is no deterioration in quality, and moreover, the acceleration can be adjusted simply by attaching the connector. Since the connection with the sensor main body is completed, assembly for use is extremely easy. Further, since the cap is provided with a mounting bolt, there is an advantage that the acceleration sensor can be mounted extremely easily.

実施例 第1図は本発明の一実施例を示す加速度センサの平面図
、第2図は同加速度センサの正面図、第3図は同加速度
センサのキャップを破断して内部を現わした概略平面図
、第4図は同加速度センサの側面断面図である。これら
の図に示す加速度センサの加速度センサ本体部の構成は
、基台およびキャップの部分を除いては前述した従来の
加速度センサにおけるそれと同じなので、同じ要素には
同じ符号を付して重複した詳しい説明は省略する。
Embodiment FIG. 1 is a plan view of an acceleration sensor showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the same acceleration sensor, and FIG. 3 is a schematic diagram of the inside of the same acceleration sensor with the cap broken away. The plan view and FIG. 4 are side sectional views of the same acceleration sensor. The configuration of the acceleration sensor main body of the acceleration sensor shown in these figures is the same as that of the conventional acceleration sensor described above, except for the base and cap parts, so the same elements are given the same reference numerals and detailed explanations are repeated. Explanation will be omitted.

第1図から第4図において、51は基台であり、その表
面のほぼ中央部に環状突起3を有する。4は基台51の
環状突起3に固定された振動板であり、その表面にセン
サ出力用の圧電セラミック素子5が固定され、その裏面
に焦電キャンセル用の圧電セラミック素子11が固定さ
れている。圧電セラミック素子5は、その裏面のマイナ
ス電極が振動板4の表面に導通接着され、圧電セラミッ
ク素子11は、その表面のプラス電極が振動板4の裏面
に導通接着されている。圧電セラミック素子5のセンサ
出力用プラス電極7と圧電セラミック11のマイナス電
極は、それぞれリードフレーム18.19および回路基
板23を介してセンサ出力用リードピン24へ゛と接続
されている。25は圧電セラミック素子駆動用のリード
ピンであり、リードフレーム26を介して圧電セラミッ
ク素子5の素子駆動用プラス電極8に接続されている。
In FIGS. 1 to 4, 51 is a base, which has an annular projection 3 approximately in the center of its surface. 4 is a diaphragm fixed to the annular protrusion 3 of the base 51, a piezoelectric ceramic element 5 for sensor output is fixed on the front surface of the diaphragm 4, and a piezoelectric ceramic element 11 for pyroelectric cancellation is fixed on the back surface of the diaphragm 4. . The negative electrode on the back surface of the piezoelectric ceramic element 5 is electrically bonded to the surface of the diaphragm 4 , and the positive electrode on the surface of the piezoelectric ceramic element 11 is electrically bonded to the back surface of the diaphragm 4 . The sensor output positive electrode 7 of the piezoelectric ceramic element 5 and the negative electrode of the piezoelectric ceramic 11 are connected to a sensor output lead pin 24 via a lead frame 18, 19 and a circuit board 23, respectively. 25 is a lead pin for driving the piezoelectric ceramic element, and is connected to the element driving positive electrode 8 of the piezoelectric ceramic element 5 via a lead frame 26.

28は回路基板23の電源供給用り−ドピンであり、2
9はグランド用リードピンであり、それぞれ回路基板2
3に接続されている。30131は回路基板23を支持
するための絶縁埋込みリードピンである。32.33は
封着ガラスである。
28 is a power supply pin for the circuit board 23;
9 is a lead pin for grounding, and each one is connected to the circuit board 2.
Connected to 3. 30131 is an insulated embedded lead pin for supporting the circuit board 23. 32 and 33 are sealing glasses.

34は金属製のキャップであり、その周縁の7ランジ3
5が基台51の表面に全周にわたって固定されている。
34 is a metal cap, and 7 langes 3 on its periphery
5 is fixed to the surface of the base 51 over the entire circumference.

キャップ34の上面には、スパナ受けとなる六角軸部5
2を一体に備えた取付ボルト53が溶接により固定され
ている。回路基板23からのグランド用リードピン29
は基台51に直接ロー付けされているので、基台51か
らキャップ34および取付ボルト53を介してアースが
取られることになる。
On the top surface of the cap 34, there is a hexagonal shaft portion 5 that serves as a wrench holder.
A mounting bolt 53 integrally provided with 2 is fixed by welding. Ground lead pin 29 from circuit board 23
Since it is directly brazed to the base 51, it is grounded from the base 51 via the cap 34 and the mounting bolt 53.

回路基板23から下方に延びる他のリードピン24.2
5.28を通過させるために、基台51には通し穴が設
けられている。これら通し穴には金属製のパイプ54が
固定され、その中に貫通コンデンサ55が、それぞれの
外周部をパイプ54に嵌合させ、内周部に各リードピン
24.25.28を挿通させて、それぞれ半田付けによ
り固定されている。
Another lead pin 24.2 extending downward from the circuit board 23
A through hole is provided in the base 51 to allow the passage of the 5.28. Metal pipes 54 are fixed in these through holes, and feedthrough capacitors 55 are fitted into the pipes 54 at their outer peripheries, and each lead pin 24, 25, 28 is inserted into the inner periphery. Each is fixed by soldering.

56は基台51に固定された配線用のコネクタである。56 is a wiring connector fixed to the base 51.

樹脂製のコネクタ56には、ブラケット57およびター
ミナル58.59.60がインサート成形されており、
ブラケット57の上部両端折返し部57aを、第4図に
示すように基台51の裏面に溶接することにより、コネ
クタ56が基台51に固定されている。このとき、基台
51の裏面から突出する3本のパイプ54は、ブラケッ
ト57に形成されたこれらのための挿通穴61を通され
る。そして、各リードピン24.25.28は、それぞ
れコネクタ56のターミナル58.5つ、60に溶接に
より接続される。そして最後に、ブラケット57のフラ
ンジ57bおよびコネクタ56の壁面56aによって囲
まれた接続部62に樹脂63が封止されて接続部62が
密封保護される。
A bracket 57 and terminals 58, 59, 60 are insert-molded into the resin connector 56.
The connector 56 is fixed to the base 51 by welding the folded portions 57a of both upper ends of the bracket 57 to the back surface of the base 51 as shown in FIG. At this time, the three pipes 54 protruding from the back surface of the base 51 are passed through the insertion holes 61 formed in the bracket 57 for these pipes. Each lead pin 24, 25, 28 is connected to the terminals 58, 60 of the connector 56 by welding, respectively. Finally, the connecting portion 62 surrounded by the flange 57b of the bracket 57 and the wall surface 56a of the connector 56 is sealed with resin 63 to seal and protect the connecting portion 62.

この加速度センサは、自動車の車体等の取付ねじ穴に取
付ボルト53を挿入し、六角軸部52にスパナを当てて
回し、取付ボルト53を取付ねじ穴にねじ込むことによ
り取り付けられる。その後、相手電源側のコネクタをこ
の加速度センサのコネクタ56に単に接続するたけて組
み付けが完了する。
This acceleration sensor is mounted by inserting a mounting bolt 53 into a mounting screw hole in the body of an automobile, etc., applying a spanner to the hexagonal shaft portion 52 and turning it, and screwing the mounting bolt 53 into the mounting screw hole. After that, the connector on the other side of the power source is simply connected to the connector 56 of this acceleration sensor, and the assembly is completed.

上記実施例における加速度センサ本体部の動作について
は、従来のものと同じである。すなわち、自動車等の走
行により発生した加速度は、基台51を介して振動板4
に伝えられ、振動板4に撓みを与える。振動板4の撓み
は、圧電セラミック素子5および6に引張力と圧縮力と
を交互に与えるため、圧電セラミック素子5および6に
電荷が発生する。この電荷は、回路基板23のインピー
ダンス変換回路で電圧に変換され、必要な帯域および最
適な出力レベルになるように濾波回路および増幅回路を
通って出力され、センサ出力が得られる。
The operation of the acceleration sensor main body in the above embodiment is the same as that of the conventional one. That is, the acceleration generated by the running of a car or the like is transmitted to the diaphragm 4 via the base 51.
is transmitted to give flexure to the diaphragm 4. Since the deflection of the diaphragm 4 alternately applies tensile force and compressive force to the piezoelectric ceramic elements 5 and 6, charges are generated in the piezoelectric ceramic elements 5 and 6. This charge is converted into a voltage by an impedance conversion circuit on the circuit board 23, and outputted through a filtering circuit and an amplification circuit so as to have a necessary band and optimum output level, and a sensor output is obtained.

このように、上記実施例によれば、加速度センサに取付
ボルトおよびコネクタを一体化したので、組み付は作業
時には、取付ボルトを相手のねし穴にねじ込むだけで簡
単に取り付けができるとともに、このコネクタに対にな
った相手側のコネクタを差し込むたけて電気的な接続が
可能となる。また、コネクタブロックを加速度センサ本
体部に後付けで取り付けが出来るので、製造時における
組み立ても簡、単になる。さらに、樹脂を封止する接続
部が凹部になっているので、樹脂が流れ出さず、封止作
業を容易に行える等の利点がある。
In this way, according to the above embodiment, the mounting bolt and connector are integrated into the acceleration sensor, so that during assembly work, the mounting bolt can be simply screwed into the mating tapped hole. Electrical connection is possible by simply inserting the mating connector into the connector. Furthermore, since the connector block can be attached to the acceleration sensor main body portion afterward, assembly at the time of manufacturing becomes easy and simple. Further, since the connecting portion for sealing the resin is a recessed portion, there are advantages such as the resin does not flow out and the sealing work can be performed easily.

発明の効果 本発明は、上記実施例から明らかのように、加速度セン
サの基台に取付ボルトを有するキャップと配線用のコネ
クタとを固定するとともに、このコネクタの各ターミナ
ルと加速度センサ本体部の各リードピンとを溶接等の手
段によって予め接続し、その接続部を樹脂で封止するよ
うにしたので、加速度センサとしての品質を低下させる
ことなく、相手部材への取り付けが極めて容易であり、
しかもコネクタに相手側のコネクタを装着するだけで加
速度センサとの接続が完了するので、使用に当たっての
組み付は作業が極めて簡単になるという効果を有する。
Effects of the Invention As is clear from the above embodiments, the present invention fixes a cap having mounting bolts and a wiring connector to the base of an acceleration sensor, and also fixes each terminal of the connector and each terminal of the acceleration sensor main body. Since the lead pin is connected in advance by means such as welding and the connection part is sealed with resin, it is extremely easy to attach to the mating member without degrading the quality of the acceleration sensor.
Moreover, since the connection with the acceleration sensor is completed simply by attaching the mating connector to the connector, the assembly work for use is extremely simple.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例における加速度センサの平面
図、第2図は同センサの正面図、第3図は同センサのキ
ャップを破断して内部を現わした概略平面図、第4図は
同センサの側面断面図、第5図は従来の加速度センサの
平面図、第6図は第5図のV−V線に沿う断面図、第7
図は第5図の■−■線に沿う断面図、第8図は同センサ
における主要部の平面図、第9図は同センサにおける主
要部の正面断面図、第10図は同センサにおけるセン・
す出力用圧電セラミック素子の平面図、第11図は同セ
ンサにおける焦電キャンセル用圧電セラミック素子の平
面図、第12図は同センサにおける振動板の平面図、第
13図は第12図に示す振動板の断面図、第14図は同
センサにおける振動板の別の例を示す平面図、第15図
は第14図に示す振動板の断面図である。 1・・・基台、2・・・位置決め穴、3・・・環状突起
、4・・振動板、5・・・センサ出力用圧電セラミック
素子、6・・・丸穴、7・・・センサ出力用プラス電極
、8・・・圧電素子駆動用プラス電極、9・・・マイナ
ス電極、10・・・環状ビード、11・・・焦電キャン
セル用圧電セラミック素子、12・・・丸穴、13・・
・プラス電極、14・・・マイナス電極、15・・・環
状ビード、16・・・位置決め穴、17・・・7ランジ
、18.19・・・リードフレーム、20.21・・・
半田、22・・・絶縁埋込みリードピン、23・・・回
路基板、24・・・センサ出力用リードピン、25・・
・圧電素子駆動用リードピン、27・・・半田、28・
・・電源供給用り一ドピン、29・・・グランド用リー
ドピン、30,31・・・絶縁埋込みリードピン、32
.33・・・封着Jjシラス34・・・キャップ、35
・・・フレーム、36・・・空間部、51・・・基台、
52・・・六角軸部、53・・・取付ボルト、54・・
・金属製パイプ、55・・・貫通コンデンサ、56・・
・コネクタ、57・・・ブラケット、58.59.60
・・・ターミナル、61・・・挿通穴、62・・・接続
部、63・・・封止樹脂。 第1図 IIPJ5図 Vll 11 !Is6図 第7図 第8図 第9図 第10図 第11図 第12図 第13図 第14図 第15図
FIG. 1 is a plan view of an acceleration sensor according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the sensor, FIG. 3 is a schematic plan view of the sensor with its cap cut away to reveal the inside, and FIG. The figure is a side cross-sectional view of the same sensor, Figure 5 is a plan view of a conventional acceleration sensor, Figure 6 is a cross-sectional view taken along the line V-V in Figure 5, and Figure 7 is a cross-sectional view of the sensor.
The figure is a sectional view taken along the line ■-■ in Figure 5, Figure 8 is a plan view of the main parts of the same sensor, Figure 9 is a front sectional view of the main parts of the sensor, and Figure 10 is the main part of the sensor.・
Fig. 11 is a plan view of the piezoelectric ceramic element for pyroelectric cancellation in the same sensor, Fig. 12 is a plan view of the diaphragm in the sensor, and Fig. 13 is shown in Fig. 12. 14 is a plan view showing another example of the diaphragm in the sensor, and FIG. 15 is a sectional view of the diaphragm shown in FIG. 14. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Base, 2... Positioning hole, 3... Annular projection, 4... Vibration plate, 5... Piezoelectric ceramic element for sensor output, 6... Round hole, 7... Sensor Positive electrode for output, 8... Positive electrode for driving piezoelectric element, 9... Negative electrode, 10... Annular bead, 11... Piezoelectric ceramic element for pyroelectric cancellation, 12... Round hole, 13・・・
-Positive electrode, 14...Negative electrode, 15...Annular bead, 16...Positioning hole, 17...7 lange, 18.19...Lead frame, 20.21...
Solder, 22... Insulated embedded lead pin, 23... Circuit board, 24... Lead pin for sensor output, 25...
・Piezoelectric element drive lead pin, 27...Solder, 28.
...Power supply pin, 29...Ground lead pin, 30, 31...Insulated embedded lead pin, 32
.. 33...Sealed Jj Shirasu 34...Cap, 35
... Frame, 36... Space part, 51... Base,
52...Hexagonal shaft part, 53...Mounting bolt, 54...
・Metal pipe, 55... Feedthrough capacitor, 56...
・Connector, 57... Bracket, 58.59.60
...terminal, 61...insertion hole, 62...connection part, 63...sealing resin. Figure 1 IIPJ5 Figure Vll 11! Is6Figure 7Figure 8Figure 9Figure 10Figure 11Figure 12Figure 13Figure 14Figure 15

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 表面中央部に環状突起を有する基台と、中央部が前記環
状突起に固定された振動板と、前記振動板の表裏両面に
正負電極を互いに対向させて導通接着された2枚の圧電
セラミック素子と、外側に向いた取付ボルトを有して前
記基台に前記圧電セラミック素子を覆うように固定され
たキャップと、前記基台に固定された配線用のコネクタ
とを備え、前記コネクタの各ターミナルと前記圧電セラ
ミック素子を含む加速度センサ本体部の各リード端子と
をそれぞれ接続した後、その接続部を樹脂で封止したこ
とを特徴とする加速度センサ。
A base having an annular projection at the center of its surface, a diaphragm whose center portion is fixed to the annular projection, and two piezoelectric ceramic elements having positive and negative electrodes facing each other and conductively bonded to the front and back surfaces of the diaphragm. a cap having mounting bolts facing outward and fixed to the base so as to cover the piezoelectric ceramic element; and a wiring connector fixed to the base, each terminal of the connector being fixed to the base so as to cover the piezoelectric ceramic element. and each lead terminal of the acceleration sensor main body including the piezoelectric ceramic element, and then the connection portion is sealed with resin.
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