JPH03115807U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03115807U JPH03115807U JP2474490U JP2474490U JPH03115807U JP H03115807 U JPH03115807 U JP H03115807U JP 2474490 U JP2474490 U JP 2474490U JP 2474490 U JP2474490 U JP 2474490U JP H03115807 U JPH03115807 U JP H03115807U
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- guided
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す構成図、第
２図は第１図のａ−ａ′線上の断面図、第３図は
第１図のｂ−ｂ′線上の断面図、第４図および第
５図は光学的に検出する従来のスケール装置の構
成図、第６図および第７図は第４図および第５図
の要部の断面図、第８図および第９図は磁気的に
検出する従来のスケール装置の構成図である。 １……測定基台、２……固定部、３ａ，３ｂ…
…ガイド、５〜７……ボールベアリング装置、９
……可動部、１２……磁気スケール、１３……磁
気ヘツド、１６……被測定物。
２図は第１図のａ−ａ′線上の断面図、第３図は
第１図のｂ−ｂ′線上の断面図、第４図および第
５図は光学的に検出する従来のスケール装置の構
成図、第６図および第７図は第４図および第５図
の要部の断面図、第８図および第９図は磁気的に
検出する従来のスケール装置の構成図である。 １……測定基台、２……固定部、３ａ，３ｂ…
…ガイド、５〜７……ボールベアリング装置、９
……可動部、１２……磁気スケール、１３……磁
気ヘツド、１６……被測定物。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ガイド部材と被ガイド部材とを有してなり、 上記ガイド部材と被ガイド部材との間に、一定
幅のエアギヤツプを設けると共に、上記被ガイド
部材を上記ガイド部材に沿つて移動させるための
ガイド要素が配され、 上記ガイド部材と被ガイド部材とが互いに対向
する面の一方にはスケールパターンが設けられ、
他方には読取り素子が設けられることを特徴とす
るスケール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2474490U JPH03115807U (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2474490U JPH03115807U (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03115807U true JPH03115807U (ja) | 1991-12-02 |
Family
ID=31527697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2474490U Pending JPH03115807U (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03115807U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5979108A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | スケ−ルの保護装置 |
-
1990
- 1990-03-12 JP JP2474490U patent/JPH03115807U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5979108A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | スケ−ルの保護装置 |