JPH0254138A - 高液体圧力変換器 - Google Patents
高液体圧力変換器Info
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- JPH0254138A JPH0254138A JP1188710A JP18871089A JPH0254138A JP H0254138 A JPH0254138 A JP H0254138A JP 1188710 A JP1188710 A JP 1188710A JP 18871089 A JP18871089 A JP 18871089A JP H0254138 A JPH0254138 A JP H0254138A
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は圧力変換器、特に自動車に使用される液体を
検出する高液体圧力変換器に関する。
検出する高液体圧力変換器に関する。
(技術背景)
上記型式の圧力変換器は少なくとも1つの、特に厚膜型
圧力センサーを担う支持構造体から構成される。該圧力
センサーは測定しようとする液圧により弾性変形させら
れ、該圧力値を示す電気信号を出力するようになってい
る。
圧力センサーを担う支持構造体から構成される。該圧力
センサーは測定しようとする液圧により弾性変形させら
れ、該圧力値を示す電気信号を出力するようになってい
る。
(解決しようとする課題)
本発明の目的は、例えば直接噴射式ディーゼルエンジン
における燃料圧力を測定し、1000バールオーダー又
はそれ以上の非常に高い液体圧力を検出する、上述した
型式の高液体圧力変換器を提供することにある。
における燃料圧力を測定し、1000バールオーダー又
はそれ以上の非常に高い液体圧力を検出する、上述した
型式の高液体圧力変換器を提供することにある。
(課題の解決手段)
上記目的は前述した型式の高液体圧力変換器により達成
される。即ち、該高液体圧力変換器において主に特徴と
することは、支持構造体がヘッド及びシャンクを有する
きのこ形金属本体、上記シャンクに形成されるとともに
上記ヘッド内まで延びる、液圧測定しようとする液体を
収容する軸重穴、上記ヘッドの上端面部において上記軸
重穴を介して画定され、測定しようとする液圧により弾
性変形可能な壁部、及び上記きのこ形金属本体のヘッド
の上端面における変形可能な壁部に相当する又は隣接す
る部分に固着され、該壁部が変形するに応じて変形可能
な少なくとも1つの圧力抵抗センサーから構成したこと
である。
される。即ち、該高液体圧力変換器において主に特徴と
することは、支持構造体がヘッド及びシャンクを有する
きのこ形金属本体、上記シャンクに形成されるとともに
上記ヘッド内まで延びる、液圧測定しようとする液体を
収容する軸重穴、上記ヘッドの上端面部において上記軸
重穴を介して画定され、測定しようとする液圧により弾
性変形可能な壁部、及び上記きのこ形金属本体のヘッド
の上端面における変形可能な壁部に相当する又は隣接す
る部分に固着され、該壁部が変形するに応じて変形可能
な少なくとも1つの圧力抵抗センサーから構成したこと
である。
上記変換器は好ましくは相互接続してブリッジ回路を形
成した1夏数の圧力抵抗センサーを含むようにする。更
に、これらの圧力抵抗センサーはきのこ形金属本体のヘ
ッド部の上端面部にガラス質接菅層を介して固着された
薄板上にシルクスクリーン印刷法により付着せしめるよ
うにすると好都合である。
成した1夏数の圧力抵抗センサーを含むようにする。更
に、これらの圧力抵抗センサーはきのこ形金属本体のヘ
ッド部の上端面部にガラス質接菅層を介して固着された
薄板上にシルクスクリーン印刷法により付着せしめるよ
うにすると好都合である。
また、上記薄板に作動時に圧力抵抗センサーから発生さ
れた信号を増幅しかつ処理する回路構成部品を装着する
と有利である。
れた信号を増幅しかつ処理する回路構成部品を装着する
と有利である。
更に、きのこ形金属本体と接続しかつ圧力抵抗センサー
及び信号を増幅するとともに処理する回路構成部品を包
囲する金属遮蔽構造体を設けることにより、ラジオ周波
数障害を除去するようにすると有利である。
及び信号を増幅するとともに処理する回路構成部品を包
囲する金属遮蔽構造体を設けることにより、ラジオ周波
数障害を除去するようにすると有利である。
更に、本発明の高液体圧力力変換器の種々の特徴及び利
点は、実施例を限定することなく添付した図面とともに
詳細に説明することから明らかにされる。
点は、実施例を限定することなく添付した図面とともに
詳細に説明することから明らかにされる。
(実施例)
図面において、高圧力変換器は円形へラド2およびシャ
ンク3を有する、実質的にきのこ形状をした金属本体l
から構成される。
ンク3を有する、実質的にきのこ形状をした金属本体l
から構成される。
第2図に示すように、シャンク3に軸重穴4が形成され
、該軸重穴4はヘッド2の平担状上端面2aから予め定
められた距1!1lidまで延びている。
、該軸重穴4はヘッド2の平担状上端面2aから予め定
められた距1!1lidまで延びている。
シャンク3の下端部は雄ねじ5を有し、該雄ねじ5は液
圧を測定しようとする液体を収容するチューブ又はチャ
ンバの開口と接続可能とされる。
圧を測定しようとする液体を収容するチューブ又はチャ
ンバの開口と接続可能とされる。
液体が収容される軸重穴4の端面とヘッド2の上端面2
a間に壁部6が形成され、該壁部6は測定しようとする
圧力によし弾性変形可能とされる。
a間に壁部6が形成され、該壁部6は測定しようとする
圧力によし弾性変形可能とされる。
液体が収容される軸重穴4の端面とヘッド2の上端面2
a間に壁部6が形成され、該壁部6は測定しようとする
圧力により弾性変形可能とされる。
a間に壁部6が形成され、該壁部6は測定しようとする
圧力により弾性変形可能とされる。
符号7を付して示される、例えばアルミナセラミックス
等の電気絶縁板の上面に公知のシルクスクリーン印刷法
により付着された厚膜抵抗8が設。
等の電気絶縁板の上面に公知のシルクスクリーン印刷法
により付着された厚膜抵抗8が設。
けられる。これらの厚膜抵抗は相互に電気接続してブリ
ッジ回路が形成される。該ブリッジ回路は電気絶縁板7
の中央部に付着して形成される。該電気絶縁板7の同一
側の面に、動作時給電しかつ厚膜抵抗8により発生され
た信号を増幅するとともに処理する回路構成部品9が取
り付けられる。
ッジ回路が形成される。該ブリッジ回路は電気絶縁板7
の中央部に付着して形成される。該電気絶縁板7の同一
側の面に、動作時給電しかつ厚膜抵抗8により発生され
た信号を増幅するとともに処理する回路構成部品9が取
り付けられる。
電気絶縁板7は本体1のヘッド2の上端面2aにガラス
質接着剤層を介して固着され、よって第2図に示すよう
に、壁部6に相当する位置に又は該壁部6に隣接して厚
膜抵抗8が配置される。
質接着剤層を介して固着され、よって第2図に示すよう
に、壁部6に相当する位置に又は該壁部6に隣接して厚
膜抵抗8が配置される。
動作時、壁部6が上記盲穴4内に導入された液体圧力に
応じて変形される。この変形に応じて絶縁板7および厚
膜抵抗8が変形する。各厚膜抵抗はその抵抗値の変化量
に応じて盲穴4に導入された液体の圧力値を示す電気信
号を生成する。
応じて変形される。この変形に応じて絶縁板7および厚
膜抵抗8が変形する。各厚膜抵抗はその抵抗値の変化量
に応じて盲穴4に導入された液体の圧力値を示す電気信
号を生成する。
第2図において符号10を付して示す、実質的にカップ
形状としたカップ本体は中央穴11を備えたベース壁部
を有する。このカップ本体10は好ましくは特にアルミ
ニウム等の金属から形成され、きのこ形金属本体lのヘ
ッド部2のまわりに配置されるとともにシャンク3が該
力・レブ本体】0の中央穴11を貫通して延びている。
形状としたカップ本体は中央穴11を備えたベース壁部
を有する。このカップ本体10は好ましくは特にアルミ
ニウム等の金属から形成され、きのこ形金属本体lのヘ
ッド部2のまわりに配置されるとともにシャンク3が該
力・レブ本体】0の中央穴11を貫通して延びている。
カップ本体10はねじ12を介して金属本体lに固定さ
れる。第2図においては、ただ1つのねじ12が示され
る。シールリング13がカップ本体lOと金属本体lの
ヘッド部2における環状円周方向溝間に保持される。
れる。第2図においては、ただ1つのねじ12が示され
る。シールリング13がカップ本体lOと金属本体lの
ヘッド部2における環状円周方向溝間に保持される。
実施例において、カップ本体IOの側壁部は金属本体l
のヘッド2の上端面2aを超えて延びている。カップ本
体10の側壁部の上端部に溝14を有し、該溝14の底
部にシールリング16が配置されるとともに該側壁部の
上端部に符号15を付して示されるカバー素子の円周端
部が嵌合される。金属ダイヤフラム17がカバー素子1
5とカップ本体10間に把持されるとともに電気絶縁板
7及びそれに取り付けられた回路構成部品9を被覆して
広がっている。このダイヤフラム17はカップ本体10
及び金属本体lと一緒にラジオ周波数障害を防止するス
クリーンとして作用する。この遮蔽体は圧力抵抗センサ
ー8及びそれらと組み合わされた給電しかつ信号を増幅
するとともに処理する回路を包囲している。
のヘッド2の上端面2aを超えて延びている。カップ本
体10の側壁部の上端部に溝14を有し、該溝14の底
部にシールリング16が配置されるとともに該側壁部の
上端部に符号15を付して示されるカバー素子の円周端
部が嵌合される。金属ダイヤフラム17がカバー素子1
5とカップ本体10間に把持されるとともに電気絶縁板
7及びそれに取り付けられた回路構成部品9を被覆して
広がっている。このダイヤフラム17はカップ本体10
及び金属本体lと一緒にラジオ周波数障害を防止するス
クリーンとして作用する。この遮蔽体は圧力抵抗センサ
ー8及びそれらと組み合わされた給電しかつ信号を増幅
するとともに処理する回路を包囲している。
hバー素子15は、第2図に見られるように、カップ本
体10の側壁部の上端部における外縁部10aに据込む
ことにより該カップ本体10に取り付けられる。
体10の側壁部の上端部における外縁部10aに据込む
ことにより該カップ本体10に取り付けられる。
電気絶縁板7に取り付けられた各圧力抵抗センサー8及
び回路への給電並びにそれらから発生された信号のピッ
クアップは棒状導体端子18を介して行われる。各棒状
同体端子18はそれぞれ下端折曲部が電気絶縁板7に取
り付けられた回路と接続される。これらの導体端子18
は金属ダイヤフラム17に配置された6穴に取り付けら
れた絶縁素子19を貫通して延びるとともにカバー素子
15を貫通し、このようにして外部からアクセス可能と
される。各絶縁素子19は金属ダイヤフラム17から各
導体端子18を絶縁するととともに環状結合キャパシタ
を形成する。
び回路への給電並びにそれらから発生された信号のピッ
クアップは棒状導体端子18を介して行われる。各棒状
同体端子18はそれぞれ下端折曲部が電気絶縁板7に取
り付けられた回路と接続される。これらの導体端子18
は金属ダイヤフラム17に配置された6穴に取り付けら
れた絶縁素子19を貫通して延びるとともにカバー素子
15を貫通し、このようにして外部からアクセス可能と
される。各絶縁素子19は金属ダイヤフラム17から各
導体端子18を絶縁するととともに環状結合キャパシタ
を形成する。
上記実施例において、各導体端子18と接続された各成
形導体ブレード20はカバー素子15を貫通して延びる
とともに該カバー素子15と一体形成された4角形環状
突出部21内に延び、該突出部21に電気接続部を形成
している。
形導体ブレード20はカバー素子15を貫通して延びる
とともに該カバー素子15と一体形成された4角形環状
突出部21内に延び、該突出部21に電気接続部を形成
している。
上記変換器の各接続端子は添付図面にそれに限定するこ
となくl実施例として説明された方法に基づいて種々に
変形して製作出来ることは勿論のことである。
となくl実施例として説明された方法に基づいて種々に
変形して製作出来ることは勿論のことである。
上述したように、動作時、盲穴4に導入された液体圧力
は壁部6を変形せしめるとともにそれに応じて圧力抵抗
センサー8を変形せしめ、このようにして該液体の圧力
を示す電気信号が発生される。
は壁部6を変形せしめるとともにそれに応じて圧力抵抗
センサー8を変形せしめ、このようにして該液体の圧力
を示す電気信号が発生される。
壁部6は好ましくはヘッド部2の全厚みより幾らか小さ
い厚みdを有するようにし、これにより圧力に基づ(変
形が当該壁の部分6に応じて分布するようにすると有利
である。
い厚みdを有するようにし、これにより圧力に基づ(変
形が当該壁の部分6に応じて分布するようにすると有利
である。
本発明の高圧力変換器は簡単に製作することが出来、種
々の圧力値範囲の圧力測定に利用することが出来る。特
に、盲穴4の直径及び壁部6の厚みdを種々に変えて種
々の圧力値範囲の測定が可能である。
々の圧力値範囲の圧力測定に利用することが出来る。特
に、盲穴4の直径及び壁部6の厚みdを種々に変えて種
々の圧力値範囲の測定が可能である。
特に、上記変換器は1000バールオーダー又はそれ以
上の圧力測定が可能である。したがって、上述したよう
に、直接噴射式ディーゼルエンジンにおける燃料液圧の
測定に使用することが出来る。
上の圧力測定が可能である。したがって、上述したよう
に、直接噴射式ディーゼルエンジンにおける燃料液圧の
測定に使用することが出来る。
本発明の圧力変換器は自動車サスペンションの自動制御
装置に使用すると便利である。
装置に使用すると便利である。
本発明の他の実施例の形態及び詳細な構成は、本発明の
範囲を逸脱することなく、純粋に非制限的に記述されか
つ説明されたことに関して広汎に変形し得ることは勿論
のことである。
範囲を逸脱することなく、純粋に非制限的に記述されか
つ説明されたことに関して広汎に変形し得ることは勿論
のことである。
第1図は本発明の1実施例の変換器の斜視図、第2図は
第1図の変換器のI 1−11線断面図である。 l・・・きのこ形金属本体、2・・・円形ヘッド、3・
・・シャンク、4・・・軸重穴、6・・・壁部、8・・
・圧膜抵抗センサー、9・・・回路構成部品、10・・
・カップ本体、11・・・中央穴、13・・・シールリ
ンク、17・・・金属ダイヤフラム18・・・棒状導体
端子、19・・・絶縁素子、20・・・成形導体ブレー
ド、 21・・・4角形環状突出部、 特許出願人 マレリ・オートロ二カ・ソシエタ・ベル・
アチオニ 代理 人 弁理士 青 山 葆 はか1名目G、 2 図面の浄書(内容に変更なし) MIG、 1 = 手粘タネ市正猛): 1、JJT件の表示 一ド成 1年 特許願 第188710号2、発明の名
称 高液体圧力変換器 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 マレリ・オートロ二カ・ソシエタ・ベル・アチオ
ニ1、代理人 n 発 3、補正の対象 7、補正の内容 ■、別紙のとおり発明者の住所及び出願人の代表者を表
示した願書を提出する。 !1.別紙のとおり委任状を提出する。 111、別紙のとおり浄書図面(内容に変更なし)を提
出する。 以上
第1図の変換器のI 1−11線断面図である。 l・・・きのこ形金属本体、2・・・円形ヘッド、3・
・・シャンク、4・・・軸重穴、6・・・壁部、8・・
・圧膜抵抗センサー、9・・・回路構成部品、10・・
・カップ本体、11・・・中央穴、13・・・シールリ
ンク、17・・・金属ダイヤフラム18・・・棒状導体
端子、19・・・絶縁素子、20・・・成形導体ブレー
ド、 21・・・4角形環状突出部、 特許出願人 マレリ・オートロ二カ・ソシエタ・ベル・
アチオニ 代理 人 弁理士 青 山 葆 はか1名目G、 2 図面の浄書(内容に変更なし) MIG、 1 = 手粘タネ市正猛): 1、JJT件の表示 一ド成 1年 特許願 第188710号2、発明の名
称 高液体圧力変換器 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 マレリ・オートロ二カ・ソシエタ・ベル・アチオ
ニ1、代理人 n 発 3、補正の対象 7、補正の内容 ■、別紙のとおり発明者の住所及び出願人の代表者を表
示した願書を提出する。 !1.別紙のとおり委任状を提出する。 111、別紙のとおり浄書図面(内容に変更なし)を提
出する。 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、測定しようとする液体圧力により弾性変形させられ
かつ該液体の圧力値を示す電気信号を出力する少なくと
も1つの厚膜型圧力抵抗センサーを担う支持構造体から
成る高液体圧力変換器において、上記支持構造体は、 ヘッド及びシャンクを有するきのこ形金属本体、上記シ
ャンクに形成されるとともに上記ヘッド内まで延びる、
液圧測定しようとする液体を収容する軸盲穴、 上記ヘッドの上端面部において上記軸盲穴を介して画定
され、測定しようとする液圧により弾性変形可能な壁部
、及び 上記きのこ形金属本体のヘッドの上端面における変形可
能な壁部に相当する又は隣接する部分に固着され、該壁
部が変形するに応じて変形可能な少なくとも1つの圧力
抵抗センサーから構成したことを特徴とする、高液体圧
力変換器。 2、少なくとも1つの圧力抵抗センサーを、きのこ形金
属本体のヘッドの上端面に接着した薄板上に付着せしめ
た、第1項記載の高液体圧力変換器。 3、複数の圧力抵抗センサーを含む、第1項記載の高液
体圧力変換器。 4、薄板に、作動時に圧力抵抗センサーから発生された
信号を増幅しかつ処理する回路構成部品を装着した、第
2項又は第3項記載の高液体圧力変換器。 5、きのこ形金属本体と接続しかつ圧力抵抗センサー及
び信号を増幅するとともに処理する回路構成部品を包囲
する金属遮蔽構造体を設けた、第1項〜第4項のいずれ
かに記載の高液体圧力変換器。 6、自動車において流動液の圧力検出に使用する、第1
項〜第5項のいずれかに記載の高液体圧力変換器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT67689/88A IT1223710B (it) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | Trasduttore di altissima pressione in particolare per il rilevamento della pressione di un fluido idraulico |
IT67689-A/88 | 1988-07-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0254138A true JPH0254138A (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=11304518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1188710A Pending JPH0254138A (ja) | 1988-07-21 | 1989-07-20 | 高液体圧力変換器 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4965777A (ja) |
EP (1) | EP0352240B1 (ja) |
JP (1) | JPH0254138A (ja) |
AT (1) | ATE84146T1 (ja) |
DE (1) | DE68904135T2 (ja) |
ES (1) | ES2037471T3 (ja) |
IT (1) | IT1223710B (ja) |
Families Citing this family (14)
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DE4009377A1 (de) * | 1990-03-23 | 1991-10-02 | Bosch Gmbh Robert | Druckgeber zur druckerfassung im brennraum von brennkraftmaschinen |
WO1993015323A1 (en) * | 1992-02-01 | 1993-08-05 | Malina, Viktor | High-pressure hydraulic unit |
US5363452A (en) * | 1992-05-19 | 1994-11-08 | Shure Brothers, Inc. | Microphone for use in a vibrating environment |
US5341684A (en) * | 1992-12-07 | 1994-08-30 | Motorola, Inc. | Pressure sensor built into a cable connector |
US5802912A (en) * | 1996-01-25 | 1998-09-08 | Delco Electronics Corporation | Electrical terminal apparatus |
US5629486A (en) * | 1996-01-25 | 1997-05-13 | Delco Electronics Corporation | Pressure sensor apparatus with integrated circuit mounted thereon |
US5867886A (en) * | 1997-10-20 | 1999-02-09 | Delco Electronics Corp. | Method of making a thick film pressure sensor |
EP1265061B8 (en) * | 2001-06-08 | 2006-05-03 | Honeywell International, Inc. | A high pressure sensor with separate pressure port and housing and method for making the same |
DE10157761A1 (de) * | 2001-11-27 | 2003-06-05 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckaufnehmer |
DE10318678A1 (de) | 2003-04-24 | 2004-12-30 | Vega Grieshaber Kg | Sensor, insbesondere Druck-Sensor zur Befestigung an einem Behältnis |
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WO2006048278A1 (en) * | 2004-11-03 | 2006-05-11 | Basell Polyolefine Gmbh | Pressure transducer |
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Family Cites Families (19)
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- 1989-07-18 AT AT89830336T patent/ATE84146T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-07-18 EP EP89830336A patent/EP0352240B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-07-18 DE DE8989830336T patent/DE68904135T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-07-18 ES ES198989830336T patent/ES2037471T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-07-20 JP JP1188710A patent/JPH0254138A/ja active Pending
- 1989-07-21 US US07/382,593 patent/US4965777A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0352240B1 (en) | 1992-12-30 |
US4965777A (en) | 1990-10-23 |
DE68904135D1 (de) | 1993-02-11 |
IT8867689A0 (it) | 1988-07-21 |
ES2037471T3 (es) | 1993-06-16 |
ATE84146T1 (de) | 1993-01-15 |
DE68904135T2 (de) | 1993-05-27 |
IT1223710B (it) | 1990-09-29 |
EP0352240A1 (en) | 1990-01-24 |
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