JPH0251051A - 透視装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は被検査体にＸ線等の放射線を照射し、この被検
査体を透過した透過放射線を用いて被検査体内部の欠陥
等の検査を行う透視装置に関するものである。

（従来の技術） 近年においては、チップ状に形成された集積回路等の工
業製品の内部構造又は内部の欠陥等を放射線を用いて非
破壊状態で検査する検査装置が広く言及しており、例え
ばｒＴＯ８Ｍ　Ｉ　ＣＲＯＮＪ等が提案されている。

このような検査装置では、被検査体に向けてＸ線を照ａ
＞　シ、被検査体を透過したｘ１５Ｊによる透視画像を
表示装置で表示させるためのＸＦ＃ｌ透視装置が組込ま
れている。

従来のＸ線透視装置は第２図に示すように、Ｘ線管１０
１から放射されたＸ線ビーム１０３は、コリメータ１０
５を通過することにより、所定の立体角の範囲内を進行
する。試料台１０７の上には集積回路等の被検査体１０
９がｔｉ！置されており、前記コリメータ１０５を通過
したＸ線が照射される。被検査体１０９を透過したＸ線
はＴＶ用の踊像管１１１へ与えられる。このＴＶ用の礒
像管１１１で搬像され、得られた透視画像データ、すな
わち被検査体１０９を透過したＸ線による透視画像はデ
イスプレィ１ｉｉｉａで表示される。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら第２図に示ず従来例では、被検査体１０９
を透過したＸ線を二次元的に検出するＸ線二次元イメー
ジセンサとして、ＴＶ用の搬縁管を流用していることも
あり、ノイズの発生の低減及び検出効率に対する改善の
余地が残されていた。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、被検査体を
透過した透過Ｘ線の検出効率を改善し、ノイズの少ない
透視画像を得ることのできる透視装置を提供することを
目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため本発明が提供する透視装置は、
Ｘ線を被検査体に向けて放射する放射線源と、前記被検
査体を間に介在させて、この放射ｔｌＡ源と対向配置さ
れ、入射する放射線に応じた光量で発光する発光手段と
、この発光手段から発光された光量に対応した電気１を
出力する板状若しくは膜状の光／電気変換手段と、この
先／電気変換手［Ｑと前記発光手段との間にあって、光
／電気変換手段を放射線から遮蔽する遮蔽体とを有して
構成した。

（作用） 本発明は放射線源から被検査体に向けて放射線を敢（ト
）する。この被検査体を透過した放射線が発光手段に入
射すると、発光手段は当該入射した放射線けに応じた光
量で発光する。この発光手段から発光された光は光／電
気変換手段によって光量に応じた電気伍に変換される。

このとぎ、発光手段を透過した放射線は遮蔽手段によっ
て遮蔽されており、また板状若しくは膜状の発光手段を
用いているので、ノイズの少ない分解能に優れた透視画
像が得られる。

（実施例） 以下図面を参照して本発明に係る一実施例を詳細に説明
する。

まず構成を説明すると、第１図に示すように放射線源と
してのＸ１ｆＡ管１からビーム状のＸ線、すなわちＸ線
ビーム３を放ｒＪ４８ｊる。コリメータ５は鉛等のＸ線
を遮蔽し得る遮蔽材により形成され、中央部にＸ線ビー
ム３を通過さＵるための通過孔５ａを設けている。この
コリメータ５をＸ線管１と被検査体９との聞に配δして
おり、Ｘ線管１から放射されたＸ線ビーム３はコリメー
タ５の通過孔５ａを通過することにより、所定の立体角
で進行する。試料台７の上には、例えばＩＣ等のチップ
状に形成された集積回路等の被検査体９が載置される。

この試料台７はＸ線ビーム３を透過させる部材によって
形成される。

試料台７の下側に配置されたシンチレータ２１は、例え
ばＸ線吸収係数が大きなＣ〕ｄ　Ｗ　Ｏ４の結晶を含み
、且つ薄膜状に形成されており、被検査体９を透過した
Ｘ線ビーム３が照射されると、このＸ線ビーム３の照射
量に対応づる強度の可視光２３が発生する。ｉ！ｊ！言
すると、シンチレータ２１はＸＦＡビーム３が被検査体
９を透過する際に、この被検査体内部の集積回路等を構
成する部材に吸収され、この減衰した透過Ｘ線の強弱に
相応して可視光２３を発生し、当該被検査体９の透視画
像を？７える。

シンチレータ２１の下側に配置されたＸ線遮蔽体２５は
例えば鉛ガラス等で板状に形成され、Ｘ線ど−ム３を遮
蔽するとともに、シンチレータ２１からの可視光２３に
よる透視画像を透過させる。

結像光学系２９はレンズ等から構成され、前記シン１−
レータ２１からの可視光２３を例えば前記レンズの焦点
上に集束させる。このレンズの焦点上にはＣＯＤイメー
ジセンサ３１が配置されている。

このＣＯＤイメージセンサ３１は平面（エリア）状に配
列される複数の画素で構成され、各画素は感光素子とス
イッヂング素子とからなり、入射した光の強さに相応１
°る電気信号を出力ザる。従ってＣＣＩ）イメージセン
サ３１はいわゆる二次元イメージセンサとして作用し、
萌記シンチレータ２１からの可視光２３による透視画像
を光／電気変換して、この透視画像に係る電気信号を出
力する。

デイスプレィ装置３３はＣＯＤイメージセンサ３１と接
続されており、ＣＯＤイメージセン、ＩＪ３１からの透
視画像情報を入力して、当該デイスプレィ装置３３の表
示画面上に透視画像を表示づる。

次に作用を説明する。

Ｘ線管１から１１１ｒＪ４され、コリメータ５の通過孔
５ａを通過したＸ線ビーム３は、被検査体９を照射する
。シンチレータ２１は被検査体９を透過して得られる透
過Ｘ線ビーム３の照射を受けるど可視光２３を発生する
。ここでシンチレータ２１と結像光学系２９との間にＸ
線遮蔽体２５が配設されており、このＸ線遮蔽体２５が
Ｘ線ビーム３を遮蔽することにより、結像光学系２９等
をＸ線から保護覆る。またシンチレータ２１で発生した
可視光２３はＸ線遮蔽体２５を通過し、結像光学系２９
によって集束される。例えば、シンチレータ２１上の点
へから発生した可視光２３は結像光学系２９を通ってＣ
ＯＤイメージセンサ３１上の点Ｂへ集束する。この集束
された可視光２３はＣＯＤイメージセン＃ｊ３１で検出
される。デイスプレィ装置３３はＣＯＤイメージセンサ
３１からの透視画像情報に基づいて可視光２３による透
視画像を表示画面」〕に表示する。

ＪＪ、Ｆの如くシンチレータ２１としてＸ線吸収係数の
大きなＣｄＷＯ４の結晶を含み、且つ薄膜状に形成した
ことから、シンチレータ膜内でのＸ線の散乱が少なく被
検査体を透過したＸ線の分解能を向１させることができ
る。

；したシンチレータ２１としては上記に限定されること
なく適宜の素材、例えば粉状体、不活性気体１ｔから構
成してもよい。

また第１図に示ず実施例ではＸ線″ｉｈ蔽体２５を別個
独立して設番ノだが、他の装置へ組み込／νで構成して
もよい。例えば結像光学系２９へ膜状のＸ線遮蔽体を被
膜して当該結像光学系２９自体によってＸ線ｆ遮蔽する
ように構成してもよい。またＸ線遮蔽体をベースにし、
このベースによって膜状に形成したシンチレータ模を支
持するように構成ケることかできる。

以上のようにＸＦＩＩ遮蔽体を他の５Ａ首に組込んで構
成すると、コストの低減を図ることができる。

［発明の効果］ 以上説明してきたように本発明によれば、被検査体を透
過した放射線を板状若しくは膜状の発光手段に照射し、
この発光手段からの光量に応じた電気量に変換して出力
するようにし、且つ発光手段を放！７ｉＪ線から遮＆ｆ
するようにしたことから、被検査体を透過したＸ線の検
出効率及び分解能が大幅に改善され、ノイズの少ない透
視画像を得ることがて゛ぎる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る一実施例を示したブロック図、第
２図は従来例を示したブロック図である。 １・・・Ｘ線管 ２１・・・シンチレータ ３１・・・ＣＯＤイメージヒンザ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｘ線を被検査体に向けて放射する放射線源と、前記被検
   査体を間に介在させて、前記放射線源と対向配置され、
   入射する放射線量に応じた光量で発光する発光手段と、 この発光手段から発光された光量に対応した電気量を出
   力する板状若しくは膜状の光／電気変換手段と、 この光／電気変換手段と前記発光手段との間にあつて、
   光／電気変換手段を放射線から遮蔽する遮蔽体と、 を有することを特徴とする透視装置。