JPH0236279Y2 - - Google Patents

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JPH0236279Y2
JPH0236279Y2 JP12843485U JP12843485U JPH0236279Y2 JP H0236279 Y2 JPH0236279 Y2 JP H0236279Y2 JP 12843485 U JP12843485 U JP 12843485U JP 12843485 U JP12843485 U JP 12843485U JP H0236279 Y2 JPH0236279 Y2 JP H0236279Y2
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clamp
movable
spring plate
movable spring
clamping force
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/851Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector the connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus

Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案はワイヤボンダに装備され、ボンデイン
グ接続の工程中において、適宜リードワイヤをク
ランプ又はクランプ解除するクランプ装置の改良
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Field of Application) The present invention relates to an improvement in a clamp device that is installed in a wire bonder and that clamps or unclamps a lead wire as appropriate during the bonding process.

(従来の技術) ワイヤボンダのリードワイヤは、周知のよう
に、ワイヤ供給源からキヤピラリに引き出されて
おり、このキヤピラリの移動によつて第1ボンド
位置から第2ボンド位置へのリード配線が行われ
る。その場合、キヤピラリの移動は次のような経
路をたどる。すなわち、まず、第1ボンド位置で
はワイヤボンド接続が行なわれた後、キヤピラリ
は所定位置まで上昇し、この上昇完了後に第2ボ
ンド位置の直上部まで水平移動を行ない、さらに
この直上部から第2ボンド位置までの下降移動を
行なう。そして、この第2ボンド位置で目的とす
るボンディング接続が行われ、第1ボンド位置と
第2ボンド位置とのリード接続が達成されるので
ある。
(Prior Art) As is well known, the lead wire of a wire bonder is drawn out from a wire supply source to a capillary, and lead wiring is performed from a first bond position to a second bond position by moving this capillary. . In that case, the movement of the capillary follows the following path. That is, first, after a wire bond connection is made at the first bonding position, the capillary rises to a predetermined position, and after this rising is completed, it horizontally moves to just above the second bonding position, and then from directly above this to the second bonding position. Perform a downward movement to the bond position. Then, the intended bonding connection is performed at this second bonding position, and lead connection between the first bonding position and the second bonding position is achieved.

ところがこの場合、第1ボンド位置から第2ボ
ンド位置までの直線距離よりも第1ボンド位置か
ら第2ボンド位置の直上部までの直線距離が大き
いため、第2ボンドの直上位置から第2ボンド位
置までキヤピラリが降下したときにはリードワイ
ヤがたるみ、いわゆるアンダーループ状態とな
り、種々の弊害を発生することとなる。
However, in this case, since the straight line distance from the first bond position to directly above the second bond position is greater than the straight line distance from the first bond position to the second bond position, the straight line distance from the position directly above the second bond to the second bond position When the capillary descends to this point, the lead wire becomes slack, resulting in a so-called underloop condition, which causes various problems.

このようなアンダーループを防止するため、近
年、キヤピラリの上方位置にワイヤクランプ装置
が設けられ、キヤピラリが第2ボンド位置に降下
するときにはリードワイヤをクランプし、キヤピ
ラリの下降による余つた分のリードワイヤを相対
的にキヤピラリから上方向に引き上げるようにし
て、前記アンダーループの発生が防止されてい
る。
In order to prevent such under-loops, in recent years a wire clamp device has been installed above the capillary, which clamps the lead wire when the capillary descends to the second bonding position, and removes the excess lead wire due to the descent of the capillary. The above-mentioned under loop is prevented from occurring by pulling up the capillary relatively upwardly from the capillary.

このようなクランプ装置として第1図に示すも
のが知られている。図において、クランプホルダ
1は図示されていないワイヤボンダの本体に固定
されており、このクランプホルダ1には第1の段
差面1aと第2の段差面1bとが形成されてい
る。第1の段差面1aの先端部にはクランプ材2
が固定されており、その表面には固定側クランプ
面2aが形成されている。また、第2の段差面1
bには押さえ板3を介して薄肉の可動ばね板4の
基部がねじ5によつて締結固定されており、この
可動ばね板4の先端部には緩衝材6を介して可動
クランプ材7が固定されている。そして、可動ク
ランプ材7の表面には可動側クランプ面7aが形
成されており、この可動側クランプ面7aはリー
ドワイヤ8を挟んで固定側クランプ面2aと対向
している。なお、リードワイヤ8はリードワイヤ
の供給源から繰り出され、これ等のクランプ面2
a,7a間を通つてキヤピラリに至るものであ
る。
As such a clamp device, one shown in FIG. 1 is known. In the figure, a clamp holder 1 is fixed to the main body of a wire bonder (not shown), and the clamp holder 1 is formed with a first stepped surface 1a and a second stepped surface 1b. A clamp material 2 is provided at the tip of the first stepped surface 1a.
is fixed, and a fixed side clamping surface 2a is formed on the surface thereof. In addition, the second stepped surface 1
b, the base of a thin movable spring plate 4 is fastened and fixed with a screw 5 via a presser plate 3, and a movable clamp member 7 is attached to the tip of the movable spring plate 4 via a buffer material 6. Fixed. A movable clamp surface 7a is formed on the surface of the movable clamp member 7, and the movable clamp surface 7a faces the fixed clamp surface 2a with the lead wire 8 in between. Note that the lead wire 8 is fed out from a lead wire supply source, and the clamping surface 2
It passes between a and 7a and reaches the capillary.

前記クランプホルダ1の端面にはクランプ力伝
達板9の基部が可動ばね板4の場合と同様にねじ
固定されている。このクランプ力伝達板9も薄肉
ばね板からなり、その先端部はほぼ直角に折曲さ
れ、固定・可動両側クランプ面2a,7aの中心
を結ぶ線上で、前記可動ばね板4の裏面に当接さ
れている。
A base portion of a clamping force transmitting plate 9 is fixed to the end face of the clamp holder 1 with screws in the same manner as in the case of the movable spring plate 4. This clamping force transmission plate 9 is also made of a thin spring plate, and its tip is bent at an almost right angle, and comes into contact with the back surface of the movable spring plate 4 on a line connecting the centers of both fixed and movable clamping surfaces 2a and 7a. has been done.

一方、クランプ力伝達板9の側方位置には、図
示されていないカム等によつて駆動される揺動自
在のクランプ開閉ロツド10が設けられている。
このクランプ開閉ロツド10にはクランプ力調整
ねじ11が螺合されており、このクランプ力調整
ねじ11の先端部はクランプ力伝達板9のほぼ中
央部に当接されている。したがつて、クランプ力
調整ねじを進退させることによつて、リードワイ
ヤ8のクランプ力が調整されることとなり、この
最適調整位置でクランプ調整ねじ11はロツクね
じ12によつてロツクされるようになつている。
このクランプ力はリードワイヤ8に異常変形を与
えない範囲で与える必要があり、通常2g〜5g
の範囲で設定されている。なお、上記クランプ力
伝達板9とクランプ開閉ロツド10は可動側クラ
ンプ面7aを駆動するクランプ駆動手段14を構
成する。
On the other hand, a swingable clamp opening/closing rod 10 driven by a cam or the like (not shown) is provided at a side of the clamping force transmitting plate 9.
A clamping force adjusting screw 11 is screwed into the clamp opening/closing rod 10, and the tip of the clamping force adjusting screw 11 is brought into contact with approximately the center of the clamping force transmitting plate 9. Therefore, by moving the clamping force adjusting screw forward or backward, the clamping force of the lead wire 8 is adjusted, and the clamp adjusting screw 11 is locked by the locking screw 12 at this optimum adjusted position. It's summery.
This clamping force must be applied within a range that does not cause abnormal deformation to the lead wire 8, and is usually 2g to 5g.
is set within the range. The clamp force transmitting plate 9 and the clamp opening/closing rod 10 constitute a clamp driving means 14 for driving the movable clamp surface 7a.

上記構成からなる従来装置において、クランプ
開閉ロツド10がクランプ位置、すなわち、クラ
ンプ開閉ロツド10がクランプ力伝達板9の方向
に揺動して第1図の位置にあるときには、クラン
プ力伝達板9はクランプ力調整ねじ11によつて
伝達力を受け、この伝達力によつて可動ばね板4
はリードワイヤ8の方向に撓み、リードワイヤ8
は固定・可動両側クランプ面2a,7a間にクラ
ンプ固定される。
In the conventional device having the above configuration, when the clamp opening/closing rod 10 is in the clamp position, that is, when the clamp opening/closing rod 10 is swung in the direction of the clamping force transmitting plate 9 and is in the position shown in FIG. A transmission force is received by the clamp force adjustment screw 11, and this transmission force causes the movable spring plate 4 to
is bent in the direction of the lead wire 8, and the lead wire 8
is clamped and fixed between fixed and movable clamp surfaces 2a and 7a on both sides.

一方、クランプ開閉ロツド10が、クランプ解
除位置、すなわち、クランプ開閉ロツド10が逆
方向に揺動して第2図の位置に動作したときに
は、クランプ調整ねじ11とクランプ力伝達板9
との当接が解除される。この結果、可動ばね板4
およびクランプ力伝達板9が共に撓み位置から元
の自由位置に復帰し、リードワイヤ8と可動側ク
ランプ面7aとの間に一定の間隙が形成される。
On the other hand, when the clamp opening/closing rod 10 moves to the clamp release position, that is, the clamp opening/closing rod 10 swings in the opposite direction to the position shown in FIG.
The contact with is released. As a result, the movable spring plate 4
Both the clamp force transmission plate 9 returns from the deflected position to the original free position, and a certain gap is formed between the lead wire 8 and the movable clamp surface 7a.

なお、これらクランプ開閉ロツド10の動作
は、キヤピラリの上下移動の各工程位置に対応さ
せてカム等により制御されるものである。
The operation of the clamp opening/closing rod 10 is controlled by a cam or the like in correspondence with each step position of the vertical movement of the capillary.

(考案が解決しようとする問題点) 近年、生産能率の向上を目ざしてボンデイング
スピードの高速化が図られている。このためクラ
ンプ開閉ロツド10のクランプおよびその解除動
作が高速で行われることとなり、クランプ力伝達
板9から可動ばね板4へのクランプ力の伝達およ
びその解除は衝撃的に行われている。
(Problems to be solved by the invention) In recent years, bonding speeds have been increased with the aim of improving production efficiency. Therefore, the clamping and releasing operations of the clamp opening/closing rod 10 are performed at high speed, and the clamping force is transmitted from the clamping force transmitting plate 9 to the movable spring plate 4 and its release is performed impulsively.

ところが、可動ばね板4およびクランプ力伝達
板9はクランプ力を小さくする観点から薄肉ばね
材によつて形成されており、このため、衝撃的な
力の伝達およびその解除によつてこれらのばね材
が振動をおこしてしまうという問題がある。した
がつて、特に、クランプ解除時に、可動側クラン
プ面7aがリードワイヤ8に対して接離振動、す
なわち、リードワイヤ8への干渉を起し、リード
ワイヤ8のループ形成に際しループの形状不良を
ひきおこすという問題があり、また可動側クラン
プ面7aの前記接離振動のため、可動側クランプ
面7aの開閉指令に対して実質的にその追従性が
劣る結果となり、これがワイヤボンデイングの高
速化への障害となつていた。
However, the movable spring plate 4 and the clamping force transmission plate 9 are made of thin spring material from the viewpoint of reducing the clamping force, and therefore, these spring materials are The problem is that it causes vibration. Therefore, in particular, when the clamp is released, the movable clamp surface 7a vibrates toward and away from the lead wire 8, that is, causes interference with the lead wire 8, which may cause poor shape of the loop when the lead wire 8 is formed. Furthermore, due to the contact and separation vibration of the movable clamp surface 7a, the followability of the movable clamp surface 7a to the opening/closing command is substantially inferior, and this is a problem in increasing the speed of wire bonding. It was becoming an obstacle.

本考案は上記問題点に顧みてなされたもので、
リードワイヤのクランプ解除時における可動側ク
ランプ面の衝撃的な振動を防止してリードワイヤ
への接離干渉を回避するとともに、クランプ解除
指令に対する可動側クランプ面の追従性を改善
し、ワイヤボンデイングの高速化に十分応え得る
ワイヤボンダのクランプ装置を提供するものであ
る。
This invention was made in consideration of the above problems.
This prevents shocking vibration of the movable clamp surface when the lead wire is unclamped, thereby avoiding interference with the lead wire, and improves the ability of the movable clamp surface to follow clamp release commands, thereby improving wire bonding. The object of the present invention is to provide a wire bonder clamping device that can sufficiently respond to increased speeds.

(問題点を解決するための手段) 本考案は上記問題点を解決するために次の構成
を有する。即ち、クランプホルダに固定的に配設
されリードワイヤに対面する固定側クランプ面
と、基端部がクランプホルダに固定された可動ば
ね板と、この可動ばね板のおもて面に前記固定側
クランプ面と対向させて配設された可動側クラン
プ面と、前記固定側クランプ面に対し可動側クラ
ンプ面を開閉駆動しリードワイヤのクランプおよ
びクランプ解除を行なうクランプ駆動手段とを有
するワイヤボンダのワイヤクランプ装置におい
て、可動ばね板の近傍位置には特に、リードワイ
ヤのクランプおよびクランプ解除時に発生する可
動ばね板の衝撃振動を規制するバウンド防止部材
が設けられて構成されているワイヤボンダのワイ
ヤクランプ装置である。
(Means for Solving the Problems) The present invention has the following configuration in order to solve the above problems. That is, there is a fixed side clamp surface that is fixedly disposed on the clamp holder and faces the lead wire, a movable spring plate whose base end is fixed to the clamp holder, and the fixed side on the front surface of this movable spring plate. A wire clamp for a wire bonder, which has a movable clamp surface disposed to face the clamp surface, and a clamp driving means for driving the movable clamp surface to open and close the movable clamp surface with respect to the fixed clamp surface to clamp and unclamp a lead wire. The device is a wire clamping device for a wire bonder, in which a bounce prevention member is provided in the vicinity of the movable spring plate to restrict shock vibration of the movable spring plate that occurs when the lead wire is clamped and unclamped. .

(作用) 上記構成からなる本考案において、クランプ駆
動手段がクランプ動作したときには、可動ばね板
はクランプ駆動手段から瞬間的に力を受けて固定
クランプ面の方向に撓み、リードワイヤを固定・
可動両側クランプ面間にクランプする。そして、
クランプ駆動手段がクランプ解除動作したときに
は、可動ばね板は瞬間的に伝達力の解除作用を受
けるので、衝撃振動を開始しようとする。しか
し、この衝撃振動も同様にバウンド防止部材によ
つて規制されるので、可動側クランプ面がリード
ワイヤに対し接離振動をおこすことがない。
(Function) In the present invention having the above configuration, when the clamp driving means performs a clamping operation, the movable spring plate receives an instantaneous force from the clamp driving means and bends in the direction of the fixed clamp surface, thereby fixing and fixing the lead wire.
Clamp between the movable clamp surfaces on both sides. and,
When the clamp drive means performs a clamp release operation, the movable spring plate is instantaneously subjected to the release action of the transmission force, and therefore begins to generate impact vibrations. However, since this impact vibration is similarly regulated by the bounce prevention member, the movable clamp surface does not vibrate toward or away from the lead wire.

(実施例) 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、従来装置
と同一部材には同一符号を付してその説明を省略
する。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described based on the drawings. In the description of this embodiment, the same members as those in the conventional device are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

第3図には本考案の一実施例が示されており、
本考案において特徴的なバウンド防止部材13
は、可動ばね板4の近傍位置に配設されている。
このバウンド防止部材13は第4図に示すよう
に、棒状の基軸13Cの一端に支点軸13aが、
他端にバウンド規制腕13bがそれぞれ折曲形成
されてコ字形状をなしており、支点軸13aはク
ランプ開閉ロツド10に設けた回動孔に摩擦回動
自在にはめ込まれている。なお、この支点軸13
aの摩擦抵抗は可動ばね板4の反力によつて支点
軸13aが勝手に回動しないだけの十分大きな値
に設定される。そして要求があれば、その大きさ
を例えばばね圧等により調節できるように設計さ
れる。また、場合によつては、支点軸13aを所
望の調整位置で、ロツクするロツク手段が設けら
れる。さらに、バウンド規制腕13bの配置位置
や寸法、その他各種の仕様が確定している場合
は、支点軸13aを所定の最適回動位置に当初か
ら固定配設してもよい。
FIG. 3 shows an embodiment of the present invention.
Bound prevention member 13 characteristic of the present invention
is arranged near the movable spring plate 4.
As shown in FIG. 4, this bounce prevention member 13 has a fulcrum shaft 13a at one end of a rod-shaped base shaft 13C.
Bound regulating arms 13b are each bent at the other end to form a U-shape, and the fulcrum shaft 13a is fitted into a rotation hole provided in the clamp opening/closing rod 10 so as to be frictionally rotatable. Note that this fulcrum shaft 13
The frictional resistance a is set to a sufficiently large value to prevent the fulcrum shaft 13a from rotating freely due to the reaction force of the movable spring plate 4. If required, it is designed so that its size can be adjusted by, for example, spring pressure. Further, depending on the case, a locking means for locking the fulcrum shaft 13a at a desired adjustment position is provided. Furthermore, if the arrangement position and dimensions of the bound regulating arm 13b and various other specifications are determined, the fulcrum shaft 13a may be fixedly arranged at a predetermined optimal rotational position from the beginning.

一方、バウンド規制腕13bは可動ばね板4を
またいで該可動ばね板4の内側、すなわち、可動
クランプ材7の取付側の面に対向される。そし
て、クランプ開閉ロツド10がクランプ位置にあ
る状態のとき、バウンド規制腕13bは可動ばね
板4と所定間隙tを介して配置される。
On the other hand, the bound regulating arm 13b straddles the movable spring plate 4 and faces the inner side of the movable spring plate 4, that is, the surface on the attachment side of the movable clamp member 7. When the clamp opening/closing rod 10 is in the clamp position, the bound regulating arm 13b is disposed with a predetermined gap t between the movable spring plate 4 and the movable spring plate 4.

本実施例は上述の如く構成されており、例え
ば、クランプ開閉ロツド10がクランプ位置に動
作した場合には、クランプ力伝達板9から可動ば
ね板4にクランプ力が伝達されリードワイヤ8の
クランプが達成される。
This embodiment is constructed as described above. For example, when the clamp opening/closing rod 10 moves to the clamping position, the clamping force is transmitted from the clamping force transmission plate 9 to the movable spring plate 4, and the lead wire 8 is clamped. achieved.

一方、クランプ開閉ロツド10がクランプ解除
位置に動作した場合には、可動ばね板4は瞬間的
にクランプ力の伝達解除作用を受け、衝撃振動を
開始しようとする。しかし、このクランプ解除に
際して、可動ばね板4は開閉ロツド10に連動し
て第3図の右方向に引き寄せられ、リードワイヤ
8と可動側クランプ面7aとの間に間隙が形成さ
れるとともに、可動ばね板4の衝撃振動はバウン
ド規制腕13bによつて阻止される結果、可動側
クランプ面7aはリードワイヤ8と接触するよう
な振動をすることなく確実に切り離される。した
がつて、クランプ解除時にリードワイヤにクラン
プ面7aが干渉を起すことはなく、また、可動側
クランプ面7aはクランプ解除指令に対して極め
て迅速に追従することとなる。
On the other hand, when the clamp opening/closing rod 10 moves to the clamp release position, the movable spring plate 4 is instantaneously subjected to the clamp force transmission release action and begins to generate impact vibrations. However, when this clamp is released, the movable spring plate 4 is pulled to the right in FIG. As a result of the shock vibration of the spring plate 4 being prevented by the bound regulating arm 13b, the movable side clamping surface 7a is reliably separated without causing any vibration that would cause it to come into contact with the lead wire 8. Therefore, the clamp surface 7a does not interfere with the lead wire when the clamp is released, and the movable clamp surface 7a follows the clamp release command extremely quickly.

(他の適用例) ワイヤボンダには通常2種のクランプ装置が設
けられている。その1つは、キヤピラリの第2ボ
ンド位置への下降時に発生する、アンダーループ
を防止するためのテンシヨンクランプ装置であ
り、他の1つは、第2ボンド位置でのボンデイン
グ完了後、リードワイヤのカツト時に、そのリー
ドワイヤをクランプするカツトクランプ装置であ
る。
(Other Application Examples) Wire bonders are usually provided with two types of clamp devices. One is a tension clamp device to prevent under-loops that occur when the capillary is lowered to the second bond position, and the other is a tension clamp device that prevents under-loops that occur when the capillary is lowered to the second bond position. This is a cut clamp device that clamps the lead wire when cutting the lead wire.

本実施例はテンシヨンクランプ装置を例として
説明したが、本考案装置をカツトクランプ装置に
適用することも可能である。
Although this embodiment has been described using a tension clamp device as an example, the device of the present invention can also be applied to a cut clamp device.

(考案の効果) 本考案は上述の如く構成されているので、クラ
ンプ解除時に、可動側クランプ面が衝撃的な接離
振動によつてリードワイヤに干渉をおよぼすこと
がなく、また、可動ばね板の衝撃振動は効果的に
阻止されるので、クランプおよびクランプ解除指
令に対して、可動側クランプ面の追従性を大幅に
改善することが可能となり、これにより、ワイヤ
ボンデイングの高速化を十分に促進することが可
能である。
(Effects of the invention) Since the present invention is constructed as described above, when the clamp is released, the movable clamp surface does not interfere with the lead wire due to shocking contact/separation vibration, and the movable spring plate Since the impact vibration of the clamp is effectively suppressed, it is possible to greatly improve the ability of the movable clamp surface to follow clamping and unclamping commands, thereby sufficiently promoting high-speed wire bonding. It is possible to do so.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来のクランプ装置のクランプ閉状態
の正面図、第2図は同装置のクランプ開状態の正
面図、第3図は本考案のクランプ装置の正面図、
第4図は本考案装置に使用されるバウンド防止部
材の正面図である。 1……クランプホルダ、2a……固定側クラン
プ面、4……可動ばね板、7a……可動側クラン
プ面、8……リードワイヤ、9……クランプ力伝
達板、10……クランプ開閉ロツド、13……バ
ウンド防止部材、14……クランプ駆動手段。
FIG. 1 is a front view of a conventional clamp device in a closed state, FIG. 2 is a front view of the same device in an open state, and FIG. 3 is a front view of the clamp device of the present invention.
FIG. 4 is a front view of the bounce prevention member used in the device of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Clamp holder, 2a... Fixed side clamp surface, 4... Movable spring plate, 7a... Movable side clamp surface, 8... Lead wire, 9... Clamp force transmission plate, 10... Clamp opening/closing rod, 13... Bound prevention member, 14... Clamp driving means.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 (1) クランプホルダに固定的に配設されリードワ
イヤに対面する固定側クランプ面と、基端部が
クランプホルダに固定された可動ばね板と、こ
の可動ばね板のおもて面に前記固定側クランプ
面と対向させて配設された可動側クランプ面
と、前記固定側クランプ面に対し可動側クラン
プ面を開閉駆動しリードワイヤのクランプおよ
びクランプ解除を行なうクランプ駆動手段とを
有するワイヤボンダのワイヤクランプ装置にお
いて、可動ばね板の近傍位置には可動ばね板の
衝撃振動を規制するバウンド防止部材が設けら
れていることを特徴とするワイヤボンダのワイ
ヤクランプ装置。 (2) クランプ駆動手段は、基端部がクランプホル
ダに固定され先端部が可動ばね板の裏面に連係
されたクランプ力伝達板と、このクランプ力伝
達板の側方位置に揺動自在に設けられこの揺動
作用によりクランプ力伝達板にクランプ力を伝
達するクランプ開閉ロツドとからなり、バウン
ド防止部材は、基軸の一端部から支点軸が、他
端部からバウンド規制腕がそれぞれ折曲形成さ
れたコ字形状をなし、支点軸はクランプ開閉ロ
ツドに装着され、バウンド規制腕は可動ばね板
のおもて面と対置されていることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第1項記載のワイヤボ
ンダのワイヤクランプ装置。
[Scope of claim for utility model registration] (1) A fixed side clamp surface that is fixedly disposed on the clamp holder and faces the lead wire, a movable spring plate whose base end is fixed to the clamp holder, and this movable spring plate. a movable clamp surface disposed opposite the fixed clamp surface on the front surface of the clamp, and a clamp that clamps and unclamps the lead wire by driving the movable clamp surface to open and close the movable clamp surface with respect to the fixed clamp surface. 1. A wire clamping device for a wire bonder having a driving means, characterized in that a bounce preventing member is provided near the movable spring plate for regulating impact vibration of the movable spring plate. (2) The clamp driving means includes a clamping force transmitting plate whose base end is fixed to the clamp holder and whose distal end is linked to the back surface of the movable spring plate, and a clamping force transmitting plate that is swingably provided at a side position of the clamping force transmitting plate. and a clamp opening/closing rod that transmits the clamping force to the clamping force transmission plate through this swinging action. A utility model according to claim 1, which has a rectangular U-shape, the fulcrum shaft is attached to the clamp opening/closing rod, and the bound regulating arm is opposed to the front surface of the movable spring plate. Wire bonder wire clamp device.
JP12843485U 1985-08-23 1985-08-23 Expired JPH0236279Y2 (en)

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