JPH03110443U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03110443U JPH03110443U JP1864390U JP1864390U JPH03110443U JP H03110443 U JPH03110443 U JP H03110443U JP 1864390 U JP1864390 U JP 1864390U JP 1864390 U JP1864390 U JP 1864390U JP H03110443 U JPH03110443 U JP H03110443U
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- Japan
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Description
第１図は両面露光装置における本考案冷却装置
の一実施例の側面図、第２図は本考案装置におけ
る冷却用のエアー噴出及び吸引機構の概要図、第
３図は従来の両面露光装置の側面図である。 １，２……露光枠、３……被露光シート、４…
…フオトレジスト層、５，６……露光用光源、７
，８……エアー噴出部、９……巻出部、１０……
巻取部、１１，１２……ガラス原版、１３……エ
アー噴出部、１４……エアー吸引部、１５……エ
アー噴出部、１６……エアー吸引部、１７……ブ
ロアー、１８……冷却温度調整器、１９，２０…
…開閉バルブ。
の一実施例の側面図、第２図は本考案装置におけ
る冷却用のエアー噴出及び吸引機構の概要図、第
３図は従来の両面露光装置の側面図である。 １，２……露光枠、３……被露光シート、４…
…フオトレジスト層、５，６……露光用光源、７
，８……エアー噴出部、９……巻出部、１０……
巻取部、１１，１２……ガラス原版、１３……エ
アー噴出部、１４……エアー吸引部、１５……エ
アー噴出部、１６……エアー吸引部、１７……ブ
ロアー、１８……冷却温度調整器、１９，２０…
…開閉バルブ。
Claims (1)
- 被露光シートと該シートの両面に重ね合わせた
原版とを挟持可能にして且つ開閉自在に対向設置
する露光枠と、該露光枠の対向両外側に配置され
前記露光シートの両面を原版を介して露光する露
光用光源と、該露光枠の前記被露光シートを挟ん
で対向する各々一辺に一体に又はその近傍にそれ
ぞれ冷却用エアーを噴出する噴出部と、各々前記
一辺に相対する他辺にそれぞれエアーを吸引する
吸引部とを設けたことを特徴とする両面露光装置
における冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1864390U JPH03110443U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1864390U JPH03110443U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03110443U true JPH03110443U (ja) | 1991-11-13 |
Family
ID=31521795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1864390U Pending JPH03110443U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03110443U (ja) |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP1864390U patent/JPH03110443U/ja active Pending