JPH03109619U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03109619U JPH03109619U JP1636790U JP1636790U JPH03109619U JP H03109619 U JPH03109619 U JP H03109619U JP 1636790 U JP1636790 U JP 1636790U JP 1636790 U JP1636790 U JP 1636790U JP H03109619 U JPH03109619 U JP H03109619U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- housing
- fan device
- guide case
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
第１図ないし第８図は本考案による清浄送風装
置の一実施例を示す図であり、第１図はその外観
側面図、第２図は第１図における−矢視断面
図、第３図はフアン装置の斜視図、第４図は静翼
の斜視図、第５図は第２図におけるＶ矢視図、第
６図は第２図における矢視図、第７図は吹出し
空気の流れを示す概略図、第８図はガイドケース
１０や環流用フアン装置３８が無い場合の空気の
流れを示す概略図、第９図は従来の清浄送風装置
を示す外観斜視図である。 １０……ガイドケース、１２……スタンド支持
部材、１８……ハウジング、２０……粗フイルタ
ー、２４，２８……フアン装置、３５……微細フ
イルター、３８……環流用フアン装置。
置の一実施例を示す図であり、第１図はその外観
側面図、第２図は第１図における−矢視断面
図、第３図はフアン装置の斜視図、第４図は静翼
の斜視図、第５図は第２図におけるＶ矢視図、第
６図は第２図における矢視図、第７図は吹出し
空気の流れを示す概略図、第８図はガイドケース
１０や環流用フアン装置３８が無い場合の空気の
流れを示す概略図、第９図は従来の清浄送風装置
を示す外観斜視図である。 １０……ガイドケース、１２……スタンド支持
部材、１８……ハウジング、２０……粗フイルタ
ー、２４，２８……フアン装置、３５……微細フ
イルター、３８……環流用フアン装置。
Claims (1)
- 筒状のハウジングと、このハウジングの一端部
に設けられハウジング内に吸入する空気が通過す
る第１フイルタと、前記ハウジングの他端部に設
けられ外部に排出する空気が通過する前記第１フ
イルタより微細な第２フイルタと、前記第１フイ
ルタと第２フイルタとの間に収納され前記第１フ
イルタおよび第２フイルタを通過する空気の流れ
を駆動するフアン装置と、前記ハウジングの外側
を包囲して設けられる筒状のガイドケースと、前
記ハウジングとガイドケースとの間に設けられる
環流用フアン装置とを備えたことを特徴とする清
浄送風装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1636790U JPH0711780Y2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 清浄送風装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1636790U JPH0711780Y2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 清浄送風装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109619U true JPH03109619U (ja) | 1991-11-11 |
| JPH0711780Y2 JPH0711780Y2 (ja) | 1995-03-22 |
Family
ID=31519636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1636790U Expired - Lifetime JPH0711780Y2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 清浄送風装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711780Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11114340A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-27 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体装備の空気流入装置及びこれを用いた化学物汚染除去方法 |
-
1990
- 1990-02-21 JP JP1636790U patent/JPH0711780Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11114340A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-27 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体装備の空気流入装置及びこれを用いた化学物汚染除去方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0711780Y2 (ja) | 1995-03-22 |