JPH023192A - Non-volatile semiconductor memory device - Google Patents

Non-volatile semiconductor memory device

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Publication number
JPH023192A
JPH023192A JP63148740A JP14874088A JPH023192A JP H023192 A JPH023192 A JP H023192A JP 63148740 A JP63148740 A JP 63148740A JP 14874088 A JP14874088 A JP 14874088A JP H023192 A JPH023192 A JP H023192A
Authority
JP
Japan
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line
transistor
high voltage
decoder
voltage pulse
Prior art date
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Pending
Application number
JP63148740A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuo Kobayashi
和男 小林
Yasushi Terada
寺田 康
Takeshi Nakayama
武志 中山
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP63148740A priority Critical patent/JPH023192A/en
Publication of JPH023192A publication Critical patent/JPH023192A/en
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Abstract

PURPOSE:To speed up a reading access by boosting the output voltage of a raw decoder to be power source voltage at the time of reading operation. CONSTITUTION:A capacitor C0 is inserted between a high voltage pulse VPP and a word line WL. In the reading operation at the time of selection, lines N1 and N2 go to 'H' by the outputs of predecoders G1 and G2 and a raw decoder Z and the potential of the line N2 goes to a value, whose threshold is lower than a transistor T. Next, when the high voltage pulse VPP goes to 'H' while delaying to the predecoders G1 and G2 and and decoder Z, the potential of the line N is boosted by the capacitor C0 with the impression of the high voltage pulse VPP. Accordingly, in the reading operation, the signal of a word line WL can be raised and the reading access can be executed at high speed. Since charge ability is improved, the gate width of a transistor T can be reduced and high integration can be executed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、メモリセルアレイへの信号電圧を昇圧する不
揮発性半導体記憶装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device that boosts a signal voltage to a memory cell array.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

電気的に書き換え消去可能な読み出し専用記憶装置(以
下、EEPROMという)Kおけるロウデコーダは、外
部から入力したアドレス入力に対応したワード線(以下
、WL線という)のみをrHJに立上げ(選択時)、そ
の他のWL線をrLJにする(非選択時)機能を有して
いる。通常、ロウデコーダは、メモリセルアレイに隣接
して配置されるため、例えば2デコーダでアドレス入力
の一部をデコードしておき、その出力線をメモリセルア
レイに並設して、素子数を抑え占有面積の低減を図って
いる。また、WL線には複数個のメモリセルアレイが接
続されているため、その浮遊容量が大きくなる。このた
め、高集積化、高速アクセスのためには、素子数、素子
のサイズを抑えてWL線の立上シを速することが必要で
ある。
The row decoder in the electrically reprogrammable and erasable read-only memory device (hereinafter referred to as EEPROM) K raises only the word line (hereinafter referred to as WL line) corresponding to the address input from the outside to rHJ (when selected ), it has the function of making other WL lines rLJ (when not selected). Normally, a row decoder is placed adjacent to a memory cell array, so for example, two decoders are used to decode part of the address input, and their output lines are placed in parallel to the memory cell array to reduce the number of elements and occupy space. We are trying to reduce this. Furthermore, since a plurality of memory cell arrays are connected to the WL line, its stray capacitance increases. Therefore, in order to achieve high integration and high-speed access, it is necessary to reduce the number of elements and the size of the elements to speed up the rise of the WL line.

第3図は、従来のEEFROMのWL線選択回路(ロウ
デコーダ)の回路図である。図において、Mは1バイト
を2ビツトとしたときの1バイトのメモリセルアレイ、
WLはワード信号を伝搬するWL線、Gl、G2はプリ
ロウデコーダ、TI、T2はWL線の信号を充放電する
WL線ドライバ、T3は高電圧カット用トランジスタ、
T4.T5はトランジスタ、C1はコンデンサである。
FIG. 3 is a circuit diagram of a conventional EEFROM WL line selection circuit (row decoder). In the figure, M is a 1-byte memory cell array when 1 byte is 2 bits.
WL is a WL line that propagates word signals, Gl and G2 are pre-row decoders, TI and T2 are WL line drivers that charge and discharge signals on the WL line, T3 is a high voltage cut transistor,
T4. T5 is a transistor, and C1 is a capacitor.

ここで、トランジスタT4.T5及びコンデンサC1は
高電圧切換スイッチを構成している。なお、φはクロッ
ク源、vppは高圧パルス、Vceは電源電圧、CGL
 。
Here, transistor T4. T5 and capacitor C1 constitute a high voltage changeover switch. In addition, φ is a clock source, vpp is a high voltage pulse, Vce is a power supply voltage, CGL
.

BL、 、 BL、は信号線である。BL, , BL are signal lines.

次1c、WL線選択回路の動作を第4図及び第5図の7
0−チャートに従って説明する。第4図は選択時におけ
る読み出し動作を示しておシ、同図(&)〜(f)は第
3図における線路Nl、N2(WL)N3゜N4.N5
.  高圧パルスVPp/クロック源φの波形を示して
いる。また、第5図は選択時における書き込み動作を示
しておシ、同図(a)〜(g)は第3図における線路N
l 、N2(WL) 、N3 、N4 、N5 、高圧
パルスvpp、クロック源φの波形を示している。
Next 1c, the operation of the WL line selection circuit is explained at 7 in Figures 4 and 5.
0-Explain according to the chart. FIG. 4 shows the read operation at the time of selection, and (&) to (f) in the same figure show the lines Nl, N2 (WL) N3°N4 . N5
.. The waveform of high voltage pulse VPp/clock source φ is shown. In addition, FIG. 5 shows the write operation at the time of selection, and (a) to (g) of the same figure show the line N in FIG.
The waveforms of 1, N2 (WL), N3, N4, N5, high voltage pulse vpp, and clock source φ are shown.

さて、WL線選択回路は前述したように選択時と非選択
時の2つの動作を行なう。選択時の場合、読み出し、書
き込み動作ともWL線に対してはブリロウデコーダGl
、G2によシ、線路N3= rHJ 、N4=rLJと
なシ(第4図(e) 、 (d)、第5図(e)、(d
)) 、zデコーダの出力がrHJとなる。従って、ト
ランジスタT1がオン、トランジスタT2がオフとなる
ため、線路Nl、N2がともにrHJ K充電される(
第4図(aJ 、 (bL第5図(a) 、(b)) 
o tた、非選択時の場合、線路N3= rLJ 、 
N4= rHJ 、あるいは2デコーダ出力がrLJと
なるため、選択時において線路Nl、N2がrHJとな
っても、トランジスタT1ま九はT2を介して放電され
てrLJとなる。
Now, as described above, the WL line selection circuit performs two operations: when selected and when not selected. When selected, the Brillou decoder Gl is used for the WL line in both read and write operations.
, G2, line N3 = rHJ, N4 = rLJ (Fig. 4(e), (d), Fig. 5(e), (d)
)) , the output of the z decoder becomes rHJ. Therefore, since the transistor T1 is turned on and the transistor T2 is turned off, both the lines Nl and N2 are charged with rHJK (
Figure 4 (aJ, (bLFigure 5 (a), (b))
o In case of non-selection, line N3= rLJ,
Since N4=rHJ or the output of the two decoders becomes rLJ, even if the lines Nl and N2 become rHJ at the time of selection, the transistor T1 is discharged through T2 and becomes rLJ.

ところで、EEPROMは書き込みに高電圧パルスを必
要とするため、WL線を15〜20V程度の高電圧にし
なくてはならない。そのため、線路N2における出力r
HJの電圧を昇圧する高電圧切換スイッチ(トランジス
タT4 、T5、コンデンサCI)が設けられている。
By the way, since EEPROM requires a high voltage pulse for writing, the WL line must be set at a high voltage of about 15 to 20V. Therefore, the output r on line N2
A high voltage changeover switch (transistors T4, T5, capacitor CI) is provided to boost the voltage of HJ.

その動作は次のように容量結合による昇圧を基本として
いる。まず、タイマーで一定期間高圧パルスVpp(1
5〜20V)を印加すると共に1クロツク源φを周波数
5MHzで発振させる(第5図(f) 、 (g) )
。このとき、線路N2が「H」(選択時)であれば、ト
ランジスタT4がオフし、線路N5の電圧がVec−V
4(但し、v4はトランジスタT4のしきい値)程度と
なる。また、線路N2は「H」(電源電圧Wee)であ
るためトランジスタT5はオフとなっている。さて、ク
ロック源φがrLJの期間に線路N5の充電に着目する
と、線路N5の浮遊容量をCFとすれば(CI +CF
) (Mcc−V4)程度の電荷が蓄積される。
Its operation is based on boosting voltage through capacitive coupling as follows. First, a high voltage pulse Vpp (1
5 to 20 V) and oscillate one clock source φ at a frequency of 5 MHz (Fig. 5 (f), (g)).
. At this time, if the line N2 is "H" (when selected), the transistor T4 is turned off and the voltage of the line N5 is Vec-V
4 (where v4 is the threshold value of transistor T4). Furthermore, since the line N2 is at "H" (power supply voltage Wee), the transistor T5 is off. Now, if we focus on the charging of the line N5 during the period when the clock source φ is rLJ, if the stray capacitance of the line N5 is CF, then (CI + CF
) (Mcc-V4) is accumulated.

その後、クロック源φがrHJとなると電荷保存によ’
) ”/(C1+CF)Mcc分の電圧が昇圧される。
After that, when the clock source φ becomes rHJ, due to charge conservation,
) ”/(C1+CF)Mcc voltage is boosted.

このとき、線路N5の電位がVec+V5(但し、v5
はトランジスタT5のしきい値)を越えるとトランジス
タT5がオンし、線路N2が電源電圧Vee以上となる
。こうして、次のクロック源φがrLJの期間には線路
N5の電位がVce  V4以上となシ、さらに昇圧さ
れる。通常、時間100μS以下における線路N2の電
圧は、高圧パルスVpP(15〜20v)程度まで昇圧
される。一方、非選択時には前述したように線路N2が
接地されるため、トランジスタT4がオフするので昇圧
は行なわれず線路N2はrLJのままである。
At this time, the potential of the line N5 is Vec+V5 (however, v5
When the voltage exceeds the threshold value of the transistor T5), the transistor T5 is turned on, and the line N2 becomes higher than the power supply voltage Vee. In this way, during the period when the next clock source φ is rLJ, the potential of the line N5 becomes Vce V4 or higher and is further boosted. Normally, the voltage on the line N2 for a period of 100 μs or less is boosted to about the high voltage pulse VpP (15 to 20 V). On the other hand, when it is not selected, the line N2 is grounded as described above, so the transistor T4 is turned off, so no boosting is performed and the line N2 remains at rLJ.

また、上記説明のようにEEPROMは、トランジスタ
T4.T5をドレイン電圧15〜20V印加時にゲート
電圧Ovでオフレなけれはならないため、ゲート長の幅
を大きくして耐圧を確保している。
Further, as described above, the EEPROM includes transistors T4. Since T5 must be turned off by the gate voltage Ov when a drain voltage of 15 to 20 V is applied, the width of the gate length is increased to ensure breakdown voltage.

しかし、読み出し時のアクセスを高速にするためには、
トランジスタTI、T2におけるゲート幅を細くして充
電能力を向上させなくてはならない。
However, in order to speed up read access,
The charging capacity must be improved by narrowing the gate widths of the transistors TI and T2.

そのため、トランジスタTI、T2のゲート幅を細くし
、かつ耐圧を確保するためゲートに電源電圧Vceを印
加したトランジスタT3を用いて耐圧向上を図っている
Therefore, the gate widths of the transistors TI and T2 are made narrower, and in order to ensure the withstand voltage, the transistor T3 is used to which the power supply voltage Vce is applied to the gate to improve the withstand voltage.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら従来のEEFROMは、読み出し動作にお
いて、WL線の昇圧化を行なうことができず、読み出し
アクセスの高速化ができないという欠点があった。また
、耐圧向上のため、トランジスタで3のゲート幅を大き
くする必要があシ、高集積化に適さないという欠点があ
った。
However, the conventional EEFROM has the disadvantage that it is not possible to boost the voltage on the WL line during a read operation, and therefore, the speed of read access cannot be increased. Furthermore, in order to improve the withstand voltage, it is necessary to increase the gate width of the transistor 3, which has the disadvantage that it is not suitable for high integration.

本発明は上記の欠点を解消するためになされたもので、
読み出しアクセスの高速化が図れる不揮発性半導体記憶
装置を得ることを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks.
An object of the present invention is to obtain a nonvolatile semiconductor memory device that can speed up read access.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明に係る不揮発性半導体記憶装置は、ロウデコーダ
の出力が選択されたときこの出力電圧を電源電圧以上に
昇圧する昇圧手段を備えている。
The nonvolatile semiconductor memory device according to the present invention includes boosting means for boosting the output voltage of the row decoder to a level higher than the power supply voltage when the output of the row decoder is selected.

〔作用〕[Effect]

昇圧手段は、読み出し動作のとき、ロウデコーダの出力
電圧を昇圧する。
The booster boosts the output voltage of the row decoder during a read operation.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を図に従って説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明に係る一実施例を示すEEPROM K
おけるLW線選択回路(ロウデコーダ)の回路図である
。図において、第1図と同一部分には同一符号を付する
。Coは高圧パルスVPPとWL線との間に設けられた
昇圧手段にあたるコンデンサである。また、第2図は選
択時における読み出し動作のフローチャートであシ、同
図(a)〜優)は第1図における線路Nl 、N2(W
L)、N3.N4.N5.高圧パルスVpp、クロック
源φの波形を示している。
FIG. 1 shows an EEPROM K showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a circuit diagram of an LW line selection circuit (row decoder) in FIG. In the figure, the same parts as in FIG. 1 are given the same reference numerals. Co is a capacitor serving as boosting means provided between the high voltage pulse VPP and the WL line. In addition, FIG. 2 is a flowchart of the read operation at the time of selection, and the lines (a) to (a) in FIG.
L), N3. N4. N5. The waveforms of the high voltage pulse Vpp and the clock source φ are shown.

さて、選択時における読み出し動作は、第3図と同様に
プリデコーダGl、G2及び2デコーダ出力によシ線路
Nl、N2がrHJとなシ、電位はVee−V3(但し
、v3はトランジスタT3のしきい値)程度となる(第
2図(a) 、 (b) )。次に、高圧パルスvpp
がプリデコーダGl、G2及び2デコーダのrHJとな
るタイミング(時間1+)よシ遅れてrHJとなると(
時間t2)、高圧パルスVPPの電圧15〜20Vの印
加によって、線路N2の電位はVee−V3よりさらに
Co/(Co +CE)Vpp (但し、CEは線路N
2の浮遊容量)分の電圧が昇圧される(第2図(b))
。なお、このときのクロック源φは常にrLJである。
Now, the read operation at the time of selection is similar to that shown in FIG. (threshold value) (Fig. 2 (a), (b)). Next, high voltage pulse vpp
When becomes rHJ later than the timing (time 1+) when becomes rHJ of pre-decoder Gl, G2 and 2 decoder, (
At time t2), by applying a voltage of 15 to 20 V of the high voltage pulse VPP, the potential of the line N2 becomes more than Vee-V3 by Co/(Co +CE)Vpp (however, CE is the potential of the line N2).
2 stray capacitance) is boosted (Figure 2 (b))
. Note that the clock source φ at this time is always rLJ.

また、選択時における1−き込み動作は、クロック源φ
を発振させて第3図と同様の動作となる。
In addition, the 1-read operation when selected is performed by the clock source φ
oscillates, resulting in an operation similar to that shown in FIG.

このように本実施例は、コンデンサCoを設けることに
よシ、読み出し動作においてもWL線の信号を昇圧させ
ることができるため、読み出しアクセスを高速化できる
。また、コンデンサCoを用いて充電能力を向上させて
いるため、トランジスタT3のゲート幅を小さくするこ
とができ、高集積化を図ることができる。
In this way, in this embodiment, by providing the capacitor Co, the signal on the WL line can be boosted even in a read operation, so that read access can be speeded up. Further, since the charging capacity is improved by using the capacitor Co, the gate width of the transistor T3 can be reduced, and high integration can be achieved.

なお、コンデンサCoは、通常トランジスタT4のゲー
ト容量に併設して形成されるが、トランジスタT4と別
に形成してもよい。
Note that although the capacitor Co is usually formed alongside the gate capacitance of the transistor T4, it may be formed separately from the transistor T4.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明のように本発明は、ロウデコーダの出力が選択
されたときこの出力電圧を電源電圧以上に昇圧する昇圧
手段を有するため、読み出しアクセスを高速化すること
ができる。また、この昇圧手段によシ、トランジスタの
ゲート幅を小さくすることができ高集積化を図ることが
できる。
As described above, the present invention includes boosting means for boosting the output voltage to a level higher than the power supply voltage when the output of the row decoder is selected, so that read access can be speeded up. Further, this boosting means allows the gate width of the transistor to be reduced, and higher integration can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る一実施例を示すEgPROMにお
けるLW線選択回路の回路図、第2図は読み出し動作に
おける第1図の各部のタイムチャート、第3図は従来の
回路図、第4図は読み出し動作における第3図の各部の
タイムチャート、第5図は書き込み動作における第3図
の各部のタイムチャートである。 Co  ・・・・コンデンサ、vppIlllll・高
圧パルス、φ・・・・20ツク源、T3.T4.T5・
・・・トランジスタ、C1・・・・コンデンサ。
FIG. 1 is a circuit diagram of an LW line selection circuit in an EgPROM showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a time chart of each part of FIG. 1 in a read operation, FIG. 3 is a conventional circuit diagram, and FIG. The figure is a time chart of each part of FIG. 3 in a read operation, and FIG. 5 is a time chart of each part of FIG. 3 in a write operation. Co... Capacitor, vppIllllll/high voltage pulse, φ...20 power source, T3. T4. T5・
...Transistor, C1...Capacitor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  行及び列方向にアレイ状に配置した情報の書き込み、
消去の可能なメモリセルアレイと、外部から入力したア
ドレス信号をデコードし列方向の選択を行なうコラムデ
コーダ手段と、前記アドレス信号をデコードし行方向の
選択を行なうロウデコーダ手段とを有する半導体記憶装
置において、前記ロウデコーダの出力が選択されたとき
この出力電圧を電源電圧以上に昇圧する昇圧手段を備え
たことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
Writing information arranged in an array in the row and column directions,
A semiconductor memory device comprising an erasable memory cell array, column decoder means for decoding an externally input address signal and making a selection in the column direction, and row decoder means for decoding the address signal and making a selection in the row direction. . A nonvolatile semiconductor memory device, comprising boosting means for boosting the output voltage to a power supply voltage or higher when the output of the row decoder is selected.
JP63148740A 1988-06-16 1988-06-16 Non-volatile semiconductor memory device Pending JPH023192A (en)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4995477A (en) * 1990-03-01 1991-02-26 Ann Perricone Safety device for elevators
JPH04192196A (en) * 1990-11-26 1992-07-10 Mitsubishi Electric Corp Nonvolatile semiconductor memory device
US5757717A (en) * 1996-06-19 1998-05-26 Nec Corporation Semiconductor circuit having circuit supplying voltage higher than power supply voltage
US5946229A (en) * 1997-04-07 1999-08-31 Nec Corporatoin Semiconductor device having device supplying voltage higher than power supply voltage
US8919342B2 (en) 2007-08-01 2014-12-30 Boehringer Ingelheim International Gmbh Inhaler

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