JPH029871Y2 - - Google Patents

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JPH029871Y2
JPH029871Y2 JP5728082U JP5728082U JPH029871Y2 JP H029871 Y2 JPH029871 Y2 JP H029871Y2 JP 5728082 U JP5728082 U JP 5728082U JP 5728082 U JP5728082 U JP 5728082U JP H029871 Y2 JPH029871 Y2 JP H029871Y2
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spacer
filter element
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grooves
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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、強酸、強アルカリ等の薬品を濾過
し、該薬品中に含有する微粒子を皆無に近い状態
にするために用いる濾過器のフイルターエレメン
トに関し、好ましくは該フイルターエレメントが
全て四弗化エチレン樹脂よりなるものに関するも
のである。
[Detailed description of the invention] This invention relates to a filter element of a filter used for filtering chemicals such as strong acids and strong alkalis to almost eliminate fine particles contained in the chemicals. This relates to an element in which all elements are made of tetrafluoroethylene resin.

濾過器においては、原液室と透過液室との間に
濾過膜をできるだけ広い膜面積で設けることが必
要であるが、この場合膜の形状が複雑になるので
一枚の連続膜では無理である。
In a filter, it is necessary to install a filtration membrane with as wide a membrane area as possible between the stock liquid chamber and the permeate chamber, but in this case, the shape of the membrane becomes complicated, so it is impossible to use a single continuous membrane. .

このため透過液通路用の平板スペーサに膜を被
せたフイルターエレメントを積層し、このエレメ
ントの透過液通路をパツキングを用いて連通する
ことが知られているが、パツキングのシール性が
問題とされている。
For this purpose, it is known to stack filter elements covered with membranes on flat spacers for permeate passages, and to connect the permeate passages of these elements using packing, but the sealing properties of the packings have been a problem. There is.

また強酸、強アルカリ性などの薬品の濾過にお
いては、該薬品によつておかされない材質を用い
ることが肝要である。
Furthermore, when filtering chemicals such as strong acids and strong alkalines, it is important to use a material that will not be affected by the chemicals.

この観点から強酸や強アルカリの薬品の濾過に
耐えうる材質であつて、該材質からの溶出がない
ものとして四弗化エチレン樹脂(以下これを
PTFEと略称する)が考えられる。
From this point of view, tetrafluoroethylene resin (hereinafter referred to as a material that can withstand the filtration of strong acids and strong alkaline chemicals and that does not elute from the material)
(abbreviated as PTFE) is considered.

しかし透過膜はPTFEよりなるものが使用でき
てもフイルター本体(ハウジング)としては
PTFEのもつ物性に起因して成形することが困難
である。
However, even if a permeable membrane made of PTFE can be used, the filter body (housing)
It is difficult to mold PTFE due to its physical properties.

このためこれまでは透過膜をPTFEの材質とし
てフイルター本体は殆んどポリオレフイン系樹脂
を用いている。
For this reason, up until now, the permeable membrane has been made of PTFE and the filter body has mostly been made of polyolefin resin.

従つてこのようなフイルターエレメントでは加
工性は良好であつても強酸、強アルカリ(例えば
弗酸)を濾過すると、フイルター本体が赤色に着
色し、数時間で破裂してしまうのである。
Therefore, even if such a filter element has good workability, when a strong acid or strong alkali (eg, hydrofluoric acid) is filtered, the filter body becomes colored red and ruptures within a few hours.

このような薬品としては、弗酸のほか濃硫酸、
塩酸、硝酸、過酸化水素等の無機薬品類、および
アセトン、トリクロルエチレン、メタノール等の
有機溶剤類などがあり、人体に危険なものばかり
であり、前記のような事故のおそれがあるもので
は使用不可能である。
In addition to hydrofluoric acid, such chemicals include concentrated sulfuric acid,
These include inorganic chemicals such as hydrochloric acid, nitric acid, and hydrogen peroxide, and organic solvents such as acetone, trichloroethylene, and methanol, which are all dangerous to the human body and should not be used if there is a risk of an accident as mentioned above. It's impossible.

またフイルター本体にステンレスを用いたもの
もあるがこれについては材質として破裂などのお
それはないが材質からの溶出があつて好ましくな
い。
There are also filters that use stainless steel for the body, but although this material does not pose any risk of bursting, it is undesirable because it may elute from the material.

しかしてこのような強酸や強アルカリの薬品の
濾過を必要とするのは、例えば半導体産業におい
て半導体先端の洗浄部分がより精密な純度を要求
するためである。
However, filtration of such strong acid or strong alkaline chemicals is necessary because, for example, in the semiconductor industry, cleaning parts of semiconductor tips require more precise purity.

従つて本考案者は耐薬品性の高いPTFEを用い
て、フイルターエレメントの全てを構成すること
について検討した結果、この考案に至つたのであ
る。
Therefore, the present inventor investigated the possibility of constructing the entire filter element using PTFE, which has high chemical resistance, and came up with this idea.

即ちこの考案はフイルターエレメント全体を好
ましくはPTFEにて構成するべく、その加工上の
制約を避けて目的を達成せんとするものである。
That is, this invention aims to achieve the objective by avoiding restrictions in processing the filter element so that the entire filter element is preferably made of PTFE.

以下この考案の具体例を図面に基づいて説明す
る。
A specific example of this invention will be explained below based on the drawings.

第1図は両面に透過膜1をその周縁にて溶着し
てなるこの考案のフイルターエレメントFの外観
図である。
FIG. 1 is an external view of a filter element F of this invention, which has permeable membranes 1 welded on both sides at their peripheries.

そしてこのフイルターエレメントFは第2図の
第1図a−a線片側拡大断面図に示すようにスペ
ーサAおよびBを嵌合してなるもので、四弗化エ
チレン−六弗化プロピレン共重合体、エチレン−
四弗化エチレン共重合体、PTFEなどのフツ素樹
脂、とりわけPTFEで構成するのがよい。
This filter element F is formed by fitting spacers A and B, as shown in the enlarged cross-sectional view of one side taken along the line a-a in FIG. 1, in FIG. , ethylene-
It is preferably composed of a fluororesin such as a tetrafluoroethylene copolymer or PTFE, especially PTFE.

スペーサAの構造は、第3図にその表面部、第
4図に裏面部として示す如きものである。
The structure of the spacer A is as shown in FIG. 3 as its front surface and in FIG. 4 as its back surface.

即ち、スペーサAの中央部には透過液排出孔2
を有し、外周面近傍に複数個の嵌合孔4を有して
いる。
That is, in the center of the spacer A, there is a permeate discharge hole 2.
It has a plurality of fitting holes 4 near the outer peripheral surface.

3はこのフイルターエレメントを積層もしくは
機器に装着するとき中心軸に合わせるためのスリ
ーブである。
Reference numeral 3 designates a sleeve for aligning the filter elements with the central axis when stacking them or installing them in equipment.

また5のリング状面と6の円形枠はスペーサの
表裏両面にうすい透過膜1を溶着するための溶着
部位である。
Further, the ring-shaped surface 5 and the circular frame 6 are welding parts for welding the thin permeable membrane 1 to both the front and back surfaces of the spacer.

そしてスペーサAの表面には同心円的に円形の
細溝7が多数設けられている。
A large number of circular narrow grooves 7 are provided concentrically on the surface of the spacer A.

またスペーサAの裏面には第4図のように放射
状溝8が多数設けてあり、この細溝7と放射状溝
8が交叉する部位に間隙があつて、スペーサAの
中央部透過液排出孔2への開口部9に通じてい
る。
Further, on the back surface of the spacer A, there are many radial grooves 8 as shown in FIG. It opens into an opening 9 to.

なお図中10はスペーサ表面の補強リブであ
る。
Note that 10 in the figure is a reinforcing rib on the surface of the spacer.

一方スペーサAに嵌合するスペーサBの構造は
第6図および第7図に示すものであるが、大要は
第3図および第4図に示すスペーサAの構造と同
一でこのスペーサAとBを結合一体化するもので
あり、このためスペーサAの嵌合孔4に嵌合する
突出部11を外周近傍に嵌合孔4の位置に対応し
て設けたものである。
On the other hand, the structure of spacer B that fits into spacer A is shown in FIGS. 6 and 7, but the general structure is the same as that of spacer A shown in FIGS. 3 and 4. For this purpose, a protrusion 11 that fits into the fitting hole 4 of the spacer A is provided near the outer periphery corresponding to the position of the fitting hole 4.

なお第5図はスペーサAの断面図、第8図はス
ペーサBの断面図である。
Note that FIG. 5 is a sectional view of spacer A, and FIG. 8 is a sectional view of spacer B.

かくしてこの考案によつてPTFEよりなるスペ
ーサA,Bを夫々の嵌合孔と突出部にて緊密に結
合一体化し、その両表面に薄いPTFEの透過膜を
円形枠にて熱溶着することによりこれまで溶融流
動性が悪くて精密微細成形加工が困難とされてい
た全てがPTFEよりなるフイルターエレメントを
得ることができるのであり、このような構造のフ
イルターエレメントを濾過器に装填して液の濾過
を行うならば、液は圧力差によつて膜を透過して
内部のスペーサに至り、流路となる細溝および放
射状溝を通つて中心の透過液排出孔から排出され
るのである。
Thus, with this invention, spacers A and B made of PTFE are tightly connected and integrated at their respective fitting holes and protrusions, and a thin PTFE permeable membrane is thermally welded to both surfaces with a circular frame. It is now possible to obtain a filter element made entirely of PTFE, which was considered difficult to perform precision micro-molding due to poor melt flowability.A filter element with such a structure can be loaded into a filter to filter liquid. If this is done, the liquid will permeate the membrane due to the pressure difference, reach the internal spacer, pass through the narrow grooves and radial grooves that serve as flow paths, and be discharged from the central permeate drain hole.

従つて中央部透過液排出孔と膜表面との間を遮
断することにより濾過が可能であり、このスペー
サを複数枚積層することによつて濾過器を作成す
ることができ、また濾過面積をも自由に増減する
ことができるのである。
Therefore, filtration is possible by blocking the gap between the central permeate discharge hole and the membrane surface, and a filter can be created by stacking multiple spacers, and the filtration area can also be increased. It can be increased or decreased freely.

またこのようにスペーサA,Bの緊密な結合一
体化は、結合部位が全て膜の二次側となり、膜の
一次側に接する部分がないので結合機構が液の漏
洩には全く関係がないという特徴をも有するので
ある。
In addition, the tight integration of spacers A and B means that all the binding sites are on the secondary side of the membrane, and there is no part that contacts the primary side of the membrane, so the binding mechanism has no relation to liquid leakage. It also has characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本考案に係るフイルターエレメントの
全体外観図、第2図は第1図a−a線おける片側
拡大断面図、第3図はスペーサAの表面斜視図、
第4図は同じくスペーサAの一部切欠裏面斜視
図、第5図は第3図のb方向一部切欠断面図、第
6図はスペーサBの表面斜視図、第7図は同じく
スペーサBの一部切欠裏面斜視図、第8図は第7
図のc方向一部切欠断面図である。 1……透過膜、2……透過液排出孔、4……嵌
合孔、6……円形枠、7……細溝、8……放射状
溝、11……突出部、A,B……スペーサ。
FIG. 1 is an overall external view of a filter element according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of one side taken along line a-a in FIG. 1, and FIG. 3 is a surface perspective view of spacer A.
FIG. 4 is a partially cutaway rear perspective view of spacer A, FIG. 5 is a partially cutaway sectional view in direction b of FIG. 3, FIG. 6 is a front perspective view of spacer B, and FIG. Partially cutaway rear perspective view, Figure 8 is the 7th
It is a partially cutaway sectional view in the c direction of the figure. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Permeable membrane, 2... Permeated liquid discharge hole, 4... Fitting hole, 6... Circular frame, 7... Thin groove, 8... Radial groove, 11... Projection, A, B... Spacer.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 表面に多数の同心円状の細溝を、裏面に放射
状溝を有し、該細溝と放射状溝の交叉部位に間
隙を有するリング状平板スペーサを複数枚積層
してなるフイルターエレメントにおいて、一方
のスペーサの外周複数個所に嵌合孔を設け、他
方のスペーサにはその外周複数個所に突出部を
設けて前記嵌合孔に突出部を嵌合せしめて結合
一体化し、その両面に透過膜を溶着してなるフ
イルターエレメント。 (2) スペーサはフツ素樹脂よりなることを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第1項記載のフイ
ルターエレメント。 (3) 透過膜が四弗化エチレン樹脂よりなることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載
のフイルターエレメント。
[Claims for Utility Model Registration] (1) A plurality of ring-shaped flat plate spacers having a large number of concentric thin grooves on the front surface, radial grooves on the back side, and a gap at the intersection of the narrow grooves and the radial grooves. In a filter element made of stacked layers, fitting holes are provided at multiple locations on the outer periphery of one spacer, and protruding portions are provided at multiple locations on the outer periphery of the other spacer, and the protruding portions are fitted into the fitting holes to be integrated. A filter element made by welding a permeable membrane to both sides. (2) The filter element according to claim 1, wherein the spacer is made of fluororesin. (3) The filter element according to claim 1, wherein the permeable membrane is made of tetrafluoroethylene resin.
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JP5021051B2 (en) * 2010-04-01 2012-09-05 ショウワ洗浄機株式会社 Filtration system

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