JPH0253973U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0253973U JPH0253973U JP13392488U JP13392488U JPH0253973U JP H0253973 U JPH0253973 U JP H0253973U JP 13392488 U JP13392488 U JP 13392488U JP 13392488 U JP13392488 U JP 13392488U JP H0253973 U JPH0253973 U JP H0253973U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate holder
- epitaxial growth
- liquid phase
- phase epitaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 230000012010 growth Effects 0.000 claims description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 2
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- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例を示す斜視図で
ある。第２図は、第１図に示す実施例の側面図で
ある。第３図は、第１図に示す実施例の正面図で
ある。第４図は、第１図に示す実施例の平面図で
ある。第５図は、第１図に示す実施例の基板ホル
ダを用いてエピタキシヤル成長させたときの成長
相の膜厚の分布を示す図である。 図において、１は基板ホルダ本体、２は挿入穴
、３は基板、３ａは基板面、４は保温部材、５は
ボルトを示す。
ある。第２図は、第１図に示す実施例の側面図で
ある。第３図は、第１図に示す実施例の正面図で
ある。第４図は、第１図に示す実施例の平面図で
ある。第５図は、第１図に示す実施例の基板ホル
ダを用いてエピタキシヤル成長させたときの成長
相の膜厚の分布を示す図である。 図において、１は基板ホルダ本体、２は挿入穴
、３は基板、３ａは基板面、４は保温部材、５は
ボルトを示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 液相エピタキシヤル成長させる基板面を有した
基板を、挿入穴に挿入して保持する基板ホルダで
あつて、 前記基板面側の基板ホルダの面の上に保温部材
が設けられていることを特徴とする、液相エピタ
キシヤル成長用基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13392488U JPH0253973U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13392488U JPH0253973U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0253973U true JPH0253973U (ja) | 1990-04-18 |
Family
ID=31392233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13392488U Pending JPH0253973U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0253973U (ja) |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP13392488U patent/JPH0253973U/ja active Pending