JPH0265282A - Laser device - Google Patents
Laser deviceInfo
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08081—Unstable resonators
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザ装置、とくに大出力レーザ装置にお
けるビーム品質の改良に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to improvement of beam quality in a laser device, particularly a high-power laser device.
第５図は例えばレーザハンドブック（ＩａｓｅｒＨｈｒ
Ａ ｂｏｏｋ １９７９． Ｎｏｒｔｈ −Ｈｏ１ｌａ
ｎｄ ＰｕｂｌＬｉｓｈｉｒｇｃａｍｐａｎｙ）に記載
された従来の不安定型共振器を有するレーザ装置を示す
断面側面図である。図において、（１）は凹面鏡よりな
るコリメートミラー（２）はこのコリメートミラーに対
向配置された凸面鏡よりなる拡大ミラーであり、両ミラ
ー（１） 、 （２）は全反射ミラーをなす。（３）は
レーザ媒質でＣＣｎレーザ等のガスレーザを例にとれば
放電などにより励起されたガス媒質、ＹＡ（）レーザな
どの固体レーザを例にとればフラッシュランプ等により
励起されたガラス媒質であり、（４）はウィンドミラー
、（５）はウィンドミラー面上に施された無反射コーテ
イング膜、（６）は周囲を覆う箱体、（７）はミラー（
１） 、 （２）により構成される光共振器内に発生す
るレーザビーム、（８）は拡大ミラー周辺部より外部に
取出されたレーザビームである。Figure 5 shows, for example, the Laser Handbook (IaserHhr).
A book 1979. North-Ho1la
FIG. 1 is a cross-sectional side view showing a conventional laser device having an unstable resonator, as described in J.D. In the figure, (1) is a collimating mirror (2) made of a concave mirror and is a magnifying mirror made of a convex mirror placed opposite to this collimating mirror, and both mirrors (1) and (2) form a total reflection mirror. (3) refers to the laser medium, which is a gas medium excited by an electric discharge in the case of a gas laser such as a CCn laser, and a glass medium excited by a flash lamp or the like in the case of a solid-state laser such as a YA() laser. , (4) is a wind mirror, (5) is an anti-reflection coating film applied on the wind mirror surface, (6) is a box covering the surrounding area, and (7) is a mirror (
1) and (2) are the laser beams generated in the optical resonator, and (8) is the laser beam taken out from the peripheral portion of the magnifying mirror.
次に動作について説明する。Next, the operation will be explained.
ミラー（１） 、 （２）はいわゆる不安定型共振器を
構成しており、拡大ミラー（２）により反射拡大された
レーザビームはレーザ媒質（３）により増幅されると共
に、コリメートミラー（１）により平行ビームにコリメ
ートされ、拡大ミラー（２）及びミラー周辺部上に反射
させ、リング状のビームとしてウィンドミラー（４）よ
り外部にとり出される。取出されるリング状のレーザビ
ーム（８）はほとんど等位相で得られるため、レンズ等
により集光することにより中高のビームとなり、鉄板な
どの切断、溶接等を効率よくおこなうことができる。Mirrors (1) and (2) constitute a so-called unstable resonator, and the laser beam reflected and expanded by the magnifying mirror (2) is amplified by the laser medium (3) and is amplified by the collimating mirror (1). The beam is collimated into a parallel beam, reflected onto the magnifying mirror (2) and the mirror periphery, and taken out as a ring-shaped beam to the outside through the wind mirror (4). Since the extracted ring-shaped laser beam (8) is obtained with almost the same phase, it becomes a medium-height beam by condensing it with a lens or the like, and can efficiently cut, weld, etc. iron plates.
また、その集光の度合いは取出されるリング状ビームの
内径と外径との比（Ｍ値（Ｍａｇ泣ｆ１伝しｊ−ｏｎ
ｆ虹比ｅｒ） ）できまり、Ｍ値が大きいほど、すなわ
ち、より中づまりで取出さしたビームはどよく集光され
る。しかしＭ値を大きくすると発振効率が著しく悪化す
るため、工業的に現笑にもちめられるＭ値の上限は２稈
度である。In addition, the degree of convergence is determined by the ratio of the inner diameter and outer diameter of the ring-shaped beam taken out (M value (Mag f1 transmission j-on
The larger the M value, that is, the more concentrated the beam is focused. However, if the M value is increased, the oscillation efficiency deteriorates significantly, so the upper limit of the M value that is practically accepted industrially is 2 culms.
従来のレーザ装置は以上のように構成されているので、
集光特性を向上させるためにＭ値を大きくすると発振効
率が悪化するので、実用的にはＭ値を最高集光性能の得
られる無限大近くまであげられないという課題があった
。また、ウィンドミラー（４）がリング状のレーザビー
ムにより不均一に加熱されるため、不均一な内部応力が
発生し、通過するレーザビームの位相分布をくずし、集
光性能を悪化させる等の課題があった。Conventional laser equipment is configured as described above, so
If the M value is increased in order to improve the light collection characteristics, the oscillation efficiency deteriorates, so there is a problem in that practically the M value cannot be raised to near infinity, where the maximum light collection performance can be obtained. In addition, since the wind mirror (4) is unevenly heated by the ring-shaped laser beam, uneven internal stress is generated, which disrupts the phase distribution of the passing laser beam and deteriorates the focusing performance. was there.
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、発振効率の低下を招かずにＭ値が無限大に近い
高品質のレーザビームを敗出すことができるレーザ装置
を容易に得ることを目的とする。This invention was made in order to solve the above-mentioned problems, and it is possible to easily obtain a laser device that can emit a high-quality laser beam with an M value close to infinity without causing a decrease in oscillation efficiency. The purpose is to
この発明に係るレーザ装置は、拡大ミラーに部分透過性
をもたせると共に、共振器内または共振器のレーザビー
ム出射側外部に、拡大ミラーを通過するレーザビームと
、ミラー周辺部を通過するレーザビームの位相差を打消
す位相補償ミラーを設けるものである。In the laser device according to the present invention, the magnifying mirror has partial transparency, and the laser beam passing through the magnifying mirror and the laser beam passing through the peripheral portion of the mirror are separated into the resonator or outside the laser beam output side of the resonator. A phase compensation mirror is provided to cancel the phase difference.
この発明における位相補償ミラーは拡大ミラー部とミラ
ー周辺部とを通過するレーザビーム間の位相差をなくシ
、位相のそろったレーザビームを作り出す。The phase compensation mirror according to the present invention eliminates the phase difference between the laser beam passing through the magnifying mirror section and the mirror peripheral section, and produces a laser beam with uniform phase.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ装置を示す断
面側面図であり、（２）において、（４）はウィンドミ
ラーを兼ねる凸面鏡であり、コリメートミラー（１）に
対向する而の中央部に部分反射率を有する部分反射膜（
イ）（例えばＺｎ５ｅ薄膜）が設けられ、拡大ミラーと
して働く。また反射膜（１）の周辺部及び他面側には無
反射コーテイング膜（５）（例えば、ＰｂＦｘ薄膜）が
設けられている。さらに凸面鏡（４）の外部には両側表
面中央部に段差＋＝ （２００ａＸ２００１））を持ち
レーザビーム入射側に半透過（部分反射）コーテイング
膜α０８他面に無反射コーティング（５）の施された位
相補償ミラー（９）が備えられている。FIG. 1 is a cross-sectional side view showing a laser device according to an embodiment of the present invention. In (2), (4) is a convex mirror that also serves as a wind mirror, and the central portion facing the collimating mirror (1) is shown in FIG. Partially reflective film with partial reflectance (
b) (for example, a Zn5e thin film) is provided and acts as a magnifying mirror. Further, a non-reflective coating film (5) (for example, a PbFx thin film) is provided on the periphery and other side of the reflective film (1). Furthermore, on the outside of the convex mirror (4), there is a step += (200aX2001)) at the center of both surfaces, and a semi-transmissive (partially reflective) coating film α08 is applied to the laser beam incident side, and an anti-reflective coating (5) is applied to the other surface. A phase compensation mirror (9) is provided.
次に動作について説明する。Next, the operation will be explained.
コリメートミラー（１）及び凸面鏡（４）の反射膜鎖部
はいわゆる不安定型共振器を構成しており、凸面鏡（４
）の反射膜（イ）で反射拡大されたレーザビーム（７）
は、レーザ媒質（３）１こより増幅されると共に、コリ
メートミラー（１）により平行ビームにコリメートされ
、凸面鏡（４）より外部ヘレーザビーム（８）として取
出される。The reflective film chains of the collimating mirror (1) and the convex mirror (4) constitute a so-called unstable resonator, and the convex mirror (4)
) Laser beam reflected and expanded by the reflective film (a) (7)
is amplified by a laser medium (3), collimated into a parallel beam by a collimating mirror (1), and extracted from a convex mirror (4) as an external laser beam (8).
このレーザビーム（８）は部分反射膜（イ）を通過する
部分（７りと無反射コーテイング膜（５）を通過する部
分（ハ）とからなるが、両者は位相補償ミラー（９）に
より位相補正さｎて等位相の中づまり形状のレーザビー
ム（８）として外部に取出される。このレーザビームは
中づまりであるため、従来の不安定型共振器で定義され
たＭ値は無限大に相当する。This laser beam (8) consists of a part (7) that passes through the partially reflective film (A) and a part (C) that passes through the non-reflection coating film (5), both of which are phase-shifted by a phase compensation mirror (9). The laser beam is corrected and extracted to the outside as a laser beam (8) with a hollow shape of equal phase.Since this laser beam is a hollow laser beam, the M value defined in a conventional unstable resonator corresponds to infinity. .
第２図れ＞ 、 （ｋ）は各々従来及びこの発明の一実
施例による不安定型共振器で発生したレーザビームをレ
ンズで集光させｔこ場合のパターン形状を模式的に示す
特性図であり、槓軸は光軸からの距離、縦軸はビーム強
度である。Fig. 2 and (k) are characteristic diagrams schematically showing the pattern shapes in which a laser beam generated in an unstable resonator according to a conventional method and an embodiment of the present invention is focused by a lens, respectively; The ram axis is the distance from the optical axis, and the vertical axis is the beam intensity.
この実験では両者の発振特性をほぼ同一にするため、反
射膜（イ）の反射率は５０％、また反射膜（イ）外
の径とビーム径との比は１．５とした。（即ち、Ｍ△
＝１．５の従来の不安定型共振器の拡大ミう−（２）に
５０％の部の透過廿をもたせて、この発明の不安定型共
振器とした。）
また、凸面鏡（４）の両面の曲率は同一としく厚みを一
定とし）、レーザビーム（８）が凸面鏡（４）を通過後
も平行ビームであるようにした。第２図（ａ）、 （ｂ
）で示される各集光性能を比較すると、この発明による
もの（第２図（ｂ））は中央強度が高く、かつ光軸上に
集中したレーザビームが侶・られることがわかる。In this experiment, in order to make the oscillation characteristics of the two almost the same, the reflectance of the reflective film (A) was set to 50%, and the ratio of the diameter outside the reflective film (A) to the beam diameter was set to 1.5. (In other words, the unstable resonator of the present invention was created by adding a 50% transmission to the enlarged model (2) of the conventional unstable resonator with M△ = 1.5.) (4) had the same curvature and constant thickness), and the laser beam (8) remained a parallel beam even after passing through the convex mirror (4). Figure 2 (a), (b)
), it is found that the laser beam according to the present invention (FIG. 2(b)) has a high central intensity and a laser beam concentrated on the optical axis.
次に位相補償ミラー（９）の作用について述べる。Next, the action of the phase compensation mirror (9) will be described.
レーザビーム（７Ｑ、（２）はそれぞれウィンドミラー
（４）のうち２種類のコーテイング膜■、（５）の施さ
れた部分を通過して外部に取出される。コーテイング膜
の種類によって通過するレーザビームに与えられる位相
変化は異なるため、位相補償ミラーがなければ内部に発
生した等位相レーザビーム（７）は空間的位相分布をも
つレーザビームとして外部に取出される。The laser beams (7Q, (2) pass through the portions of the wind mirror (4) that are coated with two types of coating films (■, (5)) and are taken out to the outside. Since the phase changes given to the beams are different, if there is no phase compensation mirror, the equal phase laser beam (7) generated inside would be extracted to the outside as a laser beam with a spatial phase distribution.
第８図にはウィンドミラー（４）内面の部分反射膜翰を
通過するレーザビームに与えられる位相と、無反射コー
テイング膜（５）を通過するレーザビームに与えられる
位相との差に対しての集光特性の計算例を示す。集光特
性としてはレーザビームをレンズでしぼつｔこ時のビー
ム強度が中央の１／ｅ２になる直径できめた集光スボツ
ｌ−径とその径内に全体の何％のパワーが含まれるかを
示すパワー集中度とを示す。Figure 8 shows the difference between the phase given to the laser beam passing through the partially reflective coating on the inner surface of the wind mirror (4) and the phase given to the laser beam passing through the non-reflection coating film (5). An example of calculation of light collection characteristics is shown. The focusing characteristics include the diameter of the focusing slit, which is defined by the diameter of the laser beam so that when the laser beam is squeezed by a lens, the beam intensity is 1/e2 of the center, and what percentage of the total power is contained within that diameter. It shows the power concentration degree.
前者が小さいほどレーザビームは細クシはれ、また後者
が大きいほど細くしぼれた範囲内に大量のパワーを集中
でき、したがって効率的な加工ができる１こめ、集光特
性がよいと判断できる。縞８図より集光スポット径を小
さく、またパワー集中度を高く味っためには位相差は約
４５°以内に保たれる必要があることがわかる。しかし
、を二とえばＣＯ２レーザ用のミラーを例にとっても、
この位相差が６０°以上になることはしばしば観測され
る。The smaller the former is, the narrower the laser beam is, and the larger the latter is, the more power can be concentrated within a narrower range, and therefore efficient processing is possible.It can be judged that the light focusing characteristics are good. From Fig. 8, it can be seen that the phase difference needs to be kept within about 45° in order to have a small focused spot diameter and a high degree of power concentration. However, if we take a mirror for a CO2 laser as an example,
It is often observed that this phase difference is 60° or more.
位相補償ミラーはこの位相差を打消すべく構成される。The phase compensation mirror is configured to cancel this phase difference.
第１図に示す例では、レーザビームＱ０゜（ハ）が通過
する部分の間に段差（２００） ｅ設けて、それぞれの
厚みに変化をもたせている。In the example shown in FIG. 1, a step (200) e is provided between the portions through which the laser beam Q0° (c) passes, and the thickness of each portion is varied.
例えば、ウィンドミラー（４）内面の部分反射膜（１）
を通過するレーザビームに与えられる位相が、無反射コ
ーディング膜（５）を通過するレーザビームに与えられ
る位相よりδ（ｄｅｇｒｅｅ ）進んでいるとする。For example, the partial reflective film (1) on the inner surface of the wind mirror (4)
It is assumed that the phase given to the laser beam passing through the non-reflection coating film (5) is δ (degree) ahead of the phase given to the laser beam passing through the non-reflection coating film (5).
レーザビーム（８ａ）においてこれを補正するｔこめの
位相補償ミラー（９）の段差（２００ａ） ｃｌは第１
図の様に位相補償ミラーへのレーザビームの入射角４５
ｃ′の場合は
２Ｊｉ翳−θ
により求められる。１こだしλはレーザビームの波長で
ある。The step (200a) of the phase compensation mirror (9) of t to correct this in the laser beam (8a) cl is the first
As shown in the figure, the angle of incidence of the laser beam on the phase compensation mirror is 45
In the case of c', it is determined by 2Ji-θ. λ is the wavelength of the laser beam.
またレーザビーム（８ｔ））も段差（２００ｂ）により
位相補償されるため、１つの箱体（６）から２つの位相
補償されたレーザビーム（８ａ） （８ｂ）が得られる
。Furthermore, since the phase of the laser beam (8t) is also compensated by the step (200b), two phase-compensated laser beams (8a) (8b) are obtained from one box (6).
なお上記実施例で位相補償ミラー（９）は両面に凸の段
差（２００ａ） （２００１）） Ｔｔ備えたものにつ
いて説明したが、段差は凹状でもよく、また第４図に示
すように位相補償ミラー面上での位相変化を構成の異な
る半透過コーティング（１１０）及び無反射コーティン
グ（１０５）を用いて実現してもよい。In the above embodiment, the phase compensation mirror (9) has a convex step (200a) (2001)) Tt on both sides, but the step may be concave, and as shown in FIG. The phase change on the surface may be achieved using different configurations of a transflective coating (110) and an anti-reflective coating (105).
丁ことえばＣｏｘ １ノーザ用のミラーを例にとれば、
基盤（ＺｎＳｅ） １ｃＰｂＦ２１層ヲ用イテも、Ｚｎ
５ｅ 。If we take the mirror for the Cox 1 noser as an example,
Substrate (ZnSe) The item for 1cPbF21 layer is also Zn
5e.
ＴｈＦ＜ ２層を用いても無反射コーテイング膜が実現
できるが、この場合、両膜を通過することによる位相差
は２Ｏ２以上である。要は中央部とその周囲とで構成を
工夫して位相差が生じるような構成であればよい。A non-reflection coating film can also be realized using ThF<2 layers, but in this case, the phase difference due to passing through both films is 2O2 or more. In short, it is sufficient if the configuration is devised to create a phase difference between the central portion and its surroundings.
以上のように、この発明によれば不安定型共振器の拡大
ミラーに部分透過性をもたせる溝底としたため、発振効
率を犠牲にすることなく中づまりの集光特性のよいレー
ザビームが１つの箱体から複数得られ、したがってこの
レーザビームを利用することにより高速で効率よく高精
度のレーザ加工をおこなうことができるという効果があ
る。また、レーザビームはウィンドミラーを全体に加熱
するため、熱応力が余生しにくく安定して畏期間ビーム
を取出すことができるという効果もある。As described above, according to the present invention, since the magnifying mirror of the unstable resonator has a groove bottom that is partially transparent, a laser beam with good convergence characteristics without sacrificing oscillation efficiency can be integrated into a single box. Therefore, by using this laser beam, it is possible to perform high-speed, efficient, and highly accurate laser processing. Furthermore, since the laser beam heats the entire wind mirror, there is also the effect that thermal stress is less likely to persist and the beam can be stably extracted for a short period of time.
また、位相補償ミラーを共振器ミラーと別に設けたので
それぞれの最適設計ができ、容易に等位相ビームが外部
に取出せるという効果もある。Furthermore, since the phase compensation mirror is provided separately from the resonator mirror, each can be optimally designed, and the same phase beam can be easily extracted to the outside.
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ装置を示す断
面側面図、第２図（ａ）、 （０は各々従来及びこの発
明の一実施例によるレーザ装置の集光特性を示す特性図
、第３図はこの発明のもととなる位相補償の必要性を説
明する曲線図、第４図はこの発明の池の実施例による１
ノーザ装置を示す断面側面図、第５図は従来のレーザ装
置を示す断面側面図である。
図において、（１）はコリメートミ→−１（３）はレー
ザ媒質、（４）は凸面鏡、（５）は無反射コーテイング
膜、（７） 、 （７Ｇ 、の） 、 （８）はレーザ
ビーム、（９）は位相補償ミラー、（イ）は部分反射膜
、（２００）は段差、（Ａ］）は凹面鏡である。
なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
［Ｘ′、埋入 大岩増雄
第
？
図
（α）
（ｂ）
兄１曲ガ知距離
略
図
９０゜
イｆ１ジ１目ノ軌
１、事件の表示
３．補正をする者
手続補正書（自発）
特願昭 ６３−２１７０８０号
事件との関係 特許出願人
住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号名
称 （６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉
４、代理人
住所
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
４ 補正の対象
（υ ａＡ１１１Ｂ書の発明の詳細な説明の欄。
（２） 明細書の図面の簡単な説明の欄。
（３） 図 面。
６、補正の内容
（１）明細書中、第３頁第１６行目に「ｆａｃｔｅｒ
Ｊとあるのを［ｆａｃｔｏｒ Ｊと訂正する。
（２）同書中、第５頁第１２行目に「（４）は」とある
のを「顛は」と訂正する。
（３） 同書中、第５頁第１５行目に「Ｚｎ５ｅ Ｊ
とあるのをｒ Ｚｎ８ｅ Ｊと訂正する。
（４）同書中９次の箇所にある「凸面鏡（４）」とある
のを「凸面鏡Ｇｌｌ Ｊと訂正する。
第５頁第１８行目、第６頁第４行目、第６頁第５行目〜
第６行目、第６頁第９行目、第７頁第９行目、第７頁第
１０行目。
（５）同書中９次の箇所にある「ウィンドミラー（４）
」を「凸面鏡顛」と訂正する。
第７頁第１７行目〜第１８行目、第８頁第５行目、第９
頁第７行目。
（６） 同書中、第９頁第１６行目にある式を次の通
り訂正する。
ｒ ２ ｒｚ ／２−δ」
（７）同書中、第１１頁第４行目に「ウインドミラー」
とあるのを「ウィンドミラーを兼ねる凸面鏡」と訂正す
る。
（８）同書中、第１１頁第２０行目に「（４）は凸面鏡
」とあるのを「顛は凸面鏡」と訂正する。
（９）同書中、第１２頁第２行目〜第３行目にｒ （２
００）は段差、 （４１）は凹面鏡である。」とあるの
をｒ （２００）は段差である。」と訂正する。
αｅ 図面中、第１図、第３図、第４図、第５図を別紙
訂正図面の通り訂正する。
７、添付書類の目録
訂正図面（第１図、第３図、第４図、第５図）各１通
以上FIG. 1 is a cross-sectional side view showing a laser device according to an embodiment of the present invention, FIG. FIG. 3 is a curve diagram explaining the necessity of phase compensation which is the basis of this invention, and FIG. 4 is a curve diagram according to an embodiment of this invention.
FIG. 5 is a cross-sectional side view showing a laser device, and FIG. 5 is a cross-sectional side view showing a conventional laser device. In the figure, (1) is the collimating mirror → -1 (3) is the laser medium, (4) is the convex mirror, (5) is the anti-reflection coating film, (7), (7G,), (8) is the laser beam, (9) is a phase compensation mirror, (A) is a partial reflection film, (200) is a step, and (A]) is a concave mirror. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts. [X', embedded Masuo Oiwa? Diagram (α) (b) Brother 1 track distance diagram 90゜I f1ji1mokuki1, Incident display 3. Written amendment by the person making the amendment (voluntary) Relationship to patent application No. 63-217080 Patent applicant address 2-2-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Name (601) Mamoru Shiki, representative of Mitsubishi Electric Corporation Ya 4, Agent address: 2-2-3-4 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Subject of amendment (υ Column for detailed explanation of the invention in book aA111B. (2) Column for brief explanation of drawings in the specification. (3) ) Drawings. 6. Contents of amendment (1) In the specification, on page 3, line 16, "factor
J is corrected to [factor J]. (2) In the same book, on page 5, line 12, ``(4) wa'' is corrected to ``顛wa''. (3) In the same book, on page 5, line 15, “Zn5e J
Correct that to r Zn8e J. (4) "Convex mirror (4)" in the 9th part of the same book is corrected to "Convex mirror Gll J. Page 5, line 18, page 6, line 4, page 6, line 5. Row ~
Line 6, page 6, line 9, page 7, line 9, page 7, line 10. (5) “Wind mirror (4)” in the 9th part of the same book.
" is corrected as "convex mirror". Page 7, lines 17 to 18, page 8, lines 5 and 9
Page 7th line. (6) In the same book, the formula on page 9, line 16 is corrected as follows. r 2 rz /2-δ" (7) In the same book, on page 11, line 4, "wind mirror"
Correct the statement to read "a convex mirror that also serves as a wind mirror." (8) In the same book, on page 11, line 20, the statement ``(4) is a convex mirror'' is corrected to ``the frame is a convex mirror.'' (9) In the same book, r (2
00) is a step, and (41) is a concave mirror. ”, r (200) is a step. ” he corrected. αe In the drawings, Figures 1, 3, 4, and 5 are corrected as shown in the attached corrected drawings. 7. At least one copy each of the catalog correction drawings of attached documents (Fig. 1, Fig. 3, Fig. 4, Fig. 5)
Claims (1)
ミラーで反射され拡大されたレーザビームを、上記拡大
ミラー及びミラー周辺部上に反射させるコリメートミラ
ーとからなる不安定型共振器を有し、上記共振器内また
は上記共振器のレーザビーム出射側外部に、上記拡大ミ
ラーを通過するレーザビームと、上記ミラー周辺部を通
過するレーザビームの位相差を打消す位相補償ミラーを
設けたレーザ装置において、上記位相補償ミラーは、半
透過性を有し、上記レーザビームを透過，反射し、分割
するもので、分割された両レーザビーム両方の位相を補
償する構成を有することを特徴とするレーザ装置。[Scope of Claims] A magnifying mirror having partial transparency, and a collimating mirror disposed opposite to the magnifying mirror and reflecting a laser beam reflected and magnified by the magnifying mirror onto the magnifying mirror and the peripheral portion of the mirror. A phase difference between the laser beam passing through the magnifying mirror and the laser beam passing through the peripheral portion of the mirror is struck inside the resonator or outside the laser beam output side of the resonator. In a laser device equipped with an erasing phase compensation mirror, the phase compensation mirror is semi-transparent and transmits, reflects, and splits the laser beam, and compensates for the phases of both split laser beams. A laser device characterized by having the following configuration.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21708088A JPH0682873B2 (en) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | Laser equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21708088A JPH0682873B2 (en) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | Laser equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265282A true JPH0265282A (en) | 1990-03-05 |
| JPH0682873B2 JPH0682873B2 (en) | 1994-10-19 |
Family
ID=16698513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21708088A Expired - Lifetime JPH0682873B2 (en) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | Laser equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682873B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021182619A1 (en) * | 2020-03-13 | 2021-09-16 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | Optical oscillator, method for designing optical oscillator, and laser device |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP21708088A patent/JPH0682873B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021182619A1 (en) * | 2020-03-13 | 2021-09-16 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | Optical oscillator, method for designing optical oscillator, and laser device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682873B2 (en) | 1994-10-19 |
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