JPH0298032A - Electron gun - Google Patents

Electron gun

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JPH0298032A
JPH0298032A JP24982188A JP24982188A JPH0298032A JP H0298032 A JPH0298032 A JP H0298032A JP 24982188 A JP24982188 A JP 24982188A JP 24982188 A JP24982188 A JP 24982188A JP H0298032 A JPH0298032 A JP H0298032A
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JP
Japan
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cathode
electron gun
core material
electron beam
uranium
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JP24982188A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazunori Shioda
和則 塩田
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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  • Solid Thermionic Cathode (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce an acceleration voltage of an electron beam so as to enhance reliability by forming a cathode with a core material made of a flexible metal having a high melting point coated with a material having excellent thermoelectron emitting performance. CONSTITUTION:The central portion of a cathode 14 is formed with a core material 24 made of a metal having a high melting point such as tungsten, and is further coated or deposited with a material having excellent thermoelectron emitting performance such as lanthanum ana lanthanum hexaboron, thereby obtaining a coating material 19. Therefore, it is unnecessary to extremely heat the cathode, and consequently, deformation, deposition damage or the like of the cathode can be prevented and reliability can be enhanced.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、たとえばウランなどの同位体を分離する装置
において、金属原料の加熱溶融蒸発装置に使用する線上
に電子ビームを発射する電子銃に関する。
Detailed Description of the Invention [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention is directed to an apparatus for separating isotopes such as uranium, in which an electron beam is emitted onto a line used in a heating melting evaporation apparatus for metal raw materials. Concerning an electron gun that fires.

(従来の技術) 原子炉用燃料として使用されているウラン燃料は、ウラ
ン同位体の混合物の中から原子核反応を起こす特定のウ
ランを分離濃縮して所定濃度に調整後、原子炉に装荷さ
れる。
(Prior art) Uranium fuel used as nuclear reactor fuel is loaded into a nuclear reactor after separating and enriching the specific uranium that causes a nuclear reaction from a mixture of uranium isotopes and adjusting it to a predetermined concentration. .

天然に産出するウランは、質量数が235の軽い原子核
から成るウラン原子(以下、ウラン235と略記する)
が0.7%程度含有され、残りの大部分は原子核の質量
数が238のウラン原子(以下、 ウラン238と略記
する)である、このうち原子核反応を起こすウラン23
5は、上記天然ウラン又は原子炉使用済燃料から分離濃
縮され、通常3〜4%程度まで濃縮された上で原子炉用
燃料として使用される。
Naturally occurring uranium is a uranium atom consisting of a light nucleus with a mass number of 235 (hereinafter abbreviated as uranium-235).
It contains about 0.7% of uranium, and most of the rest is uranium atoms with a nuclear mass number of 238 (hereinafter abbreviated as uranium-238).
No. 5 is separated and enriched from the above-mentioned natural uranium or nuclear reactor spent fuel, and is usually enriched to about 3 to 4% before being used as a nuclear reactor fuel.

従来、ウラン235、ウラン238などの同位体の混合
物からウラン235を分離し、所定濃度レベルまで高め
る濃縮方法としてはガス拡散法、遠心分離法、レーザ法
などがあり、各方法とも同位体の化学的特性や物理的特
性の相違を利用して分離濃縮操作を実施するものである
。このうちレーザ法は、他の方法に比べて分離性能の点
で特に優れている方法として現在注目さ九でいる。
Conventionally, there are gas diffusion methods, centrifugal separation methods, laser methods, etc. to separate uranium-235 from a mixture of isotopes such as uranium-235 and uranium-238, and to increase the concentration to a predetermined concentration level. Separation and concentration operations are performed using differences in physical and physical properties. Among these methods, the laser method is currently attracting attention as a method that is particularly superior in terms of separation performance compared to other methods.

以下にレーザ法による同位体分離装置の従来例をウラン
同位体の分離操作を例にとって第3図及び第4図を参照
して説明する。天然もしくは原子炉で使用された減損し
た燃料体から取り出された金属ウラン1は、熱化学的耐
性を有する例えばるつぼなどの蒸発用容器2の内に装荷
されている。
A conventional example of an isotope separation apparatus using a laser method will be described below with reference to FIGS. 3 and 4, taking the separation operation of uranium isotopes as an example. Uranium metal 1 extracted from a depleted fuel body, either natural or used in a nuclear reactor, is loaded into a thermochemically resistant evaporation vessel 2, for example a crucible.

この蒸発用容器2は、はぼ真空状態に維持された密封容
器3の内底部に設置されている。次にリニア電子銃4か
ら発射される電子ビーム5を、図示しない外部磁場コイ
ルにより印加される直流磁場6により偏向して蒸発用容
器2の内の金属ウラン1に照射する。電子ビーム5の照
射を受けた金属ウラン1は2700 K〜3100に程
度まで加熱されて蒸発し、蒸気流7を生成する。尚、蒸
気流7の組成は、例えば天然ウランを金属ウラン1とし
て使用した場合は、重量比でウラン235が0.7%、
ウラン238が99.3%含まれる。
This evaporation container 2 is installed at the inner bottom of a sealed container 3 that is maintained in a nearly vacuum state. Next, an electron beam 5 emitted from the linear electron gun 4 is deflected by a DC magnetic field 6 applied by an external magnetic field coil (not shown) and irradiates the metal uranium 1 in the evaporation container 2. The metallic uranium 1 irradiated by the electron beam 5 is heated to about 2700 K to 3100 K and evaporated, producing a vapor stream 7. Incidentally, the composition of the vapor flow 7 is, for example, when natural uranium is used as metal uranium 1, uranium 235 is 0.7% by weight,
Contains 99.3% uranium-238.

一方、蒸発用容器2の上方には、帯状の製品回収電極と
して、陽電極8と陰電極9とが交互に配置され、その電
極間にそれぞれ光反応部■0が形成される。光反応部1
0の長平方向には、レーザ発生装置12により発生され
たウラン235を選択的に電離するレーザビーム11が
入射され、蒸気流7と光反応を行う。 レーザビーム1
1の波長はウラン235の共鳴電離波長に調整されて居
り、光反応部10に導入されたウラン蒸気流7に含有さ
れるウラン235原子のみがレーザビームIIと共鳴し
、一定の確率で選択的に電離される。電離されたウラン
235イオンは陽電極8と陰電極9との間に、 レーザ
ビーム11と同期したパルス状電極電圧を印加すること
により形成された電場によって回収電極となる陰電極9
の表面に吸着回収される。また、電離されずに光反応部
10を通過したウラン235及びウラン238の混合蒸
気流は光反応部10の外縁部に配置した蒸気回収板13
に吸着回収される。回収され液化した蒸気は別途の手段
により蒸発用容器2などに還流される。
On the other hand, above the evaporation container 2, anode electrodes 8 and cathode electrodes 9 are arranged alternately as band-shaped product recovery electrodes, and a photoreaction part 0 is formed between the electrodes. Photoreactive part 1
A laser beam 11 that selectively ionizes uranium 235 generated by a laser generator 12 is incident in the longitudinal direction of 0, and undergoes a photoreaction with the vapor flow 7. Laser beam 1
The wavelength of laser beam II is adjusted to the resonant ionization wavelength of uranium-235, and only uranium-235 atoms contained in the uranium vapor flow 7 introduced into the photoreaction section 10 resonate with the laser beam II, selectively ionizing the uranium-235 with a certain probability. is ionized. The ionized uranium-235 ions are collected between the positive electrode 8 and the negative electrode 9 by an electric field created by applying a pulsed electrode voltage synchronized with the laser beam 11.
is adsorbed and collected on the surface. Further, the mixed vapor flow of uranium 235 and uranium 238 that passed through the photoreaction section 10 without being ionized is collected by a vapor recovery plate 13 disposed at the outer edge of the photoreaction section 10.
is adsorbed and recovered. The collected and liquefied vapor is returned to the evaporation container 2 or the like by a separate means.

次に、リニア電子銃4、特に直接加熱型の電子銃の従来
例を第5図および第6図を参照して説明する。
Next, a conventional example of the linear electron gun 4, particularly a direct heating type electron gun, will be explained with reference to FIGS. 5 and 6.

素線状に形成された陰極14は、その両端を電流源(図
中示さず)に接続され、これにより陰極14は通電加熱
される。陰極14は、その外表面から熱電子を放出させ
る、言わば熱電子源であり、所要の電流密度を得られる
までの充分な温度まで加熱されることが必要とされる。
Both ends of the cathode 14 formed in the shape of a wire are connected to a current source (not shown in the figure), whereby the cathode 14 is heated by electricity. The cathode 14 is a thermionic source that emits thermoelectrons from its outer surface, and needs to be heated to a sufficient temperature to obtain the required current density.

そのために陰極14は、例えばタングステンなどの高融
点金属により構成されるのが普通である。さらに、陰極
14に対して被照射体(図示せず)側には開孔部15を
有する陽極16が設けられており、陰極14から放出さ
れた熱電子を加速して電子ビーム17を生成する1通常
は、陰極14と陽極16との間にはビーム加速電圧源(
図中示さず)として、数KV〜数十KVの高電圧電源を
接続印加している6また。陰極14の電子ビーム生成方
法と逆方向には、ビーム整形用電極18を配している。
For this purpose, the cathode 14 is usually made of a high melting point metal such as tungsten. Further, an anode 16 having an opening 15 is provided on the side of the irradiated object (not shown) with respect to the cathode 14, and accelerates the thermoelectrons emitted from the cathode 14 to generate an electron beam 17. 1 Usually, a beam accelerating voltage source (
(not shown in the figure), a high voltage power source of several KV to several tens of KV is connected and applied. A beam shaping electrode 18 is disposed in a direction opposite to the electron beam generation method of the cathode 14.

ビーム整形用電極18は、陰極14から等方的に放出さ
れる熱電子を陽Fi16の方向に偏向させるための補助
的な電極であり、通常は陽極16と同程度の電位を有す
る。
The beam shaping electrode 18 is an auxiliary electrode for deflecting the thermoelectrons isotropically emitted from the cathode 14 in the direction of the positive Fi 16, and normally has a potential similar to that of the anode 16.

タングステン等の高融点金属により構成されるフィラメ
ント状の陰極14の加熱方法として、例えば電流を通電
することにより陰極14をジュール加熱するなどの方法
が普通採用される。これにより陰極14は2000 K
〜30(10K程度の高温度まで加熱され、従来では陰
極14の表面から熱電子群が放出されることになる。
As a heating method for the filament-shaped cathode 14 made of a high-melting point metal such as tungsten, a method such as Joule heating of the cathode 14 by passing an electric current through the cathode 14 is usually employed. This causes the cathode 14 to reach 2000 K.
The cathode 14 is heated to a high temperature of about 30K (about 10K), and a group of thermoelectrons is conventionally emitted from the surface of the cathode 14.

(発明が解決しようとする課題) ところで従来のウラン同位体分離装置においては、線状
の蒸気流7を生成するために、金属ウラン1を収容した
蒸発用容器2は細長の長方形の形状をしている。従って
、電子ビーム17も線状のリニア型であることが要求さ
れ、陰極14もフィラメント状の細長素線となる。とこ
ろが、既述の如く陰極14は高温状態に維持することが
必要であり。
(Problem to be Solved by the Invention) In the conventional uranium isotope separation apparatus, in order to generate the linear vapor flow 7, the evaporation container 2 containing the metallic uranium 1 has an elongated rectangular shape. ing. Therefore, the electron beam 17 is also required to be linear, and the cathode 14 is also a filament-like long thin wire. However, as mentioned above, it is necessary to maintain the cathode 14 at a high temperature.

細長素線の場合は熱伸び等の変形が問題とされる。In the case of long thin wires, deformation such as thermal elongation is a problem.

陰極14の変形は、電子ビーム17の変形、または拡散
の原因となり、ひいては陰極14とビーム整形用電極1
8との接触短絡を引き起こすなどの事故に至らしめるも
のであり、電子ビーム17の長尺化を著しく困難にする
ものである。
Deformation of the cathode 14 causes deformation or diffusion of the electron beam 17, which in turn causes damage to the cathode 14 and the beam shaping electrode 1.
This may lead to accidents such as contact short circuit with the electron beam 17, and makes it extremely difficult to lengthen the electron beam 17.

また、電子銃を高出力化する場合は、陰極14の温度を
上昇させて電子ビーム密度を上げるか、ビーム加速電圧
を高圧化する必要がある。しかし。
Furthermore, in order to increase the output of the electron gun, it is necessary to increase the temperature of the cathode 14 to increase the electron beam density, or to increase the beam acceleration voltage. but.

陰極14の高温度化は上記の理由により制限されるばか
りでなく、陰極の寿命、劣化の原因にもなる。
Increasing the temperature of the cathode 14 is not only limited by the above-mentioned reasons, but also causes shortening of the cathode's life and deterioration.

またビーム加速電圧の高圧化は電極間の絶縁破壊を誘起
し、一定電圧以上は不可能である。
In addition, increasing the beam acceleration voltage induces dielectric breakdown between the electrodes, and it is impossible to increase the beam acceleration voltage above a certain level.

さらに従来のタングステン等の高融点金属により構成さ
れるフィラメント状の陰極は、所定の熱電子電流密度を
得るためにはかなりの高温まで加熱する必要があった。
Furthermore, conventional filament-shaped cathodes made of high-melting point metals such as tungsten have to be heated to a considerably high temperature in order to obtain a predetermined thermionic current density.

これを回避する手段として、陰極の材料に仕事関数の小
さい物質を選定することが考えられる。しかし、ランタ
ンや六硼化ランタンなどの仕事関数の小さい、即ち、熱
電子放出能の優れた物質にてフィラメント状の陰極を製
作することは、材料脆性等の観点から問題がある。
One possible way to avoid this is to select a material with a small work function as the material for the cathode. However, manufacturing a filament-shaped cathode from a substance with a small work function, that is, an excellent thermionic emission ability, such as lanthanum or lanthanum hexaboride, has problems from the viewpoint of material brittleness.

本発明は、上記の欠点を解決するために成されたもので
あり、線状の高出力電子ビームを安定に発生させること
のできる電子銃を提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks, and an object of the present invention is to provide an electron gun that can stably generate a linear high-power electron beam.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

(課題を解決するための手段) 本発明に係わる電子銃は、照射用電子ビームの発生源で
ある素線状陰極と、この陰極に通電加熱して陰極を高温
に維持する陰極電流通電用電源と。
(Means for Solving the Problems) An electron gun according to the present invention includes a wire cathode which is a source of an electron beam for irradiation, and a power source for applying a cathode current to the cathode to heat the cathode and maintain the cathode at a high temperature. and.

高温化される陰極より放射される熱電子を加速すること
により照射用電子ビームを生成する陽極と、陽極を陰極
より正電位に保持する電子ビーム加速電源とを有する電
子銃であって、陰極は、可雀性のある高融点金属からな
る芯材と、この芯材の外表面を被覆する熱電子放出能に
優れた材料からなる被覆材を具備するものである。
An electron gun that has an anode that generates an irradiation electron beam by accelerating thermoelectrons emitted from a cathode that is heated to a high temperature, and an electron beam acceleration power source that holds the anode at a more positive potential than the cathode. , a core material made of a malleable high-melting point metal, and a covering material made of a material with excellent thermionic emission ability that covers the outer surface of the core material.

(作  用) 上記構成の電子銃においては、フィラメント状陰極の熱
電子放出能を芯材のそれよりも向上させることができる
。タングステンなどの高融点金属は、たしかに3000
 K程度またはそれ以上の高温でも蒸発損耗することは
ないが、材料の仕事関数も特に小さいということはない
ので、所定の熱電子密度を得るためにはかなりの高温度
までフィラメントを加熱してやらねばならない。
(Function) In the electron gun having the above configuration, the thermionic emission ability of the filamentary cathode can be improved more than that of the core material. High-melting point metals such as tungsten are certainly 3000
There is no evaporation loss even at high temperatures around K or higher, but the work function of the material is not particularly small, so the filament must be heated to a fairly high temperature in order to obtain the desired thermionic density. .

本発明によれば、フィラメント状陰極を高温化すること
なく、そこから放出される熱電子密度を高めることがで
きる。すなわち、電子銃から発射される電子ビームを、
陰極と陽極間の加速電圧を高圧化することなく高出力化
することができる。
According to the present invention, the density of thermionic electrons emitted from the filamentary cathode can be increased without raising the temperature of the filamentary cathode. In other words, the electron beam emitted from the electron gun,
High output can be achieved without increasing the accelerating voltage between the cathode and anode.

さらには、電子ビームの規定形状を損なうフィラメント
状陰極の熱膨張や熱変形等を引き起こさない様な陰極温
度領域で電子銃を動作させることが容易となり、電子銃
の信頼性を大幅に向上させることができる。
Furthermore, it becomes easy to operate the electron gun in a cathode temperature range that does not cause thermal expansion or thermal deformation of the filament-shaped cathode that impairs the specified shape of the electron beam, greatly improving the reliability of the electron gun. Can be done.

(実 施 例) 以下、本発明の一実施例について、第1図により説明す
る。第1図は本発明による電子銃におけるフィラメント
状陰極14の横断面を示すもので、他の部分は第5図お
よび第6図と同様であるので。
(Example) An example of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 shows a cross section of a filamentary cathode 14 in an electron gun according to the present invention, and other parts are the same as FIGS. 5 and 6.

第5図及び第6図に示した従来例と同一の構成要素1部
品には、同一の符号を付して重複説明を省略する。
Components that are the same as those in the conventional example shown in FIGS. 5 and 6 are given the same reference numerals, and redundant explanation will be omitted.

陰極14の中心部はタングステン等の高融点金属からな
る芯材24からなり、さらにランタン、六硼化ランタン
などの熱電子放出能に優れた材料を成膜処理して被覆材
19を形成する。処理方法は、材料19を芯材24の表
面に塗布したり、或いは蒸着処理するなどの方法が採ら
れる。
The center of the cathode 14 is made of a core material 24 made of a high melting point metal such as tungsten, and a coating material 19 is formed by forming a film of a material having excellent thermionic emission ability such as lanthanum or lanthanum hexaboride. As the treatment method, a method such as applying the material 19 to the surface of the core material 24 or performing a vapor deposition treatment is adopted.

これにより、熱電子放出面は芯材24の表面ではなく、
被覆材19の表面になる。被覆材19中に存在する伝導
電子(金属中電子)は通常、フェニル準位に相当する低
いポテンシャルEfを有する。また。
As a result, the thermionic emission surface is not the surface of the core material 24,
This becomes the surface of the covering material 19. Conduction electrons (electrons in metal) present in the coating material 19 usually have a low potential Ef corresponding to the phenyl level. Also.

フェルミ準位は外界ポテンシャルE0より仕事関数φだ
けポテンシャルエネルギが低く、特定の高温度において
高いエネルギを有する伝導電子(金属中電子)は、被覆
材19の表面から外界へ放出される。
The Fermi level has a potential energy lower than the external potential E0 by the work function φ, and conduction electrons (electrons in the metal) having high energy at a specific high temperature are emitted from the surface of the coating material 19 to the outside world.

第2図に示す物質中の伝導電子のエネルギ状態図に基づ
き、物体中の伝導電子のエネルギがフェルミ・デイラッ
ク統計に従うものとして物体表面から放出される熱電子
電流密度Jを求めると、物体の表面温度T5即ち、陰極
14及び材料19の温度Tに対してω式の様に算出され
る。
Based on the energy phase diagram of conduction electrons in a substance shown in Figure 2, if we calculate the thermionic current density J emitted from the surface of an object assuming that the energy of conduction electrons in the object follows Fermi-Dirac statistics, we can find the following: The temperature T5, that is, the temperature T of the cathode 14 and the material 19 is calculated according to the ω equation.

ここで電気素量をe、電子質量をm、ブランク定数をり
、ボルツマン定数を浦とする。また通常の金属の場合に
おける仕事関数φは約1eV程度であり、これに比べれ
ばランタンや六硼化ランタンなどは仕事関数φが小さく
、熱電子放出能に優れているといえる。ここで熱電子放
出能について具体的な数値に従って算出し、その効果を
評価する。
Here, the elementary charge is e, the electron mass is m, the blank constant is , and the Boltzmann constant is ura. Further, the work function φ of ordinary metals is about 1 eV, and compared to this, lanthanum, lanthanum hexaboride, etc. have a small work function φ and can be said to have excellent thermionic emission ability. Here, the thermionic emission ability is calculated according to specific numerical values, and its effect is evaluated.

仮に、芯材24を構成する金属材料の仕事関数φ。を1
eV、  被覆材19を構成する熱電子放出材の仕事関
数φを0,5eVとし、陰極14の温度Tを2500に
とする。被覆材19がない場合(従来の陰極構造に相当
する)の熱電子電流密度J0と被覆材19を成膜処理し
た場合の熱電子電流密度Jとの比J/J。
Assuming that the work function φ of the metal material constituting the core material 24 is. 1
eV, the work function φ of the thermionic emission material constituting the coating material 19 is set to 0.5 eV, and the temperature T of the cathode 14 is set to 2500. Ratio J/J of the thermionic current density J0 when there is no coating material 19 (corresponding to a conventional cathode structure) and the thermionic current density J when the coating material 19 is formed into a film.

は、0式により0式の通り得られる。is obtained by the equation 0 as shown in the equation 0.

また逆に、上記両者の場合で熱電子電流密度を等しく設
定し、被覆材19がない場合の温度T。を250OKと
すると、被覆材19を成膜処理した場合の温度Tは、0
式の通りとなる。
Conversely, the temperature T when the thermionic current density is set equal in both cases and there is no covering material 19. Assuming that 250 OK, the temperature T when the coating material 19 is formed is 0.
The formula is as follows.

このように、本実施例によれば、比較的低温でも熱電子
電流密度の高い電子ビーム源を提供することができる。
As described above, according to this embodiment, an electron beam source with a high thermionic current density can be provided even at a relatively low temperature.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明による電子銃によれば、電子電流密度を向上させ
ることが可能であり、電子銃の発射する電子ビームを高
出力化することが可能となる。また、従来のように陰極
を極度に加熱する必要がなくなるので、陰極の熱的変形
、黒損などの弊害がなくなり、陰極以外の電子銃の構造
材も高温下の環境から開放され、電子銃の信頼性も高ま
ることになる。
According to the electron gun according to the present invention, it is possible to improve the electron current density, and it is possible to increase the output of the electron beam emitted by the electron gun. In addition, since there is no need to extremely heat the cathode as in the past, negative effects such as thermal deformation of the cathode and black spots are eliminated, and the structural materials of the electron gun other than the cathode are also exposed to the high-temperature environment. The reliability of the system will also increase.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係わる電子銃の陰極の横断面図、第2
図は第1図における陰極の外表面における伝導電子及び
自由空間における浮遊電子のエネルギ準位を示すグラフ
、第3図は従来の同位体分離装置の斜視図、第4図は第
3図におけるIV−IV線矢視断面図、第5図は第3図
における電子銃の構成を示す斜視図、第6図は第5図に
おける■−■線矢視断面図である。 1・・・金属ウラン 3・・・密封容器 5・・・電子ビーム 7・・・蒸気流 8a・・・陽電極延長部 10・・・光反応部 12・・・レーザ発生装置 14・・・陰極 15・・・開孔部 17・・・電子ビーム 19・・・被覆材
FIG. 1 is a cross-sectional view of the cathode of an electron gun according to the present invention, and FIG.
The figure is a graph showing the energy levels of conduction electrons on the outer surface of the cathode and floating electrons in free space in Figure 1, Figure 3 is a perspective view of a conventional isotope separation device, and Figure 4 is the IV in Figure 3. 5 is a perspective view showing the structure of the electron gun shown in FIG. 3, and FIG. 6 is a sectional view taken along the line ■-■ in FIG. 5. 1... Metallic uranium 3... Sealed container 5... Electron beam 7... Vapor flow 8a... Positive electrode extension part 10... Photo reaction part 12... Laser generator 14... Cathode 15...Aperture 17...Electron beam 19...Coating material

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、照射用電子ビームの発生源である素線状陰極と、こ
の陰極に通電加熱して前記陰極を高温に維持する陰極電
流通電用電源と、高温化される前記陰極より放射される
熱電子を加速することにより前記照射用電子ビームを生
成する陽極と、前記陽極を前記陰極より正電位に保持す
る電子ビーム加速電源とを有する電子銃において、前記
陰極は、可撓性のある高融点金属からなる芯材と、この
芯材の外表面を被覆する熱電子放出能に優れた材料から
なる被覆材とを具備することを特徴とする電子銃。 2、上記被覆材は、上記芯材の外表面に蒸着されている
ことを特徴とする請求項第1に記載の電子銃。 3、上記芯材はタングステンからなり、上記被覆材は芯
材の表面にランタンを蒸着コーティングすることにより
成膜処理したものであることを特徴とする請求項第2記
載の電子銃。 4、上記芯材はタングステンからなり、上記被覆材は芯
材の表面に六硼化ランタンを蒸着コーティングすること
により成膜処理したものであることを特徴とする請求項
第2に記載の電子銃。
[Scope of Claims] 1. A wire cathode that is a source of an irradiation electron beam, a cathode current supply power source that heats the cathode by applying current to the cathode and maintains the cathode at a high temperature, and the cathode that is heated to a high temperature. In the electron gun, the electron gun includes an anode that generates the irradiation electron beam by accelerating thermoelectrons emitted from the electron beam, and an electron beam acceleration power source that holds the anode at a more positive potential than the cathode. 1. An electron gun comprising: a core material made of a high melting point metal; and a covering material made of a material with excellent thermionic emission ability, which covers the outer surface of the core material. 2. The electron gun according to claim 1, wherein the coating material is deposited on the outer surface of the core material. 3. The electron gun according to claim 2, wherein the core material is made of tungsten, and the coating material is formed by vapor deposition coating of lanthanum on the surface of the core material. 4. The electron gun according to claim 2, wherein the core material is made of tungsten, and the coating material is formed by vapor deposition coating of lanthanum hexaboride on the surface of the core material. .
JP24982188A 1988-10-05 1988-10-05 Electron gun Pending JPH0298032A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006114242A (en) * 2004-10-12 2006-04-27 Jeol Ltd Filament assembly, electron gun and electron beam device

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