JPH0281032U - - Google Patents

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JPH0281032U
JPH0281032U JP15998488U JP15998488U JPH0281032U JP H0281032 U JPH0281032 U JP H0281032U JP 15998488 U JP15998488 U JP 15998488U JP 15998488 U JP15998488 U JP 15998488U JP H0281032 U JPH0281032 U JP H0281032U
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JP
Japan
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moving
base
rail
fixing
rails
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JP15998488U
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  • Machine Tool Units (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案をX方向用移動体に実施した場
合の一例を示す一部分解斜視図、第2図は本考案
において材料をX―Y方向に移動させる場合の一
例を示す斜視図、第3図は従来例を説明するため
の図である。 1……基台、6……X方向用移動体、9……駆
動棒、10,11……第1ガイドレール、12a
,12b……第2ガイドレール、13a,13b
……第3ガイドレール、14a,14b,15a
,15b……ローラ、16a,16b,25a,
25b……案内板、18……Y方向用移動体、1
9……第1レール、21a,22a……第2、第
3ガイドレール、27a,27b……駆動棒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 材料を保持した移動台を基台上に少なくとも一
    方向に移動するよう載置した精密移動装置におい
    て、その長手方向が前記移動体の移動方向に沿つ
    て配置されかつ両面に前記移動方向と平行なガイ
    ド面を形成した第1のレールと該レールの両面を
    1つのローラを夫々介在させた状態で互いに移動
    可能に挾持するために対向するように置かれた第
    2及び第3のレールとで構成された直線ガイドを
    2組ある距離離して設け、前記基台あるいは移動
    体の一方に前記第1のレールを、他方に第2、第
    3のレールを夫々固定することにより前記基台に
    対する移動体のガイドを2点支持で行うように構
    成したことを特徴とする精密移動装置。
JP15998488U 1988-12-09 1988-12-09 Pending JPH0281032U (ja)

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JP15998488U JPH0281032U (ja) 1988-12-09 1988-12-09

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JPH0281032U true JPH0281032U (ja) 1990-06-22

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ID=31441670

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JP15998488U Pending JPH0281032U (ja) 1988-12-09 1988-12-09

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