JPH0258915A - Surface acoustic wave resonator - Google Patents
Surface acoustic wave resonatorInfo
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば電圧制御発振器等に用いるのに好適
な弾性表面波共振子に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a surface acoustic wave resonator suitable for use in, for example, a voltage controlled oscillator.
第5図に示すように、従来の弾性表面波共振子2は、圧
電基板3の表面に、IDT電極4およびその両側に格子
状の反射器5a、5bを設けて構成されている。6a、
6’bは電気端子である。As shown in FIG. 5, the conventional surface acoustic wave resonator 2 is constructed by providing an IDT electrode 4 on the surface of a piezoelectric substrate 3 and grid-shaped reflectors 5a and 5b on both sides thereof. 6a,
6'b is an electrical terminal.
このような弾性表面波共振子2を用いた電圧制御発振器
では、例えば第6図に示すように、当該弾性表面波共振
子2をコルピッツ型発振回路におけるインダクタンス分
として使用し、可変容量ダイオード白に印加する電圧V
cを変えることによって出力端子に表れる信号周波数を
制御するようにしている。In a voltage controlled oscillator using such a surface acoustic wave resonator 2, for example, as shown in FIG. Applied voltage V
By changing c, the signal frequency appearing at the output terminal is controlled.
しかしながら、上記のような弾性表面波共振子2のみで
はインダクタンス可変範囲が十分でないため、通常は伸
長用コイル7をそれに直列に接続することによって、周
波数可変範囲を大きくしている。However, since the surface acoustic wave resonator 2 as described above alone does not have a sufficient inductance variable range, the frequency variable range is usually increased by connecting an extension coil 7 in series therewith.
ところがそのようにすると、伸長用コイル7の分だけ部
品点数が増え、また伸長用コイル7自身のインダクタン
ス調整も必要になり、これらがひいてはコストアンプに
つながるという問題があった。However, if this is done, the number of parts increases by the amount of the extension coil 7, and the inductance of the extension coil 7 itself must be adjusted, which leads to a problem of increased cost.
これに対しては、同一圧電基板上にスパイラルコイルを
形成した弾性表面波共振子の例もあるが、そのようなも
のでは、部品点数が増えず、またインダクタンスもその
パターンで決まるため調整が不要になるものの、コイル
の分だけ圧電基板の面積が太き(なるため、当該弾性表
面波共振子が大型化すると共にコスト的にも高くなると
いう問題があった。In contrast, there are examples of surface acoustic wave resonators in which spiral coils are formed on the same piezoelectric substrate, but such devices do not require an increase in the number of components and do not require adjustment because the inductance is determined by the pattern. However, the area of the piezoelectric substrate becomes thicker due to the coil (therefore, there is a problem that the surface acoustic wave resonator becomes larger and the cost becomes higher.
そこでこの発明は、伸長用コイルのような外付けのイン
ダクタンス分を不要ならしめると共に、圧電基板を大型
化しなくて済む弾性表面波共振子を提供することを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave resonator that eliminates the need for an external inductance such as an extension coil, and also eliminates the need to increase the size of the piezoelectric substrate.
上記目的を達成するため、この考案の弾性表面波共振子
は、少なくとも一方の反射器を構成する複数の金属スト
リップ間を少なくとも一部が直列になるように接続する
と共に、その一端側をIDT電極の一端側に接続したご
とを特徴とする。In order to achieve the above object, the surface acoustic wave resonator of this invention connects a plurality of metal strips constituting at least one reflector so that at least some of them are connected in series, and one end of the metal strips is connected to an IDT electrode. It is characterized by being connected to one end of the.
(作用〕
上記構成によれば、上記のように接続した反射器の部分
でインダクタンスが形成され、これがIDT電極に電気
的に直列に接続された格好になる。(Function) According to the above configuration, an inductance is formed in the portion of the reflector connected as described above, and this inductance is electrically connected in series with the IDT electrode.
第1図ないし第4図は、それぞれ、この発明の実施例に
係る弾性表面波共振子を示す平面図るある。第5図の例
と同等部分には同一符号を付し、以下においては従来例
との相違点を主に説明する。1 to 4 are plan views showing surface acoustic wave resonators according to embodiments of the present invention, respectively. Components equivalent to those in the example shown in FIG. 5 are given the same reference numerals, and the differences from the conventional example will be mainly explained below.
第1図の弾性表面波共振子12では、反射器15a、1
5bをそれぞれ構成する複数の金属ストラング151a
、151b間を、それぞれ、全てが直列になるように蛇
行状に接続すると共に、それらの一端側をIDT電極4
の一端側にそれぞれ接続している。In the surface acoustic wave resonator 12 shown in FIG.
A plurality of metal strungs 151a each forming part 5b.
, 151b are connected in a meandering manner so that they are all in series, and one end thereof is connected to the IDT electrode 4.
are connected to one end of each.
尚、TDT電極4および反射器15 a、15bは、共
に例えばアルミニラ11または銅等を数%含むアルミニ
ウム合金等で形成されており、また反射器15a、15
bは、圧電基板3の表面を転磁する表面波の波長の1/
2ピツチになるようにその金属ストリップ151a、1
51bが格子状に配置されている。後述する反射器25
a、25b、35a、35b、45a、45bにおいて
も同様である。The TDT electrode 4 and the reflectors 15a and 15b are both made of aluminum alloy 11 or an aluminum alloy containing several percent of copper, for example.
b is 1/ of the wavelength of the surface wave that magnetizes the surface of the piezoelectric substrate 3.
The metal strips 151a, 1 are arranged at 2 pitches.
51b are arranged in a grid pattern. Reflector 25 to be described later
The same applies to a, 25b, 35a, 35b, 45a, and 45b.
このような弾性表面波共振子12においては、反射器1
5a、15bの部分でインダクタンスがそれぞれ形成さ
れ、これらがIDT電極4の両側に電気的にそれぞれ直
列に接続された格好になる。In such a surface acoustic wave resonator 12, the reflector 1
Inductances are formed in the portions 5a and 15b, and these are electrically connected in series to both sides of the IDT electrode 4.
従って、このような弾性表面波共振子12を、その反射
器15a、15bの両端に電気端子6a、6bをそれぞ
れ接続する等して例えば第6図に示したような電圧制御
発振器に使用すると、電気端子6aと6bとの間にイン
ダクタンスが生しているため、伸長用コイル7が不要に
なる。即ち、外付けの伸長用コイル7を用いなくても、
周波数可変範囲を大きくすることができる。Therefore, when such a surface acoustic wave resonator 12 is used in a voltage controlled oscillator as shown in FIG. 6, for example, by connecting electric terminals 6a and 6b to both ends of the reflectors 15a and 15b, respectively. Since inductance is generated between the electric terminals 6a and 6b, the extension coil 7 is not necessary. That is, even without using the external extension coil 7,
The frequency variable range can be increased.
しかも、反射器15a、15bがインダクタンス分を兼
ねているので、別のコイルを形成する場合と違って、圧
電基板3を大型化しなくて済み、それに伴うコストアッ
プも避けられる。Furthermore, since the reflectors 15a and 15b also serve as inductance, unlike the case where a separate coil is formed, it is not necessary to increase the size of the piezoelectric substrate 3, and the accompanying cost increase can be avoided.
次に、他の実施例を、上記弾性表面波共振子12との相
違点を主体にして説明すると、第2図の弾性表面波共振
子22では、反射器25a、25bをそれぞれ構成する
複数本の金属ストリップ251a、251b間を、それ
ぞれ、数本(図示例では2本)ずつ並列にしたものが直
列になるように蛇行状に接続すると共に、それらの一端
側を■DT電極4の一端側にそれぞれ接続している。Next, another embodiment will be described focusing mainly on the differences from the surface acoustic wave resonator 12 described above. In the surface acoustic wave resonator 22 of FIG. The metal strips 251a and 251b are connected in a meandering manner so that several metal strips (two in the illustrated example) are connected in series, and one end of them is connected to one end of the DT electrode 4. are connected to each.
このようにすると、インダクタンス分として見た場合の
反射器25a、25bでの電気抵抗を小さくできるとい
う利点がある。This has the advantage that the electrical resistance in the reflectors 25a, 25b can be reduced when viewed as an inductance component.
第3図の弾性表面波共振子32では、反射器35a、3
5bをそれぞれ構成する複数本の金属ストリップ351
a、351b間を、それぞれ、全てが直列になるように
螺旋状に接続すると共に、それらの一端側をIDT電極
4の一端側にそれぞれ接続している。In the surface acoustic wave resonator 32 shown in FIG.
A plurality of metal strips 351 each forming part 5b
a and 351b are spirally connected so that they are all in series, and one end thereof is connected to one end of the IDT electrode 4, respectively.
このようにすると、反射器35a、35bの部分でのイ
ンダクタンスが大きくなるという利点がある。This has the advantage that the inductance at the reflectors 35a and 35b increases.
第4図の弾性表面波共振子42では、反射器45a、4
5bをそれぞれ構成する複数本の金属ストリップ451
a、451b間を、それぞれ、数本(図示例では2本)
ずつ並列にしたものが直列になるように螺旋状に接続す
ると共に、それらの一端側をIDT電極4の一端側にそ
れぞれ接続している。In the surface acoustic wave resonator 42 shown in FIG.
A plurality of metal strips 451 each forming part 5b
Several lines (two lines in the illustrated example) between a and 451b.
The electrodes connected in parallel are spirally connected in series, and one end of each is connected to one end of the IDT electrode 4.
このようにすると、反射器45a、45bの部分でのイ
ンダクタンスが比較的大きくなると共に、インダクタン
ス分として見た場合の反射器45a、45bでの電気抵
抗を小さくできるという利点がある。This has the advantage that the inductance at the reflectors 45a, 45b becomes relatively large, and the electrical resistance at the reflectors 45a, 45b can be reduced when viewed as an inductance component.
しかも、金属ストリップ451a、451b間等を接続
する金属パターンをほぼ一様に大面積に亘って形成して
いるので、反射器を実質的に構成する部分とその他の部
分との間での表面波の音速差が大きく、従って表面波の
エネルギー閉じ込め効果が大きいという利点もある。Moreover, since the metal pattern connecting the metal strips 451a, 451b, etc. is formed almost uniformly over a large area, the surface waves between the part that substantially constitutes the reflector and the other parts are reduced. Another advantage is that there is a large difference in the speed of sound, and therefore the energy trapping effect of surface waves is large.
尚、両方の反射器を必ずしも上記各実施例のように接続
する必要は無く、必要とするインダクタンスの大きさ等
によっては、片側の反射器のみを上記各実施例のように
接続しても良い。Note that it is not always necessary to connect both reflectors as in each of the above embodiments, and depending on the required inductance, only one reflector may be connected as in each of the above embodiments. .
また、上記のような弾性表面波共振子は、第6図以外の
タイプの電圧制御発振器等にも利用することができる。Furthermore, the surface acoustic wave resonator as described above can be used in voltage controlled oscillators of types other than those shown in FIG. 6.
以上のようにこの発明によれば、反射器の部分でインダ
クタンスが形成され、これがIDT電極に電気的に直列
に接続された格好になるので、このような弾性表面波共
振子を電圧制御発振器等に用いれば、伸長用コイルのよ
うな外付けのインダクタンス分が不要になる。As described above, according to the present invention, an inductance is formed in the reflector portion and is electrically connected in series with the IDT electrode, so that such a surface acoustic wave resonator can be used in a voltage controlled oscillator, etc. If used for this purpose, external inductance such as an extension coil becomes unnecessary.
しかも、反射器がインダクタンス分を兼ねているので、
別のコイルを形成する場合と違って、圧電基板を大型化
しなくて済み、それに伴うコストアップも避けられる。Moreover, since the reflector also serves as an inductance,
Unlike the case of forming a separate coil, there is no need to increase the size of the piezoelectric substrate, and the associated cost increase can also be avoided.
第1図ないし第4図は、それぞれ、この発明の実施例に
係る弾性表面波共振子を示す平面図である。第5図は、
従来の弾性表面波共振子の一例を示す平面図である。第
6図は、電圧制御発振器の一例を示す回路図である。
3、・、圧電基板、4・・・・IDT電極、12,22
.32.42・・・実施例に係る弾性表面波共振子、1
5a、15b、25a、25b、35a。
35b、45a、45b−・−反射器、151a。
151b、251a、 251b、 351a、3
51b、451a、45Lb・−・金属ストリップ。
第1図1 to 4 are plan views showing surface acoustic wave resonators according to embodiments of the present invention, respectively. Figure 5 shows
FIG. 2 is a plan view showing an example of a conventional surface acoustic wave resonator. FIG. 6 is a circuit diagram showing an example of a voltage controlled oscillator. 3... Piezoelectric substrate, 4... IDT electrode, 12, 22
.. 32.42...Surface acoustic wave resonator according to Example, 1
5a, 15b, 25a, 25b, 35a. 35b, 45a, 45b--Reflector, 151a. 151b, 251a, 251b, 351a, 3
51b, 451a, 45Lb --- Metal strip. Figure 1
Claims (1)
格子状の反射器を設けた弾性表面波共振子において、少
なくとも一方の反射器を構成する複数の金属ストリップ
間を少なくとも一部が直列になるように接続すると共に
、その一端側をIDT電極の一端側に接続したことを特
徴とする弾性表面波共振子。(1) In a surface acoustic wave resonator in which an IDT electrode and a lattice-shaped reflector are provided on the surface of a piezoelectric substrate, at least some of the metal strips forming at least one of the reflectors are connected in series. What is claimed is: 1. A surface acoustic wave resonator characterized in that the surface acoustic wave resonator is connected such that the surface acoustic wave resonator is connected to the surface acoustic wave resonator, and one end thereof is connected to one end of an IDT electrode.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21008288A JPH0258915A (en) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | Surface acoustic wave resonator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21008288A JPH0258915A (en) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | Surface acoustic wave resonator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0258915A true JPH0258915A (en) | 1990-02-28 |
Family
ID=16583521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21008288A Pending JPH0258915A (en) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | Surface acoustic wave resonator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0258915A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107843859A (en) * | 2017-09-28 | 2018-03-27 | 扬州大学 | Board-level integration magnetic induction sensor based on SAW resonator |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP21008288A patent/JPH0258915A/en active Pending
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