JPH0296935A - Galvano-mirror unit - Google Patents

Galvano-mirror unit

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Publication number
JPH0296935A
JPH0296935A JP22122189A JP22122189A JPH0296935A JP H0296935 A JPH0296935 A JP H0296935A JP 22122189 A JP22122189 A JP 22122189A JP 22122189 A JP22122189 A JP 22122189A JP H0296935 A JPH0296935 A JP H0296935A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
axis
fixed
elements
light beam
Prior art date
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Pending
Application number
JP22122189A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naoki Kuwata
直樹 鍬田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP22122189A priority Critical patent/JPH0296935A/en
Publication of JPH0296935A publication Critical patent/JPH0296935A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To use only one mirror to make the title unit easily adjustable by performing operations to deflect a light beam in the radial direction and tangen tial direction of the information track of a recording medium by means of the mirror and using a laminated piezo-electric element for driving the mirror. CONSTITUTION:Four laminated piezo-electric elements 31a-31d are fixed on the X and Y axes on the rear of a mirror 21 in the vicinity of the outer periphery and other ends of the elements are fixed to a fixing section 32. When such a voltage that elongates the element 31a and contracts the element 31b is applied across the elements 31a and 31b, the mirror 21 rotates in one direction around the Y axis. When a voltage of the opposite polarity is applied across the elements 31a and 31b, on the other hand, the mirror rotates in the opposite direction around the Y axis. When similar operations are made by using the elements 31c and 31d, the mirror 21 can be rotated around the X axis. Therefore, when such operations are simultaneously performed, the mirror 21 can be deflected by a desired angle. Therefore, adjustment of this galvano-mirror unit can be adjusted easily in optical axis by only one mirror and the number of parts can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光学式記録再生装置の光学系の光軸を偏向す
る手段として用いられるガルバノミラ−に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a galvanometer mirror used as means for deflecting the optical axis of an optical system of an optical recording/reproducing device.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明は、情報を記録再生する光学式記録再生装置にお
いて、情報信号の記録再生時に、光線をディスクの半径
方向及び接線方向へ偏向させる動作を1枚のガルバノミ
ラ−で行なうことにより、部品点数を減少させ、光軸調
整の手間を減少できるようにし、かつこのガルバノミラ
−の駆動に積層型圧電素子を用いることにより、外乱に
強く安定した動作が行なえるようにしたものである。
The present invention is an optical recording and reproducing device for recording and reproducing information, in which a single galvano mirror deflects a light beam in the radial and tangential directions of the disk during recording and reproducing information signals, thereby reducing the number of parts. In addition, by using a laminated piezoelectric element to drive the galvanomirror, stable operation can be achieved that is resistant to external disturbances.

〔従来技術〕[Prior art]

第3図に光学式記録再生装置の従来の構成を示す。第3
図において、■は半導体レーザー等の光源、2は集光レ
ンズであり、発散する半導体レーザーの光を集光し、略
平行光にする。3は入射ビームの断面形状を変換し、略
円形のビーム断面を有する光を出射するビーム形状変換
光学系である。
FIG. 3 shows a conventional configuration of an optical recording/reproducing device. Third
In the figure, ``■'' is a light source such as a semiconductor laser, and 2 is a condensing lens, which condenses the diverging light of the semiconductor laser and converts it into substantially parallel light. 3 is a beam shape conversion optical system that converts the cross-sectional shape of an incident beam and outputs light having a substantially circular beam cross section.

なお、あらかじめディスク上に記録された信号の再生の
み行なう装置においては、この光学系は省略されること
もある。4はビームスプリンタ、5゜6は光線を全反射
するガルバノミラ−である。
Note that this optical system may be omitted in an apparatus that only reproduces signals recorded on a disk in advance. 4 is a beam splinter, and 5°6 is a galvano mirror that totally reflects the light beam.

5はディスク9上の情報トラック10を追跡するために
光線をディスクの半径方向へ振るトラッキングミラーで
あり、6は再生信号の時間的変動を除くため光線を接線
方向へ振るタンジエンシャルミラーである。5,6で全
反射された光線は対物レンズ8を通って1μm程度のス
ポットに絞られる。7はディスク9上のトラック10の
ところに焦点を結ぶように対物レンズ8を駆動する対物
レンズ駆動装置である。ディスク9で反射された光は、
再び8,6.5を通過し、ビームスプリッタ4で光路分
離され、シリンドリカルレンズ11を通り、光検出器1
2に入射する。この光検出器12において、フォーカス
誤差信号・トラック誤差信号・RF倍信号検出される。
Reference numeral 5 designates a tracking mirror that directs the light beam in the radial direction of the disk in order to track the information track 10 on the disk 9, and reference numeral 6 designates a tangential mirror that directs the light beam in the tangential direction to eliminate temporal fluctuations in the reproduced signal. . The light beam totally reflected by 5 and 6 passes through an objective lens 8 and is focused into a spot of about 1 μm. Reference numeral 7 denotes an objective lens driving device that drives the objective lens 8 so as to focus on a track 10 on the disk 9. The light reflected by the disk 9 is
8, 6.5 again, the optical path is separated by the beam splitter 4, passes through the cylindrical lens 11, and is sent to the photodetector 1.
2. This photodetector 12 detects a focus error signal, a tracking error signal, and an RF multiplied signal.

ところで、前述のトラッキングミラー5台よびタンジエ
ンシャルミラー6は、前述の光学系において光軸を偏向
する手段として用いられており、これらのミラー5,6
として用いられるガルバノミラ−は、例えば第4図に示
すようにミラー21の裏面の両側付近に磁石22が固着
され、さらに中央部にはゴム23が固着されて可動部を
形成し、この可動部を取り付は金具24により、コイル
25を固定したケース(図示しない)により構成される
固定部に装着している。コイル25は、ミラー210周
辺を囲み得る方形筒状に巻装されている。
By the way, the aforementioned five tracking mirrors and the tangential mirror 6 are used as means for deflecting the optical axis in the aforementioned optical system, and these mirrors 5 and 6 are used as means for deflecting the optical axis in the aforementioned optical system.
For example, as shown in FIG. 4, a galvano mirror used as a mirror has magnets 22 fixed near both sides of the back surface of a mirror 21, and a rubber 23 fixed in the center to form a movable part. The coil 25 is attached by means of a metal fitting 24 to a fixed part constituted by a case (not shown) to which the coil 25 is fixed. The coil 25 is wound into a rectangular tube shape that can surround the mirror 210.

そして、コイル25に通電することにより、磁石22と
コイル25の間に力が発生し、ゴム23を支点としてミ
ラー21が電流に応じた角度で振れるようになっている
。このようにして、ミラーへの入射光を望みの方向へ反
射させる。
When the coil 25 is energized, a force is generated between the magnet 22 and the coil 25, and the mirror 21 swings at an angle corresponding to the current, using the rubber 23 as a fulcrum. In this way, the light incident on the mirror is reflected in the desired direction.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかし、前述の従来技術では、トラッキングミラーとタ
ンジエンシャルミラーの2枚のミラーが必要なので、こ
れらの調整が面倒で部品点数が多くなる。そして、可動
部の支点にゴムを用いるため、このゴムの性質によりガ
ルバノミラ−の特性が大きく左右され、また、可動部が
このゴムだけで支持されているので、外部からの振動に
対して弱く安定な動作の妨げになっている。そこで本発
明はこのような問題点を解決するものでその目的とする
ところは、構成が筒車で上記欠点を解決し、支持が安定
して動作が確実な2次元駆動のガルバノミラ−ユニット
を提供することにある。
However, the above-mentioned conventional technology requires two mirrors, a tracking mirror and a tangential mirror, so adjustment of these mirrors is troublesome and the number of parts increases. Since rubber is used as the fulcrum of the movable part, the characteristics of the galvanometer mirror are greatly influenced by the properties of this rubber.Also, since the movable part is supported only by this rubber, it is weak against external vibrations and is stable. It is interfering with normal movement. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve these problems, and its purpose is to provide a two-dimensionally driven galvanomirror unit with a hour wheel configuration that solves the above drawbacks, has stable support, and ensures reliable operation. It's about doing.

〔問題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明の2次元駆動ガルバノミラ−ユニットは、円板状
記録媒体に光線を照射し、情報を記録再生する光学式記
録再生装置において、前述の記録媒体上の情報トラック
を追跡するために、光線を記録媒体の半径方向へ振る動
作と、再生信号の時間的変動を取り除くため、光線を前
述の情報トラックの接線方向へ振る動作をミラーで行な
い、このミラーの駆動に積層型圧電素子を用いることを
特徴とする。
The two-dimensional drive galvano mirror unit of the present invention is used in an optical recording and reproducing apparatus that irradiates a disc-shaped recording medium with a light beam to record and reproduce information. In order to shake the recording medium in the radial direction and eliminate temporal fluctuations in the reproduced signal, a mirror is used to swing the light beam in the tangential direction of the information track, and a laminated piezoelectric element is used to drive this mirror. Features.

〔作 用〕[For production]

本発明の上記の構成によれば、ミラーが1枚で済むので
光軸調整が楽になり、部品点数が少なくなる。また、ミ
ラーを剛性の高い積層型圧電素子もしくは金属で支持で
きるため、外乱に対して非常に強くなる。しかも、ミラ
ーの駆動に圧電素子を用いるため消費電力も少なくなる
According to the above configuration of the present invention, since only one mirror is required, optical axis adjustment becomes easy and the number of parts is reduced. Furthermore, since the mirror can be supported by a highly rigid laminated piezoelectric element or metal, it is extremely resistant to external disturbances. Furthermore, since a piezoelectric element is used to drive the mirror, power consumption is also reduced.

〔実施例〕 以下、本発明を図示の実施例について説明する。〔Example〕 Hereinafter, the present invention will be described with reference to illustrated embodiments.

第1図は本考案の一実施例を示す図である。第1図にお
いて、21はミラーで、このミラーの裏面の円周付近の
Y軸及びY軸上に4個の積層型圧電素子31a〜31d
が固着されている。これらの圧電素子のもう一端は固定
部32に固着されている。そして、圧電素子31aが伸
びるようにこの素子に電圧を印加し、圧電素子31bが
縮むように電圧を印加することにより、ミラー21はY
軸回りに回転する。また、上とは逆の極性の電圧をそれ
ぞれの圧電素子に印加すると、ミラー21は逆方向に回
転する。一般に圧電素子は圧縮側の歪が大きくとれない
ので、大きい回転角が必要な場合は、あらかじめ伸長側
にバイアス電圧■oを2つの圧電素子に印加しておき、
この■。を中心としてそれぞれの圧電素子に逆位相で電
圧を印加することにより、上記と同様にY軸を中心とし
てミラーを回転することができる。次に31c及び31
dを用いて上記と同様の動作を行なうと、ミラー21を
X軸回りに回転することができる。例えば、Y軸をディ
スクの半径方向に、Y軸をトラックの接線方向に一致さ
せ、以上の動作を同時に行なえば、ミラー21への入射
光線をディスクの半径方向及び接線方向に、望みの角度
だけ偏向させることができる。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 21 is a mirror, and four laminated piezoelectric elements 31a to 31d are arranged on the Y-axis and the Y-axis near the circumference of the back surface of this mirror.
is fixed. The other ends of these piezoelectric elements are fixed to the fixing part 32. Then, by applying a voltage to the piezoelectric element 31a so that it expands and applying a voltage so that the piezoelectric element 31b contracts, the mirror 21 becomes Y
rotate around an axis. Furthermore, when a voltage with a polarity opposite to that above is applied to each piezoelectric element, the mirror 21 rotates in the opposite direction. Generally, piezoelectric elements cannot take a large strain on the compression side, so if a large rotation angle is required, apply a bias voltage o to the two piezoelectric elements on the expansion side in advance.
This ■. By applying a voltage with an opposite phase to each piezoelectric element around , the mirror can be rotated around the Y axis in the same way as described above. Next 31c and 31
By performing the same operation as above using d, the mirror 21 can be rotated around the X axis. For example, by aligning the Y-axis with the radial direction of the disk and the Y-axis with the tangential direction of the track, and performing the above operations at the same time, the incident light beam on the mirror 21 can be directed in the radial direction and tangential direction of the disk by the desired angle. It can be deflected.

第2図に本発明の別の実施例を示す。第1図と同じもの
には、同一の番号を付しである。第2図において、33
は図示のように原点に切り欠き部Aを有する支持棒が突
出したミラー支持板である。
FIG. 2 shows another embodiment of the invention. Components that are the same as in FIG. 1 are given the same numbers. In Figure 2, 33
As shown in the figure, is a mirror support plate from which a support rod having a notch A at its origin protrudes.

円周付近のY軸及びY軸の正の部分上には、積層型圧電
素子31a、31bを接着するために取り付は部Bが突
出している。このB部にも、ミラー21の回転を行ない
やすくするために切り欠き部を設ける。この支持板には
剛性の高い金属を用いる。今、圧電素子31aに電圧を
印加し、この素子を伸縮させると、ミラー21はY軸回
りに回転する。一方、圧電素子31bを伸縮させるとX
軸回りに回転する。上記のように、31a、31bの2
つの圧電素子を用いて、ミラー21への入射光をディス
クの半径方向及びトラックの接線方向に、同時に偏向す
ることができる。
On the Y axis and the positive portion of the Y axis near the circumference, mounting portions B protrude for adhering the laminated piezoelectric elements 31a and 31b. This portion B is also provided with a cutout portion to facilitate rotation of the mirror 21. This support plate is made of highly rigid metal. Now, when a voltage is applied to the piezoelectric element 31a and this element expands and contracts, the mirror 21 rotates around the Y axis. On the other hand, when the piezoelectric element 31b is expanded or contracted,
rotate around an axis. As mentioned above, 2 of 31a and 31b
By using two piezoelectric elements, the light incident on the mirror 21 can be simultaneously deflected in the radial direction of the disk and in the tangential direction of the track.

〔発明の効果] 以上述べたように不発1す目こよれば、ミラーが1枚で
よいので面倒なミラー間調整が不必要となり、部品点数
が少な(なる。また、ミラーを剛性の高い積層型圧電素
子もしくは金属で支持するため、外乱に強くて安定な動
作が行なえる。しかも従来の電磁式と違って電流をほと
んど必要としないので、消費電力が少なくなるという効
果も有する。
[Effects of the invention] As mentioned above, if the first misfire occurs, only one mirror is required, so troublesome adjustment between the mirrors is unnecessary, and the number of parts is reduced. Because it is supported by a type piezoelectric element or metal, it is resistant to external disturbances and can operate stably.Furthermore, unlike conventional electromagnetic systems, it requires almost no current, so it also has the effect of reducing power consumption.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(a)は、本発明によるガルバノミラ−の平面図
、第1図(b)は、同側面図、第2図(a)は、本発明
の別の実施例によるガルバノミラ−の平面図、第2図(
b)は、同断面図、第3図は、従来の光学式記録再生装
置の概略図、第4図は、従来のガルバノミラ−の断面図
である。 1・・・光源       2・・・集光レンズ3・・
・ビーム形状変換光学系 4・・・ビームスプリンタ 5・・・トラッキングミラー 6・・・タンジエンシャルミラー 7・・・対物レンズ駆動装置 8・・・対物レンズ    9・・・ディスク10・・
・情報トラック 11・・・シリンドリカルレンズ 12・・・光検出器    21・・・ミラー22・・
・磁石      23・・・ゴム24・・・取り付は
金具  25・・・コイル31a〜31d・・・積層型
圧電素子 32・・・固定部     33・・・ミラー支持板以
上 2ト− ぐラ− 31具〜3JJ・・・精七天輌子 力゛ルバソぶクーの平面図 1(11[≧1(ど乙ノ ガルバかクーの1・j面図 イヤ51B乙(μ] 2+−−−Sクー 31ろ3ルー−−一尋漕型1電素子 %2図(12−) 、21 ピ カ゛ンレバソぐクーのΔ4面図 クシ、2 @(b)
FIG. 1(a) is a plan view of a galvano mirror according to the present invention, FIG. 1(b) is a side view of the same, and FIG. 2(a) is a plan view of a galvano mirror according to another embodiment of the present invention. , Figure 2 (
b) is a sectional view of the same, FIG. 3 is a schematic diagram of a conventional optical recording/reproducing device, and FIG. 4 is a sectional view of a conventional galvano mirror. 1... Light source 2... Condensing lens 3...
- Beam shape conversion optical system 4... Beam splinter 5... Tracking mirror 6... Tangential mirror 7... Objective lens drive device 8... Objective lens 9... Disk 10...
・Information track 11...Cylindrical lens 12...Photodetector 21...Mirror 22...
・Magnet 23...Rubber 24...Metal fittings 25...Coils 31a to 31d...Laminated piezoelectric element 32...Fixing part 33...Mirror support plate or more 2 toggles 31gu ~ 3JJ... Plan view of Seishichitensobuku 1 Lo 3 Rue--One-fathom type one-electron element %2 figure (12-), 21 Δ4 view of pin-open lever sock, 2 @(b)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)円板状記録媒体に光線を照射し、情報を記録再生
する光学式記録再生装置において、前記光線を前記記録
媒体の半径方向へ振る動作と、前記光線を前記情報トラ
ックの接線方向へ振る動作をミラーで行ない、前記ミラ
ーの駆動に積層型圧電素子を用いることを特徴とするガ
ルバノミラーユニット。
(1) In an optical recording and reproducing device that records and reproduces information by irradiating a light beam onto a disc-shaped recording medium, the light beam is swung in the radial direction of the recording medium, and the light beam is directed in the tangential direction of the information track. A galvano mirror unit characterized in that a shaking operation is performed by a mirror, and a laminated piezoelectric element is used to drive the mirror.
(2)少なくとも4個以上の前記積層型圧電素子を前記
ミラー周辺の直交する2軸上にそれぞれ固着し、前記軸
をはさんで相対する前記積層型圧電素子の対をPush
−Pull方式でそれぞれ駆動することにより、前記ミ
ラーをそれぞれの軸回りに回転させることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載のガルバノミラーユニット。
(2) At least four or more of the laminated piezoelectric elements are fixed on two orthogonal axes around the mirror, and a pair of the laminated piezoelectric elements facing each other across the axes is pushed.
- The galvanometer mirror unit according to claim 1, wherein the mirrors are rotated around their respective axes by being driven using a pull method.
(3)中心に切り欠き部を持つ支点と直交する2軸上に
2つの力点を有する金属板を、前記ガルバノミラーの裏
面に固着し、前記支点を固定部に、少なくとも2個以上
の前記積層型圧電素子を前記2ヶ所の力点にそれぞれ固
着した構造において、前記積層型圧電素子を伸縮駆動さ
せることにより、前記支点を中心として前記直交2軸回
りに前記ミラーを回転させることを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載のガルバノミラーユニット。
(3) A metal plate having two points of force on two axes perpendicular to a fulcrum having a notch in the center is fixed to the back surface of the galvanometer mirror, and at least two or more of the laminated pieces are stacked with the fulcrum as a fixed part. In a structure in which piezoelectric elements are fixed to the two points of force, the mirror is rotated about the two orthogonal axes about the fulcrum by driving the laminated piezoelectric elements to expand and contract. A galvanometer mirror unit according to claim 1.
JP22122189A 1989-08-28 1989-08-28 Galvano-mirror unit Pending JPH0296935A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06118330A (en) * 1991-12-06 1994-04-28 Nec Corp Mirror driving mechanism
WO2015145503A1 (en) * 2014-03-26 2015-10-01 パナソニックIpマネジメント株式会社 Optical recording/playback device
US9330705B2 (en) 2014-03-26 2016-05-03 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Optical recording and playback apparatus

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