JPH03141698A - Board conveying apparatus - Google Patents

Board conveying apparatus

Info

Publication number
JPH03141698A
JPH03141698A JP1278605A JP27860589A JPH03141698A JP H03141698 A JPH03141698 A JP H03141698A JP 1278605 A JP1278605 A JP 1278605A JP 27860589 A JP27860589 A JP 27860589A JP H03141698 A JPH03141698 A JP H03141698A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
board
locking
moving
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1278605A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshikatsu Sukegawa
助川 義勝
Akiyoshi Hashimoto
橋本 明善
Yoshio Matsumoto
松本 義男
Koichi Takayama
高山 孝一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Faurecia Clarion Electronics Co Ltd
Original Assignee
Clarion Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Clarion Co Ltd filed Critical Clarion Co Ltd
Priority to JP1278605A priority Critical patent/JPH03141698A/en
Publication of JPH03141698A publication Critical patent/JPH03141698A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To use even if a clearance between a board and a chassis is small by inserting the end of a board lock to the hole of the board to hold the board, moving it vertically and laterally, and engaging it. CONSTITUTION:A board holder 1 has a conveying chuck 10 and a chucking shaft 11, engages the end of the shaft 11 by a board lock 14, and moves it in both horizontal and vertical directions by a moving unit 2 made of a vertically moving rod 21 and a driver 20 to the end of a horizontally moving arm 22. Both ends of the chuck 10 are rotatably mounted with the round rodlike shaft 11, and a board locking pawl 15 is formed at the connector 14 inserted into the locking hole 70 formed at the board W at the end of the shaft 11. A pawl through part 71 is formed in a key hole shape, and engaged with the board W from its lower side by the pawl 15. The shaft 11 is rotated by a command from a lock controller to engage or disengage the board W.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は基板搬送装置に関する。[Detailed description of the invention] <Industrial application field> The present invention relates to a substrate transport device.

〈従来の技術〉 現在、組み立て工場では製造工程の大部分において機械
やロボットが導入され、作業の自動化が進んでいる。ま
た、この自動化は組み立て作業だけに限ったものではな
く、部品等を運ぶための搬送用機械も多く自動化されて
いる。このよっな自動組み立てラインにおいてプリント
基板をシャ−シにマウントする際等、そのプリン1一基
板を搬送する方法として電磁石により基板を吸:u シ
%を送する電磁吸着方式や、吸盤により基板を吸着し搬
送する真空吸着方式、或いは基板表面に特別の形状の係
11一部を形成してこの係止部をチャックで保持して搬
送するチャック方式、また基板の外形部を支持レールに
より支持して搬送する外形支持方式%式% 〈発明が解決しようどする課題〉 しかし、電磁吸着方式は当然基板が着磁されるものに限
られ、また、着磁されるものであってもテープレコーダ
のヘッド等のように磁力を嫌う部品が装着されている場
合には使用できない。更に、搬送中に停電等が起きて装
置が停止すると搬送中の基板が落下する等安全面で問題
がある。真空吸着方式では基板に吸盤を吸着させるため
の滑らかな平面を必要とし、重量物を搬送するためには
その平面を大きくしなくてはならないため、デッドスペ
ースが大きくなる。また、電磁吸着方式と同様に、搬送
途中の装置の停止等により吸盤の吸着が外れた場合、基
板が落下する危険がある。またチャッキング方式の場合
には基板にチャックを掛けるための特別の形状の係止部
を形成しなければならない欠点がある。更に外形支持ノ
1式では基板外形部に支持用のデッドスペースを設ける
必要があり、また基板とシャーシの間のクリアランスが
小さい場合には使用できない等の欠点がある。
<Conventional technology> At present, machines and robots are being introduced in most of the manufacturing processes at assembly plants, and work automation is progressing. Furthermore, this automation is not limited to assembly work only; many transport machines for transporting parts and the like are also automated. When mounting a printed circuit board on a chassis on such an automatic assembly line, there are two methods of transporting the printed circuit board: an electromagnetic suction method in which an electromagnet is used to suck and transfer the board, and a suction cup is used to transport the board. A vacuum suction method that sucks and transports the board, a chuck method that forms a part of a specially shaped locking part on the substrate surface and holds this locking part with a chuck and transports it, and a chuck method that supports the outer part of the board with a support rail. <Problem to be solved by the invention> However, the electromagnetic adsorption method is naturally limited to those in which the substrate is magnetized, and even in those in which the substrate is magnetized, it cannot be used in tape recorders. It cannot be used if components that dislike magnetic force are attached, such as a head. Furthermore, if a power outage or the like occurs during transportation and the apparatus is stopped, there are safety problems such as the board being transported falling. The vacuum suction method requires a smooth flat surface for suctioning the suction cup to the substrate, and the flat surface must be enlarged in order to transport heavy objects, resulting in a large dead space. Furthermore, as with the electromagnetic adsorption method, there is a risk that the substrate will fall if the suction cup becomes detached due to, for example, a stoppage of the device during transportation. Further, in the case of the chucking method, there is a drawback that a locking portion of a special shape must be formed for chucking the substrate. Furthermore, the external support type 1 requires a dead space for support to be provided in the external part of the board, and has the disadvantage that it cannot be used when the clearance between the board and the chassis is small.

以上のように従来の構成では搬送する基板に対する制限
や破損の危険が大きかった。
As described above, in the conventional configuration, there are restrictions on the substrates to be transported and there is a great risk of damage.

く課題を解決するための手段〉 本発明の基板搬送装置は上記した欠点を解決するために
開発されたもので、基板に設も′また孔に挿入される先
端部に基板係止部を有する基板保持手段と、該基板保持
手段を上下動させる第1−の移動手段と、該基板保持手
段を横方向に移動させる第2の移動手段と、該基板保持
手段先端と基板との位置関係を検出する基板検出手段と
、該基板検出手段からの出力に基づき上記基板係止部に
係止状態をとらせる係!ト手段とを備えたことを特徴と
する。また、第2発明は上記の基板保持手段と、第】の
移動手段と、第2の移動手段と、基板検出手段とに加え
て、第1の移動手段及び第2の移動手段に所定座標間の
移動指令を出力する移動制御手段と、前記基板検出手段
の出力に基づき上記基板係止部に係止状態をとらせ、移
動制御手段が所定座標に達した出力に基づき前記基板係
上部に解除動作をとらせる係止制御手段とを設けたこと
を特徴とする。
Means for Solving the Problems> The substrate transfer device of the present invention was developed to solve the above-mentioned drawbacks, and it has a substrate locking portion at the tip that is inserted into the hole. A substrate holding means, a first moving means for vertically moving the substrate holding means, a second moving means for moving the substrate holding means in a lateral direction, and a positional relationship between the substrate holding means tip and the substrate. A board detecting means for detecting the board, and a member for causing the board locking portion to take a locked state based on the output from the board detecting means! The invention is characterized by comprising: In addition to the substrate holding means, the moving means, the second moving means, and the substrate detecting means, the second invention also provides a method for moving the first moving means and the second moving means between predetermined coordinates. a movement control means for outputting a movement command; and a movement control means for causing the board locking part to take a locked state based on the output of the board detection means, and a movement control means for causing the board locking part to take a locked state based on an output when a predetermined coordinate is reached. It is characterized in that it is provided with a locking control means for causing the operation.

〈作用〉 第1の発明においては、第1の移動手段と第2の移動手
段とにより、基板保持手段を所定の位置に移動させる。
<Operation> In the first invention, the first moving means and the second moving means move the substrate holding means to a predetermined position.

そして、基板検出手段により基板が所定の位置にあるこ
とを確認すると、基板保持手段先端に設けられている基
板係止部を基板の孔に挿入し、更に係止手段を作動させ
て、基板係止部に係止状態を取らせる。
When the board detecting means confirms that the board is in a predetermined position, the board locking part provided at the tip of the board holding means is inserted into the hole of the board, and the locking means is actuated to lock the board. The stop part assumes a locked state.

また第2の発明においては、移動制御手段により制御さ
れる第1の移動手段と第2の移動手段とにより基板保持
手段を所定の位置にまで移動させる。そして、係止制御
手段は基板検出手段により基板が所定の位置に有ること
を確認すると、移り1制御手段に出力し基板の孔に基板
保持手段の先端の基板係止部を挿入させる。そして、更
に係止手段を作動させて基板係止部に基板係IF状態を
とらせる。その後、移動制御手段は基板を保持したこと
を確認すると、第1と第2の移動手段を制御して基板を
所定の位置まで搬送する。係止制御手段はそれを確認す
ると、係止手段による係止状態を解除する。
Further, in the second invention, the substrate holding means is moved to a predetermined position by the first moving means and the second moving means controlled by the movement control means. When the locking control means confirms that the substrate is at a predetermined position by the substrate detection means, it outputs an output to the transfer 1 control means to insert the substrate locking portion at the tip of the substrate holding means into the hole of the substrate. Then, the locking means is further actuated to cause the board locking portion to assume the board locking IF state. Thereafter, when the movement control means confirms that the substrate is held, it controls the first and second movement means to transport the substrate to a predetermined position. When the locking control means confirms this, it releases the locked state by the locking means.

〈実施例〉 以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。<Example> An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings.

この基板搬送装置は基板係止部14を備えた基板保持装
置1と、この基板保持装置1を駆動するための移動装置
2とを備えている。また基板Wと基板保持装置1の位置
関係を検出するファイバーセンサ4を備えており、更に
このファイバーセンサ4の出力に基づいて該基板係止部
」4に係止状態をとらせるロータリーアクチュエータ;
3とを有している。前記移動装置2は移動制御装置5に
ょリ、またロータリーアクチュエータ3は係止制御装置
6により制御されるように構成されている。
This substrate transport device includes a substrate holding device 1 having a substrate locking portion 14, and a moving device 2 for driving this substrate holding device 1. A rotary actuator further includes a fiber sensor 4 that detects the positional relationship between the substrate W and the substrate holding device 1, and further causes the substrate locking portion 4 to take a locked state based on the output of the fiber sensor 4;
3. The moving device 2 is configured to be controlled by a movement control device 5, and the rotary actuator 3 is controlled by a locking control device 6.

ファイバーセンサ4の検出値は係止制御装置6に入力さ
れるように構成されている。また係止制御装置6は後述
するペンシリンダ9も制御するようになっている。移動
制御装置5には座標記憶器8が備えられており、またパ
レット動作検出器7からの信号が入力されるように構成
されている。
The detection value of the fiber sensor 4 is configured to be input to the locking control device 6. The locking control device 6 also controls a pen cylinder 9, which will be described later. The movement control device 5 is equipped with a coordinate memory 8 and is configured to receive signals from the pallet motion detector 7.

基板保持装置1は第2図に示すように搬送用チャック1
0とチャッキングシャフト11を有しており、このチャ
ッキングシャフト11の先端部が前記した基板係止部1
4に成っている。移動装置2はこの実施例ではロボット
になっており、水平方向と垂直方向の両方の移動装置を
兼ねている。
The substrate holding device 1 includes a transport chuck 1 as shown in FIG.
0 and a chucking shaft 11, the tip of the chucking shaft 11 is connected to the substrate locking portion 1 described above.
It has become 4. The moving device 2 is a robot in this embodiment, and serves as both a horizontal and vertical moving device.

基板保持装置1の搬送用チャック10は長方形の板状体
であり、その中心部において移動装置2と機械的に結合
されている。移動装置2は水平方向移動自在に構成され
た水平方向移動アーム22と該水平方向移動アーム22
の先端部に上下方向移動可能に装着された上下方向移動
ロッド21及びこれらを駆動する鄭動部20とから構成
されている。移動装置2は第1図に示すように移動制御
装置5に接続され、移動制御装置5からの指令に基づい
て上下方向移動ロッド21と水平方向移動アーム22を
水平方向及び垂直方向に移動させるように構成されてい
る。
The transport chuck 10 of the substrate holding device 1 is a rectangular plate-shaped body, and is mechanically coupled to the moving device 2 at its center. The moving device 2 includes a horizontal moving arm 22 configured to be movable in the horizontal direction;
It is composed of a vertically moving rod 21 that is mounted on the tip of the vertically movable rod 21 and a moving part 20 that drives these rods. The movement device 2 is connected to a movement control device 5 as shown in FIG. 1, and is configured to move the vertical movement rod 21 and the horizontal movement arm 22 in the horizontal and vertical directions based on commands from the movement control device 5. It is composed of

基板保持装置1は搬送用チャック10を介して該上下方
向移動ロッド21と連結されており、これにより移動装
置2の移動に伴って水平方向及び垂直方向に移動するよ
うに構成されている。
The substrate holding device 1 is connected to the vertically moving rod 21 via a transport chuck 10, and is configured to move horizontally and vertically as the moving device 2 moves.

搬送用チャック10の両端側には丸棒状のチャッキング
シャフト11が回動可能に装着されており、このチャッ
キングシャフト11を回動させるためのロータリーアク
チュエータ3が夫々殿送用チャック10の上面に設けら
れている。チャッキングシャフト11の先端部は基板W
に形成された係止孔70に挿入される基板係止部14に
なっており、ここに基板係止爪15が形成されている。
Round bar-shaped chucking shafts 11 are rotatably mounted on both ends of the transporting chuck 10, and rotary actuators 3 for rotating the chucking shafts 11 are mounted on the upper surface of the transporting chuck 10, respectively. It is provided. The tip of the chucking shaft 11 is connected to the substrate W.
The board locking portion 14 is inserted into a locking hole 70 formed in the board locking portion 14, and a board locking claw 15 is formed here.

係止孔70はこの実施例ではメカニズムを固定するため
の固定用支柱を貫通させるための径8mmの孔をそのま
ま利用しており、ここに新たに爪通過部71を形成して
鍵穴形状としている。チャッキングシャフト11を下降
させ、基板係止爪15をこの爪通過部71を貫通させた
上でチャッキングシャフト11を回動させることにより
、基板Wを下側から基板係止爪15により係止する構成
になっている。
In this embodiment, the locking hole 70 is a hole with a diameter of 8 mm through which a fixing column for fixing the mechanism is passed, and a pawl passage portion 71 is newly formed therein to form a keyhole shape. . By lowering the chucking shaft 11, passing the substrate locking pawl 15 through the pawl passage portion 71, and rotating the chucking shaft 11, the substrate W is locked from below by the substrate locking pawl 15. It is configured to do this.

チャッキングシャフト11を回転駆動させるロータリー
アクチュエータ3は第1図に示すように係止制御装置6
により制御されており、係止制御装置6からの指令によ
りチャッキングシャフト11を回動させて前記した様に
基板Wを係止又は係止解除するように構成されている。
The rotary actuator 3 that rotationally drives the chucking shaft 11 is connected to a locking control device 6 as shown in FIG.
The chucking shaft 11 is rotated in response to a command from the locking control device 6 to lock or unlock the substrate W as described above.

ファイバーセンサ4は基板保持装置1の搬送用チャック
10上に装着されており、上下方向移動ロッド21を中
心とした対角の位置に1個づつ計2個が設けられている
。該ファイバーセンサ4は搬送用チャック10に取付け
られている本体40と、該本体40から垂直下向きに伸
びている棒状のファイバ検知器41とからなる。該ファ
イバ検知器41の下端部の位1dする高さはチャッキン
グシャフト11の下端部よりも上側となっている。
The fiber sensors 4 are mounted on the transport chuck 10 of the substrate holding device 1, and a total of two fiber sensors 4 are provided, one at each diagonal position with the vertically moving rod 21 at the center. The fiber sensor 4 consists of a main body 40 attached to the transport chuck 10 and a rod-shaped fiber detector 41 extending vertically downward from the main body 40. The height of the lower end of the fiber detector 41 is higher than the lower end of the chucking shaft 11.

該ファイバーセンサ4はファイバ検知器41の下端部よ
り光を下方向に発射し、その反射光を受信することによ
りファイバ検知器41先端付近における基板Wの有無を
検出して、係止制御装置6に出力する構成となっている
。ファイバ検知器41はその下側に基板Wがないことを
検出すると共に、ファイバ検知器41よりも基板Wが所
定距離前れた場合にもこれを検出できるように構成され
ている。
The fiber sensor 4 emits light downward from the lower end of the fiber detector 41, detects the presence or absence of the substrate W near the tip of the fiber detector 41 by receiving the reflected light, and controls the locking control device 6. It is configured to output to . The fiber detector 41 is configured to detect the absence of the substrate W below the fiber detector 41, and also to detect when the substrate W is a predetermined distance ahead of the fiber detector 41.

ペンシリンダ9は基板保持装置1による基板保持を補助
するためのもので、ファイバーセンサ4と同様に搬送用
チャック10上に装着されており、上下方向移動ロッド
21を中心とした対角の位置に一個づつ計2個が設けら
れている。ペンシリンダ9はシリンダ90とこのシリン
ダ90の非動により進退する抑圧部91とから構成され
、搬送用チャック10から垂直下向きに取付けられてい
る。
The pen cylinder 9 is for assisting the substrate holding device 1 in holding the substrate, and like the fiber sensor 4, it is mounted on the transport chuck 10, and is positioned diagonally around the vertically moving rod 21. There are two in total, one each. The pen cylinder 9 is composed of a cylinder 90 and a suppressing part 91 that moves forward and backward when the cylinder 90 does not move, and is attached vertically downward from the conveyance chuck 10.

この押圧部91により基板Wを下方向に押して。The pressing portion 91 pushes the substrate W downward.

基板Wを前記した基板係止爪」5に確実に係1トするこ
とにより基板保持装置]−の保持を確実に行わせるよう
になっている。また、基板係止爪15による係止解除の
際には押圧部9]で基板Wを押して基板Wをシャーシ等
にマウン1へさせるように構成されている。このペンシ
リンダ9は第1図に示すように係止制御装置6によりロ
ータリーアクチュエータ3と共に制御されるように構成
されている。
By reliably engaging the substrate W with the aforementioned substrate locking claws 5, the substrate holding device can be held securely. Furthermore, when the substrate locking claw 15 releases the lock, the substrate W is pushed by the pressing portion 9 to cause the substrate W to be mounted on the chassis or the like. As shown in FIG. 1, this pen cylinder 9 is configured to be controlled together with the rotary actuator 3 by a locking control device 6.

上記した基板保持装置1と移動装置2及びロータリーア
クチュエータ3とペンシリンダ9を制御する移動制御装
置5と係止制御装置6は単一のマイクロコシピユータを
主体とする電気的回路により構成されており、相互に信
号の送受信を行っている。
The movement control device 5 and locking control device 6 that control the substrate holding device 1, the movement device 2, the rotary actuator 3, and the pen cylinder 9 described above are constituted by an electric circuit mainly composed of a single microcoscipulator. They send and receive signals to each other.

移動制御装置5には、組み立てラインにおいて搬送対象
物である基板Wが乗せられて運ばれてくるパレットの動
作を検出するパレット動作検出器7からの検出信号が人
力するようになっている。
The movement control device 5 is configured to receive a detection signal from a pallet movement detector 7 that detects the movement of a pallet carrying a substrate W, which is an object to be transported, on an assembly line.

また移動制御装置5は座標記憶器8を有しており、この
座標記憶器8は基板保持装置1の位置と移動経路及び基
板Wの置かれている位置等を記憶している。この座標記
憶器8の記憶内容は移動制御装置5に適宜出力され、ま
た移動制御装置5からの入力に基づき逐次書き換えられ
る構成となっている。
Furthermore, the movement control device 5 has a coordinate memory 8, which stores the position and movement route of the substrate holding device 1, the position where the substrate W is placed, and the like. The contents stored in the coordinate memory 8 are outputted to the movement control device 5 as appropriate, and are sequentially rewritten based on input from the movement control device 5.

移動制御装置5はパレット動作検出器7からのパレット
検出信号によりパレットが所定の状態にあることを確認
し、移動装置2を制御して上下方向移動ロッド21と水
平方向移動アーム22とを作動させて、座標記憶器8に
予めセットされている移動経路に従いチャッキングシャ
フト11を所定の位置まで移動させ、係止制御装置6か
らの信号に基づいてチャッキングシャフト11の基板係
止部14を基板Wの係止孔70に挿通するように構成さ
れている。また係止制御装置6からの人力により基板保
持装置d1による基板Wの保持状態が所定の状態にある
ことを確認すると、座標記憶器8に記憶されている座標
データに基づいて移動装置2の上下方向移動ロッド21
及び水平方向移動アーム22を作動させて、基板保持装
置1を所定の位置に移動させた上で、チャッキングシャ
フト1]、を係止孔70から引き抜く様になっている。
The movement control device 5 confirms that the pallet is in a predetermined state based on the pallet detection signal from the pallet movement detector 7, and controls the movement device 2 to operate the vertical movement rod 21 and the horizontal movement arm 22. Then, the chucking shaft 11 is moved to a predetermined position according to the movement path preset in the coordinate memory 8, and the substrate latching portion 14 of the chucking shaft 11 is moved to a predetermined position based on the signal from the latching control device 6. It is configured to be inserted into the locking hole 70 of W. Further, when it is confirmed by human power from the locking control device 6 that the substrate W is held in a predetermined state by the substrate holding device d1, the moving device 2 is moved up and down based on the coordinate data stored in the coordinate memory 8. Directional movement rod 21
After operating the horizontal movement arm 22 and moving the substrate holding device 1 to a predetermined position, the chucking shaft 1] is pulled out from the locking hole 70.

一方係止制御装置6はファイバーセンサ4からの人力に
より所定の位置における基板の41無を確認し、且つ移
動制部製ftf 5からの入力により基板保持′i!!
i置1が所定の位置に達したことを確認するとロータリ
ーアクチュエータ3を制御し基板保持装置1のチャッキ
ングシャフト11を回動させて、基板係止爪15による
基板Wの係止或いは係止解除を行なわせる。また同時に
ペンシリンダ9を作動させて基板Wの保持及び保持解除
を補助させるように構成されている。財に係止制御装置
(3は基板W搬送中においてもファイバーセンサ4から
の人力により、基板Wが保持されていることを確認し続
けるとともに、保持解除時においては保持が解除された
ことを確認する構成となっている。
On the other hand, the locking control device 6 uses human power from the fiber sensor 4 to confirm whether the board 41 is present at a predetermined position, and receives input from the FTF 5 made by the mobile control department to determine if the board is held 'i!'. !
When it is confirmed that the i-position 1 has reached a predetermined position, the rotary actuator 3 is controlled to rotate the chucking shaft 11 of the substrate holding device 1, thereby locking or releasing the locking of the substrate W by the substrate locking claw 15. have them do it. At the same time, the pen cylinder 9 is operated to assist in holding and releasing the holding of the substrate W. A locking control device (3) uses human power from the fiber sensor 4 to continuously confirm that the substrate W is being held even while the substrate W is being transported, and also to confirm that the holding has been released when the holding is released. It is configured to do this.

次に第3図乃至5図及び第6図に示すフローチャートに
より動作を説明する。
Next, the operation will be explained with reference to flowcharts shown in FIGS. 3 to 5 and 6.

システムスタート(ステップ50)後、移動制御装置5
はシャーシがのせられたパレットのパレット動作検出器
7からの入力によりパレットが停止状態になったことを
確認すると(ステップ5]−)、移動装置2を制御し上
下方向移動ロット21と水平方向移動アーム22とを作
動させて、座標記憶器8に予めセットされている移動経
路に従いチャッキングシャフト11を基板供給装置の位
置まで移動させる(ステップ52)。この位置において
、係止制御装置6はファイバーセンサ4により基板Wを
検出すると(ステップ53)、移動制御装置5に信号を
送りチャッキングシャフト11を基板Wの係止孔70に
差し込ませる(ステップ54)。この時、チャッキング
シャフト11が係止孔70を通過できるように、第3図
に示すとおり基板係止爪15と爪通過部71との位置は
一致するように予め所定の角度に設定しておく。チャッ
キングシャフト11が係止孔70に差し込まれると、係
止制御装置6はロータリーアクチュエータ3を制御しチ
ャッキングシャフト]81を回軸させて基板係止爪1−
5と爪通過部71との位置をずらし、チャッキングシャ
フト11が係止孔70から抜けないようにする(ステッ
プ56)、その結果、基板係止爪15により基板Wを下
側から支持して係止することができる。また、同時に係
止制御装置6はペンシリンダ9を作動させて、第4図に
示すように基板Wを上側から押えることにより、基板W
を抑圧部91と基板係止爪15とで上下から挾む(ステ
ップ57)。これにより基板Wの保持を確実なものとす
る。一方、ステップ53において基板を検出できなかっ
た場合には、ステップ55に進み所定の処理を行なう。
After the system starts (step 50), the movement control device 5
When confirming that the pallet is in a stopped state based on the input from the pallet movement detector 7 of the pallet on which the chassis is placed (step 5]-), it controls the moving device 2 and moves the lot 21 vertically and horizontally. The arm 22 is operated to move the chucking shaft 11 to the position of the substrate supply device according to the movement path preset in the coordinate memory 8 (step 52). In this position, when the locking control device 6 detects the substrate W using the fiber sensor 4 (step 53), it sends a signal to the movement control device 5 to insert the chucking shaft 11 into the locking hole 70 of the substrate W (step 54). ). At this time, in order to allow the chucking shaft 11 to pass through the locking hole 70, as shown in FIG. put. When the chucking shaft 11 is inserted into the locking hole 70, the locking control device 6 controls the rotary actuator 3 to rotate the chucking shaft 81 and lock the board locking claw 1-.
5 and the pawl passing portion 71 to prevent the chucking shaft 11 from coming out of the locking hole 70 (step 56). As a result, the substrate W is supported from below by the substrate locking pawl 15. Can be locked. At the same time, the locking control device 6 operates the pen cylinder 9 to press the substrate W from above as shown in FIG.
is sandwiched from above and below between the suppressing portion 91 and the board locking claw 15 (step 57). This ensures that the substrate W is held securely. On the other hand, if the substrate cannot be detected in step 53, the process proceeds to step 55 and predetermined processing is performed.

移動制御装置5は係止制御装置6からの信号により基板
Wを保持したことを確認すると(ステップ58)、移動
装置2を作動させて基板Wを所定の位置まで搬送する(
ステップ59)。逆に基板保持が確認されなかった場合
は、ステップ60に進み所定の処理を行なう。ステップ
59の搬送中においても係止制御装置6はファイバーセ
ンサ4により、基板Wが保持されていることを確認する
(ステップ61)。
When the movement control device 5 confirms that the substrate W is held by the signal from the locking control device 6 (step 58), it operates the movement device 2 and transports the substrate W to a predetermined position (step 58).
Step 59). Conversely, if holding the substrate is not confirmed, the process proceeds to step 60 and predetermined processing is performed. Even during the transportation in step 59, the locking control device 6 uses the fiber sensor 4 to confirm that the substrate W is being held (step 61).

この時、基板の保持状態に異変が生じたことが確認され
ると、ステップ62に進み所定の処理を行なう。係止制
御装置6は移動制御装置5からの信号により所定の位置
まで搬送されたことを確認すると、チャッキングシャフ
ト11を回動させて基板係止爪15が爪通過部71を通
過することができるようにする(ステップ63)。続い
て、移!1j制御装置5に信号を送りチャッキングシャ
フト11を係止孔70から引き抜き、基板保持状態を解
除する。このチャッキングシャフト11の引き抜き時に
、第5図に示すように係止制御装置6はペンシリンダ9
のシリンダ90を更に伸ばし、チャッキングシャフト1
1の先端部が完全に係止孔70から引き抜かれるまで基
板Wを押え続ける(ステップ64)。即ち、ペンシリン
ダ9により基板Wを上から押え続けることにより基板W
を所定の位置に正確に装着することが可能になる。そし
て、ファイバーセンサ4からの信号により係止制御装置
6は基板Wが離されたことを確認すると(ステップ65
)、その後チャッキングシャフト11は移動制御装置f
f5の制御により再び作業開始時の所定の位置に戻され
る(ステップ66)。逆にステップ65で基板が離され
ていない場合は、ステップ67に進み所定の処理を行な
う。
At this time, if it is confirmed that an abnormality has occurred in the holding state of the substrate, the process proceeds to step 62 and predetermined processing is performed. When the locking control device 6 confirms that the substrate has been transported to a predetermined position based on the signal from the movement control device 5, it rotates the chucking shaft 11 to allow the substrate locking claws 15 to pass through the claw passing portion 71. (Step 63). Next, move! 1j A signal is sent to the control device 5 to pull out the chucking shaft 11 from the locking hole 70 and release the substrate holding state. When the chucking shaft 11 is pulled out, the locking control device 6 locks the pen cylinder 9 as shown in FIG.
Further extend the cylinder 90 of the chucking shaft 1.
The substrate W is continued to be held down until the tip of the substrate 1 is completely pulled out from the locking hole 70 (step 64). That is, by continuing to press the substrate W from above with the pen cylinder 9, the substrate W is
It is possible to accurately mount it in a predetermined position. Then, when the locking control device 6 confirms that the substrate W has been released based on the signal from the fiber sensor 4 (step 65
), then the chucking shaft 11 is moved by the movement control device f
It is returned to the predetermined position at the start of work by the control of f5 (step 66). Conversely, if the substrate is not released in step 65, the process proceeds to step 67 and predetermined processing is performed.

なお、基板保持装置1の基板係止部14としては上記し
た基板係止爪15の他に第7図に示すような構成のもの
も採用可能である。
In addition to the above-mentioned substrate locking claws 15, the substrate locking portion 14 of the substrate holding device 1 may have a structure as shown in FIG. 7.

この基板係止部14′は外軸81とピストン82、及び
内軸83と弾性部84とを備えている。
This board locking portion 14' includes an outer shaft 81, a piston 82, an inner shaft 83, and an elastic portion 84.

外軸81は下端が開口状態の中空のパイプであり。The outer shaft 81 is a hollow pipe with an open bottom end.

この外軸81の内側に上下に可動なピストン82が設け
られいる。ピストン82の下側にはピストン82の下降
により外側に広がる弾性部84が設けられており、この
弾性部84はピストン82を貫通する内軸83の先端部
に形成された径大の係止部85により係止される構成に
なっている。この構成においてピストン82が上下する
と、弾性部84は該ピストン82と係止部85の間に挾
まれ、その弾性により弾性部84自身が外軸81の外周
の外側にはみ出す。即ち、基板係止部14′では外軸8
1の外周にはみ出した弾性部84が基板係止部の役割を
果たす構成となっている。
A vertically movable piston 82 is provided inside this outer shaft 81. An elastic part 84 is provided on the lower side of the piston 82 and expands outward as the piston 82 descends. It is configured to be locked by 85. In this configuration, when the piston 82 moves up and down, the elastic part 84 is caught between the piston 82 and the locking part 85, and due to its elasticity, the elastic part 84 itself protrudes outside the outer periphery of the outer shaft 81. That is, in the board locking portion 14', the outer shaft 8
The elastic portion 84 protruding from the outer periphery of the substrate 1 serves as a board locking portion.

この基板係止部14′のような構成とした場合には、第
2図に示した構成とは異なり基板Wの係止孔70に爪通
過部71を設ける必要がなく、基板Wの面積を全く損な
うことがない利点がある。
When the circuit board locking part 14' is configured, unlike the configuration shown in FIG. There are advantages that cannot be compromised at all.

以上説明した実施例では、基板の材質や外形に関係なく
また基板上にデッドスペースを必要とせず、単に係止孔
70と爪通過部71を設けるだけで基板Wを確実に保持
し搬送することができる。
In the embodiment described above, the substrate W can be reliably held and transported by simply providing the locking hole 70 and the claw passage portion 71, regardless of the material and external shape of the substrate, and without requiring dead space on the substrate. Can be done.

また停電時等においても基板Wが脱落すること等がなく
安全である。更に係止孔70としては既存の固定用の支
柱孔等を利用することも可能である。
Further, even in the event of a power outage, the substrate W does not fall off, so it is safe. Further, as the locking hole 70, it is also possible to use an existing fixing post hole or the like.

〈発明の効果〉 以上説明したように本発明の基板搬送装置は、基板に設
けた孔に挿入される先端部に基板係上部を有する基板保
持手段と、該基板保持手段を一ヒ下動させる第1の移動
手段と、該基板保持手段を横方向に移動させる第2の移
動手段と、該基板保持手段先端と基板との位置関係を検
出する基板検出手段と、該基板検出手段からの出力に基
づき上記基板係止部に係止状態をとらせる係止手段とを
備えており、基板上にデッドスペースや保持用の部材を
必要とせず、確実に基板を搬送することができる。また
基板とシャーシの間のクリアランスが小さい場合でも使
用することが可能であり、更に停電等による装置稼動中
の停(1ユ時にも安全を確保することができる等の効果
がある。また第2発明においては上記した基板保持部と
、第1の移動手段と、第2の移動手段と、基板検出手段
に加えて第1の移動手段及び第2の移動手段に所定座標
間の移動指令を出力する移動制御手段と、前記基板検出
手段の出力に基づき基板係IJ:、部に係止状態をとら
せ、移動制御手段が所定座標に達した出力に基づき基板
係止部に解除動作をとらせる係止制御手段とを僅えてい
るため、第1発明の効果に加えて基板の自動搬送が可能
となる。
<Effects of the Invention> As explained above, the substrate conveying device of the present invention includes a substrate holding means having a substrate engaging part at the distal end that is inserted into a hole provided in the substrate, and a substrate holding means that moves the substrate holding means one step downward. a first moving means, a second moving means for laterally moving the substrate holding means, a substrate detecting means for detecting the positional relationship between the tip of the substrate holding means and the substrate, and an output from the substrate detecting means. A locking means for causing the substrate locking portion to assume a locked state based on the above is provided, and the substrate can be reliably transported without requiring a dead space or a holding member on the substrate. In addition, it can be used even when the clearance between the board and the chassis is small, and it also has the effect of ensuring safety even when the equipment is stopped due to a power outage, etc. In the invention, in addition to the above-described substrate holding section, first moving means, second moving means, and substrate detecting means, a movement command between predetermined coordinates is output to the first moving means and the second moving means. and a movement control means for causing the board locking part to take a locked state based on the output of the board detection means, and causing the board locking part to take a release action based on the output when the movement control means reaches a predetermined coordinate. Since the number of locking control means is small, automatic conveyance of the substrate becomes possible in addition to the effect of the first invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例のブロック図、第2図はその
機械的な構成を示す斜視図、第:3図乃至第5図は動作
説明図、第6図はフローチャート図、第7図は他の実施
例の説明図である。 に基板保持装置、2:移動装置、z3:ロータリーアク
チュエータ、4:ファイバーセンサ、5:移動制御袋1
tt、6:係止制御装置、7:パレット動作検出器、8
:座標記憶器、9:ペンシリンダ、10:iFi送用チ
ャック、1コニチヤツキングシヤフト、14:基板係止
部、15:Jん板係止爪、20:呼動部、21:上下方
向移動ロンド、22:水平方向移動アー11.40:本
体、41:ファ、イバ検知器、70:係止孔、71:爪
通過部、81:外軸、82:ピストン、83:内軸、8
4二弾性部、85:係止部、90ニジリンダ、91:抑
圧部。
Fig. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a perspective view showing its mechanical configuration, Figs. 3 to 5 are operation explanatory diagrams, Fig. 6 is a flow chart, and Fig. The figure is an explanatory diagram of another embodiment. Substrate holding device, 2: Movement device, z3: Rotary actuator, 4: Fiber sensor, 5: Movement control bag 1
tt, 6: Locking control device, 7: Pallet movement detector, 8
: Coordinate memory device, 9: Pen cylinder, 10: iFi feeding chuck, 1-coin chucking shaft, 14: Board locking part, 15: J plate locking claw, 20: Calling part, 21: Vertical direction Moving rond, 22: Horizontal movement arm 11.40: Main body, 41: Fa, fiber detector, 70: Locking hole, 71: Claw passage part, 81: Outer shaft, 82: Piston, 83: Inner shaft, 8
42 elastic part, 85: locking part, 90 cylinder, 91: suppressing part.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)基板に設けた孔に挿入される先端部に基板係止部を
有する基板保持手段と、 該基板保持手段を上下動させる第1の移動手段と、 該基板保持手段を横方向に移動させる第2の移動手段と
、 該基板保持手段先端と基板との位置関係を検出する基板
検出手段と、 該基板検出手段からの出力に基づき上記基板係止部に係
止状態をとらせる係止手段と、 を設けたことを特徴とする基板搬送装置。 2)基板に設けた孔に挿入される先端部に基板係止部を
有する基板保持手段と、 該基板保持手段を上下動させる第1の移動手段と、 該基板保持手段を横方向に移動させる第2の移動手段と
、 該基板保持手段先端と基板との位置関係を検出する基板
検出手段と、 第1の移動手段及び第2の移動手段に所定座標間の移動
指令を出力する移動制御手段と、 基板検出手段出力に基づき上記基板係止部に係止状態を
とらせ、上記移動制御手段が所定座標に達した出力に基
づき上記基板係止部に解除動作をとらせる係止制御手段
と、 を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
[Scope of Claims] 1) A substrate holding means that is inserted into a hole provided in the substrate and has a substrate locking portion at its tip, a first moving means that moves the substrate holding means up and down, and the substrate holding means a second moving means for laterally moving the substrate; a substrate detecting means for detecting the positional relationship between the tip of the substrate holding means and the substrate; and a locked state in the substrate locking portion based on an output from the substrate detecting means. 1. A substrate transfer device, comprising: a locking means for causing the movement to take place; 2) a substrate holding means that is inserted into a hole provided in the substrate and has a substrate locking portion at its tip; a first moving means that moves the substrate holding means up and down; and a first moving means that moves the substrate holding means in a lateral direction. a second moving means; a substrate detecting means for detecting the positional relationship between the tip of the substrate holding means and the substrate; and a movement control means for outputting a movement command between predetermined coordinates to the first moving means and the second moving means. and locking control means for causing the board locking part to take a locked state based on the output of the board detecting means, and causing the board locking part to perform a release operation based on the output when the movement control means reaches a predetermined coordinate. A substrate transfer device comprising: .
JP1278605A 1989-10-27 1989-10-27 Board conveying apparatus Pending JPH03141698A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1278605A JPH03141698A (en) 1989-10-27 1989-10-27 Board conveying apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1278605A JPH03141698A (en) 1989-10-27 1989-10-27 Board conveying apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03141698A true JPH03141698A (en) 1991-06-17

Family

ID=17599604

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1278605A Pending JPH03141698A (en) 1989-10-27 1989-10-27 Board conveying apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03141698A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10982680B2 (en) 2016-09-02 2021-04-20 Ihi Corporation Turbocharger impeller
EP3785336B1 (en) * 2018-04-24 2023-02-01 Schleuniger AG Tool changer, machine tool, and method for changing a tool

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10982680B2 (en) 2016-09-02 2021-04-20 Ihi Corporation Turbocharger impeller
EP3785336B1 (en) * 2018-04-24 2023-02-01 Schleuniger AG Tool changer, machine tool, and method for changing a tool

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6702909B2 (en) Robot system
JP7305258B2 (en) Conveyor system
JP3591677B2 (en) IC transport control device
WO2013081092A1 (en) Minimal manufacturing device, fixed structure for floor surface, transportation device, and production line
JP2003515941A (en) Wafer transfer device
JPH03141698A (en) Board conveying apparatus
KR20020050243A (en) Feeder/programming/buffer operating system
JP2006114699A (en) Clamping device for thin board supporting container
JP2000263382A (en) Unmanned carrier and article carrying system
US20210227736A1 (en) Mounting substrate manufacturing system, component mounting system, and housing body transfer method
JP2792931B2 (en) Electronic component mounting device
JP3319012B2 (en) Wafer transfer control method
JP2003158170A (en) Slot detector of cassette for substrate
JPS629643A (en) Substrate carrier system
JPH1053332A (en) Plate-shaped member carrying device
TWI841357B (en) Gripping device for wafer box
JP2010005713A (en) Hand for palletizing robot, and palletizing method using the same
JPH02291144A (en) Wafer conveyance apparatus
JP2007268622A (en) Work transfer method, work transfer apparatus and work transfer system
JP3219273B2 (en) Board delivery method
JPH04266331A (en) Hand device of robot
JP2002141395A (en) Substrate presence/absence confirmation method and equipment for holding substrate
JP2021146477A (en) Robot hand
JP2574319B2 (en) Printed circuit board transfer device
JP2017024140A (en) Positioning system and positioning method