JPH0237304A - 光学部材及びその製造方法 - Google Patents

光学部材及びその製造方法

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JPH0237304A
JPH0237304A JP63187663A JP18766388A JPH0237304A JP H0237304 A JPH0237304 A JP H0237304A JP 63187663 A JP63187663 A JP 63187663A JP 18766388 A JP18766388 A JP 18766388A JP H0237304 A JPH0237304 A JP H0237304A
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JP
Japan
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fiber
base material
refractive index
polymerized film
organic
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JP63187663A
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English (en)
Inventor
Hideo Yasutomi
英雄 保富
Kenji Masaki
賢治 正木
Mochikiyo Osawa
大沢 以清
Isao Doi
勲 土井
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、光ファイバ,レンズ等に使用される光学部
材及びその光学部材の製造方法に関するものである。
[従来技術及びその問題点] 光を伝搬させる光学部材としては、屈折率の大きな媒質
で構成されたコアの周囲を、屈折率の低い媒質で構成さ
れたクラッドで取り巻き、光をコア中に閉じ込めた状態
で伝搬させるようにした光ファイバが従来より知られて
いる。
そして、このような光ファイバとしては、1個のモード
のみを伝搬させるシングルモードファイバの他に、多数
のモードを伝搬できるようになったマルチモードファイ
バが存在しており、このマルチモードファイバにおいて
は、コア部の屈折率が一定になったステップインデック
ス型のものと、屈折率が半径に対してα乗となるように
変化したグレーデッドインデックス型のものとが存在し
ている。
ここで、ステップインデックス型のものと、グレーデッ
ドインデックス型のものとを比較した場合、分散特性の
点において、ステップインデックス型のものは、グレー
デッドインデックス型のものに比べ、モード分散が大き
く、多重モードの伝搬には、グレーデッドインデックス
型のもの方が適したものとなっており、特に、屈折率が
半径に対して2乗となるように変化したものが好ましい
とされている。
一方、このような光ファイバを製造する方法としては、
多成分系ガラスを使用したものでは二重るつぼ法が、ま
た石英ガラス系を使用したものでは、肉付は及び外付け
のCVD法や、火炎加水分解法や、プラズマ溶融法等が
知られている。
しかし、これらの方法で、上記のように屈折率が半径に
対して2乗となるように変化したグレーデッドインデッ
クス型の光ファイバを製造する場合には、通常、添加物
の量等を徐々に変化させて、屈折率の異なる薄層を何層
にも積み重ねるようにして製造しており、その製造が非
常に困難であった。
また、このようにして製造された従来のグレーデッドイ
ンデックス型の光ファイバは、厳密な意味では、屈折率
の分布が半径Gこ対して2乗にはなっておらず、これに
近似するように、屈折率の異なる層を多数積層させてい
るだけであるため、理想的なグレーデツドインデ・ソク
ス型のものよりは、モード分散が大きくなり、多重モー
ドの伝搬特性が悪くなるという問題があつた。
加えて、近年においては、光ファイバのコアにプラスチ
ックを用いることが検討されるようになったが、上記の
ような何れの製造方法においても、製造時の温度が高い
ため、融点が低11)プラスチック等を用いて光ファイ
バを製造することが非常に困難であり、また製造時にお
ける高温によってその特性が劣化する等の問題があった
[発明が解決しようとする課題] この発明は、光ファイバ等の光学部材における上記のよ
うな問題を解決することを課題とするものである。
すなわち、この発明においては、中心光学母材にプラス
チック等の有機物を使用することができるようになり、
また、従来のよう、に屈折率の異なる薄層を何層も積み
重ねて屈折率を多段階に変化させたものではなく、屈折
率が連続して変化するようになった光ファイバ等の光学
部材を提供すると共に、このような光学部材の製造が容
易に行える光学部材の製造方法を提供することを目的と
するものである。
[課題を解決するための手段] この発明に係る光学部材においては、中心光学母材の表
面に屈折率が連続して変化した少なくともC,H,Oを
含む有機プラズマ重合膜を形成するようにしたのである
そして、このように中心光学母材の表面に、屈折率が連
続して変化した有機プラズマ重合膜を形成するにあたっ
ては、プラズマ重合法により、放電条件、ガス濃度、加
熱条件等のプラズマ重合条件を徐々に変化させながら、
有機プラズマ重合膜を形成し、その屈折率を連続して変
化させるようにしたのである。
また、このように中心光学母材の表面に形成される少な
くともC,H,Oを含む有機プラズマ重合膜に、Al、
Si、Ti、Zr、Zn。
Ta−、Mgの中の少なくとも1つのドープ物質を含ま
せるようにすることが好ましく、特に、Al、Si、T
i、Zrを含有させるようにすることがより好ましい。
なお、このような物質を有機プラズマ重合膜に含有させ
るにあたっては、これらをドープさせる他、これらの物
質を化合物の状態で含み、気化し得るものを原料に用い
て、プラズマ重合させるようにすることがより好ましい
[作用コ 上記のようにi成された光学部材を光ファイバに使用す
ると、中心光学母材の表面に屈折率が連続して変化した
有機プラズマ重合膜が形成されているため、屈折率の異
なる層を多数積層させた従来のものに比べると、モード
分散が少なく、多重モードの伝搬特性がよくなる。
また、この発明においては、プラズマ重合法により、放
電条件、ガス濃度、加熱条件等のプラズマ重合条件を徐
々に変化させながら、中心光学母材の表面に、屈折率が
連続して変化した有機プラズマ重合膜を連続して形成す
るようになっており、従来のように屈折率の異なる薄層
を何層にも積み重ねて製造する必要がない。
さらに、この発明においては、中心光学母材の表面に、
プラズマ重合法により、低温下で有機プラズマ重合膜を
形成できるため、中心光学母材にプラスチック等の有機
物を使用しても、その特性が低下したりすることが少な
い。
また、上記のように形成される少なくともC,H,Oを
含む有機プラズマ重合膜は、プラスチックとの接着性が
よく、中心光学母材にプラスチックを使用した場合にお
いても、曲げ等による剥離が少なく、さらに耐候性、特
に耐湿性の点で優れた性質を示すようになる。
加えて、上記のように、少なくともC,H。
0を含む有機プラズマ重合膜に、Al、5iTi、Zr
、Zn、Ta、Mgの中の少なくとも1つのドープ物質
を含ませると、有機プラズマ重合膜の透明性が向上し、
可視光領域の光に対しても光吸収による光の損失が少な
くなる。
例えば、原料ガスにシロキサンモノマーを用いてプラズ
マ重合させ、有機プラズマ重合膜にSLを含有させるよ
うにした場合には、その有機プラズマ重合膜の分光透過
率が、第9図に示すように、300〜800nmにおい
て、はぼ100%の透過率を示し、透過率の波長依存性
がなく、可視光領域における光の損失も少なくなる。
[実施例] 以下、この発明の実施例を図面に基づいて具体的に説明
する。
先ず、この発明に係る光学部材(1)が光ファイバ(1
a)である場合について説明する。
この実施例に係る光ファイバ(1a)は、第1図に示す
ように、中心光学母材(2)となる透明なam状のファ
イバ(2a)の表面に、その半径外方に向かって屈折率
が連続して低下した有機プラズマ重合膜(3)が形成さ
れており、この有機プラズマ重合膜(3)において光が
屈折、反射されて光ファイバ(1a)内を伝搬されるよ
うになっている。なお、この実施例では図示していない
が、上記有機プラズマ重合膜(3)の表面を、さらに金
属酸化物透明蒸着膜等の無機物の膜によってコートし、
耐湿、耐候性を向上させるようにすることも可能である
次に、上記のような光ファイバ(1a)を、第2図(A
)に示す装置(10a)を用いて製造する場合について
説明する。
この装置(1,0a)においては、同図に示すように、
上記の透明な細線状のファイバ(2a)をドラム(ll
a)に巻き付けてなるファイバロール(11)を、扉(
12)から装置(10a)内に装着させるようになって
いる。
そして、このように装置(10a)内に装着されたファ
イバロール(11)からファ、イバ(2a)を引き出し
、この引き出されたファイバ(2a)を、送り出し側の
位置合わせローラ(13a>を介して、第2図(B)に
示すようにリング状になったガス噴出部(14)の中を
通し、石英管(15a)の外周にコイル(15b)が巻
かれた放電部(15)内を通過させて、巻き取り側に設
けられた位置合わせローラ(13b)を介して巻き取り
ローラフ16)によって巻き取るようになっている。
ここて、この装置(loa)においては、石英管(15
a)の外周に巻き付けるコイル(15b)の巻き数が、
ファイバ(2a)の送り出し側から巻き取り側に向かう
に連れて、密から疎になるように巻き付けており、ファ
イバ(2a)の送り出し側から巻き取り側に向かうに連
れて放電条件が弱くなるようにしている。
そして、この装置(10a)によって光ファイバ(1a
)を製造する場合には、真空ポンプ(図示せず)によっ
て装置(10a>に設けられた各バルブ(17a)、(
17b)、(17c)を通して、装置(10a)内の空
気を抜いた後、ファイバロール(11)からファイバ(
2a)を引き出し、このファイバ(2a)を送り出し側
の位置合わせローラ(13a)を介して」1記のガス噴
出部(14)に通して、上記放電部(15)内に導くと
共に、ガス噴出部(14)から有機プラズマ重合膜(3
)の原料となるガス状の有機モノマーと希釈ガスとを噴
出させるようになっている。
そして、高周波電源(18)よりマツチングボックス(
19)を介して、放電部(15)の外周に巻き付けられ
たコイル(15b)に高周波電圧を印加し、ガス噴出部
(14)から噴出されたガス状の有機モノマーを、放電
部(15)に導かれた上記ファイバ(2a)の表面にプ
ラズマ重合させ、放電部(15)内においてファイバ(
2a)の表面に順々に有機プラズマ重合膜(3)を形成
するようになっている。
ここで、コイル(15b)の巻き数は、上記のようにフ
ァイバ〈2a)の送り出し側から巻き取り側に向かうに
連れて密から疎になっているため、ファイバ(2a)の
送り出し側から巻き取り側に向かうに連れてその放電条
件が弱くなり、ファイバ(2a)の表面に形成される有
機プラズマ重合膜(3)の屈折率は、巻き取り側に向が
うに連れて順々低下するようになる。
この結果、第1図に示すように、中心光学母材(2)と
なる細線状のファイバ(2a)の表面に形成された有機
プラズマ重合膜(3)は、外側に向かうに連れて屈折率
が連続して低下し、集束形の光ファイバ(1a)が得ら
れるようになる。
また、第3図に示す装置(10b)においては、有機プ
ラズマ重合膜(3)の原料となるガス状の有機モノマー
と希釈ガスとを噴出させるガス噴出部(14)を、第2
図(A)に示す装置(10a)のように、放電部(15
)の入口の近傍に設けるだけではなく、放電部(15)
内にもガス噴出部(14b)。
(14c)・・・を複数設けるようにしており、図に示
す例では、放電部(15)内に第2.第3の2つのガス
噴出部(14b)、 (14c)を設けている。
そして、光ファイバ(1a)を製造するにあたっては、
ファイバ(2a)の送り出し側から巻き取り側に向かう
に従って、すなわち放電部(15)の入口近傍の第1の
ガス噴出部(14)から第2.第3のガス噴出部(14
b)、 (14c)に向かうに従って、順々に噴出させ
るガス中における有機モノマーの濃度を低くし、上記の
ように放電条件を弱くするのと合わせて、ファイバ(2
a)の表面に形成される有機プラズマ重合膜(3)の屈
折率が、巻き取り側に向かうに連れて効率よく低下され
るようにしている。
また、第4図に示す装!(10c)においては、放電部
(15)において、石英管(15a)の外周に巻かれた
コイル(15b)の外側に、さらにファイバ(2a)の
送り出し側から巻き取り側に向がうに連れて密から疎に
なったヒータ(20)を設けるようにしている。
そして、このヒータ(20)によって放電部(15)の
加熱条件を、ファイバ(2a〉の送り出し側から巻き取
り側に向かうに従って弱くし、上記のように放電条件を
弱くするのと合わせて、ファイバ(2a)の表面に形成
される有機プラズマ重合膜(3)の屈折率が、巻き取り
側に向かうに連れて効率よく低下されるようにしている
また、第5図に示す装置(10d)においては、放電部
(15)において、石英管(15a)の外周に巻か、れ
なコイル(15b)の外側に、さらに複数の磁石(21
)を、ファイバ(2a)の送り出し側から巻き取り側に
向かうに連れて順々に間隔が広がるようにして設けてい
る。
そして、これらの磁石(21)による磁場によってプラ
ズマ中における荷電粒子の収束作用を、ファイバ(2a
)の送り出し側から巻き収り側に向かうに連れて次第に
弱くなるようにし、放電条件を弱くするのと合わせて、
ファイバ(2a)の表面に形成される有機プラズマ重合
膜(3)の屈折率が、巻き取り側に向かうに連れて効率
よく低下されるようにしている。
さらに、第6図に示す装置(10e)においては、その
放電部(15)において、石英管(15a>の外周に巻
かれたコイル(15b)の外側に、さらにキセノンラン
プ等の複数の光源(22)を設け、ファイバ(2a)の
送り出し側がら巻き取り側に向かうに連れて、照射する
光が弱くなるようにしている。
そして、これらの光源(22)からの光による光CVD
作用を、ファイバ(2a)の送り出し側から巻き取り側
に向かうに連れて次第に弱くなるようにし、放電条件を
弱くするのと合わせて、ファイバ(2a)の表面に形成
される有機プラズマ重合M(3)の屈折率が、巻き取り
側に向かうに連れて効率よく低下されるようにしている
なお、第3図〜第6図に示す装置(fob)〜(10e
)においても、上記の第2図(A)に示す装置(10a
)と同様に、放電部(15)におけるコイル(15b)
の巻き数を、ファイバ(2a)の送り出し側から巻き取
り側に向かうに連れて密から疎になるようにしているが
、これらの装置(10b)〜(10e)においては、ガ
ス濃度や加熱条件等の他の条件を変化させて、ファイバ
(2a)の表面に形成される有機プラズマ重合M(3)
の屈折率を、巻き取り側に向かうに連れて低下させるこ
とができるため、必ずしもコイル(15b)の巻き数を
、ファイバ〈2a)の送り出し側から巻き取り側に向か
うに連れて密から疎になるようにする必要はなく、コイ
ル(15bンを均一に巻くようにしてもよい。
次に、第2図(A)に示す装置(10a)を用いて、光
ファイバ(la>を製造した例を具体的に説明する。な
お、この装置(10a)としては、上記放電部(15)
における石英管(15a)に、長さが約2m、外径が約
15cmになったものを使用し、またその周囲に巻き付
けるコイル(15b)の巻き数は、送り出し側でのピッ
チが3cmとなるようにし、巻き取り側に向かうに連れ
て徐々にピッチを大きくし、巻き取り側ではピッチが8
cmとなるようにした。
実施例1 この実施例では、ファイバ(2a)として、PMMA樹
脂(ポリメタクリル酸メタクリレ−1・)で構成された
直径50μmのもの使用し、10mのファイバ(2a)
を1バツチとして、その表面に有機プラズマ重合膜(3
)を形成するようにした。
一方、有機プラズマ重合膜(3)の形成に使用する有機
モノマーには、(CH3)3Sl[0Si(CHs)2
]aCH,で表されるジメチルシロキサンを用いるよう
にした。なお、ここで使用するジメチルシロキサンは、
プラズマ重合の際にガス化させるため、そのnの数が、
常温で気体若しくは0.5〜10cp程度の粘度の液体
となるような分子量をもつように選択することが好まし
く、この実施例では、粘度が0.65c pになったも
のを使用するようにした。
そして、上記の装置(10a)内に装着されたファイバ
ロール(11)から上記ファイバ(2a)を引き出し、
このファイバ(2a)を上記放電部(15)内に導くと
共に、ガス噴出部(14)から希釈ガスとなる水素ガス
の流量を100 secmにして、上記ジメチルシロキ
サン90ccを順次放電部(15)内に噴出−させ、放
電部(15)内のガス圧が0.8 Torrとなるよう
にした。
そして、放電部(15)の周囲に巻き付けられたコイル
(15b)に、高周波電源(18)からマッチングボッ
クスク19)を介して、周波数2MHz。
150Wの電力を印加し、約1時間3分で、屈折率が外
側に向かって連続して順々に低下した膜厚的30μmの
有機プラズマ重合膜〈3)を、10mのファイバ(2a
)の表面に連続して形成した。
実施例2 この実施例では、ファイバ(2a)として、ポリカーボ
ネイト樹脂で構成された直径100μmのものを用いる
一方、有機プラズマ重合膜(3)の形成に使用する有機
モノマーには、AI(Oi−Cz117)2を用いるよ
うにした。
そして、装置(10a)内に装着されたファイバロール
(11)から上記ファイバ(2a)を引き出し、このフ
ァイバ(2a)を上記放電部(15)内に導くと共に、
上記AI(Oi−C2)hhガスの流量を40 sec
mにすると共に、希釈ガスとなる水素ガスの流量を10
0 secmにして、ガス噴出部(14)から順次放電
部(15)内に噴出させ、放電部(15)内のガス圧が
1.0 Torrとなるようにした。
そして、放電部(15)の周囲に巻き付けられたコイル
(15b)に、高周波電源(18)からマツチングボッ
クス(19)を介して周波数800KHz。
150Wの電力を印加し、約1時間58分で、屈折率が
外側に向かい連続して順々に低下した膜厚的50μmの
有機プラズマ重合膜(3)を、10mのファイバ(2a
)の表面に連続して形成した。
実施例3 この実施例では、ファイバ(2a)として、PMMA樹
脂で構成された直径50μmのものを用いる一方、有機
プラズマ重合膜(3)の形成に使用する有機上ツマ−に
は、Mg (OC2H3)2を用いるようにした。
そして、装置(10a)内に装着されたファイバロール
(11)から上記ファイバ(2a)を引き出し、このフ
ァイバ(2a)を放電部(15)内に導くと共に、上記
Mg(OC2Hshガスの流量を88 secm、希釈
ガスとなるヘリウムガスの流量を300 secmにし
て、ガス噴出部(14)から順次放電部(15)内に噴
出させ、放電部(15)内のガス圧が0.9 Torr
となるようにした。
そして、放電部(15)の周囲に巻き付けられた上記コ
イル(15b)に、高周波電源(18)からマツチング
ボックス(19)を介して周波数IMHz。
200Wの電力を印加し、約2時間30分で、屈折率が
外側に向かい連続して順々に低下した膜厚的30μmの
有機プラズマ重合膜(3)を、10mのファイバ(2a
)の表面に連続して形成した。
実施例4 この実施例では、ファイバ(2a)として、直径10o
μmcr)TIBrIファイバを用いる一方、有機プラ
ズマ重合膜(3)の形成に使用する有機モノマーには、
Ti(0+−C3h)4を用いるようにした。
そして、装置(10a)内に装着されたファイバロール
(11)から上記ファイバ(2a)を引き出し、このフ
ァイバ(2a)を放電部(15)内に導くと共に、上記
Ti(0+−CJ7)4ガスの流量を50 secm+
、希釈ガスとなる水素ガスの流量を4005ccn+に
して、ガス噴出部(14)から順次放電部(15)内に
噴出させ、放電部(15)内のガス圧が1.2 Tor
rとなるようにした。
そして、放電部(15)の周囲に巻き付けられたコイル
(15b)に、高周波電源(18)から7ツチングボツ
クス(19〉を介して周波数13.56M Hz 。
300Wの電力を印加し、約2時間45分で、屈折率が
外側に向かい連続して順々に低下しな膜厚的50μmの
有機プラズマ重合膜(3)を、10mのファイバ(2a
)の表面に連続して形成した。
次に、この発明に係る光学部材(1)が、レンズ(1b
)である場合について説明する。
この実施例に係るレンズ(1b)も、上記光ファイバ(
1a)の場合と同様に、第7図に示すように、中心光学
母材(2)となるレンズ母材(2b)の表面に、その外
側に向かって屈折率が連続して変化した有機プラズマ重
合膜(3)が形成されており、この有機プラズマ重合膜
(3)によって光の反射や干渉が抑制されるようになっ
ている。
そして、このようなレンズ(1b)を製造する場合には
、第8図に示すような装置(10f)を使用する。
この装置(10f)も、前記第2図(A)に示したもの
とほぼ同様であるが、この装置(10f)においては、
送り出し側の装置(10f>内に、レンズ母材(2)を
放電部(15)に送る送りトレイ(25)が設けられて
おり、この送りトレイ(25)に送られてきたレンズ母
材(2b)を、ベルトコンベア(26)によってガス噴
出部(14)の中を通して放電部(15)内に導くよう
になっている9そして、この放電部(15)内をベルト
コンベア(26)によって順々に移動させながら、レン
ズ母材(2b)の表面に有機プラズマ重合膜(3)を形
成し、取り出し側に設けられたガイド板(27)を介し
て、受はトレイ(28)に排出させるようになっている
ここで、上記のようにレンズ母材(2b)をベルトコン
ベア(26)によって放電部(15)内を移動させなが
ら、レンズ母材(2b)の表面に有機プラズマ重合膜(
3)を形成するにあたっては、上記のガス噴出部(14
)から有機プラズマ重合膜(3)の原料となるガス状の
有機モノマーと希釈ガスとを噴出させると共に、放電部
(15)の外周に巻き付けられたコイル(15b)に、
高周波電源(18)よりマツチングボックス(19)を
介して高周波電圧を印加し、上記レンズ母材(2b)の
表面に有機モノマーを順々にプラズマ重合させるように
なっている。
なお、この装置(10f>においても、上記放電部(1
5)の外周に巻き付けられたコイル(15b)の巻き数
が、送り出し側から順々に密から疎になっており、放電
条件が次第に弱くなるため、レンズ母材(2b)の表面
に形成される有機プラズマ重合膜(3)の屈折率は次第
に低くなり、レンズ母材(2b)の表面に、屈折率が連
続して順々に低下した有機プラズマ重合膜(3)が形成
されてなるレンズ(1b)が得られる。
また、図示していないが、中心光学母材となる基板の表
面に、屈折率が連続して順々に低下した有機プラズマ重
合膜を形成し、これを0EIC用の光導波路として使用
することも可能であり、この場合には、光の漏れによる
光の損失が少なくできるようになる。
[発明の効果] 以上詳述したように、この発明においては、中心光学母
材の表面に、プラズマ重き法によって、放電条件、ガス
濃度、加熱条件等のプラズマ重合条件を徐々に変化させ
ながら、屈折率か連続して変化した有機プラズマ重合膜
を形成するようにしたため、これをグレーデッドインテ
ックス型の光ファイバを製造するのに利用した場合には
、従来のように、CVD法や火炎加水分解法等によって
屈折率の異なる薄層を何層にも積み重ねて製造する必要
がなく、その製造が著しく容易にかつ連続して行え、製
造時間が短縮されると共に、そのコストも著しく低減さ
れるようになる。
また、」1記のようにして製造される光ファイバにおい
ては、中心光学母材の表面に形成された有機プラズマ重
合膜の屈折率を、半径に対して2乗となるように連続し
て変化させることができ、屈折率の異なる層を多数積層
させた従来の光ファイバに比べ、より理想的なグレーデ
ッドインデックス型のものとなり、モード分散が少なく
、多重モードの伝搬特性に優れた光ファイバが得られる
ようになる。
さらに、この発明においては、中心光学母材の表面に、
プラズマ重合法により有機プラズマ重合膜を形成するた
め、低温下においても有機プラズマ重合膜を形成でき、
中心光学母材にプラスチック等の有機物を使用しても、
その特性が低下したりすることがなく、また、このよう
に形成される有機プラズマ重合膜は、プラスチックとの
接着性がよく、曲げ等による剥離が少なくなると共に、
耐候性、特に耐湿性の点で優れた特性を示し、曲げ等の
特性に優れたプラスチック光ファ・イバが得られように
なる。
加えて、上記のように形成される少なくともC,H,O
を含む有機プラズマ重合膜にAt。
Si、Ti、Zr、Zn、Ta、Mgの中の少なくとも
1つのドープ物質を含有させると、有機プラズマ重合膜
の透明性が向上し、可視光領域の光に対しても光吸収に
よる光の損失が少なくなるため、光ファイバ等に使用し
た場合において、光を効率よく伝搬できるようになる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の光学部材の一実施例に係る光ファイ
バの断面図、第2図(A)、(B)は上記光ファイバを
製造する装置の概略断面図及び同装置におけるガス噴出
部の正面図、第3図〜第6図も上記光ファイバを製造す
る装置の他の例を示す概略断面図、第7図はこの発明に
係る光学部材がレンズである場合の断面図、第8図は上
記レンズを製造する装置の概略断面図、第9図はSiを
含有させた有機プラズマ重合膜の分光透過率を示す図で
ある。 (1)・・・光学部材、 (la)・・・光ファイバ、
 (lb)・・・しンズ (2)・・・中心光学母材、 (2a)・・・ファイバ
。 レンズ母材 (3)・・・有機プラズマ重合膜 (2b)・・・

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、中心光学母材の表面に、屈折率が連続して変化した
    少なくともC、H、Oを含む有機プラズマ重合膜が形成
    されてなることを特徴とする光学部材。 2、中心光学母材の表面に形成された有機プラズマ重合
    膜に、少なくともC、H、Oを含み、更にAl、Si、
    Ti、Zr、Zn、Ta、Mgの中の少なくとも1つの
    ドープ物質が含まれてなることを特徴とする第1請求項
    に記載の光学部材。 3、中心光学母材の表面に、プラズマ重合法によって、
    放電条件、ガス濃度、加熱条件等のプラズマ重合条件を
    徐々に変化させながら、屈折率が連続して変化した有機
    プラズマ重合膜を形成することを特徴とする光学部材の
    製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104264487A (zh) * 2014-10-21 2015-01-07 苏州大学 导电化学纤维的制备方法及其制备装置
CN104358011A (zh) * 2014-10-21 2015-02-18 苏州大学 导电纤维的制备方法及其制备装置

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CN104264487A (zh) * 2014-10-21 2015-01-07 苏州大学 导电化学纤维的制备方法及其制备装置
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