JPH03104512A - Tapping machine - Google Patents

Tapping machine

Info

Publication number
JPH03104512A
JPH03104512A JP23889889A JP23889889A JPH03104512A JP H03104512 A JPH03104512 A JP H03104512A JP 23889889 A JP23889889 A JP 23889889A JP 23889889 A JP23889889 A JP 23889889A JP H03104512 A JPH03104512 A JP H03104512A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tap
ultrasonic vibrator
tapping machine
main axis
main shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23889889A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaki Yamaguchi
昌樹 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brother Industries Ltd filed Critical Brother Industries Ltd
Priority to JP23889889A priority Critical patent/JPH03104512A/en
Publication of JPH03104512A publication Critical patent/JPH03104512A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Drilling And Boring (AREA)

Abstract

PURPOSE:To eliminate a power converting mechanism and permit high accuracy and large output by using a main axis to which a tap is provided and an ultrasonic vibrator including a machine resonator for making a tap vibrate approximate elliptically. CONSTITUTION:A main axis 35 is supported on a tapping machine 31 in reciprocating linear drivably via linear bearings 33 and 34. A case 36 housing an ultrasonic vibrator 11 is mounted on the main axis 35, and a driving part 41 formed on the ultrasonic vibrator 11, a pressing bolt 37, and a tap 40 pressedly fixed with a roller 38 are abutted to the case 36. Moreover a motor 42, giving an vertical feeding action via a roller 43 for power transmission, is arranged on the side surface of the main axis 35. When A.C. voltage is applied to the vibrator 11, an approximate elliptical vibration is excited, and the tap 40 is directly driven by the friction force of the driving part 41 and the tap 40 to process a work piece 45 on a processing base 44 under the driving action of the motor 42. This obtains a tapping machine having simple structure, excellent accuracy, and good responsiveness.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、タップに送り動作を与えながら回転させて被
加工物にねじ孔を形成するタッピングマシンに関し、特
に該タップの回転動作の駆動源に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a tapping machine that forms a screw hole in a workpiece by rotating a tap while giving a feed motion, and particularly relates to a driving source for the rotation motion of the tap. It is related to.

[従来技術] タツビング加工においては、タップを着設した主軸を送
り駆動させると同時に回転駆動させ、両者の駆動量を同
期させて加工を行なっている。
[Prior Art] In tubbing processing, a main shaft with a tap attached thereto is simultaneously driven to feed and rotated, and the amount of drive of both is synchronized to perform processing.

従来は、上述の主軸の回転駆動は、主軸の外部に配置さ
れた回転型の電磁モータの駆動力をプーリやベルト等の
動力伝達機構を介して伝達している。そのため、回転駆
動力を与えつつ主軸を上下送り可能とするための特別な
上下送り機構が設けられている。
Conventionally, the rotational drive of the main shaft described above is achieved by transmitting the driving force of a rotary electromagnetic motor disposed outside the main shaft via a power transmission mechanism such as a pulley or a belt. Therefore, a special vertical feeding mechanism is provided to enable the main shaft to be vertically fed while applying rotational driving force.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上述のタツビングマシンでは、最も負荷
のかかる部位に動力伝達機構や上下送り機構を必要とし
ているので高剛性化か困難であり、大出力化や低故障率
化が困難であった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned tubbing machine requires a power transmission mechanism and a vertical feed mechanism in the parts that bear the most load, so it is difficult to increase the rigidity, and it is difficult to increase the rigidity and reduce failures. It was difficult to standardize the rate.

また加工精度の向上が困難で製作コストも高くなってい
た。
Furthermore, it was difficult to improve machining accuracy and manufacturing costs were high.

本発明は、上連した問題点を解決するためになされたも
のであり、動力変換機構や上下送り機構を特別に必要と
せず、構造が簡単で高精度化が容易であり、しかも大出
力化が可能な優れたタッピングマシンを得る事をその目
的としている。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and does not require a power conversion mechanism or a vertical feed mechanism, has a simple structure, can easily achieve high precision, and has a large output. The purpose is to obtain an excellent tapping machine that is capable of

また、タップのみをダイレクト駆動するZlrによって
、応答性の優れたタツビングマンンを得る事をその目的
としている。
Furthermore, the purpose is to obtain a tubbing man with excellent responsiveness by using a ZLR that directly drives only the taps.

[課題を解決するための手段] この目的を達成するために本発明のタツピングマシンは
、往復直線駆動可能な主軸と、該主軸に着設されるタッ
プと、該タップを前設主軸に着設するための保持手段と
、前記タップを回転させる駆動源とを具備したタッピン
グマシンにおいて、前記駆動源として略楕円振動を行な
う振動部位を備えた機械共振器を含む超音波振動子を用
い、該超音波振動子は前記主軸に着設され、前記保持手
段として前記タップを該超音波振動子に圧着するための
圧着手段を備えている。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve this object, the tapping machine of the present invention includes a main shaft capable of reciprocating linear drive, a tap attached to the main shaft, and a tap attached to the front main shaft. In a tapping machine equipped with a holding means for setting the tap and a drive source for rotating the tap, an ultrasonic vibrator including a mechanical resonator including a mechanical resonator having a vibration part that performs approximately elliptical vibration is used as the drive source, and the tap is rotated. The ultrasonic vibrator is attached to the main shaft, and includes crimping means as the holding means for crimping the tap to the ultrasonic vibrator.

〔作用〕[Effect]

上記の構成を有する本発明のタッピングマシンにおいて
は、圧電現象を利用して機械出力を得る超音波振動子に
交流電気信号を印加すると、その所定部位に微小振幅の
略楕円振動が励振される。
In the tapping machine of the present invention having the above configuration, when an alternating current electric signal is applied to the ultrasonic vibrator that obtains a mechanical output using a piezoelectric phenomenon, a substantially elliptical vibration with minute amplitude is excited at a predetermined portion of the ultrasonic vibrator.

そして被駆動体であるタップを該超音波振動子の前記振
動部位に圧着すると、その摩擦力に起因する駆動力を受
け該タップがダイレクト駆動され、所定方向に回転され
る。
When a tap, which is a driven body, is pressed against the vibrating portion of the ultrasonic transducer, the tap receives a driving force caused by the frictional force, and is directly driven and rotated in a predetermined direction.

また前記超音波振動を駆動しない時は、前記圧着力によ
りタップは強力に保持されている。
Further, when the ultrasonic vibration is not driven, the tap is strongly held by the pressing force.

[実施例] 以下、本発明を具体化したー実施例を図面を参照して説
明する。
[Example] Hereinafter, examples embodying the present invention will be described with reference to the drawings.

本発明に用いる圧電アクチュエー夕は、例えば特願平1
−46866号公報の願書に添付した明細書及び図面に
より提案されているような機械共振器を含んだ超音波振
動子を用いれば良い。
The piezoelectric actuator used in the present invention can be used, for example, in Japanese Patent Application No.
An ultrasonic transducer including a mechanical resonator as proposed in the specification and drawings attached to the application of Japanese Patent No. 46866 may be used.

以下に、その構成の一例を第1図を参照しつつ説明する
An example of the configuration will be described below with reference to FIG.

超音波振動子11は、矩形平板形状を有する弾性体21
の上面に、該弾性体21に曲げ振動を励振するための第
1圧電体22が着設されている。
The ultrasonic transducer 11 includes an elastic body 21 having a rectangular flat plate shape.
A first piezoelectric body 22 for exciting bending vibration in the elastic body 21 is attached to the upper surface of the elastic body 21 .

該弾性体21において、前記着設面と略直交する側面に
は、該弾性体21に縦振動を励振するための第2圧電体
23a及び23bが着設されている。
In the elastic body 21, second piezoelectric bodies 23a and 23b for exciting longitudinal vibration in the elastic body 21 are attached to the side surfaces substantially orthogonal to the mounting surface.

前記弾性体21の長手方向中心は、該弾性体21を固定
するための固定ボルト24a及び24bにより固定され
ている。該固定ボルト24a及び24bの他の一端は、
基台25a及び25bに固定されている。
The longitudinal center of the elastic body 21 is fixed by fixing bolts 24a and 24b for fixing the elastic body 21. The other ends of the fixing bolts 24a and 24b are
It is fixed to bases 25a and 25b.

前記第1圧電体22の上面には、電極26が着設されて
いる。また前記第2圧電体23a及び23bの上面には
電極27g及び27bが着設されている。また前記弾性
体21自身はアース電極を兼ねており、該弾性体は前記
固定ボルト24a及び24bを介して基台25a及び2
5bに接地されている。
An electrode 26 is provided on the upper surface of the first piezoelectric body 22 . Further, electrodes 27g and 27b are provided on the upper surfaces of the second piezoelectric bodies 23a and 23b. Further, the elastic body 21 itself also serves as a ground electrode, and the elastic body is connected to the bases 25a and 25 through the fixing bolts 24a and 24b.
It is grounded to 5b.

更に該弾性体21は、その厚さ方向に所定の周波数fに
おいて両端自由端2次モードで曲げ振動し、且つ同一の
周波数fにより長さ方向に両端自由端1次モードで縦振
動するように形状寸法を調節されている。
Further, the elastic body 21 bends in a secondary mode at both free ends at a predetermined frequency f in the thickness direction, and longitudinally vibrates in a primary mode at both free ends in the length direction at the same frequency f. The shape and dimensions have been adjusted.

一般に、弾性体中を伝播する縦振動の共振周波数は、該
弾性体の長さに依存する。また弾性体の厚さ方向の曲げ
振動の共振周波数は、前記長さ及び厚さに依存する。従
って、前述のような弾性体21を設計する事は容易であ
るので、その詳細は省く。
Generally, the resonant frequency of longitudinal vibration propagating in an elastic body depends on the length of the elastic body. Further, the resonance frequency of bending vibration in the thickness direction of the elastic body depends on the length and thickness. Therefore, since it is easy to design the elastic body 21 as described above, the details thereof will be omitted.

以上のように構成された超音波振動子11の作用を以下
に説明する。
The operation of the ultrasonic transducer 11 configured as above will be explained below.

まず、第1圧電体22に周波数fの交流電圧を印加して
振動させると、前記弥性体21は曲げ振動2次モードで
共振し定在波が励起される。
First, when an alternating current voltage of frequency f is applied to the first piezoelectric body 22 to cause it to vibrate, the ambiguous body 21 resonates in the secondary mode of bending vibration and a standing wave is excited.

次に第2圧電体23a及び23bに周波数fの交流電圧
を印加して振動させると、前記弾性体21は縦振動1次
モードで振動し定在波が励起される。つまり前記固定ボ
ル}24a及び24bで固定される位置は各定在波の節
となっている。
Next, when an alternating current voltage of frequency f is applied to the second piezoelectric bodies 23a and 23b to cause them to vibrate, the elastic body 21 vibrates in the first mode of longitudinal vibration and a standing wave is excited. In other words, the positions fixed by the fixing bolts 24a and 24b are the nodes of each standing wave.

このとき、前記第1圧電体22と第2圧電体23a及び
23bに印加する電圧の振幅及び位相を調節すると、前
記弾性体21には任意の形状の略楕円振動を発生する事
が可能となる。
At this time, by adjusting the amplitude and phase of the voltages applied to the first piezoelectric body 22 and the second piezoelectric bodies 23a and 23b, it is possible to generate approximately elliptical vibration of an arbitrary shape in the elastic body 21. .

尚、上記実施例では縦振動1次モードと曲げ振動2次モ
ードを励振し、その合成により略楕円振動を発生する超
音波振動子について説明したが、これに限定されるもの
ではなく、縦振動、曲げ振動、せん断振動、ねじり振動
など、種々の振動モードの利用が考えられ、また高次モ
ードを利用してもよい。
In the above embodiment, an ultrasonic vibrator that excites the first-order mode of longitudinal vibration and the second-order mode of bending vibration and generates approximately elliptical vibration by combining them is described, but the present invention is not limited to this, and Various vibration modes such as , bending vibration, shear vibration, and torsional vibration can be used, and higher-order modes may also be used.

上述の超音波振動子11を好適に利用したタツビングマ
シン31の構成を第2図及び第3図に示す。同図におい
て、第1図と同じ符号の付された各部材は、前記詳述し
た各構成部材と同一である。
FIGS. 2 and 3 show the configuration of a tubbing machine 31 that suitably utilizes the ultrasonic transducer 11 described above. In this figure, each member labeled with the same reference numeral as in FIG. 1 is the same as each component described in detail above.

タッピングマシン31は、本体32に取り付けられたリ
ニアベアリング33及び34により、主軸35が上下動
作可能に支持されている。該主軸35の下端には、ケー
ス36内に前記超音波振動子11が収納され、圧着ボル
ト37とローラ38及びローラささえ39より構成され
る圧着機構によりタップ40が前記超音波振動子l1に
圧着されている。
In the tapping machine 31, a main shaft 35 is supported by linear bearings 33 and 34 attached to a main body 32 so as to be movable up and down. The ultrasonic transducer 11 is housed in a case 36 at the lower end of the main shaft 35, and a tap 40 is crimped onto the ultrasonic transducer l1 by a crimping mechanism composed of a crimping bolt 37, a roller 38, and a roller support 39. has been done.

該超音波振動子11は、その最大振幅が得られる両端部
において駆動部41が形成されており、前記タップ40
と当接されている。
The ultrasonic transducer 11 has driving parts 41 formed at both ends where the maximum amplitude is obtained, and the tap 40
It is in contact with.

一方、前記主軸35の側面には、回転型モータ42が配
置され、その駆動力が動力伝達用ローラ43により該主
軸35に伝えられ、上下送り動作するようになっている
On the other hand, a rotary motor 42 is disposed on the side surface of the main shaft 35, and its driving force is transmitted to the main shaft 35 by a power transmission roller 43, so that the main shaft 35 is moved up and down.

さらに、前記超音波振動子11と前記回転型モータ42
の入力端子は、図示しない制御装置に接続されており、
この両者を同期運転する事によって前記タップ40の下
部の加工台44に配置された被加工物45の加工を行な
うよう制御されている。
Furthermore, the ultrasonic vibrator 11 and the rotary motor 42
The input terminal of is connected to a control device (not shown).
By operating these both in synchronization, the workpiece 45 placed on the processing table 44 below the tap 40 is controlled to be processed.

以上のように構成されたタツピングマシン31において
、前記超音波振動子11に前記所定周波数の交流電圧を
印加すると、振動振幅が数腐〜数10虜程度の微小振幅
の略楕円振動が励振される。
In the tapping machine 31 configured as described above, when an alternating current voltage of the predetermined frequency is applied to the ultrasonic vibrator 11, a substantially elliptical vibration with a minute vibration amplitude of about 10 to 10 is excited. Ru.

その結果、前記駆動部41と前記タツブ40との摩擦力
に起因する駆動力を受け、同図中矢印Aの正逆方向に該
タップがダイレクト駆動される。一方前記超音波振動子
11の電源を遮断した場合には、前記圧着ボルト37に
より発生する圧着力により前記駆動力の数倍の力を受け
ているので、前記タップ40は強力に保持され動かない
。また該タツプ40を交換する場合は、前記超音波振動
子11の第1圧電体22のみを励振すれば、該タップ4
0に対し浮揚力が与えられるので前記圧着力を変化させ
なくとも簡単にタップ40が交換できる。
As a result, the tap is directly driven in the forward and reverse directions of arrow A in the figure by receiving a driving force caused by the frictional force between the driving portion 41 and the tab 40. On the other hand, when the power to the ultrasonic vibrator 11 is cut off, the tap 40 is strongly held and does not move because it receives a force several times the driving force due to the crimping force generated by the crimping bolt 37. . Furthermore, when replacing the tap 40, if only the first piezoelectric body 22 of the ultrasonic transducer 11 is excited, the tap 40 can be replaced.
Since a buoyancy force is applied to the tap 40, the tap 40 can be easily replaced without changing the pressing force.

以上のような構成をとる13fによって、動力変換機構
や特別な上下送り機構を必要とする事なく、構造が簡単
で高精度化が容易な優れたタツピングマシンを得る事が
できる。
By using 13f having the above-described configuration, it is possible to obtain an excellent tapping machine that is simple in structure and easy to improve accuracy without requiring a power conversion mechanism or a special vertical feed mechanism.

尚、前記超音波振動子11に形成された駆動部41をセ
ラミックス等の耐摩耗性材料で形成するかコーティング
する事により、絶縁性や信頼性を向上する事もできる。
Insulation and reliability can also be improved by forming or coating the driving part 41 formed on the ultrasonic transducer 11 with a wear-resistant material such as ceramics.

上述のタツピングマシンに用いられる超音波振動子は、
従来の電磁モータに比べ以下の利点がある。
The ultrasonic vibrator used in the above-mentioned tapping machine is
It has the following advantages compared to conventional electromagnetic motors.

1) 巻線が不要であり、構造が簡単であるため、小型
、軽量化が可能である。
1) Since no winding is required and the structure is simple, it can be made smaller and lighter.

2) 高エネルギー変換効率が得られ、例えばDCモー
タに比べ出力/体積比、出力/重量比は10倍以上とな
る。
2) High energy conversion efficiency can be obtained; for example, the output/volume ratio and output/weight ratio are 10 times or more compared to a DC motor.

3) 摩擦力を利用しているので、応答性、億置制御性
に優れている。
3) Since it uses frictional force, it has excellent responsiveness and controllability.

4) 磁気、電磁ノイズを発生しない。4) Does not generate magnetic or electromagnetic noise.

更に、超音波振動子の形状を平板状とする例について説
明したが、円板状、円筒状、円環状、棒状、方形状など
、種々の形状を用いる事も可能である。
Furthermore, although an example in which the ultrasonic transducer is shaped like a flat plate has been described, it is also possible to use various shapes such as a disk shape, a cylindrical shape, an annular shape, a rod shape, and a rectangular shape.

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が
可能である。
In addition, various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

[発明の効果] 以上詳述したことから明らかなよにう、本発明によれば
、動力変換機構や特別な上下送り機構が不要であり、そ
の結果構造が簡単で応答性の優れたタツビングマシンを
実現する事ができる。
[Effects of the Invention] As is clear from the detailed description above, according to the present invention, a power conversion mechanism or a special vertical feed mechanism is not required, and as a result, a tubbing with a simple structure and excellent responsiveness can be achieved. machine can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図から第3図までは本発明を具体化した実施例を示
すもので、第1図は本発明に用いる超音波振動子の上面
図、第2図は本発明を適用するタッピングマシンの全体
を示す側面図、第3図は第2図の一部を拡大して示す一
部破断拡大図である。 図中、11は超音波振動子、21は弾性体、22は第1
圧電体、23a,23bは第2圧電体、35は主軸、3
7は圧着ボルト、38はローラ、39はローラささえ、
40はタップである。
1 to 3 show embodiments embodying the present invention. FIG. 1 is a top view of an ultrasonic transducer used in the present invention, and FIG. 2 is a top view of a tapping machine to which the present invention is applied. FIG. 3 is a side view showing the whole, and a partially cutaway enlarged view showing a part of FIG. 2 on an enlarged scale. In the figure, 11 is an ultrasonic transducer, 21 is an elastic body, and 22 is a first
A piezoelectric body, 23a and 23b are second piezoelectric bodies, 35 is a main shaft, 3
7 is a pressure bolt, 38 is a roller, 39 is a roller supporter,
40 is a tap.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、往復直線駆動可能な主軸(35)と、該主軸(35
)に着設されるタップ(40)と、該タップ(40)を
前記主軸(35)に着設するための保持手段と、前記タ
ップ(40)を回転させる駆動源とを具備したタッピン
グマシンにおいて、前記駆動源として略楕円振動を行な
う振動部位を備えた機械共振器を含む超音波振動子(1
1)を用い、該超音波振動子(11)は前記主軸(35
)に着設され、前記保持手段として前記タップ(40)
を該超音波振動子(11)に圧着するための圧着手段(
37、38、39)を備える事を特徴とするタッピング
マシン。 2、請求項1記載のタッピングマシンにおいて、前記超
音波振動子は弾性体(21)を備え、交流電気信号が印
加される事により超音波振動が発生する電気機械変換素
子(22、23a、23b)が前記弾性体(21)に着
設され、該電気機械変換素子(22、23a、23b)
を駆動することで所定の振動部位に略直交する少なくと
も2方向の定在波振動が励振される事を特徴とするタッ
ピングマシン。
[Claims] 1. A main shaft (35) capable of reciprocating linear drive;
); a holding means for attaching the tap (40) to the main shaft (35); and a driving source for rotating the tap (40). , an ultrasonic vibrator (1
1), the ultrasonic transducer (11) is connected to the main shaft (35
), and the tap (40) serves as the holding means.
crimping means (for crimping the ultrasonic transducer (11))
37, 38, 39). 2. The tapping machine according to claim 1, wherein the ultrasonic vibrator includes an elastic body (21), and electromechanical transducer elements (22, 23a, 23b) that generate ultrasonic vibrations when an AC electric signal is applied. ) is attached to the elastic body (21), and the electromechanical transducer (22, 23a, 23b)
A tapping machine characterized in that standing wave vibrations are excited in at least two directions substantially orthogonal to a predetermined vibration part by driving the machine.
JP23889889A 1989-09-14 1989-09-14 Tapping machine Pending JPH03104512A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23889889A JPH03104512A (en) 1989-09-14 1989-09-14 Tapping machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23889889A JPH03104512A (en) 1989-09-14 1989-09-14 Tapping machine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03104512A true JPH03104512A (en) 1991-05-01

Family

ID=17036914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23889889A Pending JPH03104512A (en) 1989-09-14 1989-09-14 Tapping machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03104512A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009535229A (en) * 2006-05-03 2009-10-01 パーデュ リサーチ ファンデーション Tool holder assembly for modulation-based machining and modulation-based machining method
US20120243953A1 (en) * 2011-03-24 2012-09-27 Hilti Aktiengesellschaft Thread-cutting system
CN104014836A (en) * 2014-05-30 2014-09-03 东北大学 Longitudinal-torsion composite ultrasonic vibration cutting device
CN106112141A (en) * 2016-08-31 2016-11-16 新兴县先丰不锈钢制品有限公司 A kind of rustless steel accessory automatic tapping device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009535229A (en) * 2006-05-03 2009-10-01 パーデュ リサーチ ファンデーション Tool holder assembly for modulation-based machining and modulation-based machining method
US20120243953A1 (en) * 2011-03-24 2012-09-27 Hilti Aktiengesellschaft Thread-cutting system
CN104014836A (en) * 2014-05-30 2014-09-03 东北大学 Longitudinal-torsion composite ultrasonic vibration cutting device
CN106112141A (en) * 2016-08-31 2016-11-16 新兴县先丰不锈钢制品有限公司 A kind of rustless steel accessory automatic tapping device
CN106112141B (en) * 2016-08-31 2018-06-01 新兴县先丰不锈钢制品有限公司 A kind of stainless steel fitting automatic tapping device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5200665A (en) Ultrasonic actuator
US5130599A (en) Vibrator-type actuator
US5101132A (en) Linear ultrasonic motor
JP4119903B2 (en) Flat plate piezoelectric ultrasonic motor
US5001382A (en) Stepping motor and a method of driving the same
JPH03104512A (en) Tapping machine
JPH0217877A (en) Oscillator and ultrasonic motor using this oscillator
JP3477304B2 (en) Ultrasonic motor drive
JPH03104513A (en) Tapping machine
JPH03111130A (en) Wire electric discharge machine
JPH03118780A (en) Ultrasonic motor
JP2605121B2 (en) Ultrasonic vibrator and ultrasonic motor using the same
JPH0336972A (en) Ultrasonic motor
JPH03253274A (en) Ultrasonic motor
JPH0379228A (en) Wire electric discharge machine
JPH0393483A (en) Ultrasonic motor
JPH03270681A (en) Ultrasonic motor
JPS61262091A (en) Vibration wave motor
JPH03261385A (en) Ultrasonic motor
JPH03145975A (en) Ultrasonic vibrator and ultrasonic motor
JPH0379267A (en) Polishing device
JPH03138512A (en) Surveying machine
JPH0284080A (en) Oscillator and ultrasonic motor
JPH03293979A (en) Ultrasonic motor
JPH03239170A (en) Ultrasonic motor