JPH0265101U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0265101U JPH0265101U JP14409288U JP14409288U JPH0265101U JP H0265101 U JPH0265101 U JP H0265101U JP 14409288 U JP14409288 U JP 14409288U JP 14409288 U JP14409288 U JP 14409288U JP H0265101 U JPH0265101 U JP H0265101U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- micrometer head
- actuator
- block
- power source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す側面図、第2
図a,bは第1図に示す微動機構付マイクロメー
タの一使用例を示す平面図及び側面図、第3図は
従来の一例を示す側面図である。 1……マイクロメータヘツド、2……積層型圧
電アクチユエータ、3……スピンドル、4……つ
まみ、5……第一のブロツク、6……第二のブロ
ツク、7……電源、8……可動体。
図a,bは第1図に示す微動機構付マイクロメー
タの一使用例を示す平面図及び側面図、第3図は
従来の一例を示す側面図である。 1……マイクロメータヘツド、2……積層型圧
電アクチユエータ、3……スピンドル、4……つ
まみ、5……第一のブロツク、6……第二のブロ
ツク、7……電源、8……可動体。
Claims (1)
- スピンドル直進型マイクロメータヘツドと、積
層型圧電アクチユエータと、前記圧電アクチユエ
ータと前記マイクロメータヘツドとを同軸に固定
する第一のブロツクと、前記圧電アクチユエータ
端面に固定された第二のブロツクと、前記圧電ア
クチユエータを駆動させる電源を含むことを特徴
とする微動機構付マイクロメータヘツド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14409288U JPH0265101U (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14409288U JPH0265101U (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0265101U true JPH0265101U (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=31411490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14409288U Pending JPH0265101U (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0265101U (ja) |
-
1988
- 1988-11-02 JP JP14409288U patent/JPH0265101U/ja active Pending