JPH0238913A - Dimension inspecting method for work - Google Patents

Dimension inspecting method for work

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JPH0238913A
JPH0238913A JP18975988A JP18975988A JPH0238913A JP H0238913 A JPH0238913 A JP H0238913A JP 18975988 A JP18975988 A JP 18975988A JP 18975988 A JP18975988 A JP 18975988A JP H0238913 A JPH0238913 A JP H0238913A
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飛鳥 哲平
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公一 佐藤
Hiroshi Kuwabara
桑原 広
Junji Komatsu
順二 小松
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Abstract

PURPOSE:To accurately measure the dimension of a work by inspecting the size of the work according to coordinate values corrected based upon a correcting value for eliminating a positioning error. CONSTITUTION:A driving device which drives a manipulator 26 and a driving device 28 is connected to a movement console panel 44, a numerical controller 46, and a dimension inspecting device 48 through a console panel 42. The dimension inspecting device 48 is connected to a display device 50 and a printer 52. This dimension inspecting device 48 corrects the coordinate values of an expected measurement start point and the coordinate values of an expected measurement carrying-out point as criteria according to the correcting value for eliminating the positioning error of the work and also inspects the dimension of the work according to the corrected coordinate values. The inspection result is outputted on a floppy disk 56 and a printer 52.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はワークの寸法検査方法に係り、特に、大型構造
物の表面形状を測定するに好適なワークの寸法検査方法
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for inspecting dimensions of a workpiece, and particularly to a method for inspecting dimensions of a workpiece suitable for measuring the surface shape of a large structure.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

大型構造物のワークとしては、第7図に示されるように
溶接水車ランナー1が知られており、溶接水車ランナー
1はベーン2と、ベーン2を挾み込むように形成された
シュラウド3およびクラウン4で構成されている。これ
らのうちベーン2は、第8図に示されるように、各面が
任意の形状に成形されている。このようなワークの側面
形状を計測する方法としては1例えば特開昭61−10
702号公報に記載されているものが知られているが、
ベーン2のように、大型構造物のワークは専用治具によ
って段取しても、第9図に示されるように、曲げ加工時
の位置と曲げ加工後に段取りされた位置との間には位置
決め誤差が生ずる。このため、従来の計測方法ではベー
ン2のプロファイル形状に追従できない恐れがあった。
As a workpiece for a large structure, a welded water turbine runner 1 is known as shown in FIG. It consists of 4. Among these, each surface of the vane 2 is formed into an arbitrary shape, as shown in FIG. As a method for measuring the side shape of such a workpiece, there is 1, for example, JP-A-61-10
The one described in Publication No. 702 is known,
Even if a workpiece of a large structure such as vane 2 is set up using a special jig, as shown in Figure 9, there is no positioning between the position during bending and the set up position after bending. An error will occur. For this reason, there was a possibility that the profile shape of the vane 2 could not be followed by the conventional measurement method.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記従来技術はワークの段取り時に位置決め誤差が生じ
る点について配慮がされておらず、段取す時の位置決め
誤差によって側室精度が低下したり、あるいはベーン2
のプロファイル形状に謂定子が追従できない場合があっ
た。なお、ベーン2の曲げ加工前の基準点と曲げ加工さ
れた後の段取り時の基準点の位置を一致させれば、前記
のような欠点は解消されるが、ベーン2のように大型構
造物の段取り替えを何度もおこなうことは困難である。
The above conventional technology does not take into consideration the fact that positioning errors occur when setting up the workpiece, and the positioning errors during setting up may reduce the accuracy of the side chamber, or the vane 2
There were cases where the so-called ruler could not follow the profile shape of the machine. Note that if the position of the reference point before bending the vane 2 matches the position of the reference point during setup after bending, the above-mentioned drawbacks can be solved, but if a large structure like the vane 2 It is difficult to change the setup many times.

本発明の目的は、ワークの段取り時に位置決め誤差が生
じても、位置決め誤差を修正して正確な位置情報にした
がってワークの寸法を検査することができるワークの寸
法検査方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a workpiece dimension inspection method that can correct the positioning error and inspect the dimensions of the workpiece according to accurate positional information even if a positioning error occurs during workpiece setup.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

前記目的を達成するために1本発明は、ワーク表面を複
数の領域に分割したときの各格子点を示す測定実行予定
点群の中の測定基準点を基準として生成された測定実行
予定点群の三次元空間における基準座標値および三次元
空間の各軸を基準としたワークの傾きに関する段取り前
の形状情報を予め生成し、さらに各測定実行予定点の基
準座標値にオフッセト値を加えた測定開始予定点群の三
次元空間における座標値を前記基準座標値を基に生成し
、段取されたワークの測定基準点とワーク端部の測定実
行予定点の三次元空間における座標値をそれぞれ測定し
、この測定値から段取り前後の測定基準点の偏差を算出
するとともに三次元空間における各軸を基準としたワー
クの傾きに関する形状情報を生成し、この形状情報と段
取り前の形状情報とからワークの段取りずれ量を算出し
、前記各算出値から前記測定基準点の偏差を零にするた
めの第1の補正値およびワークの段取りずれ量を零にす
るための第2の補正値をそれぞれ算出し、各補正値を各
測定実行予定点および各測定開始予定点の座標値に加え
て座標値を修正し、測定開始予定点群の修正した座標値
を基に測定子をワーク表面と接触する位置まで順次移動
させて、各測定実行点の三次元空間における座標値を測
定し、この測定値と各測定実行予定点の修正した基準座
標値とを比較してワークの寸法を検査するワークの寸法
検査方法を採用したものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a measurement execution point group generated based on a measurement reference point in a measurement execution point group indicating each grid point when a work surface is divided into a plurality of regions. The standard coordinate values in the three-dimensional space and the shape information before setup regarding the inclination of the workpiece with respect to each axis in the three-dimensional space are generated in advance, and the offset value is added to the standard coordinate value of each measurement execution point. Generate the coordinate values in the three-dimensional space of the scheduled start point group based on the reference coordinate values, and measure the coordinate values in the three-dimensional space of the measurement reference point of the set-up workpiece and the scheduled measurement execution point of the workpiece end, respectively. Then, from this measured value, the deviation of the measurement reference point before and after setup is calculated, and shape information regarding the inclination of the workpiece with respect to each axis in three-dimensional space is generated, and the workpiece is calculated from this shape information and the shape information before setup. A first correction value for zeroing out the deviation of the measurement reference point and a second correction value for zeroing the workpiece setup deviation are calculated from each of the calculated values. Then, correct the coordinate values by adding each correction value to the coordinate values of each scheduled measurement execution point and each scheduled measurement start point, and then bring the probe into contact with the workpiece surface based on the corrected coordinate values of the scheduled measurement start point group. The workpiece is moved sequentially to the specified position, measures the coordinate value in three-dimensional space of each measurement execution point, and compares this measurement value with the corrected reference coordinate value of each measurement execution point to inspect the dimensions of the workpiece. This method uses a dimensional inspection method.

さらに、前記方法に加えて、測定値と修正した基準座標
値との比較値が判定基準値から外れたときには、この測
定実行点の座標値を記憶し、この記憶した座標値を基に
、異常となった測定実行点に印字をおこなうワークの寸
法検査方法を採用したものである。
Furthermore, in addition to the above method, when the comparison value between the measured value and the corrected reference coordinate value deviates from the judgment reference value, the coordinate value of this measurement execution point is memorized, and based on this memorized coordinate value, an error is detected. This method employs a workpiece dimension inspection method that prints marks at the measurement execution points.

〔作用〕[Effect]

ワークが段取されたとき、ワークの測定基準点とワーク
端部の測定実行予定点の三次元空間における座標値をそ
れぞれ測定する。そして、この測定値から段取り前後の
測定基準点の偏差を算出するとともにワークの傾きに関
する形状情報を生成し、この形状情報と段取り前の形状
情報とからワークの段取りずれ量を算出する。そして測
定基準点の偏差を零にするための第1の補正値とワーク
の段取りずれ量を零にするための第2の補正値をそれぞ
れ求め、各補正値を各測定実行予定点および各測定実行
開始予定点の座標値に加えて座標値を修正する。そして
測定開始予定点群の修正した座標値をもとに測定子をワ
ーク表面に沿って移動させ、測定子がワーク表面と当接
した点を測定実行点として、この点の座標値を測定する
。これにより各測定実行点の座標値を正確に測定するこ
とができる。すなわち、段取り前の位置情報である基準
座標値を、段取されたワークの測定基準点とワーク端部
の測定実行予定点の座標値を基に修正し、修正した基準
座標値にしたがって測定子を移動させるようにしたため
、段取り時に位置決め誤差が生じても、この位置決め誤
差を修正することが可能となる。
When the workpiece is set up, the coordinate values in the three-dimensional space of the measurement reference point of the workpiece and the scheduled measurement execution point of the end of the workpiece are measured. Then, from this measured value, the deviation of the measurement reference point before and after setup is calculated, and shape information regarding the inclination of the workpiece is generated, and the amount of setup deviation of the workpiece is calculated from this shape information and the shape information before setup. Then, a first correction value for making the deviation of the measurement reference point zero and a second correction value for making the workpiece setup deviation amount zero are determined, and each correction value is applied to each scheduled measurement point and each measurement. Modify the coordinate values in addition to the coordinate values of the scheduled execution start point. The probe is then moved along the workpiece surface based on the corrected coordinate values of the scheduled measurement start point group, and the point where the probe contacts the workpiece surface is defined as the measurement execution point, and the coordinate values of this point are measured. . This makes it possible to accurately measure the coordinate values of each measurement execution point. In other words, the reference coordinate value, which is the position information before setup, is corrected based on the coordinate values of the measurement reference point of the setup workpiece and the measurement execution point at the end of the workpiece, and the measuring stylus is adjusted according to the corrected reference coordinate value. Since it is made to move, even if a positioning error occurs during setup, this positioning error can be corrected.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を第1図〜第6図に基づいて説
明する。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on FIGS. 1 to 6.

第2図および第3図において、大型構造物である溶接水
車ランナーのベーン10が段取りされるところに複数の
支柱12が立設されており、各支柱12の頂部を結ぶベ
ース14.1G上にはレール18が布設されている。各
レール18上には台車20がX方向に沿って移動可能に
載置されている。そして台車2oの上部には一対のレー
ル22が布設されており、各レール22上に駆動装置2
4がY方向に沿って移動可能に固定されている。
In FIGS. 2 and 3, a plurality of columns 12 are erected where the vanes 10 of a welded water turbine runner, which is a large structure, are set up, and a base 14.1G connecting the tops of each column 12 is shown. A rail 18 is installed. A cart 20 is mounted on each rail 18 so as to be movable along the X direction. A pair of rails 22 are installed on the upper part of the truck 2o, and a drive device 2 is installed on each rail 22.
4 is fixed so as to be movable along the Y direction.

そして駆動装置24のほぼ中央部には、直交3軸のマニ
プレータ26がZ方向への移動が可能に固定されている
。マニプレータ26の下端部には。
A manipulator 26 having three orthogonal axes is fixed to approximately the center of the drive device 24 so as to be movable in the Z direction. At the lower end of the manipulator 26.

第4図に示されるように多関節3軸の能動部28が固定
されており、駆動部28には計測センサー30の本体3
2が固定されている。そして、この本体32には軸状の
測定子34が伸縮自在に固定されている。この測定子3
4の先端部は先鋭状に形成されており、測定子34には
マーキング液36を内蔵したマーキンギヘッド38が着
脱自在に取付けられるようになっている。そしてマニプ
レータ26は、駆動装置24の駆動により、第1軸目の
X軸と第2軸目のY軸と第3軸目のZ軸に沿って移動可
能であり、ベーン10に対して、第2図の破線で示され
る駆動範囲40内を移動することができる。
As shown in FIG. 4, an articulated, three-axis active part 28 is fixed, and the main body 3 of the measurement sensor 30 is attached to the drive part 28.
2 is fixed. A shaft-shaped measuring element 34 is fixed to the main body 32 so as to be extendable and retractable. This measuring head 3
4 has a sharp tip, and a marking head 38 containing a marking liquid 36 is removably attached to the measuring head 34. The manipulator 26 is movable along the first X-axis, the second Y-axis, and the third Z-axis by driving the drive device 24. It is possible to move within a driving range 40 shown by the broken line in FIG.

駆動部28は、Z軸を中心として回転する第4軸目の旋
回軸Cと、旋回軸C上にあってかつ旋回軸Cに対して曲
げ動作をおこなう第5軸目の曲げ軸Aと、曲げ軸A上に
あって、かつ曲げ軸Aの軸中心に対して回転動作をおこ
なう第6軸目のひねり軸Uとしての機能を有している。
The drive unit 28 has a fourth pivot axis C that rotates around the Z axis, a fifth bending axis A that is on the pivot axis C and performs a bending operation with respect to the pivot axis C, It is located on the bending axis A and has a function as a sixth axis, the twisting axis U, which rotates about the center of the bending axis A.

なお、第4軸〜第6軸の軸とは回転中心をなす枢支軸で
はなく回動アームの意味である。そしてマニプレータ2
6および駆動部28の合成動作により計測センサ30の
ベーン1oに対する位置および姿勢が決定される。また
測定子34の先端は第6軸のひねり軸Uの回転中心にあ
り、ひねり軸Uのひねり動作によって位置ずれが発生し
ないようになっている。
Note that the fourth to sixth axes do not refer to pivot shafts that form the center of rotation, but to rotary arms. and manipulator 2
6 and the driving unit 28, the position and attitude of the measurement sensor 30 with respect to the vane 1o are determined. Further, the tip of the measuring stylus 34 is located at the center of rotation of the twisting axis U of the sixth axis, so that positional deviation does not occur due to the twisting operation of the twisting axis U.

マニプレータ26、駆動部28を駆動するための駆動装
置24は操作g142を介して移動操作盤44、数値制
御装置461寸法寸法検査結果に接続されている。
The drive device 24 for driving the manipulator 26 and the drive unit 28 is connected to the movable operation panel 44 and the numerical control device 461 through the operation g142.

寸法検査装置48は、表示装置50.プリンタ52に接
続されており、この装置48には、基準データ等を格納
するフロッピィディスク54と寸法検査結果のデータを
格納するフロッピィディスク56が装着されるようにな
っている。このフロッピィディスク54には、大型計算
機58で生成された各種データが端末60を介して格納
されるようになっている。このデータとしては、ワーク
であるベーン10表面を複数の領域に分割したときの各
格子点を示す測定実行予定点Q t J群の中の測定基
準点を基準として生成された各測定実行予定点Q I 
Jの三次元空間における基準座標値のデータおよび三次
元空間の各軸を基準としたベーン10の傾きに関する段
取り前の形状情報に関するデータがある。これらのデー
タはベーン10に対する曲げ加工の指令値を基に生成さ
れる。そして寸法検査装置48は、フロッピーディスク
54に格納された基準データを基に、第5図に示される
ように、各測定実行予定点Q I Jの基準座標値にオ
フセット値dを加えた測定開始予定点PI3群の三次元
空間における座標値を生成する。そしてこの座標値のデ
ータは数値制御装置46に入力され、駆動装置24.マ
ニプレータ26、駆動部28を駆動するための数値デー
タに変換される。操作盤42は数値制御装置46からの
数値データと制御プログラムに基づいて駆動装置24.
マニプレータ26、駆動部28を駆動するための駆動指
令を出力する。これにより、駆動部W24、駆動部28
゜マニプレータ26が駆動し、測定子34の先端側に測
定実行予定点Q I Jの法線方向の位置に姿勢制御さ
れるとともに測定開始予定点PiJの位置に位置決めさ
れる。この後操作盤42からの指令により測定子34が
測定実行予定点Q I Jへ向って移動しベーン10の
表面に当接すると、この点が測定実行点となり、測定実
行点の座標値が測定される6そしてこのデータは操作f
f142、数値制御装置46を介して寸法検査装置48
へ転送され、寸法検査装置48において基準データとの
比較がおこなわれる。そしてこの比較による寸法検査結
果のデータはフロッピーディスク56に格納されるとと
もにプリンタ52に出力される。
The dimension inspection device 48 includes a display device 50. The device 48 is connected to a printer 52, and a floppy disk 54 for storing reference data and the like and a floppy disk 56 for storing data on dimensional inspection results are attached to the device 48. This floppy disk 54 is configured to store various data generated by a large computer 58 via a terminal 60. This data includes: scheduled measurement points Q t indicating each grid point when the surface of the vane 10, which is a workpiece, is divided into a plurality of regions; each scheduled measurement point generated based on the measurement reference point in the J group; Q I
There is data on reference coordinate values of J in the three-dimensional space and data on pre-setup shape information regarding the inclination of the vane 10 with respect to each axis in the three-dimensional space. These data are generated based on the bending command values for the vane 10. Based on the reference data stored in the floppy disk 54, the dimension inspection device 48 starts measurement by adding an offset value d to the reference coordinate values of each scheduled measurement point QIJ, as shown in FIG. Coordinate values of the group of planned points PI3 in three-dimensional space are generated. The coordinate value data is then input to the numerical control device 46, and the drive device 24. The data is converted into numerical data for driving the manipulator 26 and the drive unit 28. The operation panel 42 controls the driving device 24 based on the numerical data and control program from the numerical control device 46.
A drive command for driving the manipulator 26 and the drive unit 28 is output. As a result, the drive unit W24, the drive unit 28
The manipulator 26 is driven, and the tip side of the probe 34 is controlled to be in a position normal to the measurement execution point Q I J and positioned at the measurement start point PiJ. After that, when the measuring stylus 34 moves toward the scheduled measurement execution point Q I J according to a command from the operation panel 42 and comes into contact with the surface of the vane 10, this point becomes the measurement execution point, and the coordinate values of the measurement execution point are measured. 6 and this data is subjected to operation f
f142, dimension inspection device 48 via numerical control device 46
The data is then transferred to the dimension inspection device 48 and compared with reference data. The data of the dimensional inspection results obtained by this comparison are stored in the floppy disk 56 and output to the printer 52.

次に、ベーン10に対する寸法検査方法を第1図のフロ
ーチャートに基づいて説明する。
Next, a method for inspecting the dimensions of the vane 10 will be explained based on the flowchart shown in FIG.

ベーン10が支柱12で囲まれた部位に搬入されベーン
10の段取りがおこなわれた後、操作盤42を操作して
駆動装置24に駆動指令を与え。
After the vane 10 is carried into the area surrounded by the struts 12 and the vane 10 is set up, the operation panel 42 is operated to give a drive command to the drive device 24.

測定子34がベーン10の測定基準点(ベーン10のほ
ぼ中心にけがき線によって形成された点)に当接するま
で計測センサ30を移動させ、測定基準点Po’の座標
値を測定する(ステップSL)。
The measurement sensor 30 is moved until the measuring element 34 comes into contact with the measurement reference point of the vane 10 (a point formed by a scribing line approximately at the center of the vane 10), and the coordinate values of the measurement reference point Po' are measured (step SL).

この後、段取り前に生成された測定基準値の座標値と段
取り後に測定された測定基準点の座標値との偏差を算出
する(ステップS2)。この偏差は。
After that, the deviation between the coordinate value of the measurement reference value generated before setup and the coordinate value of the measurement reference point measured after setup is calculated (step S2). This deviation is.

第6図に示されるように、ベーン10のXY平面。As shown in FIG. 6, the XY plane of the vane 10.

ZY平面、XZ平面における段取り前の測定基準点Po
と段取り後の測定基準点Po’との偏差である。そして
この偏差を基に測定基準点にずれがあるか否かの判定を
おこない(ステップS3)、測定基準点にずれがあると
きには、測定基準点の偏差を零にするために第1の補正
値を算出する(ステップS4)、そして第1の補正値を
基に測定実行予定点Q I 7群の座標値を修正する処
理をおこなう(ステップ$5)。
Measurement reference point Po before setup on ZY plane and XZ plane
and the measurement reference point Po' after setup. Then, based on this deviation, it is determined whether or not there is a deviation in the measurement reference point (step S3), and if there is a deviation in the measurement reference point, a first correction value is set in order to make the deviation of the measurement reference point zero. is calculated (step S4), and the coordinate values of the seven groups of measurement execution points Q I are corrected based on the first correction value (step $5).

次に、操作盤42からの指令により計測センサ30をベ
ーン1oの端部P^′まで移動させ、ベーン10端部P
^′の座標値を測定する(ステップS6)、この後段取
り前に生成されたベーン10の傾きに関する形状データ
を入力しくステップS7)、ベーン10の段取りずれ量
を算出して段取りずれがあるか盃かの判定をおこなう(
ステップS8)、この場合、第6図に示されるように、
測定基準点Po、 Pa’、端部P^、P^′の座標値
からベーン1oの段取り前の傾斜角θ、と段取り後の傾
斜角θ、′を求める。そしてXY平面におけるず九量θ
Z=θ、−θ□を求める。同様にしてZY平面における
ずれ量θx、XZ平面におけるずれ量θYを求める。そ
して各ずれ量が零でないときには、各段取りずれ量を零
にするための第2の補正値を算出する(ステップS9)
、そして第2の補正値を基に、?lI!l定開始予定点
PIJ群の座標値を修正する(ステップ510)、この
後修正された測定開始予定点P□Jの座標値を基に計測
センサ30に対する移動指令を生成する(ステップ51
1)。また段取りずれ量がないときには、段取り前に生
成された測定開始予定点PIJの座標値を基に計測セン
サ30に対する移動指令を生成する(ステップ511)
、そして移動指令により測定子34が測定開始予定点P
rtの位置となるまで計測センサ3゜を移動させる(ス
テップ512)。この後測定値34を測定実行予定点Q
 1Jに向って移動させ、測定子34がベーン10の表
面に当接するまで計測センサ3oを移−動させる。そし
て測定子34がベーン10の表面に当接した点を測定実
行点として、この点の座標値を測定する(ステップ51
3)。
Next, the measurement sensor 30 is moved to the end P^' of the vane 1o by a command from the operation panel 42, and the measurement sensor 30 is moved to the end P^' of the vane 10.
Measure the coordinate values of ^' (step S6), input the shape data regarding the inclination of the vane 10 that was generated before setup (step S7), calculate the amount of setup deviation of the vane 10, and check whether there is any setup deviation. Determine whether it is a sake cup (
Step S8), in this case, as shown in FIG.
The inclination angle θ before setup and the inclination angle θ, ′ after setup of the vane 1o are determined from the coordinate values of the measurement reference points Po, Pa' and the ends P^, P^'. And the quantity θ in the XY plane
Find Z=θ, −θ□. Similarly, the deviation amount θx in the ZY plane and the deviation amount θY in the XZ plane are determined. When each amount of deviation is not zero, a second correction value is calculated to make each amount of setup deviation zero (step S9).
, and based on the second correction value, ? lI! The coordinate values of the scheduled measurement start points PIJ group are corrected (step 510), and a movement command for the measurement sensor 30 is generated based on the corrected coordinate values of the measurement start points P□J (step 51).
1). If there is no setup deviation amount, a movement command is generated for the measurement sensor 30 based on the coordinate values of the scheduled measurement start point PIJ generated before setup (step 511).
, and the measuring stylus 34 moves to the scheduled measurement start point P according to the movement command.
The measurement sensor 3° is moved until it reaches the rt position (step 512). After this, the measured value 34 is measured at the planned measurement execution point Q
1J, and the measuring sensor 3o is moved until the measuring element 34 comes into contact with the surface of the vane 10. Then, the point where the measuring element 34 abuts on the surface of the vane 10 is set as the measurement execution point, and the coordinate value of this point is measured (step 51
3).

計測センサ30によって計測された座標値は操作盤42
、数値制御装置46を介して寸法検査装置48八入力さ
れ、測定実行点の座標値と測定実行予定点Q I Jの
座標値との比較がおこなわれ、比較結果がフロッピーデ
ィスク56、プリンタ52に出力される(ステップ51
4)。この場合、段取りずれ量がないときには、測定実
行点の座標値は段取り前に生成された測定実行予定点の
座標値と比較され、段取りずれ量があるときには、測定
実行点の座標値と修正された測定実行予定点の座標値と
の比較がおこなわれる。
The coordinate values measured by the measurement sensor 30 are displayed on the operation panel 42.
, are input to the dimension inspection device 488 via the numerical control device 46, the coordinate values of the measurement execution point and the coordinate values of the measurement execution point QIJ are compared, and the comparison results are stored on the floppy disk 56 and the printer 52. Output (step 51
4). In this case, when there is no setup deviation, the coordinate values of the measurement execution point are compared with the coordinates of the measurement execution point generated before setup, and when there is a setup deviation, the coordinates of the measurement execution point are corrected. A comparison is made with the coordinate values of the scheduled measurement point.

次に、測定実行点の測定結果が判定基準値内か否かの判
定をおこない(ステップ515)、測定値が測定基準値
内にあるときには、全ての実行予定点Q I Jに対し
て測定をおこなったか否かの判定をおこない、全ての測
定実行予定点に対する測定が終了するまでステップS1
2の処理に戻る(ステップ516)、一方、測定実行点
の測定結果が判定基準値からはずれたときには、この点
の座標値を格納する(ステップ517)。
Next, it is determined whether the measurement result of the measurement execution point is within the judgment reference value (step 515), and if the measurement value is within the measurement reference value, measurement is performed for all the execution planned points QIJ. Step S1 is performed until the measurement is completed for all scheduled measurement points.
Returning to the process of step 2 (step 516), on the other hand, when the measurement result at the measurement execution point deviates from the determination reference value, the coordinate value of this point is stored (step 517).

次に、全ての測定実行予定点Q I Jに対する測定が
終了した後は、測定実行点の測定結果に異常値があるか
否かの判定をおこない(ステップ818)、異常値がな
いときには、このルーチンでの処理を終了する。一方、
異常値があるときには、測定実行点の座標値が判定基準
値からはずれた測定実行点の座標値を基に、異常の点を
マーキングするための脈動指令を生成する(ステップ5
19)。
Next, after the measurements have been completed for all the measurement execution points Q I J, it is determined whether or not there is an abnormal value in the measurement result of the measurement execution point (step 818). If there is no abnormal value, this Finish processing in the routine. on the other hand,
When there is an abnormal value, a pulsation command for marking the abnormal point is generated based on the coordinate value of the measurement execution point whose coordinate value deviates from the judgment reference value (step 5).
19).

この後測定子34の先端にマーキングヘッド38を装着
し、ステップS19で生成された駆動指令を基に計測セ
ンサ30を移動させ、ベーン10の表面にマーキングを
おこなう(ステップ520)。
Thereafter, the marking head 38 is attached to the tip of the probe 34, and the measurement sensor 30 is moved based on the drive command generated in step S19 to mark the surface of the vane 10 (step 520).

この後ベーン10を段取りされた位置から搬出してこの
ルーチンでの処理を終了する。
Thereafter, the vane 10 is carried out from the set-up position, and the processing in this routine is completed.

このように1本実施例においては、ベーン10の段取り
時に測定基準点の位置ずれおよびベーン10の傾きに伴
う段取りずれが生じても、ベーン10の段取りに伴う位
置決め誤差を基に判定基準値となる測定実行予定点およ
び測定開始予定点の座標値を修正し、修正した座標値を
基にベーン10の表面形状を測定するようにしたため1
段取り時にベーン10の位置決め誤差が生じても、段取
り替えをすることなくベーン10の寸法を正確に測定す
ることができる。
As described above, in this embodiment, even if a positional shift of the measurement reference point and a setup shift due to the inclination of the vane 10 occur during the setup of the vane 10, the determination reference value is determined based on the positioning error associated with the setup of the vane 10. The coordinate values of the scheduled measurement execution point and the scheduled measurement start point were corrected, and the surface shape of the vane 10 was measured based on the corrected coordinate values.
Even if a positioning error of the vane 10 occurs during setup, the dimensions of the vane 10 can be accurately measured without changing setup.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように1本発明によれば、ワークの段取り
時に位置決め誤差が生じても1位置決め誤差を零にする
ための補正値を基に測定開始予定点の座標値および判定
基準値となる測定実行予定点の座標値を修正し、修正し
た座標値を基にワークの寸法を検査するようにしたため
、ワークの段取り時に位置決め誤差が生じても、位置決
め誤差を修正して正確な位置情報にしたがってワークの
寸法を検査することが可能となり、ワークの段取り替え
をおこなうことなくワークの寸法、を正確に測定するこ
とができる。また測定値が判定基準値からはずれたとき
には、この/!!!標値を基にワーク表面に印字をおこ
なうようにしたため、測定値が判定基準値からはずれた
測定実行点を容易に把握することができる。
As explained above, according to the present invention, even if a positioning error occurs when setting up a workpiece, the coordinate value of the scheduled measurement start point and the determination reference value are determined based on the correction value to make the positioning error zero. The coordinate values of the scheduled execution point are corrected and the dimensions of the workpiece are inspected based on the corrected coordinate values, so even if a positioning error occurs when setting up the workpiece, the positioning error can be corrected and the workpiece dimensions can be inspected based on the correct position information. It becomes possible to inspect the dimensions of the workpiece, and the dimensions of the workpiece can be accurately measured without changing the setup of the workpiece. Also, when the measured value deviates from the judgment standard value, this /! ! ! Since printing is performed on the surface of the workpiece based on the standard value, it is possible to easily grasp the measurement execution point where the measured value deviates from the judgment reference value.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る作用を説明するためのフローチャ
ート、第2図は本発明が適用された装置の全体構成図、
第3図は本発明が適用された装置の斜視図、第4図は脈
動部28の計測センサ30の斜視図、第5図はマニプレ
ータ26の駆動範囲を説明するための図、第6図はベー
ン10の段取りずれ量を算出するための説明図、第7図
は溶接水車ランナーの斜視図、第8図はベーンの斜視図
。 第9図はベーンの段取りずれを説明するための図である
。 10・・・ベーン、24・・・駆s 装a、26・・・
マニプレータ、28・・・能動部、3o・・・計測セン
サ、34・・・測定子、42・・・操作盤、46・・・
数値制御装置、48・・・寸法検査装置、50・・・表
示装置、54.56・・・フロッピーディスク。
FIG. 1 is a flowchart for explaining the operation of the present invention, FIG. 2 is an overall configuration diagram of a device to which the present invention is applied,
FIG. 3 is a perspective view of the device to which the present invention is applied, FIG. 4 is a perspective view of the measurement sensor 30 of the pulsating part 28, FIG. 5 is a diagram for explaining the drive range of the manipulator 26, and FIG. FIG. 7 is a perspective view of a welded water turbine runner, and FIG. 8 is a perspective view of the vane. FIG. 9 is a diagram for explaining the setup deviation of the vane. 10... Vane, 24... Kousa A, 26...
Manipulator, 28... Active part, 3o... Measurement sensor, 34... Measuring head, 42... Operation panel, 46...
Numerical control device, 48...Dimension inspection device, 50...Display device, 54.56...Floppy disk.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、ワーク表面を複数の領域に分割したときの各格子点
を示す測定実行予定点群の中の測定基準点を基準として
生成された測定実行予定点群の三次元空間における基準
座標値および三次元空間の各軸を基準としたワークの傾
きに関する段取り前の形状情報を予め生成し、さらに各
測定実行予定点の基準座標値にオフセット値を加えた測
定開始予定点群の三次元空間における座標値を前記基準
座標値を基に生成し、段取りされたワークの測定基準点
とワーク端部の測定実行予定点の三次元空間における座
標値をそれぞれ測定し、この測定値から段取り前後の測
定基準点の偏差を算出するとともに三次元空間における
各軸を基準としたワークの傾きに関する形状情報を生成
し、この形状情報と段取り前の形状情報とからワークの
段取りずれ量を算出し、前記各算出値から前記測定基準
点の偏差を零にするための第1の補正値およびワークの
段取りずれ量を零にするための第2の補正値をそれぞれ
算出し、各補正値を各測定実行予定点および各測定開始
予定点の座標値に加えて座標値を修正し、測定開始予定
点群の修正した座標値を基に測定子をワーク表面と接触
する位置まで順次移動させて、各測定実行点の三次元空
間における座標値を測定し、この測定値と各測定実行予
定点の修正した基準座標値とを比較してワークの寸法を
検査するワークの寸法検査方法。 2、測定値と修正した基準座標値との比較値が判定基準
値から外れたときには、この測定実行点の座標値を記憶
し、この記憶した座標値を基に、異常となった測定実行
点に印字を行なう請求項1記載のワークの寸法検査方法
[Claims] 1. A three-dimensional space of a group of points to be measured that is generated based on a measurement reference point in a group of points to be measured which indicate each grid point when the work surface is divided into a plurality of regions. Pre-setup shape information regarding the reference coordinate values and the inclination of the workpiece with respect to each axis in the three-dimensional space is generated in advance, and an offset value is added to the reference coordinate value of each measurement execution point to create a group of scheduled measurement start points. The coordinate values in the three-dimensional space of are generated based on the reference coordinate values, and the coordinate values in the three-dimensional space of the measurement reference point of the set-up workpiece and the measurement execution point of the workpiece end are respectively measured, and these measured values are generated. The deviation of the measurement reference point before and after setup is calculated from the above, and shape information regarding the inclination of the workpiece with respect to each axis in three-dimensional space is generated, and the amount of setup deviation of the workpiece is calculated from this shape information and the shape information before setup. A first correction value for making the deviation of the measurement reference point zero and a second correction value for making the workpiece setup deviation amount zero are calculated from each of the calculated values, and each correction value is calculated. are added to the coordinate values of each scheduled measurement execution point and each scheduled measurement start point, correct the coordinate values, and sequentially move the measuring stylus to the position where it contacts the workpiece surface based on the corrected coordinate values of the scheduled measurement start point group. A workpiece dimension inspection method in which the coordinate values of each measurement execution point in a three-dimensional space are measured, and the dimensions of the workpiece are inspected by comparing the measured values with corrected reference coordinate values of each measurement execution point. 2. When the comparison value between the measured value and the corrected reference coordinate value deviates from the judgment reference value, the coordinate value of this measurement execution point is memorized, and based on this memorized coordinate value, the abnormal measurement execution point is determined. 2. The method for inspecting dimensions of a workpiece according to claim 1, wherein printing is performed on the workpiece.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7724380B2 (en) 2005-05-30 2010-05-25 Konica Minolta Sensing, Inc. Method and system for three-dimensional measurement

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